JP4822714B2 - スズまたはスズ合金めっき用ウィスカー防止剤およびこれを用いるウィスカー防止方法 - Google Patents

スズまたはスズ合金めっき用ウィスカー防止剤およびこれを用いるウィスカー防止方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4822714B2
JP4822714B2 JP2005025288A JP2005025288A JP4822714B2 JP 4822714 B2 JP4822714 B2 JP 4822714B2 JP 2005025288 A JP2005025288 A JP 2005025288A JP 2005025288 A JP2005025288 A JP 2005025288A JP 4822714 B2 JP4822714 B2 JP 4822714B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tin
whisker
alloy plating
inhibitor
tin alloy
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2005025288A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2006213938A (ja
Inventor
恭延 渡辺
香苗 時尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JCU Corp
Original Assignee
JCU Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JCU Corp filed Critical JCU Corp
Priority to JP2005025288A priority Critical patent/JP4822714B2/ja
Priority to TW95127336A priority patent/TW200806820A/zh
Publication of JP2006213938A publication Critical patent/JP2006213938A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4822714B2 publication Critical patent/JP4822714B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Description

本発明は、スズまたはスズ合金めっき後のめっき皮膜に発生するウィスカーを有効に防止することのできるスズまたはスズ合金めっきのウィスカー防止剤およびこれを利用するウィスカー防止方法に関する。
スズめっきやスズ合金めっき(以下、「スズ系めっき」という)は、その柔軟性等の物性から、電子部品材料に広く使用されているが、このスズ系めっき皮膜には、ウィスカーと呼ばれる針状結晶が発生し、短絡等の問題を生じるという問題があった。このウィスカーを防止するための方法としては、めっき後にリフローを行うことが有効であり、かなり行われているが、作業効率が低下するという問題があり、また、皮膜の特性が変化するため使用できない場合がある等の問題もあった。
それらを考慮すると、スズ系めっき後にウィスカー防止処理を行う後処理より、スズ系めっき前の被めっき素材に対する前処理による対策が有効であると考えられており、ウィスカーを防止するための前処理方法はすでにいくつか開示されている。それら前処理方法は、(1)酸化剤や電解の作用により表面の凹凸を除去して平滑にする方法(特許文献1ないし3)および(2)スズ系めっき皮膜の下地として薄い異種金属層を形成する方法(特許文献4ないし6)の2つに大別される。
しかしながら、方法(1)では、被めっき表面の状態は、素材により異なるため、どんな素材に対しても十分な効果を出すためには2μm以上のエッチング量が必要となるという問題点があった。つまり、電子部品は微細化・高密度化が進んでおり、エッチング量が多いと寸法精度に問題が生じるため、エッチング量は1.5μm以下、さらに好ましくは1μm以下とすることが望まれているが、方法(1)では、これを満足させることは困難である。
一方、方法(2)の下地の金属層を形成する方法として、スパッタなどの乾式法、置換めっき、ならびに電気めっきが上げられているが、このうち、乾式法ではコストや作業効率が問題となり、また、置換めっきでは浴の安定性や安全性が、更に電気めっきでは電子部品の特性への影響など、解決すべき問題があった。
更に、方法(1)および(2)の共通の問題点としては、ウィスカー防止効果が十分であるかが不確実である点をあげることができる。すなわち、ウィスカー発生状況を調査する方法は種々あるが、電子部品、特にリードフレームに関しては、めっき後室温放置する方法が最も適切な方法である。デバイスメーカーの多くは、ウィスカーに関する判定基準を「5000hr室温放置後に50μm以上のものがないこと」としているが、上記文献内容では、長いもので1000〜2000hr、短いものでは200hrの観察結果しか記載されていないが、2000hrまでウィスカーが未発生であれば5000hrまでウィスカーが発生しないといいうるものでなく、5000hrまで試験しなければウィスカー防止効果の評価方法としては不十分である。
