CN111293855B - 搬送装置以及物品制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供可稳定且顺畅地以非接触方式搬送动子的搬送装置以及物品制造方法。搬送装置具有沿着第1方向配置的多个线圈和沿着上述多个线圈移动的动子，上述多个线圈具有以规定间隔配置的线圈和以比空开上述规定间隔地配置的线圈大的大间隔配置的两个线圈，以上述大间隔配置的两个线圈配置在以下位置：跟与以上述规定间隔配置的线圈的动子相向的面的在动子经过时与上述动子之间的距离相比，与上述动子之间的距离变小。

Description

搬送装置以及物品制造方法

技术领域

本发明涉及搬送装置以及物品制造方法。

背景技术

一般来讲，在用于组装工业产品的生产线或半导体曝光装置等中采用搬送系统。特别是生产线的搬送系统在工厂自动化的生产线内或是生产线之间的多个工位间对部件等工件进行搬送。另外，有时也作为加工装置中的搬送装置被使用。作为搬送系统，已经提出了利用可动磁铁型线性马达的搬送系统。

在利用可动磁铁型线性马达的搬送系统中，采用线性导轨等伴随有机械接触的引导装置来构成搬送系统。但是，对于使用线性导轨等引导装置的搬送系统而言，存在因从线性导轨的滑动部产生的污染物质例如导轨或轴承的摩耗碎片、润滑油或是其挥发后的物质等导致生产率变差这样的问题。另外，存在当高速搬送时滑动部的摩擦变大而致使线性导轨的寿命缩短这样的问题。

于是，在专利文献1中记载了能以非接触方式对搬送托盘进行搬送的磁悬浮搬送装置。像专利文献1所记载那样的磁悬浮搬送装置，沿着搬送托盘的搬送方向，在腔室的上部以恒定间隔排列悬浮用电磁铁，在腔室的侧面以恒定间隔排列定子线圈，从而稳定地实现非接触方式的搬送。

在先技术文献

专利文献1：日本特表2016-532308号公报

发明所要解决的课题

但是，在生产线内或是生产线之间的多个工位间搬送工件等动子的场合，存在无论怎样都无法配置电磁铁和线圈的场所。例如，在真空腔室中，出于进行维护、环境控制的目的而需要在中途设置闸阀来进行分隔。在这样的场合，无法以恒定间隔配置电磁铁和线圈。因而，由于吸引力的变化而有可能导致搬送过程中的部件或工件倾斜或下落。

发明内容

本发明的目的在于提供能够稳定且顺畅地以非接触方式搬送动子的搬送装置以及物品制造方法。

用于解决课题的方案

本发明的搬送装置，其特征在于，具有：沿着第1方向配置的多个线圈；以及沿着上述多个线圈移动的动子，上述多个线圈具有与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈、以及与两个邻近的线圈之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈，配置成以下位置关系：上述动子经过跟以上述大间隔配置的线圈相向的区域时的、以上述大间隔配置的线圈与上述动子之间的距离，比上述动子经过跟与两个邻近的线圈之间的间隔以上述规定间隔配置的线圈相向的区域时的、以上述规定间隔配置的线圈与上述动子之间的距离小。

本发明的搬送装置，其特征在于，具有：沿着第1方向配置的多个线圈；以及沿着上述多个线圈移动的动子，上述多个线圈具有与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈、以及与两个邻近的线圈之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈，上述的与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈的芯，比上述的与两个邻近的线圈之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈的芯小。

本发明的搬送装置，其特征在于，具有：沿着第1方向配置的收容有多个线圈的多个线圈箱；以及沿着上述多个线圈箱移动的动子，上述多个线圈箱具有与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈箱、以及与两个邻近线圈箱之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈箱，配置成以下位置关系：上述动子经过跟以上述大间隔配置的线圈箱相向的区域时的、以上述大间隔配置的线圈箱与上述动子之间的距离，比上述动子经过跟与两个邻近的线圈箱之间的间隔以上述规定间隔配置的线圈箱相向的区域时的、以上述规定间隔配置的线圈箱与上述动子之间的距离小。

本发明的搬送装置，其特征在于，具有：沿着第1方向配置的多个线圈；以及沿着上述多个线圈移动的动子，上述多个线圈具有与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈、以及与两个邻近的线圈之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈，以上述大间隔配置的线圈朝由上述大间隔形成的空间地配置有强磁性体或相对导磁率为10以上的部件。

本发明的搬送装置，其特征在于，具有：沿着第1方向配置的多个线圈箱；以及沿着上述多个线圈箱移动的动子，上述多个线圈箱具有与两个邻近的线圈箱之间的间隔以规定间隔配置的线圈箱、以及与两个邻近线圈箱之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈箱，以上述大间隔配置的线圈箱朝由上述大间隔形成的空间地配置有强磁性体或相对导磁率为10以上的部件。

本发明的物品制造方法，其特征在于，对利用上述的搬送装置搬送来的工件进行加工，从而制造物品。

通过以下示例性实施方式的描述(参考附图)，本发明的其他特征将变得显而易见。

附图说明

图1A是示出本发明的第1实施方式的概略图。

图1B是示出本发明的第1实施方式的概略图。

图2是示出本发明的第1实施方式的概略图。

图3是示出本发明的第1实施方式的概略图。

图4是示出本发明的第1实施方式的概略图。

图5是示出本发明的第1实施方式的概略图。

图6是对本发明的第1实施方式进行说明的概略图。

图7是对本发明的第1实施方式进行说明的概略图。

图8A是对本发明的第1实施方式进行说明的概略图。

图8B是对本发明的第1实施方式进行说明的概略图。

图9是对本发明的第1实施方式进行说明的概略图。

图10A是对本发明的第1实施方式进行说明的概略图。

图10B是对本发明的第1实施方式进行说明的概略图。

图10C是对本发明的第1实施方式进行说明的概略图。

图11A是对本发明的第1实施方式进行说明的概略图。

图11B是对本发明的第1实施方式进行说明的概略图。

图12是对本发明的第2实施方式进行说明的概略图。

图13A是对本发明的第3实施方式进行说明的概略图。

图13B是对本发明的第3实施方式进行说明的概略图。

具体实施方式

[第1实施方式]

