JP7106978B2 - 結晶育成装置及び単結晶の製造方法 - Google Patents
結晶育成装置及び単結晶の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7106978B2 JP7106978B2 JP2018094336A JP2018094336A JP7106978B2 JP 7106978 B2 JP7106978 B2 JP 7106978B2 JP 2018094336 A JP2018094336 A JP 2018094336A JP 2018094336 A JP2018094336 A JP 2018094336A JP 7106978 B2 JP7106978 B2 JP 7106978B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- single crystal
- auxiliary heater
- crystal
- crystal growth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Description
該ルツボを下方から支持するとともに、該ルツボよりも外側の所定位置に設けられた補助ヒータ設置部を有するルツボ台と、
前記ルツボの周囲に設けられた誘導コイルと、
前記ルツボが外側方向に変形したときに、前記補助ヒータ設置部に設置される補助ヒータと、を有し、
前記補助ヒータの上面は、前記ルツボを支持する支持面と同一あるいは支持面よりも下方に設けられる。
次に、本実施形態に係る結晶育成装置及び単結晶の製造方法を実施した実施例について説明する。なお、以下の実施例において、本実施形態と対応する構成要素については、理解の容易のため、同一の参照符号を付して説明する。
図7と同様の育成装置に結晶育成の使用回数が50回以上のルツボ10aと補助ヒータ110を用いて6インチLT結晶を育成した。ルツボ底の変形角度は円周状で145度であった。なお、ルツボ10の変形角度は、任意の均等に分けた4ヶ所の平均値とした。イリジウム製補助ヒータ110については、円環状で、厚み1.5mm、幅10mm、内径位置はルツボの外径から片側5mm、外径位置はルツボの外形より片側15mm大きくなるように設置した。補助ヒータ110の上下方向の設置位置はルツボ10aを支持している支持面と同一とした。
なお、ルツボ底に固化が発生した時は、固化が発生した時に育成を終了するためその時の結晶重量として算出した。固化が発生しなかった場合は、所定の結晶長さに育成し、その結晶重量として算出した。
幅5mmの円環状のイリジウム製補助ヒータ110を、内径位置がルツボの外径から片側5mm、外形位置がルツボの外径から片側10mm大きくなるように設置した。それ以外は、実施例1と同様の方法で引き上げ試験を行った。実施例2では、育成中の固化信号の発生が無く、固化率44%の結晶が育成できた。
補助ヒータ110を、補助ヒータ110の上下方向の設置位置がルツボ10aを支持している支持面より20mm下方に設置した以外は、実施例1と同様の方法で引き上げ試験を行った。実施例3では、育成中の固化信号の発生が無く、固化率45%の結晶が育成できた。
ルツボ底と変形角度が円周状で125度のルツボ110aを用いた。それ以外は実施例1と同様の方法で引上げ試験を行った。実施例4では、育成中の固化信号の発生が無く、固化率46%の結晶が育成できた。
補助ヒータ110の外径位置をルツボの外径から片側25mm大きくし、円環状幅を10mmとした以外は、実施例1と同様の方法で引き上げ試験を行った。育成中の固化信号の発生が無く、固化率25%の結晶が育成された。結晶の形状が悪く、補助ヒータ110の外周部にクラックが発生した。
補助ヒータ110の内径位置をルツボの外径から片側10mm小さくし、外形位置をルツボ外径と同じとし、円環状の幅は10mmとした。それ以外は、実施例1と同様の方法で引き上げ試験を行った。育成中の固化率28%でルツボ底の固化信号が発生した。変形ルツボ10aの底部の発熱が低下したと考えられる。
補助ヒータ110を、補助ヒータ110の上下方向の設置位置がルツボ10aを支持している支持面より40mm下方に設置した以外は、実施例1と同様の方法で引き上げ試験を行った。育成中の固化率27%で、ルツボ底の固化信号が発生した。変形ルツボ10aの底部の発熱が低下したと考えられる。
補助ヒータ110を用いない以外は、実施例1と同様の方法で引き上げ試験を行った。育成中の固化率19%でルツボ底の固化信号が発生した。
20、20a ルツボ台
21a 補助ヒータ設置部
30 リフレクタ
40 アフター・ヒーター
50、60 断熱材
70 誘導コイル
80 引上げ軸
100 チャンバー
110 補助ヒータ
120 種結晶
130 原料融液
Claims (5)
- 原料融液を貯留保持可能な金属製のルツボと、
該ルツボを下方から支持するとともに、該ルツボよりも外側の所定位置に設けられた補助ヒータ設置部を有するルツボ台と、
前記ルツボの周囲に設けられた誘導コイルと、
前記ルツボが外側方向に変形したときに、前記補助ヒータ設置部に設置される補助ヒータと、を有 し、
前記補助ヒータの上面は、前記ルツボを支持する支持面と同一あるいは支持面よりも下方に設けられた 結晶育成装置。 - 前記補助ヒータは、前記ルツボの外径より外側に水平に設置された請求項1に記載の結晶育成装置。
