JPH05184012A - 磁気浮上式搬送装置 - Google Patents
磁気浮上式搬送装置Info
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- JPH05184012A JPH05184012A JP35783391A JP35783391A JPH05184012A JP H05184012 A JPH05184012 A JP H05184012A JP 35783391 A JP35783391 A JP 35783391A JP 35783391 A JP35783391 A JP 35783391A JP H05184012 A JPH05184012 A JP H05184012A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 浮上用レールの水平方向に対する傾斜による
スライダ停止時の位置ずれを防止する。 【構成】 浮上用レール２Ｒ，２Ｌと、この浮上用レー
ルに沿って架設された案内用レール３Ｒ，３Ｌと、スラ
イダ５に設けられ浮上用レールの下面との間の垂直ギャ
ップに応じて浮上用レールを磁気的に吸引しスライダの
幅方向へ移動を規制しつつスライダを浮上させる浮上／
案内用電磁石Ｍ1〜Ｍ4と、スライダに設けられ案内用レ
ールの側面との間の水平ギャップに応じて案内用レール
を磁気的に吸引しスライダの幅方向への移動を規制する
案内用電磁石ｍ1〜ｍ4とを具備する磁気浮上式搬送装置
において、浮上用レールの水平方向に対する傾斜角度を
検出しこの検出結果に基づいてスライダが水平方向に向
くように浮上／案内電磁石を駆動制御する。
スライダ停止時の位置ずれを防止する。 【構成】 浮上用レール２Ｒ，２Ｌと、この浮上用レー
ルに沿って架設された案内用レール３Ｒ，３Ｌと、スラ
イダ５に設けられ浮上用レールの下面との間の垂直ギャ
ップに応じて浮上用レールを磁気的に吸引しスライダの
幅方向へ移動を規制しつつスライダを浮上させる浮上／
案内用電磁石Ｍ1〜Ｍ4と、スライダに設けられ案内用レ
ールの側面との間の水平ギャップに応じて案内用レール
を磁気的に吸引しスライダの幅方向への移動を規制する
案内用電磁石ｍ1〜ｍ4とを具備する磁気浮上式搬送装置
において、浮上用レールの水平方向に対する傾斜角度を
検出しこの検出結果に基づいてスライダが水平方向に向
くように浮上／案内電磁石を駆動制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、スライダが搬送路に沿
って浮上した状態で走行して、物品等の搬送を行う磁気
浮上式搬送装置に関する。
って浮上した状態で走行して、物品等の搬送を行う磁気
浮上式搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体集積回路の高集積化、極微
細化に伴い、それを製造するクリーンルームには高クリ
ーン度が要求されている。このようなクリーンルーム内
において、シリコンウエハ等を搬送する搬送装置には、
塵埃の発生を極力抑える必要上、台車が搬送路上を浮上
した状態で、すなわち非接触で走行する磁気浮上式搬送
装置が理想的であるとして注目されている。
細化に伴い、それを製造するクリーンルームには高クリ
ーン度が要求されている。このようなクリーンルーム内
において、シリコンウエハ等を搬送する搬送装置には、
塵埃の発生を極力抑える必要上、台車が搬送路上を浮上
した状態で、すなわち非接触で走行する磁気浮上式搬送
装置が理想的であるとして注目されている。
【０００３】図４〜図８は、各々従来の磁気浮上式搬送
装置の一例を示す図である。これらの図において、１は
搬送路に沿って設けられた箱状のフレームであり、その
上面には、搬送路に沿って延びる開口部１ａが形成され
ている。
装置の一例を示す図である。これらの図において、１は
搬送路に沿って設けられた箱状のフレームであり、その
上面には、搬送路に沿って延びる開口部１ａが形成され