特開2004−285417号 特開2004−263291号 特開平5−148658号 特開2004−91824号 特開2003−332391号 特開2003−129278号
従って、スズ系めっきを行った後、室温で5000hr放置した場合であっても、確実に問題となるウィスカーの発生を防ぐことのできる簡便な手段の提供が求められており、このような手段の提供が本発明の課題である。
本発明者らは、ウィスカーの防止に関し鋭意検討を行っていたところ、一般的なエッチング剤組成に、電位の貴な金属イオンを添加することにより、エッチング量が少なくても有効にウィスカーの発生を有効に防止できることを見出し、本発明を完成した。
すなわち本発明は、次の成分(A)ないし(C)
(A)硫酸、アルカンスルホン酸、アルカノールスルホン酸ならびにそれらの誘導体
(B)過酸化物
(C)銅よりも電位が貴である金属イオン
を含有するスズ系めっき用ウィスカー防止剤である。
また本発明は、被めっき素材を、前記スズ系めっき用ウィスカー防止剤に浸漬した後、スズ系めっきを行うことを特徴とするスズ系めっきのウィスカー防止方法である。
本発明によれば、被めっき素材をスズ系めっき用ウィスカー防止剤に浸漬するという簡単な前処理操作により、有効にスズ系めっき皮膜に発生するウィスカーを防止することができる。そして、この前処理方法は、低コストで、作業性もよく、また素材をあまり溶解しないものであり、また、この製造方法によって製造された電子部品は、5000hr室温で放置した場合であっても実質的にウィスカーを発生させないものであるため、電子部品等にスズ系めっきを行う前の前処理方法として広く利用できる。
本発明のスズ系めっき用ウィスカー防止剤(以下、「ウィスカー防止剤」という)において、成分(A)として用いられる、硫酸、アルカンスルホン酸およびアルカノールスルホン酸ならびにそれらの誘導体の例としては、硫酸、メタンスルホン酸、メタノールスルホン酸、プロパンスルホン酸、ヒドロキシメタンスルホン酸、ヒドロキシエタンスルホン酸、ヒドロキシプロパンスルホン酸等を挙げることができる。この成分(A)の量は、使用時の濃度として、10〜300g/Lが好ましく、特に20〜200g/Lがより好ましい。なお、含有量が10g/Lより少ないと十分なウィスカー防止効果を得ることができず、また、300g/Lより多くても効果は変わらない。
また、本発明の成分(B)として用いられる、過酸化物の例としては、過酸化水素およびペルオキソ硫酸、ペルオキソ硫酸ナトリウム、ペルオキソ硫酸カリウム、ペルオキソ硫酸アンモニウム等のペルオキソ硫酸化合物を挙げることができる。本発明のウィスカー防止剤における成分(B)の量は、使用時の濃度として、2〜100g/Lが好ましく、特に5〜50g/Lがより好ましい。なお、含有量が2g/Lより少ないと十分なウィスカー防止効果を得ることができず、100g/Lより多いと、例えば被めっき素材が銅である場合エッチングが進みすぎ、好ましくない。
更に、本発明の成分(C)として用いられる、銅よりも電位が貴である金属イオンの例としては、銀イオン、パラジウムイオン、金イオンなどが挙げられ、特に好ましいのは銀イオンである。これらの金属イオンを本発明のウィスカー防止剤に含有させるには、例えば硝酸銀、メタンスルホン酸銀、硫酸銀、酸化銀、塩化パラジウム、水酸化パラジウム、硫酸パラジウム、硝酸パラジウム、酸化金等の金属塩を使用すればよい。なお、本発明のウィスカー防止剤における成分(C)の量は、使用時の金属イオン濃度として0.1mg/L〜20mg/Lが好ましく、特に0.2〜5mg/Lがより好ましい。更に含有量が0.1mg/Lより少ないと十分なウィスカー防止効果を得ることができず、20mg/Lより多くても効果は変わらない。
本発明のウィスカー防止剤は、上記3成分を水等に溶解したものであっても十分なウィスカー防止作用が得られるが、更に、成分(D)としてテトラゾールまたはそれらの誘導体を使用することもできる。このテトラゾールおよびその誘導体は、水溶性のものであれば特に限定されることなく使用できるが、具体的な例としては、テトラゾール、5−アミノテトラゾール、5−メチルテトラゾール、1−メチル−5−エチルテトラゾール、1−メチル−5−アミノテトラゾール、1−エチル−5−アミノテトラゾール等を挙げることができる。本発明のウィスカー防止剤における成分(D)の量は、その使用時のウィスカー防止剤中の量として、0.05〜10g/Lが好ましく、特に0.1〜8g/Lが好ましい。
本発明のウィスカー防止剤は、上記成分(A)から成分(C)あるいはさらにこれと成分(D)を適当な担体と組み合わせることにより調製されるが、更に本発明の効果を損なわない範囲で必要に応じて、湿潤剤としてノニオン系界面活性剤やアニオン系界面活性剤あるいは過酸化物の安定化剤としての水溶性のアルコール・ジオール類等の添加剤を含有させても良い。
以上説明した本発明のウィスカー防止剤を用いて、スズ系めっき皮膜におけるウィスカー発生を防止するには、常法に従って被めっき素材を脱脂した後、これを必要により適当な溶媒、例えば水に溶解または希釈したウィスカー防止剤に浸漬し、その後スズめっきをおこなえば良い。具体的な浸漬条件としては、好ましくは10〜50℃、より好ましくは20〜40℃の液温にして、好ましくは10秒〜2分間、より好ましくは20秒〜1分間浸漬すればよい。