以下，参照附图，利用图1A至图9对本发明的第1实施方式进行说明。

图1A以及图1B是示出根据本实施方式的包括动子101以及定子201a、201b的搬送系统的整体构成的概略图。另外，图1A以及图1B将动子101以及定子201a、201b的主要部分去掉来进行表示。另外，图1A是从后述的Y方向观看动子101的图，图1B是从后述的Z方向观看动子101的图。图1A示出了在定子201a与定子201b之间存在例如阀门等结构物(100)的场所。也就是，示出的是在生产线内或是生产线之间的多个工位间无法连续地配置电磁铁和线圈的场所。在本实施方式中，记载了隔着结构物地配置两个定子的场合，但并不限于此，也可以是定子为一个且在线圈与线圈之间存在空间(间隙)的场合。本实施方式通过将与无法连续配置电磁铁和线圈的场所邻接的线圈的位置(芯的位置)配置在比其他线圈(芯)低的位置(与动子接近的位置)，从而抑制动子的倾斜或下落。在本实施方式中，只要不需要特别区分，则将定子简记为“定子201”。在需要单独确定各定子201的场合，记载成“定子201a”、“定子201b”地来单独确定各定子201。

首先，使用图1A以及图1B对根据本实施方式的具有搬送装置的搬送系统的整体构成进行说明。

如图1A以及图1B所示那样，根据本实施方式的具有搬送装置的搬送系统1具有：构成转向架、滑架或载架的动子101；以及构成搬送路的定子201。搬送系统1是利用可动磁铁型线性马达(可动永久磁铁型线性马达、可动磁场型线性马达)的搬送系统。进而，搬送系统1构成为不具有线性导轨等引导装置地在定子201上以非接触方式搬送动子101的磁悬浮型的搬送系统。

搬送系统1例如通过由定子201搬送动子101，将动子101上的工件102搬送至对工件102实施加工作业的工序装置。通过对工件实施加工作业，能够制造高精度的物品。另外，在图1A以及图1B中，相对于定子201示出了一台动子101，但并不限定于此。在搬送系统1中，可在定子201上搬送多台动子10。

在此，对以下说明中使用的坐标轴、方向等进行定义。首先，沿着动子101的搬送方向即水平方向取X轴，将动子101的搬送方向设为X方向。另外，沿着与X方向正交的方向即垂直方向取Z轴，将垂直方向设为Z方向。另外，沿着与X方向以及Z方向正交的方向取Y轴，将与X方向以及Z方向正交的方向设为Y方向。进而，将绕X轴的旋转设为Wx，将绕Y轴、Z轴的旋转分别设为Wy、Wz。另外，作为乘法的记号使用“＊”。另外，将动子101的中心记载为原点O，将Y+侧记载为R侧，将Y－侧记载为L侧。另外，动子101的搬送方向不必为水平方向，而在该场合也能够将搬送方向作为X方向地同样确定Y方向以及Z方向。

接下来，使用图1A、图1B以及图2对根据本实施方式的搬送系统1中的搬送对象即动子101进行说明。图2是示出根据本实施方式的搬送系统1中的动子101以及定子201的概略图。另外，图2是从X方向观看动子101以及定子201的图。另外，图2的左半部分示出沿着图1B的(A)-(A)线的剖面(A)。另外，图2的右半部分示出沿着图1B的(B)-(B)线的剖面(B)。

如图1A、图1B以及图2所示那样，动子101作为永久磁铁103而具有永久磁铁103aR、103bR、103cR、103dR、103aL、103bL、103cL、103dL。

永久磁铁103在动子101的沿着X方向的上表面的L侧及R侧的端部配置两列地被安装。具体来讲，在动子101的上表面的R侧安装永久磁铁103aR、103bR、103cR、103dR。另外，在动子101的上表面的L侧安装永久磁铁103aL、103bL、103cL、103dL。另外，以下，只要不需要特别区分，就将动子101的永久磁铁简记为“永久磁铁103”。另外，虽无需区分R侧和L侧，但在需要单独确定各永久磁铁103的场合，使用从针对各永久磁铁103的附图标记的末尾起至作为除了R或L以外的标识符的小文字的拉丁字母为止的附图标记来单独确定各永久磁铁103。在该场合，标记为“永久磁铁103a”、“永久磁铁103b”、“永久磁铁103c”或“永久磁铁103d”地来单独确定各永久磁铁103。

永久磁铁103aR、103dR安装在动子101的沿着X方向的上表面的R侧的X方向的一个端部以及另一个端部。永久磁铁103bR、103cR安装在动子101的上表面的R侧的永久磁铁103aR、103dR间。永久磁铁103aR、103bR、103cR、103dR例如在X方向等间距地配置。另外，永久磁铁103aR、103bR、103cR、103dR配置成各自的中心排列在例如从动子101的上表面的中心朝R侧离开规定距离rx3的沿着X方向的直线上。

永久磁铁103aL、103dL安装在动子101的沿着X方向的上表面的L侧的X方向的一个端部以及另一个端部。永久磁铁103bL、103cL安装在动子101的上表面的L侧的永久磁铁103aL、103dL间。永久磁铁103aL、103bL、103cL、103dL例如在X方向等间距地配置。另外，永久磁铁103aL、103bL、103cL、103dL配置成各自的中心排列在例如从动子101的上表面的中心朝L侧离开规定距离rx3的沿着X方向的直线上。进而，永久磁铁103aL、103bL、103cL、103dL在X方向分别配置在与永久磁铁103aR、103bR、103cR、103dR相同的位置上。

永久磁铁103a、103d分别被安装在从动子101的中心即原点O朝X方向的一侧以及另一侧离开距离rz3的位置上。永久磁铁103a、103b、103c、103d分别被安装在从原点O朝Y方向离开距离rx3的位置上。永久磁铁103c、103b分别被安装在从原点O朝X方向的一方以及另一侧离开距离ry3的位置上。

永久磁铁103aR、103dR、103aL、103dL分别是沿着Y方向配置的两个永久磁铁的成套组合。永久磁铁103a、103d分别构成为以朝着定子201侧的外侧的磁极的极性交替不同的方式沿Y方向排列两个永久磁铁。另外，构成永久磁铁103a、103d的沿着Y方向配置的永久磁铁的数量并不限定于两个，只要是多个即可。另外，构成永久磁铁103a、103d的永久磁铁的配置方向无需是与搬送方向即X方向正交的Y方向，只要是与X方向交叉的方向即可。即，永久磁铁103a、103d只要分别是由以磁极的极性交替变化的方式沿着与X方向交叉的方向配置的多个永久磁铁构成的磁铁群即可。

另一方面，永久磁铁103bR、103cR、103bL、103cL分别是沿着Y方向配置的三个永久磁铁的成套组合。永久磁铁103b、103c分别构成为以朝着定子201侧的外侧的磁极的极性交替地不同的方式沿X方向排列三个永久磁铁。另外，构成永久磁铁103b、103c的沿着X方向配置的永久磁铁的数量并不限定于三个，只要是多个即可。即，永久磁铁103b、103c只要是由以磁极的极性交替变化的方式沿X方向配置的多个永久磁铁构成的磁铁群即可。