ている。
【０００４】このフレーム１の天井面には、鋼材によっ
て構成された１対の案内用レール３Ｌ，３Ｒが各々架設
されている。５は搬送路上を走行するスライダであり、
このスライダ５には、図７に示すように浮上用レール２
Ｌ，２Ｒの各下面と各々対向する４個の浮上／案内用電
磁石Ｍ1〜Ｍ4と、案内用レール３Ｌ，３Ｒの各側面と各
々対向する４個の案内用電磁石ｍ1〜ｍ4とが設けられて
いる。
て構成された１対の案内用レール３Ｌ，３Ｒが各々架設
されている。５は搬送路上を走行するスライダであり、
このスライダ５には、図７に示すように浮上用レール２
Ｌ，２Ｒの各下面と各々対向する４個の浮上／案内用電
磁石Ｍ1〜Ｍ4と、案内用レール３Ｌ，３Ｒの各側面と各
々対向する４個の案内用電磁石ｍ1〜ｍ4とが設けられて
いる。
【０００５】浮上／案内用電磁石Ｍ1〜Ｍ4が浮上用レー
ル２Ｌ，２Ｒの下面を磁気的に吸引することにより、ス
ライダ５が浮上し、さらに、浮上用レール２Ｌ，２Ｒの
幅寸法の範囲内で、その幅方向への移動が規制される。
さらに、案内用電磁石ｍ1〜ｍ4が、案内用レール３Ｌ，
３Ｒの各側面を磁気的に吸引することによりスライダ５
の幅方向の移動が強固に規制される。
ル２Ｌ，２Ｒの下面を磁気的に吸引することにより、ス
ライダ５が浮上し、さらに、浮上用レール２Ｌ，２Ｒの
幅寸法の範囲内で、その幅方向への移動が規制される。
さらに、案内用電磁石ｍ1〜ｍ4が、案内用レール３Ｌ，
３Ｒの各側面を磁気的に吸引することによりスライダ５
の幅方向の移動が強固に規制される。
【０００６】また、スライダ５には、充電式のバッテリ
（図示略）と、図７に示すように浮上／案内用電磁石Ｍ
1〜Ｍ4の浮上用レール２Ｌ，２Ｒの各下面に対する垂直
方向の位置を検出するギャップセンサＳ1〜Ｓ4と、案内
用電磁石ｍ1〜ｍ4の案内用レール３Ｌ，３Ｒの各側面に
対する水平方向の位置を検出するギャップセンサＳ5〜
Ｓ8とがそれぞれ設けられている。
（図示略）と、図７に示すように浮上／案内用電磁石Ｍ
1〜Ｍ4の浮上用レール２Ｌ，２Ｒの各下面に対する垂直
方向の位置を検出するギャップセンサＳ1〜Ｓ4と、案内
用電磁石ｍ1〜ｍ4の案内用レール３Ｌ，３Ｒの各側面に
対する水平方向の位置を検出するギャップセンサＳ5〜
Ｓ8とがそれぞれ設けられている。
【０００７】さらに、各ギャップセンサＳ1〜Ｓ8の検出
信号に基づいてバッテリーから浮上／案内用電磁石Ｍ1
〜Ｍ4および案内用電磁石ｍ1〜ｍ4に各々供給される励
磁電流を制御し、垂直方向の位置および水平方向の位置
を常に一定とする電流制御回路６（図８）が設けられて
いる。
信号に基づいてバッテリーから浮上／案内用電磁石Ｍ1
〜Ｍ4および案内用電磁石ｍ1〜ｍ4に各々供給される励
磁電流を制御し、垂直方向の位置および水平方向の位置
を常に一定とする電流制御回路６（図８）が設けられて
いる。
【０００８】ここで、スライダ５には、Ｚ1，Ｚ2，Θ
x，Ｙ1，Ｙ2の合計５つの制御軸が設定されており、各
軸の制御系は図８に示すようになっている。この場合、
この制御系はＺ1軸の場合を示すもので、ギャップセン
サＳ1，Ｓ4の各出力の加算値がギャップ指令値ＲＺ1と
比較され、その結果が電流制御回路６に供給された後、
電流指令値として出力される。そして、この電流指令値
により各電磁石へ供給される電流が制御され、スライダ
５が一定の浮上量に制御される。なお、図９に他の各制
御軸とそのフィードバック入力との関係を示す。
x，Ｙ1，Ｙ2の合計５つの制御軸が設定されており、各
軸の制御系は図８に示すようになっている。この場合、
この制御系はＺ1軸の場合を示すもので、ギャップセン
サＳ1，Ｓ4の各出力の加算値がギャップ指令値ＲＺ1と
比較され、その結果が電流制御回路６に供給された後、
電流指令値として出力される。そして、この電流指令値
により各電磁石へ供給される電流が制御され、スライダ
５が一定の浮上量に制御される。なお、図９に他の各制
御軸とそのフィードバック入力との関係を示す。
