JP7111410B1 - 無電解銅めっき液 - Google Patents
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Abstract
Description
本件出願にかかる無電解銅めっき液は、中性領域で用いる還元型の無電解銅めっき液である。そして、この無電解銅めっき液は、析出安定剤としてテルル化合物を構成成分として含有し、溶液pHが6~9であることを特徴している。以下、この無電解銅めっき液の溶液pHについて説明し、その後構成成分ごとに説明する。
無電解銅めっき方法に関しては、上述の無電解銅めっき液を使用して、従来から知られた無電解めっき方法及び条件を適用すればよい。したがって、ここで詳細に無電解銅めっき方法を説明する必要はないと考え、実施例の中に無電解めっき方法及び条件を記載する。
(無電解銅めっき液組成)
銅塩(硫酸銅五水和物): 0.06mol/L(銅として4g/Lの濃度)
錯化剤(エチレンジアミンテトラ(メチレンホスホン酸)): 0.08mol/L
還元剤(ジメチルアミンボラン): 0.09mol/L
界面活性剤(ドデシル硫酸ナトリウム): 20mg/L
窒素を含有する芳香族化合物(1,10-フェナントロリン): 4mg/L
析出安定剤(テルル酸ナトリウム): 1mg/L(テルルとしての濃度)
表3に示す確認結果より、実施例1~9は、「めっき外観」、「パターン外析出」、「パターン未析出」、「溶液安定性」の全てにおいて良好な結果が得られた。一方、比較例1のように、無電解銅めっき液に析出安定剤としてテルルではなくアンチモンを含有する場合には、溶液安定性の低下が見受けられた。さらに、比較例1においては、基板上のアルミニウム回路パターン表面に十分にめっき被膜を形成させることができず、めっき外観も均一ではなかった。また、比較例2のように、析出安定剤におけるテルルの濃度が0.5mg/L未満の場合には、めっき外観の悪化及び溶液安定性の低下が見受けられた。さらに、比較例2においては、パターンからのはみだしが確認された。そして、比較例3のように、析出安定剤におけるテルルの濃度が100mg/Lを超える場合には、めっきがほとんど析出せず、基板上のアルミニウム回路パターン表面にめっき被膜を形成させることができなかった。
Claims (6)
- 中性領域で用いる還元型の無電解銅めっき液であって、
銅イオン供給源となる銅塩、銅イオンをキレート化するための錯化剤、還元剤、界面活性剤、窒素を含有する芳香族化合物を含有し、
当該銅イオンをキレート化するための錯化剤は、ホスホン酸系キレート剤であり、
当該還元剤は、アミンボラン又はその誘導体であり、
且つ、析出安定剤としてのテルル化合物をテルルとして0.1mg/L~100mg/Lの濃度範囲で含有し、
溶液pHが6~8.5であることを特徴とする無電解銅めっき液。 - 前記析出安定剤としてのテルル化合物は、テルル酸及びその塩、亜テルル酸及びその塩、二酸化テルル、三酸化テルル、塩化テルル、ジメチルテルルからなる群から選択される一種以上である請求項1に記載の無電解銅めっき液。
- 前記ホスホン酸系キレート剤は、前記無電解銅めっき液中の銅のモル数に対して0.1~10倍の濃度範囲で用いた請求項1又は請求項2に記載の無電解銅めっき液。
- 前記還元剤は、ジメチルアミンボラン、ジエチルアミンボラン、tert-ブチルアミンボラン、トリエチルアミンボラン、トリメチルアミンボランからなる群から選択される一種以上である請求項1~請求項3のいずれか一項に記載の無電解銅めっき液。
- 前記界面活性剤は、アニオン界面活性剤を0.01mg/L~1500mg/Lの濃度範囲で用いた請求項1~請求項4のいずれか一項に記載の無電解銅めっき液。
- 前記窒素を含有する芳香族化合物は、0.01mg/L~1000mg/Lの濃度範囲で用いた請求項1~請求項5のいずれか一項に記載の無電解銅めっき液。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020187294 | 2020-11-10 | ||
JP2020187294 | 2020-11-10 | ||
PCT/JP2021/032487 WO2022102226A1 (ja) | 2020-11-10 | 2021-09-03 | 無電解銅めっき液 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2022102226A1 JPWO2022102226A1 (ja) | 2022-05-19 |
JP7111410B1 true JP7111410B1 (ja) | 2022-08-02 |
JPWO2022102226A5 JPWO2022102226A5 (ja) | 2022-10-21 |
Family
ID=81601091
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021572906A Active JP7111410B1 (ja) | 2020-11-10 | 2021-09-03 | 無電解銅めっき液 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20230323541A1 (ja) |
JP (1) | JP7111410B1 (ja) |
KR (1) | KR102587691B1 (ja) |
CN (1) | CN116194618A (ja) |
DE (1) | DE112021005992T5 (ja) |
TW (1) | TW202219320A (ja) |
WO (1) | WO2022102226A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2021
- 2021-09-03 DE DE112021005992.0T patent/DE112021005992T5/de active Pending
- 2021-09-03 US US18/035,806 patent/US20230323541A1/en not_active Abandoned
- 2021-09-03 JP JP2021572906A patent/JP7111410B1/ja active Active
- 2021-09-03 KR KR1020227045941A patent/KR102587691B1/ko active IP Right Grant
- 2021-09-03 CN CN202180060016.XA patent/CN116194618A/zh active Pending
- 2021-09-03 WO PCT/JP2021/032487 patent/WO2022102226A1/ja active Application Filing
- 2021-09-07 TW TW110133195A patent/TW202219320A/zh unknown
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---|---|
WO2022102226A1 (ja) | 2022-05-19 |
KR102587691B1 (ko) | 2023-10-10 |
TW202219320A (zh) | 2022-05-16 |
US20230323541A1 (en) | 2023-10-12 |
DE112021005992T5 (de) | 2023-08-24 |
CN116194618A (zh) | 2023-05-30 |
KR20230011434A (ko) | 2023-01-20 |
JPWO2022102226A1 (ja) | 2022-05-19 |
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