各永久磁铁103被安装在设于动子101的上表面的R侧以及L侧的磁轭107上。磁轭107由透磁率大的物质例如铁构成。

这样，在动子101上，将动子101的沿着X轴的中心轴作为对称轴，多个永久磁铁103在上表面的R侧以及L侧对称地配置。配置有永久磁铁103的动子101构成为通过像后述那样由永久磁铁103从定子201的多个线圈202接受的电磁力对姿势进行六轴控制，同时能够移动。

动子101能够沿着沿X方向配置两列的多个线圈202在X方向移动。动子101以在其上表面或下表面载置或安装了应搬送的工件102的状态被搬送。动子101例如也可以具有工件支架等将工件102保持在动子101上的保持机构。

接下来，使用图1A、图2以及图3对根据本实施方式的搬送系统1中的定子201进行说明。

图3是示出定子201的线圈202的概略图。另外，图3是从Y方向观看线圈202的图。

定子201具有沿着动子101的搬送方向即X方向配置成两列的多个线圈202。在定子201上，以分别从上表面的R侧以及L侧起与动子101相向的方式安装有多个线圈202。定子201a、201b在搬送方向即X方向延伸而形成动子101的搬送路。

沿着定子201被搬送的动子101具有线性标度104、Y标靶105和Z标靶106。线性标度104，Y标靶105以及Z标靶106分别例如在动子101的底部沿着X方向被安装。Z标靶106分别安装于线性标度104以及Y标靶105的两侧。

如图2所示那样，定子201具有多个线圈202、多个线性编码器204、多个Y传感器205和多个Z传感器206。

多个线圈202以能与动子101的上表面的R侧以及L侧的永久磁铁103相向的方式，沿着X方向配置成两列地安装于定子201。在R侧配置成一列的多个线圈202能够与动子101的R侧的永久磁铁103aR、103bR、103cR、103dR相向地沿着X方向配置。另外，在L侧配置成一列的多个线圈202的与动子相向的面，能够与动子101的L侧的永久磁铁103aL、103bL、103cL、103dL相向地沿着X方向配置。

在本实施方式中，动子101的R侧以及L侧的线圈202的列分别配置成能够跟相互构成的多个永久磁铁的配置方向不同的永久磁铁103a、103d以及永久磁铁103b、103c相向。因而，利用少列数的线圈202，能像后述那样对动子101施加搬送方向以及与搬送方向不同方向的力，从而能够实现动子101的搬送控制以及姿势控制。

这样，多个线圈202沿着动子101的搬送方向被安装。多个线圈202在X方向以规定间隔排列。另外，各线圈202以其中心轴朝向Y方向的方式被安装。另外，线圈202在芯上卷绕线圈，在本实施方式中，所谓线圈的位置是指芯的位置。

多个线圈202例如按照每三个一组的单位受到电流控制。将这样的线圈202受到通电控制的单位记载为“线圈单元203”。线圈202可通过通电，在与动子101的永久磁铁103之间产生电磁力而对动子101施加力。

线圈单元203可以按照每单个线圈单元或每多个线圈单元，如图1A所示那样被收容在线圈箱2031之中，按照每个线圈箱2031沿着X方向配置。在该场合，可以在与线圈箱2013邻接的线圈箱(例如图1A所示的与线圈箱2031a邻接的线圈箱2031b)之间，空开间隙S1地配置。在本实施方式中，有时将被收容在线圈箱之中的单个线圈单元或多个线圈单元称为线圈群。

图1A示出了在定子201a与定子201b之间存在例如阀门等结构物(100)的场所。也就是，示出了在生产线内或生产线之间的多个工位间无法连续地配置电磁铁及线圈的场所。即，若在真空腔室的边界配置开闭闸门的机构等，则不能够无间隙地连续配置对动子进行引导及驱动的定子或是其驱动系统。因而，当动子经过该边界时，在由定子侧的驱动系统获得的悬浮、位置控制、与推进力对应的驱动力会产生不连续点，存在动子从目标轨道偏离或产生错位或位置精度降低这样问题的危险。

在图1A中记载的是在隔着结构物的两个定子之间具有比间隙S1大的空间S2的例子，但即便在定子为一个且在线圈与线圈之间存在间隙S1以上的空间S2的场合也可发挥本发明的效果。与无法连续地配置线圈的场所邻接的线圈的位置，配置在比其他线圈的与动子相向的面202a的、动子经过时与动子之间的距离小的位置(与动子接近的位置)。可抑制因空出空间S2而导致的动子的倾斜或下落。在本实施方式中示出了两个定子201a、201b在X方向空出空间S2地配置的场合，但也可以在定子201b的与定子201a相反的那侧空出比间隙S1大的空间S3(未图示)地进一步配置定子201c(未图示)。例如，可以按照生产线的每个生产装置配置不同的定子。

在图1A、图1B中，永久磁铁103a、103d分别由在Y方向排列有两个永久磁铁的磁铁群构成。相对于此，各线圈202配置成永久磁铁103a、103d的两个永久磁铁的Y方向的中心与线圈202的Y方向的中心一致。通过对与永久磁铁103a、103d相向的线圈202通电，对永久磁铁103a、103d在Y方向产生力。

另外，永久磁铁103b、103c由在X方向排列有三个永久磁铁的磁铁群构成。通过对与永久磁铁103b、103c相向的线圈202通电，对永久磁铁103b、103c在X方向以及Z方向产生力。

图10A、图10B、图10C是用于对本实施方式进行说明的概念图。图10A是示出能够连续地配置线圈的场所的定子201与动子101的关系的图。线圈箱2032a～2032g在与其邻接的线圈箱之间空出规定间隔(间隙S1)地配置。是示出该定子201与动子101的关系的图。在图10A、图10B、图10C中，示出了空出间隔地配置线圈箱的例子，但也可以不是线圈箱而是线圈。也可以不空出规定间隔(间隙S1)而是使线圈箱彼此接触地配置。另外，若无法等间隔地配置线圈箱，则形成施加于动子101的重力与由线圈和永久磁铁103产生的吸引力平衡的状态。

图10B是示出无法配置图10A中的线圈箱2032f且空出了比规定间隔大的间隔(空间S2)的场合的定子201与动子101的关系的图。也就是，是示出了与两个邻近线圈箱之间的间隔以规定间隔S1配置的线圈箱跟与两个邻近线圈箱之间的间隔中的一方以比上述规定间隔S1大的间隔S2配置的线圈箱的关系的图。由于无法在线圈箱2032f产生吸引力，所以，施加于动子101的重力G会超过由线圈和永久磁铁103产生的吸引力。若要消除该情形，则利用控制器进行控制以便在线圈中流过更大的电流。由此，在动子上施加了T1+T2+T3的吸引力。但是，因电流增加引起的吸引力增加存在界限，难以产生与不足的重力G对应的吸引力。4×G＞3×G+(T1+T2+T3)