【０００９】図６に戻り、フレーム１の内底面には、リ
ニアインダクションモータの一次側コイル７，７，…が
所定間隔を隔てて取付けられており、スライダ５には一
次側コイル７と所定のギャップを隔てて上下に対向する
二次側導体８が取付けられている。
ニアインダクションモータの一次側コイル７，７，…が
所定間隔を隔てて取付けられており、スライダ５には一
次側コイル７と所定のギャップを隔てて上下に対向する
二次側導体８が取付けられている。
【００１０】この場合、二次側導体８としては、鉄心が
ある場合と無い場合とがある。さらに、スライダ５の上
面には支柱９を介して荷台１０が取付けられ、この荷台
１０上に荷物１１が積載されている。
ある場合と無い場合とがある。さらに、スライダ５の上
面には支柱９を介して荷台１０が取付けられ、この荷台
１０上に荷物１１が積載されている。
【００１１】このような構成において、浮上／案内用電
磁石Ｍ1〜Ｍ4および案内用電磁石ｍ1〜ｍ4に対して励磁
電流が供給されると、スライダ５が浮上し、一方、リニ
アインダクションモータの一次側コイル７に交流電流が
供給されると、この一次側コイル７上に図に示す矢印Ｆ
方向の進行磁界が発生し、これによりスライダ５が一次
側コイル７の上方を通過する毎に矢印Ｆ方向に加速さ
れ、その他の区間においては惰性により走行する。この
結果、スライダ５は浮上した状態で加速と惰性走行を交
互に繰返しながら連続的に走行する。
磁石Ｍ1〜Ｍ4および案内用電磁石ｍ1〜ｍ4に対して励磁
電流が供給されると、スライダ５が浮上し、一方、リニ
アインダクションモータの一次側コイル７に交流電流が
供給されると、この一次側コイル７上に図に示す矢印Ｆ
方向の進行磁界が発生し、これによりスライダ５が一次
側コイル７の上方を通過する毎に矢印Ｆ方向に加速さ
れ、その他の区間においては惰性により走行する。この
結果、スライダ５は浮上した状態で加速と惰性走行を交
互に繰返しながら連続的に走行する。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の磁気浮上式搬送装置にあっては、ギャップセンサＳ
1，Ｓ4からの各出力とギャップセンサＳ2，Ｓ3からの各
出力とが等しくなるようにしてスライダ５の垂直方向の
制御を行っている。しかしながら、浮上用レール２Ｌ，
２Ｒが水平方向に対して傾斜している場合には、この傾
斜に合せてスライダ５も傾斜するので、停止する際にそ
の傾斜方向へずれるという問題がある。
来の磁気浮上式搬送装置にあっては、ギャップセンサＳ
1，Ｓ4からの各出力とギャップセンサＳ2，Ｓ3からの各
出力とが等しくなるようにしてスライダ５の垂直方向の
制御を行っている。しかしながら、浮上用レール２Ｌ，
２Ｒが水平方向に対して傾斜している場合には、この傾
斜に合せてスライダ５も傾斜するので、停止する際にそ
の傾斜方向へずれるという問題がある。
【００１３】本発明は上述した事情に鑑みてなされたも
ので、浮上用レール２Ｌ，２Ｒが水平方向に対して傾斜
している場合であっても、スライダ５の停止時における
位置ずれが生じない磁気浮上式搬送装置を提供すること
を目的としている。
ので、浮上用レール２Ｌ，２Ｒが水平方向に対して傾斜
している場合であっても、スライダ５の停止時における
位置ずれが生じない磁気浮上式搬送装置を提供すること
を目的としている。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
請求項１記載の磁気浮上式搬送装置は、搬送路に沿って
架設された所定の幅寸法の浮上用レールと、前記浮上用
レールに沿って架設された案内用レールと、前記搬送路
上を走行するスライダに設けられ、前記浮上用レールの
下面との間の垂直ギャップを検出し、この垂直ギャップ
に応じて前記浮上用レールを磁気的に吸引し、前記所定
の幅寸法の範囲内で前記スライダの幅方向へ移動を規制
しつつ前記スライダを浮上させる浮上／案内力発生手段
と、前記スライダに設けられ、前記案内用レールの側面