本発明方法により、スズめっき皮膜でのウィスカーの発生を防止することのできる被めっき素材は、プリント配線板やリードフレームに使用することのできる銅材料であれば特に限定されず、例えば、銅金属自体の他、電気めっきや無電解めっきにより形成される銅めっき皮膜、銅を主材として鉄、ニッケル、スズ、亜鉛、リン、クロム、ケイ素等を1種以上含む合金が含まれる。また、スズめっきは、公知のいずれの組成のものを使用しても良い。なお、本明細書中のスズ系めっきにおけるスズ合金めっきとは、スズ以外の合金成分として、銅、銀、ビスマス、亜鉛、ニッケル、鉛等の1種以上を、めっき皮膜中、0.01%以上含有するものを意味する。
作用
本発明のウィスカー防止剤によるウィスカー防止のメカニズムについては、いまだ明らかでない点も多いが、現時点では以下のように推測される。
すなわち、従来技術として、「異種金属による下地層の形成」と「素材表面の加工変質層の除去」がウィスカー防止の前処理として効果的であることが知られているが、本発明のウィスカー防止剤では、この異なる処理が同時に行われ、その相乗効果として、従来よりも優れた効果が得られたものと推測される。
以下実施例および試験例を挙げ、本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例等によりなんら制約されるものではない。
実 施 例 1
下記組成により、スズめっき用ウィスカー防止剤を調製した。
( ウィスカー防止剤組成 )
硫 酸 100g/L
過酸化水素 10g/L
銀イオン(硫酸銀として) 3mg/L
実 施 例 2
下記組成により、スズめっき用ウィスカー防止剤を調製した。
( ウィスカー防止剤組成 )
硫 酸 100g/L
過酸化水素 10g/L
パラジウムイオン 1mg/L
(硝酸パラジウムとして)
実 施 例 3
下記組成により、スズめっき用ウィスカー防止剤を調製した。
( ウィスカー防止剤組成 )
硫 酸 50g/L
過酸化水素 15g/L
銀イオン(硝酸銀として) 2mg/L
5−アミノテトラゾール 0.5g/L
実 施 例 4
下記組成により、スズめっき用ウィスカー防止剤を調製した。
( ウィスカー防止剤組成 )
メタンスルホン酸 200g/L
過酸化水素 15g/L
パラジウムイオン 2mg/L
(硝酸パラジウムとして)
テトラゾール 0.1g/L
試 験 例 1
実施例1ないし4で得たウィスカー防止剤について、リードフレーム用銅合金である、EFTEC64T材(古河電気工業(株)製)を用い、浸漬時のエッチング量およびスズめっき後のウィスカー防止効果を書き評価方法により調べた。スズめっきまでの工程および使用するスズめっき液は下のとおりである。なお、比較としては、ウィスカー防止剤に代えて、下記比較エッチング剤を使用したもの(比較例1)、比較エッチング剤への浸漬時間を30秒から60秒へ増やしたもの(比較例2)およびウィスカー防止処理を行わなかったもの(比較例3)を用いた。
( スズめっき液組成 )
スズ 60g/L
メタンスルホン酸 140g/L
添加剤UT−55* 40mL/L
* 荏原ユージライト(株)製
( スズめっき工程 )
(1)陰極電解脱脂(50℃、5A/dm、30秒処理)
(2)ウィスカー防止処理(35℃、30秒処理)
(3)スズめっき(40℃、10A/dm
めっき膜厚: 3μm(ウィスカー評価用)
10μm(はんだ濡れ性評価用)
( 比較エッチング剤組成 )
硫酸 100g/L
過酸化水素 20g/L
( 評価方法 )
1.エッチング量
エッチング量は、下記式によって算出した。
[数1]
エッチング量(μm)=(ΔW×10000)/(S×d)
ΔW:エッチング処理前後の重量差(g)
S:試験片の表面積(cm
d:銅の密度(8.9g/cm
2.ウィスカー発生状態
スズめっき後、室温で放置し、放置時間5000hrまで、1000hrごとに実体顕微鏡で観察し、下記評価基準に従ってウィスカー発生状態を評価した。
評価基準 評 価 内 容
◎ : まったくウィスカーなし
○ : ウィスカー発生しているが、すべて10μm以下
△ : ウィスカー発生しているが、すべて30μm以下
× : 50μm以上のウィスカーがわずかに発生
×× : 50μm以上のウィスカーが多数発生
3.はんだ濡れ性
以下のはんだ浴、はんだ方法により、下記基準ではんだ濡れ性を評価した。
はんだ浴:
Sn−Ag3%−Cu0.5%、245℃
浸漬時間:
5秒
フラックス:
ロジン系フラックス
評価基準 評 価 内 容
◎ : 半田濡れ時間2秒以内
○ : 〃 2〜3秒
△ : 〃 3〜5秒
× : 〃 5秒以上
( 結 果 )
Figure 0004822714
実施例1ないし4のウィスカー防止剤を使用した場合、エッチング量が何れも1μm以下であるにもかかわらず、放置5000hr後でもウィスカーが全く発生せず、またはんだ濡れ性も良好であった。
一方、比較例1、2の場合は、1〜2μmのエッチングにより表面の加工変質層を除去するため、未処理の比較例3よりはウィスカー防止効果が認められるが、本発明に比べると効果はかなり低かった。
本発明のスズめっき用ウィスカー防止剤は、例えば、リードフレーム用銅合金などの被めっき素材をあまりエッチングせずに、スズめっき層に生じるウィスカーの発生を防止することができるものである。
従って、電子部品等に対するスズめっきの前処理としてこのウィスカー防止剤を使用することにより、ウィスカーの発生を有効に防ぐことが可能であり、特に、微細化・高密度化が求められる電子部品のウィスカー防止方法として広く利用することが可能である。
以 上