于是，如图10C所示那样，将与无法配置线圈箱2032f地空出的空间邻接的部分的线圈箱2032e和2032g朝动子101侧降低地配置(H)。(将与两个邻近线圈箱之间的间隔中的一方以比上述规定间隔S1大的间隔S2配置的线圈箱2032e或2032g朝动子101侧降低地配置(H)。)也就是，配置在以下位置：跟以上述规定间隔配置的线圈103的与动子101相向的面的、动子101经过时与上述动子101之间的距离相比，与上述动子101之间的距离小。将上述动子101经过与以上述大间隔配置的线圈箱相向的区域时的、以上述大间隔配置的线圈箱与上述动子101之间的距离设为A。将上述动子101经过与两个邻近线圈箱之间的间隔以上述规定间隔配置的线圈箱相向的区域时的、以上述规定间隔配置的线圈箱与上述动子101之间的距离设为B。配置成A比B小。由此，能够显著地提高吸引力。图10C的附图标记2032e的吸引力成为G、因电流增加产生的吸引力增加量T3和与线圈箱2032降低的量相应的吸引力增加量K1的合计。由此，可控制成重力与吸引力平衡。4×G＝3×G+(T1+T2+T3)+K1

由此，可不使动子101倾斜地顺畅进行搬送。

更具体来讲，使用图11A、图11B对在线圈(或是线圈箱)间存在空间的场合和使该空间的两端的线圈接近载架的场合下对动子101作用的力的大小进行说明。

图11A示出了存在线圈的空间3401的场合。TZ曲线3402示意性地示出用于维持动子101的姿势所需的朝Z方向的转矩的大小。动子101在X+方向被搬送。

此时，若动子101的前端进入空间3401的X－端(A)，则与空间3401的量对应地不对动子101作用吸引力，因而为了对此进行补偿而对线圈202作用垂直朝上的力(Tz)。将其最大值设为Tz1。

接下来，若动子101的后端临近空间3041的X－端(A)，则施加吸引力，故而Tz曲线3402接近0。

另外，Twy曲线3403是示意性地表示对动子101作用的Wy方向的转矩的大小的图。对于TWy曲线3403，若动子101的前端(X+侧)临近空间3401，则对空间3401施加的部分的吸引力不起作用，而为了对此进行补偿就需要施加WY+方向的转矩。将其最大值设为Twy1。

若空间3401的动子101之上的位置接近中央，则Twy接近0。相反，动子101的后端临近A的位置，则此次在TWy+的方向作用力，故而为了对此进行补偿而需要在载架上施加WY－方向的力。

图11B是示意性地示出空间3401的两侧的线圈202与动子101的距离接近恒定量的场合的图。

在该场合，对于TZ曲线3404，若动子101的前端(X+侧)临近线圈3501，则动子101和线圈3501以与其他线圈相比更近的量相应地在线圈3501侧接受强的吸引力。因此，为了对此进行补偿，需要施加Z－侧的转矩。

之后与图11A中所说明的同样。对于该TZ曲线3404的Z方向的转矩的最大值TZ2，若适当地设定线圈3501以及3502的X方向的宽度和与动子101接近的量，则能够使Tz2的绝对值比Tz1的绝对值小。

这样，由于能够减小用于维持动子101的姿势的Z方向的转矩的最大值，所以能够更稳定地将动子101的姿势维持成所希望的值。另外，由于能够减小Z方向的转矩的最大值，所以可获得能够减小线圈的大小、减小所施加的电流的大小及与其相伴的发热量这样的效果。

对于Wy方向的转矩，也与Z方向的转矩同样，通过使线圈3501以及3502接近动子101，能够抑制施加于动子101的Wy方向的最大值。

配置成与上述动子之间的距离变小的位置的方法可采用任意方法，但比较优选的是在定子与线圈箱之间夹入间隔件地调节高度来配置。优选的是，高度H为规定间隔S1与空间S2之差的3％以上且15％以下。若小于3％，则降低的效果小，若大于15％，则其他线圈箱与动子的间隔会变得过大，效率变差。

也可以替代使线圈箱降低的方式，而是从线圈箱朝空间S2配置由强磁性体或相对导磁率大的材料(相对导磁率为10以上的材料)构成的部件1001、1002。由此，能够增加吸引力。也就是，优选的是，在以上述大间隔配置的两个线圈之间，从上述线圈朝根据大的间隔S2形成的空间地配置磁性体的板。

若使线圈箱降低，进一步配置由强磁性体或相对导磁率大的材料(相对导磁率为10以上的材料)构成的部件1001、1002，则能够进一步增加吸引力，故而更为优选。

在本实施方式中，示出了使线圈箱降低的例子，但也可以不将线圈群收容在线圈箱中。也就是，也可以将未收容于线圈箱的线圈群朝动子侧降低地配置，还可以将线圈降低而非线圈群。

在本实施方式中对在线圈箱与线圈箱之间具有空间S2的场合进行了说明，但在线圈与线圈之间具有空间S2的场合也是相同的。另外，在线圈群与线圈群之间具有空间S2的场合也是相同的。

另外，在本实施方式中，示出了使与空间S2邻接的隔着空间S2的两侧部分的线圈箱2032e和2032g或线圈朝动子侧降低地配置的例子。但是，并不限定于此。当动子的行进方向的端部的磁铁面对空间S2时，使与配置在从动子的中心至动子的行进方向的端部的磁铁为止的区间中的磁铁面对的线圈箱中的任意一个降低，由此也可获得本发明的效果。或是，当动子的行进方向的端部的磁铁面对空间S2时，使与配置在从动子的中心至动子的行进方向的端部的磁铁为止的区间中的磁铁面对的线圈中的任意一个降低，由此也可获得本发明的效果。

多个线性编码器204分别以能够与动子101的线性标度104相向的方式沿X方向被安装于定子201。各线性编码器204通过读取被安装于动子101的线性标度104，能够检测并输出动子101相对于线性编码器204的相对位置。

多个Y传感器205分别以能够与动子101的Y标靶105相向的方式沿X方向被安装于定子201。各Y传感器205可检测并输出与被安装于动子101的Y标靶105之间的Y方向的相对距离。

多个Z传感器206分别以能够与动子101的Z标靶106相向的方式沿X方向两列地被安装于定子201。各Z传感器206可检测并输出与被安装于动子101的Z标靶106之间的Z方向的相对距离。