との間の水平ギャップを検出し、この水平ギャップに応
じて前記案内用レールを磁気的に吸引し、前記スライダ
の幅方向への移動を規制する案内力発生手段とを具備す
る磁気浮上式搬送装置において、前記スライダに設けら
れ、前記浮上用レールの水平方向に対する傾斜角度を検
出する検出手段と、前記スライダに設けられ、前記検出
手段の検出結果に基づいて前記スライダが水平方向に向
くように前記浮上／案内力発生手段を制御する制御手段
とを備えることを特徴とする。
請求項１記載の磁気浮上式搬送装置は、搬送路に沿って
架設された所定の幅寸法の浮上用レールと、前記浮上用
レールに沿って架設された案内用レールと、前記搬送路
上を走行するスライダに設けられ、前記浮上用レールの
下面との間の垂直ギャップを検出し、この垂直ギャップ
に応じて前記浮上用レールを磁気的に吸引し、前記所定
の幅寸法の範囲内で前記スライダの幅方向へ移動を規制
しつつ前記スライダを浮上させる浮上／案内力発生手段
と、前記スライダに設けられ、前記案内用レールの側面
との間の水平ギャップを検出し、この水平ギャップに応
じて前記案内用レールを磁気的に吸引し、前記スライダ
の幅方向への移動を規制する案内力発生手段とを具備す
る磁気浮上式搬送装置において、前記スライダに設けら
れ、前記浮上用レールの水平方向に対する傾斜角度を検
出する検出手段と、前記スライダに設けられ、前記検出
手段の検出結果に基づいて前記スライダが水平方向に向
くように前記浮上／案内力発生手段を制御する制御手段
とを備えることを特徴とする。
【００１５】請求項２記載の磁気浮上式搬送装置は、搬
送路に沿って架設された所定の幅寸法の浮上用レール
と、前記浮上用レールに沿って架設された案内用レール
と、前記搬送路上を走行するスライダに設けられ、前記
浮上用レールの下面との間の垂直ギャップを検出し、こ
の垂直ギャップに応じて前記浮上用レールを磁気的に吸
引し、前記所定の幅寸法の範囲内で前記スライダの幅方
向へ移動を規制しつつ前記スライダを浮上させる浮上／
案内力発生手段と、前記スライダに設けられ、前記案内
用レールの側面との間の水平ギャップを検出し、この水
平ギャップに応じて前記案内用レールを磁気的に吸引
し、前記スライダの幅方向への移動を規制する案内力発
生手段とを具備する磁気浮上式搬送装置において、地上
側に設けられ、前記浮上用レールの水平方向に対する傾
斜角度を検出する検出手段と、該検出手段の検出結果を
前記スライダへ伝送する伝送手段と、前記スライダに設
けられ、前記伝送手段によって伝送された前記検出結果
に基づいて前記スライダが水平方向に向くように前記浮
上／案内力発生手段を制御する制御手段とを備えること
を特徴とする。
送路に沿って架設された所定の幅寸法の浮上用レール
と、前記浮上用レールに沿って架設された案内用レール
と、前記搬送路上を走行するスライダに設けられ、前記
浮上用レールの下面との間の垂直ギャップを検出し、こ
の垂直ギャップに応じて前記浮上用レールを磁気的に吸
引し、前記所定の幅寸法の範囲内で前記スライダの幅方
向へ移動を規制しつつ前記スライダを浮上させる浮上／
案内力発生手段と、前記スライダに設けられ、前記案内
用レールの側面との間の水平ギャップを検出し、この水
平ギャップに応じて前記案内用レールを磁気的に吸引
し、前記スライダの幅方向への移動を規制する案内力発
生手段とを具備する磁気浮上式搬送装置において、地上
側に設けられ、前記浮上用レールの水平方向に対する傾
斜角度を検出する検出手段と、該検出手段の検出結果を
前記スライダへ伝送する伝送手段と、前記スライダに設
けられ、前記伝送手段によって伝送された前記検出結果
に基づいて前記スライダが水平方向に向くように前記浮
上／案内力発生手段を制御する制御手段とを備えること
を特徴とする。
【００１６】
【作用】請求項１記載の構成によれば、スライダに設け
られた検出手段によって浮上用レールの水平方向に対す
る傾斜角度が検出され、この検出結果に基づいてスライ