Claims (5)

  1. 次の成分(A)〜(C)
    (A)硫酸、メタンスルホン酸、メタノールスルホン酸、プロパンスルホン酸、ヒドロ
    キシメタンスルホン酸またはヒドロキシプロパンスルホン酸
    (B)過酸化物
    (C)銅よりも電位が貴である金属イオン
    を含有するスズまたはスズ合金めっき用ウィスカー防止剤(ただし、テトラゾールおよびそれらの誘導体よりなる群から選ばれた化合物を含有するものを除く)
  2. 成分(C)が、銀またはパラジウムである、請求項1記載のスズまたはスズ合金めっき用ウィスカー防止剤。
  3. リードフレーム用銅合金に使用する請求項1または2記載のスズまたはスズ合金めっき用ウィスカー防止剤。
  4. 銅材料を、請求項1〜3のいずれかに記載のスズまたはスズ合金めっき用ウィスカー防止剤に浸漬した後、スズまたはスズ合金めっきを行うことを特徴とするスズまたはスズ合金めっきのウィスカー防止方法。
  5. 銅材料がリードフレーム用銅合金である請求項4記載のスズまたはスズ合金めっきのウィスカー防止方法。
JP2005025288A 2005-02-01 2005-02-01 スズまたはスズ合金めっき用ウィスカー防止剤およびこれを用いるウィスカー防止方法 Active JP4822714B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005025288A JP4822714B2 (ja) 2005-02-01 2005-02-01 スズまたはスズ合金めっき用ウィスカー防止剤およびこれを用いるウィスカー防止方法
TW95127336A TW200806820A (en) 2005-02-01 2006-07-26 Whisker preventing agent for tin or tin alloy plating and whisker preventing method using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005025288A JP4822714B2 (ja) 2005-02-01 2005-02-01 スズまたはスズ合金めっき用ウィスカー防止剤およびこれを用いるウィスカー防止方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006213938A JP2006213938A (ja) 2006-08-17
JP4822714B2 true JP4822714B2 (ja) 2011-11-24