接下来，进一步使用图4，对根据本实施方式的控制搬送系统1的控制系统进行说明。图4是示出根据本实施方式的控制搬送系统1的控制系统3的概略图。

如图4所示那样，控制系统3具有统合控制器301、线圈控制器302和传感器控制器304，作为对包括动子101和定子201的搬送系统1进行控制的控制装置发挥功能。在统合控制器301上，可通信地连接有线圈控制器302。另外，在统合控制器301上，可通信地连接有传感器控制器304。

在线圈控制器302上，可通信地连接有多个电流控制器303。线圈控制器302以及跟其连接的多个电流控制器303与两列的线圈202的各列对应地设置。在各电流控制器303上连接有线圈单元203。电流控制器303可控制所连接的线圈单元203的各个线圈202的电流的大小。

线圈控制器302发出相对于所连接的各个电流控制器303成为目标的电流值的指令。电流控制器303控制所连接的线圈202的电流量。

线圈202以及电流控制器303被安装在搬送动子101的X方向的动子101的上表面的两侧。

在传感器控制器304上，可通信地连接有多个线性编码器204、多个Y传感器205以及多个Z传感器206。

多个线性编码器204以在动子101搬送过程中也必定能由其中的一个线性编码器来测定一台动子101的位置那样的间隔，被安装于定子201。另外，多个Y传感器205以必定能由其中的两个Y传感器来测定一台动子101的Y标靶105那样的间隔，被安装于定子201。另外，多个Z传感器206以必定能由其两列之中的三个Z传感器来测定一台动子101的Z标靶106那样的间隔，被安装于定子201。

统合控制器301基于来自线性编码器204、Y传感器205以及Z传感器206的输出，确定施加于多个线圈202的电流指令值，向线圈控制器302发送。线圈控制器302基于来自统合控制器301的电流指令值，如上述那样对电流控制器303发送电流值的指令。由此，统合控制器301作为控制装置发挥功能，沿着定子201以非接触方式搬送动子101，并且在六轴上控制所搬送的动子101的姿势。

以下，使用图5，对由统合控制器301执行的动子101的姿势控制方法进行说明。图5是示出根据本实施方式的搬送系统1中的动子101的姿势控制方法的概略图。图5有关动子101的姿势控制方法的概略情况而主要着眼于其数据的流程进行表示。统合控制器301如以下说明的那样，执行使用了动子位置算出函数401、动子姿势算出函数402、动子姿势控制函数403以及线圈电流算出函数404的处理。由此，统合控制器301在六轴上控制动子101的姿势，同时控制动子101的搬送。另外，也可替代统合控制器301而构成为由线圈控制器302执行与统合控制器301同样的处理。

首先，动子位置算出函数401根据来自多个线性编码器204的测定值以及其安装位置的信息，计算处于构成搬送路的定子201上的动子101的台数以及位置。由此，动子位置算出函数401更新与动子101相关的信息即动子信息406的动子位置信息(X)以及台数信息。动子位置信息(X)表示定子201上的动子101的搬送方向即X方向上的位置。动子信息406例如像在图5中示为POS-1、POS-2、...那样地按照定子201上的每个动子101来准备。

接着，动子姿势算出函数402根据由动子位置算出函数401更新的动子信息406的动子位置信息(X)，确定可测定各个动子101的Y传感器205以及Z传感器206。接着，动子姿势算出函数402基于从确定出来的Y传感器205以及Z传感器206输出的值，计算与各个动子101的姿势相关的信息即姿势信息(Y、Z、Wx、Wy、Wz)，更新动子信息406。由动子姿势算出函数402更新的动子信息406包含动子位置信息(X)以及姿势信息(Y、Z、Wx、Wy、Wz)。

接着，动子姿势控制函数403根据包含动子位置信息(X)以及姿势信息(Y、Z、Wx、Wy、Wz)的当前的动子信息406以及姿势目标值，针对各个动子101计算施加力信息408。施加力信息408是应施加于各个动子101的力的大小的相关信息。施加力信息408包含后述的应施加的力T的力的三轴分量(Tx、Ty、Tz)以及转矩的三轴分量(Twx、Twy、Twz)的相关信息。施加力信息408例如像在图5中示为TRQ-1、TRQ-2那样地按照定子201上的每个动子101来准备。

接着，线圈电流算出函数404基于施加力信息408以及动子信息406来确定对各线圈202施加的电流指令值409。

这样，统合控制器301通过执行使用了动子位置算出函数401、动子姿势算出函数402、动子姿势控制函数403以及线圈电流算出函数404的处理，确定电流指令值409。统合控制器301将确定出来的电流指令值409发送给线圈控制器302。

在此，使用图6对根据动子位置算出函数401的处理进行说明。图6是对根据动子位置算出函数的处理进行说明的概略图。

在图6中，基准点Oe是安装有线性编码器204的定子201的位置基准。另外，基准点Os是安装于动子101的线性标度104的位置基准。在图6中，示出了作为动子101搬送两台动子101a、101b、作为线性编码器204配置多个线性编码器204a、204b、204c的场合。另外，线性标度104在各动子101a、101b的相同位置沿X方向被安装。

例如，一个线性编码器204c与图6所示的动子101b的线性标度104相向。线性编码器204c读取动子101b的线性标度104并输出距离Pc。另外，以线性编码器204c的基准点Oe为原点的X轴上的位置为Sc。因此，动子101b的位置Pos(101b)可通过下式(1)算出。

Pos(101b)＝Sc－Pc...式(1)

例如，两个线性编码器204a、204b与图6所示的动子101a的线性标度104相向。线性编码器204a读取动子101a的线性标度104并输出距离Pa。另外，以线性编码器204a的基准点Oe为原点的X轴上的位置为Sa。因此，基于线性编码器204a的输出的动子101a的X轴上的位置Pos(101a)可通过下式(2)算出。

Pos(101a)＝Sa－Pa...式(2)

另外，线性编码器204b读取动子101b的线性标度104并输出距离Pb。另外，以线性编码器204b的基准点Oe为原点的X轴上的位置为Sb。因此，基于线性编码器204b的输出的动子101a的X轴上的位置Pos(101a)′可通过下式(3)算出。

Pos(101a)′＝Sb－Pb...式(3)

在此，各个线性编码器204a、204b的位置预先被准确地测定，故而两个值Pos(101a)、Pos(101a)′之差充分小。这样，在基于两个线性编码器204的输出的动子101的X轴上的位置之差充分小的场合，可判定为这两个线性编码器204正在观测相同的动子101的线性标度104。

另外，在多个线性编码器204与相同的动子101相向的场合，通过算出基于多个线性编码器204的输出的位置的平均值等，能够唯一地确定出所观测到的动子101的位置。

动子位置算出函数401如上述那样基于线性编码器204的输出，作为动子位置信息而算出并确定动子101的X方向上的位置X。

接下来，使用图7、图8A以及图8B，对根据动子姿势算出函数402的处理进行说明。

Wz＝(Ya－Yb)/Ly...式(4)