ダが水平方向に向くように浮上／案内力発生手段が制御
される。したがって、浮上用レールが傾斜していてもス
ライダが水平方向に維持されるので、浮上用レールの傾
斜によるスライダの停止時においてずれが生じない。
られた検出手段によって浮上用レールの水平方向に対す
る傾斜角度が検出され、この検出結果に基づいてスライ
ダが水平方向に向くように浮上／案内力発生手段が制御
される。したがって、浮上用レールが傾斜していてもス
ライダが水平方向に維持されるので、浮上用レールの傾
斜によるスライダの停止時においてずれが生じない。
【００１７】請求項２記載の構成によれば、地上に設け
られた検出手段によって浮上用レールの水平方向に対す
る傾斜角度が検出され、この検出結果が伝送手段によっ
てスライダへ伝送され、この伝送された検出結果に基づ
いてスライダが水平方向に向くように浮上／案内力発生
手段が制御される。したがって、上記同様に浮上用レー
ルが傾斜していてもスライダが水平方向に維持されるの
で、浮上用レールの傾斜によるスライダの停止時におい
てずれが生じない。
られた検出手段によって浮上用レールの水平方向に対す
る傾斜角度が検出され、この検出結果が伝送手段によっ
てスライダへ伝送され、この伝送された検出結果に基づ
いてスライダが水平方向に向くように浮上／案内力発生
手段が制御される。したがって、上記同様に浮上用レー
ルが傾斜していてもスライダが水平方向に維持されるの
で、浮上用レールの傾斜によるスライダの停止時におい
てずれが生じない。
【００１８】
【実施例】以下、図面を参照し、本発明の実施例を説明
する。図１は本発明の一実施例による磁気浮上式搬送装
置のＺ1軸制御系を示すブロック図である。この図に示
すように、浮上用レール２Ｌ，２Ｒの水平方向に対する
傾斜角度を検出する傾斜センサ１０と、この傾斜センサ
１０の出力に基づいて水平偏差量ΔＺ1を演算する演算
回路１１と、水平制御モードを設定するためのスイッチ
回路１２と、平偏差量ΔＺ1とギャップ指令値ＲＺ1とを
加算する加算回路１３とを有している点が上述した従来
のＺ1軸制御系と異なっている。この場合、傾斜センサ
１０、演算回路１１、スイッチ回路１２および加算回路
１３は、スライダ５の本体に設けられている。なお、他
のＺ2軸制御系もこのＺ1軸制御系と同様の構成になって
いる。
する。図１は本発明の一実施例による磁気浮上式搬送装
置のＺ1軸制御系を示すブロック図である。この図に示
すように、浮上用レール２Ｌ，２Ｒの水平方向に対する
傾斜角度を検出する傾斜センサ１０と、この傾斜センサ
１０の出力に基づいて水平偏差量ΔＺ1を演算する演算
回路１１と、水平制御モードを設定するためのスイッチ
回路１２と、平偏差量ΔＺ1とギャップ指令値ＲＺ1とを
加算する加算回路１３とを有している点が上述した従来
のＺ1軸制御系と異なっている。この場合、傾斜センサ
１０、演算回路１１、スイッチ回路１２および加算回路
１３は、スライダ５の本体に設けられている。なお、他
のＺ2軸制御系もこのＺ1軸制御系と同様の構成になって
いる。
【００１９】上記スイッチ回路１２は、外部より供給さ
れる信号に基づいて開閉制御される。この信号は、スラ
イダ５を停止させる時や水平度の高い走行が要求される
時に図示せぬ開閉制御回路より出力される。
れる信号に基づいて開閉制御される。この信号は、スラ
イダ５を停止させる時や水平度の高い走行が要求される
時に図示せぬ開閉制御回路より出力される。
【００２０】上記傾斜センサ１０は例えば図２に示すよ
うに構成されており、振子の変位に応じた出力が振子位
置検出器より得られるようになっている。この傾斜セン
サ１０は、スライダ５が水平のときにその出力が零にな
るように該スライダ５に取り付ける。
うに構成されており、振子の変位に応じた出力が振子位
置検出器より得られるようになっている。この傾斜セン
サ１０は、スライダ５が水平のときにその出力が零にな
るように該スライダ５に取り付ける。
【００２１】ここで、図３は浮上用レール２Ｌ（２Ｒ）
