JP2013234343A - 無電解銅めっき浴及び無電解銅めっき方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】水溶性銅塩と、還元剤としてアミノボラン又はその置換誘導体とを含み、ホルムアルデヒドを含有しないpH4〜9の無電解銅めっき浴であって、錯化剤としてのポリアミノポリホスホン酸と、アニオン界面活性剤と、アンチモン化合物と、含窒素芳香族化合物とを含有する無電解銅めっき浴とする。
【選択図】 なし
Description
1.無電解銅めっき浴
2.無電解銅めっき方法
3.実施例
本実施の形態に係る無電解銅めっき浴は、ホルムアルデヒドを含有しない、いわゆるホルムアルデヒド(ホルマリン)フリーのめっき浴であって、水溶性銅塩と、還元剤としてアミノボラン又はその置換誘導体とを含み、pH4〜9の無電解銅めっき浴である。そして、この無電解銅めっき浴は、錯化剤としてのポリアミノポリホスホン酸と、アニオン界面活性剤と、アンチモン化合物と、含窒素芳香族化合物とを含有してなることを特徴としている。
水溶性銅塩としては、例えば、硫酸銅、硝酸銅、塩化銅、酢酸銅、クエン酸銅、酒石酸銅、グルコン酸銅等を挙げることができ、これらの水溶性銅塩を1種単独、又は2種以上を任意の割合で混合させて用いることができる。
還元剤としてのアミンボラン又はその置換誘導体は、例えばジメチルアミンボラン、tert−ブチルアミンボラン、トリエチルアミンボラン、トリメチルアミンボラン等を挙げることができる。
本実施の形態に係る無電解銅めっき浴は、錯化剤としてのポリアミノポリホスホン酸を含有する。ポリアミノポリホスホン酸は、中性付近において効率的に銅イオンを錯化しやすく、めっき浴の分解を抑制して安定性を高めることができる。
本実施の形態に係る無電解銅めっき浴は、アニオン界面活性剤を含有する。アニオン界面活性剤を含有させることによって、めっき浴の安定性を向上させることができる。
本実施の形態に係る無電解銅めっき浴は、アンチモン化合物を含有する。このようにアンチモン化合物を添加することにより、アンダーポテンシャルデポジッション現象によるめっき析出促進の効果と、アンチモンの吸着に伴う触媒毒効果による析出阻害の効果のバランスにより、析出速度向上とはみ出し抑制の効果を得ることができる。
〔無電解銅めっき浴組成〕
エチレンジアミンテトラ(メチレンホスホン酸) :0.08mol/L
銅(硫酸銅・5水塩) :0.063mol/L(銅濃度として4g/L)
ジメチルアミンボラン :8g/L
ラウリル硫酸ナトリウム :20mg/L
o−フェナントロリン :4mg/L
酸化アンチモン :下記表1を参照(アンチモン濃度として)
pH :7.7
浴温 :60℃
本実施の形態に係る無電解銅めっき浴は、含窒素芳香族化合物を含有する。
めっき浴のpHとしては、pH4.0〜9.0とし、好ましくはpH5.0〜9.0、より好ましくはpH6.0〜8.0とする。上述のように、本実施の形態に係る無電解銅めっき浴では、還元剤として、中性からアルカリ性の条件で用いることができるアミノボラン又はその置換誘導体を含有させている。このことから、pH4.0〜9.0の範囲で用いることができ、被めっき物である基材に対してダメージを与えることなくめっき処理を施すことができる。
次に、上述した無電解銅めっき浴を用いた無電解銅めっき方法について説明する。無電解めっき方法としては、公知の方法を用いることができる。また、前処理として触媒付与処理等が必要な場合の触媒付与処理も、公知の方法を適用することができる。
以下、本発明の具体的な実施例について説明する。なお、下記のいずれかの実施例に本発明が限定されるものではない。
まず、下記に示す実施例1〜実施例2、並びに比較例1〜比較例10において、無電解めっき浴の組成を変更し、めっき皮膜の膜厚とパターン外析出量(はみ出し量)について調べた。
(無電解銅めっき浴組成)
エチレンジアミンテトラ(メチレンホスホン酸) :0.08mol/L
銅(硫酸銅・5水塩) :0.063mol/L(銅濃度として4g/L)
ジメチルアミンボラン :8g/L
ラウリル硫酸ナトリウム :20mg/L
o−フェナントロリン :4mg/L
酸化アンチモン :アンチモン濃度として2mg/L
pH :7.7
浴温 :60℃
シリコンウエハー上の形成したAl−Si合金スパッタ上にTiN膜にてパターン形成した後、定法に従ってダブルジンケート処理を行ったサンプルを、上記組成からなる無電解銅めっき浴に1時間浸漬することによって無電解銅めっき処理を施し、パターン上に銅めっき皮膜を形成させた。
形成されためっき皮膜について、レーザー顕微鏡によって、めっき処理前後の高低差測定からめっき膜厚を計測した。その結果、形成されためっき皮膜は、その膜厚が5.3μmと良好な膜厚を有し、またパターンからのはみ出しは5μmと殆どなかった。
(無電解銅めっき浴組成)
グリシン−N,N−ビス(メチレンホスホン酸) :0.13mol/L
銅(硫酸銅・5水塩) :0.063mol/L(銅濃度として4g/L)
ジメチルアミンボラン :8g/L