另外，根据动子101的位置，有时会有三个以上的Y传感器205相向。在该场合，可使用最小平方法等来算出Y标靶105的倾斜、即绕Z轴的旋转量Wz。

另外，在图8A以及图8B中，示出了作为动子101搬送动子101d、作为Z传感器206配置了Z传感器206a、206b、206c的场合。三个Z传感器206a、206b、206c与图8A以及图8B所示的动子101d的Z标靶106相向。在此，将三个Z传感器206a、206b、206c所输出的相对距离的值分别设为Za、Zb、Zc。另外，将X方向的传感器间距离、即Z传感器206a、206b间的距离设为Lz1。另外，将Y方向的传感器间距离、即Z传感器206a、206c间的距离设为Lz2。于是，绕Y轴的旋转量Wy以及绕X轴的旋转量Wx可分别通过下式(5a)以及(5b)算出。

Wy＝(Zb－Za)/Lz1...式(5a)

Wx＝(Zc－Za)/Lz2...式(5b)

动子姿势算出函数402如上述那样，作为动子101的姿势信息可算出绕各轴的旋转量Wx、Wy、Wz。

另外，动子姿势算出函数402可如以下那样，作为动子101的姿势信息算出动子101的Y方向的位置Y以及Z方向的位置Z。

首先，使用图7对动子101的Y方向的位置Y的算出进行说明。在图7中，将动子101c所涉及的两个Y传感器205分别设为Y传感器205a、205b。另外，将Y传感器205a、205b的测定值分别设为Ya、Yb。另外，将Y传感器205a的位置与Y传感器205b的位置的中点设为Oe′。进而，将通过式(1)～(3)得到的动子101c的位置设为Os′，将自Oe′至Os′为止的距离设为dX′。此时，动子101c的Y方向的位置Y可通过下式近似地计算而算出。

Y＝(Ya+Yb)/2－Wz＊dX′

接下来，使用图8A以及图8B对动子101的Z方向的位置Z的算出进行说明。将动子101d所涉及的三个Z传感器206分别设为Z传感器206a、206b、206c。另外，将Z传感器206a、206b、206c的测定值分别设为Za、Zb、Zc。另外，Z传感器206a的X坐标与Z传感器206c的X坐标相同。另外，线性编码器204处于Z传感器206a与Z传感器206c的中间的位置。另外，将Z传感器206a以及Z传感器206c的位置X设为Oe″。进而，将自Oe″至动子101的中心Os″为止的距离设为dX″。此时，动子101的Z方向的位置Z可通过下式近似地计算而算出。

Z＝(Za+Zb)/2+Wy＊dX″

另外，在位置Y以及位置Z各自的Wz、Wy的旋转量也大的场合，可进一步提高近似精度地算出。

接下来，使用图1A、图1B对根据线圈电流算出函数404的处理进行说明。另外，在以下所使用的力的表述中，分别以x、y、z表示X方向、Y方向以及Z方向的力所作用的方向，以R表示图1A、图1B中的Y+侧即R侧，以L表示Y－侧即L侧，以f表示X+侧，以b表示X－方向。

将图1A、图1B中对R侧以及L侧的各永久磁铁103作用的力分别像以下那样表述。对各永久磁铁103作用的力是永久磁铁103从被施加了电流的多个线圈202接受的电磁力。永久磁铁103从被施加了电流的多个线圈202，除了接受动子101的搬送方向即X方向的电磁力以外，还接受与X方向不同的方向即Y方向以及Z方向的电磁力。

对R侧的永久磁铁103作用的力的表述分别如下所示。

FzfR：对R侧的永久磁铁103aR在Z方向作用的力

FxfR：对R侧的永久磁铁103bR在X方向作用的力

FyfR：对R侧的永久磁铁103bR在Y方向作用的力

FxbR：对R侧的永久磁铁103cR在X方向作用的力

FybR：对R侧的永久磁铁103cR在Y方向作用的力

FzbR：对R侧的永久磁铁103dR在Z方向作用的力

对L侧的永久磁铁103作用的力的表述分别如下所示。

FzfL：对L侧的永久磁铁103aL在Z方向作用的力

FxfL：对L侧的永久磁铁103bL在X方向作用的力

FyfL：对L侧的永久磁铁103bL在Y方向作用的力

FxbL：对L侧的永久磁铁103cL在X方向作用的力

FybL：对L侧的永久磁铁103cL在Y方向作用的力

FzbL：对L侧的永久磁铁103dL在Z方向作用的力

另外，对动子101施加的力T由下式(6)表述。另外，Tx、Ty、Tz是力的三轴分量，分别是力的X方向分量、Y方向分量以及Z方向分量。另外，Twx、Twy、Twz是力矩的三轴分量，分别是力矩的绕X轴分量、绕Y轴分量以及绕Z轴分量。根据本实施方式的搬送系统1通过控制这些力T的六轴分量(Tx、Ty、Tz、Twx、Twy、Twz)，在六轴上控制动子101的姿势，同时控制动子101的搬送。

T＝(Tx、Ty、Tz、Twx、Twy、Twz)...式(6)

于是，Tx、Ty、Tz、Twx、Twy、Twz分别由下式(7a)、(7b)、(7c)、(7d)、(7e)以及(7f)算出。

Tx＝FxfR+FxbR+FxfL+FxbL...式(7a)

Ty＝FyfL+FyfR+FybL+FybR...式(7b)

Tz＝FzbR+FzbL+FzfR+FzfL...式(7c)

Twx＝{(FzfL+FzbL)－(FzfR+FzbR)}＊rx3...式(7d)

Twy＝{(FzfL+FzfR)－(FzbL+FzbR)}＊ry3...式(7e)

Twz＝{(FyfL+FyfR)－(FybL+FybR)}＊rz3...式(7f)

此时，关于对永久磁铁103作用的力，可导入由下式(7g)、(7h)、(7i)以及(7j)表示的限制。通过导入这些限制，能够唯一地确定出用于获得具有规定的六轴分量的力T的对各永久磁铁103作用的力的组合。

FxfR＝FxbR＝FxfL＝FxbL...式(7g)

FyfL＝FyfR...式(7h)

FybL＝FybR...式(7i)

FzbR＝FzbL...式(7j)

接下来，对线圈电流算出函数404根据作用于各永久磁铁103的力来确定对各线圈202施加的电流量的方法进行说明。

首先，对将Z方向的力施加于N极以及S极的极性在Z方向交替地排列的永久磁铁103a、103d的场合进行说明。另外，线圈202配置成其Z方向的中心位于永久磁铁103a、103d的Z方向的中心。由此，基本不会产生对永久磁铁103a、103d在X方向以及Y方向作用的力。