と、スライダ５との位置関係を示す側断面図であり、浮
上用レール２Ｌ（２Ｒ）は水平方向に対して傾斜してい
る。この傾斜角度が傾斜センサ１０により検出される。
そして検出された傾斜角度に対応した信号が演算回路１
１に供給され、水平偏差量ΔＺ1が演算される。そし
て、この平偏差量ΔＺ1がギャップ指令値ＲＺ1に加算さ
れる。以後、従来と同様にフィードバック入力と比較さ
れ、その比較結果が電流制御回路６に入力される。
と、スライダ５との位置関係を示す側断面図であり、浮
上用レール２Ｌ（２Ｒ）は水平方向に対して傾斜してい
る。この傾斜角度が傾斜センサ１０により検出される。
そして検出された傾斜角度に対応した信号が演算回路１
１に供給され、水平偏差量ΔＺ1が演算される。そし
て、この平偏差量ΔＺ1がギャップ指令値ＲＺ1に加算さ
れる。以後、従来と同様にフィードバック入力と比較さ
れ、その比較結果が電流制御回路６に入力される。
【００２２】このように、浮上用レール２Ｌ，２Ｒの水
平方向に対する水平偏差量ΔＺ1を求め、それをギャッ
プ指令値に加え、フィードバック制御することによっ
て、スライダ５が水平方向に維持されることになる。
平方向に対する水平偏差量ΔＺ1を求め、それをギャッ
プ指令値に加え、フィードバック制御することによっ
て、スライダ５が水平方向に維持されることになる。
【００２３】なお、上記実施例においては、浮上用レー
ル２Ｌ，２Ｒの水平方向に対する傾斜角度の検出を、ス
ライダ５に設けた傾斜センサ１０にて行うようにした
が、地上に設置した例えば周知のレーザ変位計にてその
傾斜の検出を行うようにしても良い。この場合、検出結
果をスライダ５に伝送するための伝送装置を地上側（送
信機）とスライダ５側（受信機）に設ける。
ル２Ｌ，２Ｒの水平方向に対する傾斜角度の検出を、ス
ライダ５に設けた傾斜センサ１０にて行うようにした
が、地上に設置した例えば周知のレーザ変位計にてその
傾斜の検出を行うようにしても良い。この場合、検出結
果をスライダ５に伝送するための伝送装置を地上側（送
信機）とスライダ５側（受信機）に設ける。
【００２４】また、上記実施例においては、スイッチ回
路１２を設けて水平制御の有効・無効を選択するように
したが、常時有効になるようにしても良い。すなわち、
このスイッチ回路１２を必ずしも設ける必要はない。
路１２を設けて水平制御の有効・無効を選択するように
したが、常時有効になるようにしても良い。すなわち、
このスイッチ回路１２を必ずしも設ける必要はない。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、浮上用レ
ールの水平方向に対する水平偏差量を求め、これをギャ
ップ指令値に加えてフィードバック制御を行うことによ
り、スライダを水平方向に維持するようにしたので、ス
ライダの停止時における位置ずれを防止することができ
る。また、従来と比べて搬送方向の位置制御が不要にな
るので、制御系の簡略化を図ることができる。また、浮
上用レールの水平度を精度良く出す必要がないので、同
レールの設置時の作業の軽減を図ることができる。
ールの水平方向に対する水平偏差量を求め、これをギャ
ップ指令値に加えてフィードバック制御を行うことによ
り、スライダを水平方向に維持するようにしたので、ス
ライダの停止時における位置ずれを防止することができ
る。また、従来と比べて搬送方向の位置制御が不要にな
るので、制御系の簡略化を図ることができる。また、浮
上用レールの水平度を精度良く出す必要がないので、同
レールの設置時の作業の軽減を図ることができる。
【図１】本発明の一実施例による磁気浮上式搬送装置の
Ｚ1軸制御系を示すブロック図である。
Ｚ1軸制御系を示すブロック図である。
【図２】傾斜センサの一例とそれに用いられる電気回路
を示す図である。
を示す図である。
【図３】浮上用レールとスライダとの位置関係を示す側
断面図である。
断面図である。
【図４】従来の磁気浮上式搬送装置の外観構成を示す一
部切欠側面図である。
部切欠側面図である。