ラウリル硫酸ナトリウム :20mg/L
2,9−ジメチル−1,10−フェナントロリン :2mg/L
酸化アンチモン :アンチモン濃度として2mg/L
pH :7.7
浴温 :60℃
シリコンウエハー上の形成したAl−Si合金スパッタ上にTiN膜にてパターン形成した後、定法に従ってダブルジンケート処理を行ったサンプルを、上記組成からなる無電解銅めっき浴に1時間浸漬することによって無電解銅めっき処理を施し、パターン上に銅めっき皮膜を形成させた。
形成されためっき皮膜について、レーザー顕微鏡によって、めっき処理前後の高低差測定からめっき膜厚を計測した。その結果、形成されためっき皮膜は、その膜厚が5.3μmと良好な膜厚を有し、またパターンからのはみ出しは5μmと殆どなかった。
無電解銅めっき浴組成について、アンチモン化合物を添加しなかったこと以外は、実施例1と同様にして無電解銅めっき処理を施し、パターン上に銅めっき皮膜を形成させた。
無電解銅めっき浴組成について、アンチモン2mg/Lに替えて鉛2mg/Lを添加したこと以外は、実施例1と同様にして無電解銅めっき処理を施し、パターン上に銅めっき皮膜を形成させた。
無電解銅めっき浴組成について、アンチモン2mg/Lに替えてタリウム0.3mg/Lを添加したこと以外は、実施例1と同様にして無電解銅めっき処理を施し、パターン上に銅めっき皮膜を形成させた。
無電解銅めっき浴組成について、ラウリル硫酸ナトリウムを添加しなかったこと以外は、実施例1と同様にして無電解銅めっき処理を施し、パターン上に銅めっき皮膜を形成させた。
無電解銅めっき浴組成について、o−フェナントロリンを添加しなかったこと以外は、実施例1と同様にして無電解銅めっき処理を施し、パターン上に銅めっき皮膜を形成させた。
[比較例6]
無電解銅めっき浴組成について、ラウリル硫酸ナトリウム20mg/Lに替えてポリエチレングリコール(PEG)#1000を0.5g/L添加したこと以外は、実施例1と同様にして無電解銅めっき処理を施し、パターン上に銅めっき皮膜を形成させた。
無電解銅めっき浴組成について、アンチモン2mg/Lに替えてビスマス2mg/Lを添加したこと以外は、実施例1と同様にして無電解銅めっき処理を施し、パターン上に銅めっき皮膜を形成させた。
無電解銅めっき浴組成について、エチレンジアミンテトラ(メチレンホスホン酸)0.08mol/Lに替えてジエチレントリアミン五酢酸0.08ml/Lを添加したこと以外は、実施例1と同様にして無電解銅めっき処理を施し、パターン上に銅めっき皮膜を形成させた。
下記組成からなる無電解銅めっき浴を用いたこと以外は、実施例1と同様にして無電解銅めっき処理を施し、パターン上に銅めっき皮膜を形成させた。
エチレンジアミン4酢酸 :0.08mol/L
銅(硫酸銅・5水塩) :0.0315mol/L(銅濃度として2g/L)
ホルムアルデヒド :2g/L
ポリエチレングリコール(PEG)#1000 :1g/L
2,2’’−ジピリジル :20mg/L
pH :13.2(NaOHにより調整)
浴温 :60℃
下記組成からなる無電解銅めっき浴を用いたこと以外は、実施例1と同様にして無電解銅めっき処理を施し、パターン上に銅めっき皮膜を形成させた。
エチレンジアミン4酢酸 :0.08mol/L
銅(硫酸銅・5水塩) :0.0315mol/L(銅濃度として2g/L)
グリオキシル酸 :6g/L
ポリエチレングリコール(PEG)#1000 :1g/L
2,2’’−ジピリジル :20mg/L
pH :13.2(NaOHにより調整)
浴温 :60℃
Claims (7)
- 水溶性銅塩と、還元剤としてアミノボラン又はその置換誘導体とを含み、ホルムアルデヒドを含有しないpH4〜9の無電解銅めっき浴であって、
錯化剤としてのポリアミノポリホスホン酸と、アニオン界面活性剤と、アンチモン化合物と、含窒素芳香族化合物とを含有することを特徴とする無電解銅めっき浴。 - 上記ポリアミノポリホスホン酸の濃度が、0.01〜1mol/Lであることを特徴とする請求項1記載の無電解銅めっき浴。
- 上記アニオン界面活性剤の濃度が、0.01〜2000mg/Lであることを特徴とする請求項1又は2記載の無電解銅めっき浴。
- 上記アンチモン化合物の濃度が、0.1〜20mg/Lであることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項記載の無電解銅めっき浴。
- 上記含窒素芳香族化合物の濃度が、0.01〜1000mg/Lであることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項記載の無電解銅めっき浴。
- 基材に対して、上記請求項1記載の無電解銅めっき浴を用いて銅めっき皮膜を形成することを特徴とする無電解銅めっき方法。
- 上記基材が、アルミニウム又はアルミニウム合金、若しくはマグネシウム又はマグネシウム合金であることを特徴とする請求項6記載の無電解銅めっき方法。
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