将X作为动子101的位置，将j作为排成列的线圈202的序号，将每单位电流的线圈202(j)在Z方向作用的力的大小设为Fz(j,X)，将施加于线圈202(j)的电流设为i(j)。另外，线圈202(j)是第j个线圈202。在该场合，电流i(j)可确定成满足下式(8)。另外，下式(8)是有关永久磁铁103dR的式子。对于其他的永久磁铁103aR、103aL、103dL也同样地可确定施加于线圈202的电流。

ΣFz(j,X)＊i(j)＝FzbR...式(8)

线圈电流算出函数404可如上述那样确定施加于线圈202(j)的电流指令值。利用根据这样确定出的电流指令值而施加于动子101的Z方向的力，动子101可获得在Z方向悬浮的悬浮力，并且其姿势得到控制。

另外，在多个线圈202对永久磁铁103施加力的场合，对应于各线圈202所施加的力，以每单位电流的力的大小来按比例分配电流，从而可唯一地确定作用于永久磁铁103的力。

另外，如图1A、图1B所示那样，永久磁铁103对称地配置在动子101的L侧以及R侧。通过这样的永久磁铁103的对称配置，能够以L侧以及R侧的力来抵消作用于永久磁铁103的多分量的力例如作用于永久磁铁103a、103d的Wx的力、即绕X轴的力矩分量。其结果，可以进行更高精度的动子101的姿势控制。

接下来，对针对N极、S极及N极的极性在X方向交替地排列的永久磁铁103b在X方向以及Y方向上独立地施加力的方法进行说明。图9是对针对永久磁铁103b在X方向以及Y方向上独立地施加力的方法进行说明的概略图。线圈电流算出函数404如以下那样，为了针对永久磁铁103b在X方向以及Y方向上独立地施加力，确定施加于线圈202的电流指令值。另外，对于永久磁铁103c，也与永久磁铁103b同样地可在X方向以及Y方向独立地施加力。

将X作为动子101的位置，将j作为排成列的线圈202的序号，将每单位电流的线圈202(j)在X方向以及Y方向作用的力的大小分别设为Fx(j,X)以及Fy(j,X)。另外，将线圈202(j)的电流的大小设为i(j)。另外，线圈202(j)是第j个线圈202。

图9中的上段的图是在横向取X轴而在纵向取Y轴、去掉与永久磁铁103bR相向的六个线圈202来进行表示的图。图9中的中段的图是从Y方向观看图9中的上段的图的图。对线圈202按照在X方向排列的顺序标注1至6的序号j，以下例如像线圈202(1)那样表述来确定各线圈202。

如图9中的上段以及中段的图所示那样，线圈202以距离L的间距配置。另一方面，动子101的永久磁铁103以距离3/2＊L的间距配置。

图9中的下段的曲线图是示意性地示出针对图9中的上段以及中段的图所示的各个线圈202施加了单位电流时产生的X方向的力Fx以及Z方向的力Fz的大小的曲线图。

为了简单起见，在图9中，将线圈202的X方向的位置的原点Oc设为线圈202(3)与线圈202(4)的中间，将永久磁铁103bR的X方向的中心Om设为原点。因而，图9示出了Oc与Om一致的场合、即X＝0的场合。

此时，例如对线圈202(4)作用的每单位电流的力是在X方向为Fx(4,0)且在Z方向为Fz(4,0)的大小。另外，对线圈202(5)作用的每单位电流的力是在X方向为Fx(5,0)且在Z方向为Fz(5,0)的大小。

在此，将施加于线圈202(1)～202(6)的电流值分别设为i(1)～i(6)。于是，针对永久磁铁103bR在X方向作用的力的大小FxfR以及在Y方向作用的力的大小FzfR，一般来讲分别由下式(9)以及(10)表示。

FxfR＝Fx(1,X)＊i(1)+Fx(2,X)＊i(2)+Fx(3,X)＊i(3)+Fx(4,X)＊i(4)+Fx(5,X)＊i(5)+Fx(6,X)＊i(6)...式(9)

FzfR＝Fz(1,X)＊i(1)+Fz(2,X)＊i(2)+Fz(3,X)＊i(3)+Fz(4,X)＊i(4)+Fz(5,X)＊i(5)+Fz(6,X)＊i(6)...式(10)

通过确定电流指令值以便分别对线圈202(1)～202(6)施加满足上述式(9)以及(10)的电流值i(1)～i(6)，可针对永久磁铁103bR在X方向以及Z方向独立地施加力。线圈电流算出函数404可确定出为了对永久磁铁103在X方向以及Z方向独立地施加力而如上述那样对线圈202(j)施加的电流指令值。

为了更为简单，可考虑以下述场合为例：在图9所示的场合，针对永久磁铁103bR仅使用线圈202(1)～202(6)之中的线圈202(3)、202(4)、202(5)，进而控制成它们三个的电流值的总和为0。在该例的场合，针对永久磁铁103bR在X方向作用的力FxfR以及在Z方向作用的力FzfR分别由下式(11)以及(12)表示。

FxfR＝Fx(3,X)＊i(3)+Fx(4,X)＊i(4)+Fx(5,X)＊i(5)...式(11)

FzfR＝Fz(3,X)＊i(3)+Fz(4,X)＊i(4)+Fz(5,X)＊i(5)...式(12)

另外，线圈202(1)～202(6)的电流值能够设定成满足下式(13)以及(14)。

i(3)+i(4)+i(5)＝0...式(13)

i(1)＝i(2)＝i(6)＝0...式(14)

因此，在针对永久磁铁103bR确定了必要的力的大小(FxfR、FzfR)的场合，能够唯一地确定出电流值i(1)、i(2)、i(3)、i(4)、i(5)以及i(6)。根据这样确定的电流指令值，对动子101在X方向以及Z方向施加力。利用对动子101施加的X方向的力，动子101获得在X方向移动的推进力而在X方向移动。另外，利用根据这样确定的电流指令值而施加于动子101的X方向以及Z方向的力，动子101的姿势得到控制。

这样，统合控制器301通过对施加于多个线圈202的电流进行控制，对施加于动子101的力的六轴分量分别进行控制。

另外，在通过动子101的搬送而线圈202的中心Oc相对于永久磁铁103bR的中心Om移动了的场合，即X≠0的场合，可选择与移动后的位置对应的线圈202。进而，可基于产生于线圈202的每单位电流的力，执行与上述同样的计算。

