JP6805886B2 - 結晶育成装置 - Google Patents
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Description
前記ルツボの周囲に設けられ、前記ルツボを誘導加熱する誘導コイルと、
前記ルツボを下方から支持するルツボ台と、
前記ルツボ台の一部に設置され、前記ルツボの底面の外周部付近から斜め下方外側に向かって円錐台形状をなして広がる補助発熱体と、を有する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る結晶育成装置の一例を示した概要図である。図1に示されるように、第1の実施形態に係る結晶育成装置は、ルツボ10と、ルツボ台20と、リフレクタ30と、アフター・ヒーター40と、断熱材50、51と、耐火物60と、引き上げ軸70と、誘導コイル80と、補助発熱体90と、電源100と、制御部110とを備える。なお、加熱手段は、ルツボ10とアフター・ヒーター40と補助発熱体90とを加熱する誘導コイル80である。また、電源100は、誘導コイル80に高周波電力を供給するために設けられている。
図5は、本発明の第2の実施形態に係る結晶育成装置のルツボ台20a及び補助発熱体90の一例を示した図である。第2の実施形態に係る結晶育成装置においては、ルツボ台20aの構成のみが第1の実施形態に係る結晶育成装置と異なっている。他の構成要素については、第1の実施形態に係る結晶育成装置と同様であるので、その説明を省略する。
20、20a ルツボ台
21、22 載置面
23 耐熱材
30 リフレクタ
40 アフター・ヒーター
50、51 断熱材
60 耐火物
70 引き上げ軸
80 誘導コイル
90 補助発熱体
100 電源
110 制御部
Claims (10)
- 原料融液を貯留保持可能な金属製のルツボと、
前記ルツボの周囲に設けられ、前記ルツボを誘導加熱する誘導コイルと、
前記ルツボを下方から支持するルツボ台と、
前記ルツボ台の一部に設置され、前記ルツボの底面の外周部付近から斜め下方外側に向かって円錐台形状をなして広がる補助発熱体と、を有する結晶育成装置。 - 前記ルツボ台は、上面が前記補助発熱体と同じ傾斜面を有して形成され、前記補助発熱体は前記ルツボ台の上面上に設置される請求項1に記載の結晶育成装置。
- 前記ルツボ台は、前記補助発熱体の下端部より大きな載置面を有し、前記補助発熱体は前記ルツボ台の前記載置面上に設置され、
前記ルツボ台の前記載置面上には、前記補助発熱体の上端よりも外形が小さく、前記補助発熱体と略同じ高さ又は前記補助発熱体よりも若干高い高さを有する耐熱材が設けられる請求項1に記載の結晶育成装置。 - 前記耐熱材は、前記ルツボ台の前記載置面よりも下方の部分と同じ外形を有する請求項3に記載の結晶育成装置。
- 前記補助発熱体の上端は、前記ルツボの底面に包含されるか同じ大きさを有し、前記ルツボの底面の外周よりも内側に設けられる請求項1乃至4のいずれか一項に記載の結晶育成装置。
- 前記補助発熱体の上端は、前記ルツボの底面の外周よりも0〜40mm内側に設けられている請求項5に記載の結晶育成装置。
- 前記補助発熱体は、鉛直線に対し、10〜45°の開き角を有する請求項1乃至6のいずれか一項に記載の結晶育成装置。
- 前記補助発熱体は、前記鉛直線に対し、20〜30°の開き角を有する請求項7に記載の結晶育成装置。
- 前記補助発熱体は、前記ルツボと同じ材料から構成される請求項1乃至8のいずれか一項に記載の結晶育成装置。
- 前記ルツボ及び前記補助発熱体は、イリジウムから構成される請求項9に記載の結晶育成装置。
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