Family

ID=36977406

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005025288A Active JP4822714B2 (ja) 2005-02-01 2005-02-01 スズまたはスズ合金めっき用ウィスカー防止剤およびこれを用いるウィスカー防止方法

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP4822714B2 (ja)
TW (1) TW200806820A (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5658844B1 (ja) * 2014-06-30 2015-01-28 松本油脂製薬株式会社 合成繊維用処理剤及びその用途
KR101696796B1 (ko) * 2014-12-10 2017-01-16 주식회사피엔티 동합금재의 주석 도금 방법

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4264679B2 (ja) * 1999-04-09 2009-05-20 三菱瓦斯化学株式会社 プリント配線板の製造方法
JP4063475B2 (ja) * 1999-11-10 2008-03-19 メック株式会社 銅または銅合金のエッチング剤
JP3930732B2 (ja) * 2000-12-27 2007-06-13 荏原ユージライト株式会社 銅および銅合金用のマイクロエッチング剤並びにこれを用いる銅または銅合金の微細粗化方法
EP1400613A2 (en) * 2002-09-13 2004-03-24 Shipley Co. L.L.C. Tin plating method
JP4162217B2 (ja) * 2003-03-24 2008-10-08 株式会社Adeka スズホイスカ防止剤、及びこれを用いたホイスカ防止性スズメッキ物の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
TW200806820A (en) 2008-02-01
JP2006213938A (ja) 2006-08-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10753007B2 (en) Process for indium or indium alloy deposition and article
JP2008169446A (ja) アルミニウム酸化皮膜用除去液及びアルミニウム又はアルミニウム合金の表面処理方法
JP2001140084A (ja) ニッケルまたはニッケル合金のエッチング液
KR102472714B1 (ko) 구리 에칭액
JP2009127101A (ja) アルミニウム又はアルミニウム合金上の金属置換処理液及びこれを用いた表面処理方法
JP3930885B2 (ja) 銅および銅合金用のマイクロエッチング剤
JP2018029175A (ja) 多層電気接触素子
JP4783484B2 (ja) 無電解金メッキ溶液および方法
JPWO2007040046A1 (ja) ニッケル−クロム合金用エッチング液
EP3060696B1 (en) Method of selectively treating copper in the presence of further metal
US20140098504A1 (en) Electroplating method for printed circuit board
JP5247142B2 (ja) 銀めっき方法
JP4822714B2 (ja) スズまたはスズ合金めっき用ウィスカー防止剤およびこれを用いるウィスカー防止方法
KR101126104B1 (ko) 주석 또는 주석 합금 도금용 위스커 방지제 및 그를 이용하는 위스커 방지 방법
JP6719437B2 (ja) 無電解ニッケルめっき浴
JP5740727B2 (ja) 封孔処理剤および封孔処理方法
JP4395148B2 (ja) レジスト剥離剤
JPH08311663A (ja) ニッケル被膜またはニッケル合金被膜の剥離液
JP3854523B2 (ja) レジスト剥離剤
JP4431860B2 (ja) 銅および銅合金の表面処理剤
JP4113846B2 (ja) 樹脂表面に付着した金属析出触媒の除去液および除去方法ならびにこれを用いたプリント配線板の製造方法
JP4842620B2 (ja) 高密度銅パターンを有したプリント配線板の製造方法
JPH03214689A (ja) 印刷回路の製造のための減少された一群の工程及びこの工程を実施するための組成物
JP7416425B2 (ja) アルミニウムおよびアルミニウム合金のめっき前処理方法
JP2005206859A (ja) 電子部品用部材の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080115

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20080115

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20101018

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101026

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101221

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110125

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110425

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20110509

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110816

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110906

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4822714

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140916

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140916

Year of fee payment: 3

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140916

Year of fee payment: 3

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250