如上述那样，统合控制器301通过确定施加于多个线圈202的电流的电流指令值来进行控制，在六轴上控制定子201上的动子101的姿势，同时控制动子101以非接触方式在定子201上的搬送。即，统合控制器301作为控制动子101的搬送的搬送控制机构发挥功能，通过控制由永久磁铁103从多个线圈202接受的电磁力，控制定子201上的动子101的非接触方式的搬送。另外，统合控制器301作为控制动子101的姿势的姿势控制机构发挥功能，在六轴上控制定子201上的动子101的姿势。另外，作为控制装置的统合控制器301的功能的全部或是一部分可以由线圈控制器302及其他控制装置代替。

[第2实施方式]

在第1实施方式中示出了将线圈或线圈箱降低的例子，而在第2实施方式中示出了在两个工位3001a以及3001b之间配置由强磁性体或相对导磁率大的材料(相对导磁率为10以上的材料)构成的部件1001b的例子。既可以替代将线圈、线圈群或线圈箱降低的方式而在工位间配置部件1001b，也可以同时进行降低以及部件1001b的配置。此外的构成与第1实施方式同样而省略详细的说明。在本实施方式中示出了工位为腔室的例子。在图12中，两个腔室3001a以及3001b分别在真空腔室中与未图示的真空泵连接，维持成适当的真空度。

在两个腔室3001a以及3001b之间，设有闸阀3002和用于使其移动的闸阀升降部3003，发挥将两侧的腔室3001a以及3001b的环境分离开的作用。

闸阀3002在维护等时机下降，而在搬送动子101的期间上升。

在闸阀3002的下表面安装有由强磁性体或相对导磁率大的材料(相对导磁率为10以上的材料)构成的部件1001b，固定于在与动子101的上方的永久磁铁103之间作用吸引力的位置。

通过这样构成，在空间3004中对动子101施加吸引力，故而可更稳定地搬送动子101。

[第3实施方式]

在第1实施方式中示出了将线圈、线圈群或线圈箱降低的例子，而在第3实施方式中示出了改变芯的大小的例子。既可以替代将线圈、线圈群或线圈箱降低的方式而改变芯的大小，也可以同时进行降低以及芯的大小变更。此外的构成与第1实施方式同样而省略详细的说明。

在图13A中示出了芯3014的大小不同的两种线圈3101以及3102。线圈3101以及3102由芯3104和绕组3013构成。线圈3102的芯3104设计成比线圈3101的芯3104大。通过这样构成，线圈3102的磁阻小于线圈3101的磁阻，因而可获得更大的吸引力。

图13B是由线圈3101以及3102构成的搬送路。在搬送路中具有空间3103。在靠近空间3103的那侧(第1实施方式中将线圈或线圈箱降低的部分)，配置芯比除此以外的部分的线圈3101大的线圈3012。

通过这样构成，可获得与通过将线圈或线圈箱降低而得到的效果同样的效果。也就是，可稳定且顺畅地以非接触方式搬送动子。

尽管已经参考示例性实施方式描述了本发明，但是应当理解本发明不限于所公开的示例性实施方式。所附权利要求书的范围应被赋予最宽泛的解释，以涵盖所有这样的修改以及等同的结构和功能。

本申请要求申请号为2018-230243且申请日为2018/12/07的日本专利申请以及申请号为2019-202780且申请日为2019/11/07的日本专利申请的权益，在此通过引用而将它们整体加入本文。

Claims (14)

1.一种搬送装置，该搬送装置是不具有线性导轨的磁悬浮型的搬送装置，其特征在于，具有：

沿着第1方向配置的多个线圈；以及

沿着上述多个线圈移动的动子，

上述多个线圈具有与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈、以及与两个邻近的线圈之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈，

配置成以下位置关系：上述动子经过跟以上述大间隔配置的线圈相向的区域时的、以上述大间隔配置的线圈与上述动子之间的距离，比上述动子经过跟与两个邻近的线圈之间的间隔以上述规定间隔配置的线圈相向的区域时的、以上述规定间隔配置的线圈与上述动子之间的距离小。

2.如权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，

在以上述大间隔配置的线圈之间，配置有强磁性体或相对导磁率为10以上的部件。

3.如权利要求2所述的搬送装置，其特征在于，

上述强磁性体或相对导磁率为10以上的部件从上述线圈朝由上述大间隔形成的空间地配置。

4.如权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，

以上述大间隔配置的线圈的、在上述动子经过时与上述动子之间的距离，相比以上述规定间隔配置的线圈的跟动子相向的面的、在上述动子经过时与上述动子之间的距离，小了上述规定间隔与上述大间隔之差的3％以上且15％以下的距离。

5.如权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，

上述动子具有沿着第1方向配置的第1磁铁群和沿着与上述第1方向交叉的第2方向配置的第2磁铁群。

6.如权利要求5所述的搬送装置，其特征在于，

上述第1磁铁群以及上述第2磁铁群配置在上述动子的上表面。

7.如权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，

上述的与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈的芯，比上述的与两个邻近的线圈之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈的芯小。

8.一种搬送装置，该搬送装置是不具有线性导轨的磁悬浮型的搬送装置，其特征在于，具有：

沿着第1方向配置的收容有多个线圈的多个线圈箱；以及

沿着上述多个线圈箱移动的动子，

上述多个线圈箱具有与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈箱、以及与两个邻近线圈箱之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈箱，

配置成以下位置关系：上述动子经过跟以上述大间隔配置的线圈箱相向的区域时的、以上述大间隔配置的线圈箱与上述动子之间的距离，比上述动子经过跟与两个邻近的线圈箱之间的间隔以上述规定间隔配置的线圈箱相向的区域时的、以上述规定间隔配置的线圈箱与上述动子之间的距离小。

9.如权利要求8所述的搬送装置，其特征在于，

在以上述大间隔配置的线圈箱之间，配置有强磁性体或相对导磁率为10以上的部件。

10.如权利要求9所述的搬送装置，其特征在于，

上述强磁性体或相对导磁率为10以上的部件从上述线圈箱朝由上述大间隔形成的空间地配置。

11.如权利要求8所述的搬送装置，其特征在于，

上述两个线圈箱的、在上述动子经过时与上述动子之间的距离，相比以上述规定间隔配置的线圈箱的跟动子相向的面的、在上述动子经过时与上述动子之间的距离，小了上述规定间隔与上述大间隔之差的3％以上且15％以下的距离。

12.如权利要求8所述的搬送装置，其特征在于，

上述动子具有沿着第1方向配置的第1磁铁群和沿着与上述第1方向交叉的第2方向配置的第2磁铁群。

13.如权利要求12所述的搬送装置，其特征在于，

上述第1磁铁群以及上述第2磁铁群配置在上述动子的上表面。

14.一种物品制造方法，其特征在于，

对利用权利要求1所述的搬送装置搬送来的工件进行加工，从而制造物品。