【図５】同磁気浮上式搬送装置の外観構成を示す平面図
である。
である。
【図６】同磁気浮上式搬送装置の外観構成を示す正断面
図である。
図である。
【図７】同磁気浮上式搬送装置のスライダの外観構成を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図８】同磁気浮上式搬送装置のＺ1軸制御系を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【図９】同磁気浮上式搬送装置の制御軸とフィードバッ
ク入力との関係を示す図である。
ク入力との関係を示す図である。
１ フレーム ２Ｒ，２Ｌ 浮上用レール ３Ｒ，３Ｌ 案内用レール ５ スライダ ６ 電流制御回路 １０ 傾斜センサ（検出手段） １１ 演算回路 １２ スイッチ回路 １３ 加算回路（１１，１３は制御手段） Ｍ1〜Ｍ4 浮上／案内用電磁石 （浮上／案内力発生手
段） ｍ1〜ｍ4 案内用電磁石（案内力発生手段） Ｓ1〜Ｓ8 ギャップセンサ
段） ｍ1〜ｍ4 案内用電磁石（案内力発生手段） Ｓ1〜Ｓ8 ギャップセンサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ 8418−4Ｍ
Claims (2)
- 【請求項１】 搬送路に沿って架設された所定の幅寸法
の浮上用レールと、前記浮上用レールに沿って架設され
た案内用レールと、前記搬送路上を走行するスライダに
設けられ、前記浮上用レールの下面との間の垂直ギャッ
プを検出し、この垂直ギャップに応じて前記浮上用レー
ルを磁気的に吸引し、前記所定の幅寸法の範囲内で前記
スライダの幅方向へ移動を規制しつつ前記スライダを浮
上させる浮上／案内力発生手段と、前記スライダに設け
られ、前記案内用レールの側面との間の水平ギャップを
検出し、この水平ギャップに応じて前記案内用レールを
磁気的に吸引し、前記スライダの幅方向への移動を規制
する案内力発生手段とを具備する磁気浮上式搬送装置に
おいて、前記スライダに設けられ、前記浮上用レールの
水平方向に対する傾斜角度を検出する検出手段と、前記
スライダに設けられ、前記検出手段の検出結果に基づい
て前記スライダが水平方向に向くように前記浮上／案内
力発生手段を制御する制御手段とを備えることを特徴と
する磁気浮上式搬送装置。 - 【請求項２】 搬送路に沿って架設された所定の幅寸法
の浮上用レールと、前記浮上用レールに沿って架設され
た案内用レールと、前記搬送路上を走行するスライダに
設けられ、前記浮上用レールの下面との間の垂直ギャッ
プを検出し、この垂直ギャップに応じて前記浮上用レー
ルを磁気的に吸引し、前記所定の幅寸法の範囲内で前記
スライダの幅方向へ移動を規制しつつ前記スライダを浮
上させる浮上／案内力発生手段と、前記スライダに設け
られ、前記案内用レールの側面との間の水平ギャップを
検出し、この水平ギャップに応じて前記案内用レールを
磁気的に吸引し、前記スライダの幅方向への移動を規制
する案内力発生手段とを具備する磁気浮上式搬送装置に
おいて、地上側に設けられ、前記浮上用レールの水平方
向に対する傾斜角度を検出する検出手段と、該検出手段
の検出結果を前記スライダへ伝送する伝送手段と、前記
スライダに設けられ、前記伝送手段によって伝送された
前記検出結果に基づいて前記スライダが水平方向に向く
ように前記浮上／案内力発生手段を制御する制御手段と
を備えることを特徴とする磁気浮上式搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35783391A JP3147452B2 (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | 磁気浮上式搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35783391A JP3147452B2 (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | 磁気浮上式搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05184012A true JPH05184012A (ja) | 1993-07-23 |
