JP6992488B2 - 単結晶育成用ルツボ - Google Patents
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Description
単結晶の育成としては、例えば抵抗加熱方式の単結晶育成装置を用いた、Cz法による単結晶の育成が挙げられる。単結晶育成装置では、例えば、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム(以下、「LT」と記載する場合がある。)、ランガサイト等の単結晶を育成することができる。また、結晶育成に用いる雰囲気は、大気、窒素、またはアルゴンなどの不活性ガスが挙げられる。
本発明の一実施形態に係るルツボは、例えば、鉱工業や理化学実験等において、高熱を利用して物質の溶融や合成を行う際に、アルミニウム、白金等の金属製坩堝の熱変形による不具合が生じる場合において、その変形を抑制することができるルツボである。特に、上記した抵抗加熱方式の単結晶育成装置を用いたCz法による単結晶の育成(製造)に有用なルツボである。以下、図1~図8を参照し、本発明の一実施形態に係るルツボについて説明する。
次に、本発明の一実施形態にかかる単結晶育成用ルツボ100を設置した単結晶育成装置1000について、図8の断面模式図を参照して説明する。
次に、単結晶の育成方法の一例として、単結晶育成装置1000を使用した、単結晶Bの育成方法を説明する。
(LN単結晶の育成)
単結晶育成装置として、前述した実施形態の単結晶育成装置1000と同様の構成のものを用いた。ルツボ本体10としては、図4に示すように、ルツボ本体10の上部15にある開口部13の外周円の直径(外径)が200mm、ルツボ本体10の底部11における底面14の外径が205mm、高さが100mmであり、側面および底面の厚みが共に0.9mmである白金製ルツボを用いた。また、リング状フレーム20としては、図5、6に示すように、2つの白金製のリング状フレーム20bを使用した。すなわち、外径が214mm、内径が204mm、高さ10mmのリング状フレーム20bおよび外径が213mm、内径が203mm、高さ10mmのリング状フレーム20bフレームである。ここで、リング状フレーム20bの開口面21と垂直な方向の断面の形状は、上記2つのリング状フレーム20b共に、図6のように、厚さ0.5mmの白金板を折り曲げた外径10mm、内径の半径4.5mmの半円状の形状であり、断面における円周がリング内周を形成して外側に開いた構造とした。そして、これらのルツボ本体10とリング状フレーム20bをはめ合わせ、図7の示すように、2つのフレームの位置は、リング状フレーム20bの高さ方向の中央部が、ルツボ本体10の底部からそれぞれ20mmおよび40mmになるように調整してルツボ100とした。
LN単結晶の連続育成において、単結晶の育成を5回終了する毎に、ルツボ本体10の外径を複数点で測定した。測定位置はルツボ本体10の外周面12aにおいて、高さH方向の上端から下端まで、10mmの間隔(外周面12aの上端から10mm、30mm、50mm、70mm、90mmの高さの位置)で測定した。外径の測定は、各高さにおいて、45度の角度の刻みで4か所測定し、4か所の測定値の平均値を算出した。表2は、結晶育成に伴う各高さ位置における外径について、結晶育成の開始前および、5回目、10回目、15回目、20回目、25回目、30回目の結晶育成後に測定した結果を平均値で示したものである。
リング状フレーム20bを用いないこと以外は、実施例1と同様の方法により、LN単結晶育成を固化率0.7で連続して実施し、同様にルツボ本体10の外径の平均値を算出して、ルツボ本体10の形状の変化を評価した。結果を表2に示す。
実施例1では、外径の変形はルツボ本体10の上端から70mmの位置において最大となったものの、変形量は最大でわずか3mmに抑えることができた。特に、ルツボ本体10の上部の変形は全くみられず(表2 10mm、30mm)、リング状フレーム20によってルツボ本体10の下部の変形を抑えることができたことが、ルツボ本体10の上部に良い影響を与えたものと考えられる。結果として、ルツボ本体10の変形を、高さH方向の上部から下部にわたってバランスよく抑制することができたことにより、育成条件が変わることがなく、30回の育成において、問題なくLN単結晶を育成することができた。この結果から、ルツボ本体10の変形量が小さいため、更に育成を繰り返しても、問題なくLN単結晶を育成することが見込めた。
以上の評価結果より、本発明のルツボを用いた実施例においては、ルツボ本体の外周面にリング状フレームをはめた構成をとることにより、ルツボ本体の変形を小さく抑えることができた。特に、単結晶の育成回数を重ねても、ルツボ本体の上部は変形せず、ルツボ本体の下部においてもほとんど膨らまなかった。これにより、育成回数を増やしても、単結晶の育成条件を同一に維持することができたことから、ルツボの改鋳コストを抑えつつ、良好な単結晶を安定して繰り返し育成することができることが示された。
11 円形の底部
11a 外縁部
12 側壁部
12a 外周面
13 開口部
14 ルツボ底部の底面
15 開口部がある上面
20 リング状フレーム
20a リング状フレーム
20b リング状フレーム
20c リング状フレーム
20d リング状フレーム
21 開口面
22 中空部分
30 ルツボ台
31 上部ルツボ台
32 下部ルツボ台
40 上段ヒーター
50 下段ヒーター
60 耐火物
61 上段耐火物
62 遮へい耐火物
63 下段耐火物
64 底部耐火物
70 シード棒
100 単結晶育成用ルツボ
311 上面壁
312 側壁部
611 円筒状の側壁部
612 円環状の蓋部
612a 開口部
1000 単結晶育成装置
A 種結晶
B 単結晶
C 原料融液
H 外周面の高さ
m 高さHの方向における中央部
S 炉内
Claims (7)
- 円形の底部と、前記底部の外縁部から立設した円筒形の側壁部と、上部が開口した開口部を有するルツボ本体と、
前記ルツボ本体の前記側壁部の外周面にはめるリング状フレームと
を備え、
前記外周面は、前記底部から前記開口部へ向かって先細りするテーパー形状である、単結晶育成用ルツボ。 - 前記リング状フレームが、前記外周面の高さ方向における中央部から前記底部の間にはめられる、請求項1に記載の単結晶育成用ルツボ。
- 前記リング状フレームが、前記中央部から前記底部の間にのみはめられる、請求項2に記載の単結晶育成用ルツボ。
- 前記リング状フレームが、前記中央部から前記開口部の間、および前記中央部から前記底部の間にはめられ、前記リング状フレームが、前記中央部から前記開口部の間よりも、前記中央部から前記底部の間に多くはめられる、請求項2に記載の単結晶育成用ルツボ。
- 前記リング状フレームは、当該リング状フレームの開口面と垂直な方向の断面形状が円形状の中空リング状フレームである、請求項1~4のいずれか1項に記載の単結晶育成用ルツボ。
- 前記リング状フレームは、当該リング状フレームの開口面と垂直な方向の断面形状が円弧形状である、請求項1~4のいずれか1項に記載の単結晶育成用ルツボ。
- 前記ルツボ本体および前記リング状フレームは白金製であり、ニオブ酸リチウムの単結晶を育成するルツボである、請求項1~6のいずれか1項に記載の単結晶育成用ルツボ。
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- 2017-12-21 JP JP2017244841A patent/JP6992488B2/ja active Active
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