| JP3147452B2 JP3147452B2 (ja) | 2001-03-19 |
Family
ID=18456164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35783391A Expired - Fee Related JP3147452B2 (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | 磁気浮上式搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3147452B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0705778A1 (en) * | 1994-09-19 | 1996-04-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic non-contact transport system |
| CN107082286A (zh) * | 2017-06-15 | 2017-08-22 | 叶子豪 | 物流运输单元 |
| CN111293855A (zh) * | 2018-12-07 | 2020-06-16 | 佳能株式会社 | 搬送装置以及物品制造方法 |
| CN113844274A (zh) * | 2020-10-14 | 2021-12-28 | 中车株洲电力机车有限公司 | 悬浮电磁铁横向位移修正系统、方法、设备及存储介质 |
| CN114083993A (zh) * | 2021-11-25 | 2022-02-25 | 江西理工大学 | 一种稀土永磁悬浮轨道侧向力调控系统及方法 |
-
1991
- 1991-12-26 JP JP35783391A patent/JP3147452B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0705778A1 (en) * | 1994-09-19 | 1996-04-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic non-contact transport system |
| CN107082286A (zh) * | 2017-06-15 | 2017-08-22 | 叶子豪 | 物流运输单元 |
| CN111293855A (zh) * | 2018-12-07 | 2020-06-16 | 佳能株式会社 | 搬送装置以及物品制造方法 |
| CN111293855B (zh) * | 2018-12-07 | 2023-09-01 | 佳能株式会社 | 搬送装置以及物品制造方法 |
| CN113844274A (zh) * | 2020-10-14 | 2021-12-28 | 中车株洲电力机车有限公司 | 悬浮电磁铁横向位移修正系统、方法、设备及存储介质 |
| CN113844274B (zh) * | 2020-10-14 | 2023-02-10 | 中车株洲电力机车有限公司 | 悬浮电磁铁横向位移修正系统、方法、设备及存储介质 |
| CN114083993A (zh) * | 2021-11-25 | 2022-02-25 | 江西理工大学 | 一种稀土永磁悬浮轨道侧向力调控系统及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3147452B2 (ja) | 2001-03-19 |
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