- 前記補助ヒータは円環状の平面形状を有する請求項2に記載の結晶育成装置。
- 誘導コイルにより加熱されたルツボ内に貯留保持された原料融液に種結晶を接触させて単結晶を育成しながら引き上げる単結晶育成工程と、
育成された単結晶を除去して単結晶を取得する単結晶取得工程と、
前記ルツボを洗浄及び冷却し、次の単結晶育成に備える単結晶育成準備工程と、
前記単結晶育成工程、前記単結晶取得工程及び前記単結晶育成準備工程を循環的に繰り返し、単結晶を継続して製造する単結晶量産工程と、
該単結晶量産工程の実施により前記ルツボが外側方向に変形したときに、前記ルツボを支持するルツボ台に設けられた所定の補助ヒータ設置部に補助ヒータを設置する補助ヒータ設置工程と、
前記補助ヒータが前記ルツボ台に設置された状態で前記単結晶量産工程を実施する単結晶量産継続工程と、を有する単結晶の製造方法。 - 前記ルツボの変形前には、前記補助ヒータ設置部を有しない第2のルツボ台が用いられ、
前記ルツボの変形後に前記ルツボ台が用いられる請求項4に記載の単結晶の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018094336A JP7106978B2 (ja) | 2018-05-16 | 2018-05-16 | 結晶育成装置及び単結晶の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018094336A JP7106978B2 (ja) | 2018-05-16 | 2018-05-16 | 結晶育成装置及び単結晶の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019199375A JP2019199375A (ja) | 2019-11-21 |
JP7106978B2 true JP7106978B2 (ja) | 2022-07-27 |
Family
ID=68611799
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018094336A Active JP7106978B2 (ja) | 2018-05-16 | 2018-05-16 | 結晶育成装置及び単結晶の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7106978B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61101486A (ja) * | 1984-10-25 | 1986-05-20 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 単結晶の製造方法 |
JPH04285091A (ja) * | 1991-03-14 | 1992-10-09 | Toshiba Corp | 酸化物単結晶の製造装置 |
-
2018
- 2018-05-16 JP JP2018094336A patent/JP7106978B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019199375A (ja) | 2019-11-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3388664B2 (ja) | 多結晶半導体の製造方法および製造装置 | |
EP0748884A1 (en) | Process and apparatus for producing polycrystalline semiconductors | |
JP6790927B2 (ja) | 結晶育成装置 | |
WO2011062092A1 (ja) | 単結晶引き上げ装置 | |
JP2007223830A (ja) | 酸化物単結晶の育成方法 | |
JP5163386B2 (ja) | シリコン融液形成装置 | |
JP2019147698A (ja) | 結晶育成装置及び結晶育成方法 | |
JP2020066555A (ja) | 単結晶育成装置及び単結晶育成方法 | |
JP6790698B2 (ja) | 結晶育成装置及び結晶育成方法 | |
JP2021109826A (ja) | 坩堝変形量測定方法及び酸化物単結晶の製造方法 | |
JP7106978B2 (ja) | 結晶育成装置及び単結晶の製造方法 | |
JP7115252B2 (ja) | 酸化物単結晶の製造方法及び結晶育成装置 | |
EP2376244B1 (en) | Process for producing multicrystalline silicon ingots by the induction method and apparatus for carrying out the same | |
JP6834493B2 (ja) | 酸化物単結晶の育成装置及び育成方法 | |
JP4203647B2 (ja) | 単結晶の製造装置、及びその製造方法 | |
JP6805886B2 (ja) | 結晶育成装置 | |
JP2005162507A (ja) | 多結晶半導体インゴット製造装置、多結晶半導体インゴットの製造方法および多結晶半導体インゴット | |
JP2021100901A (ja) | 単結晶育成装置と単結晶育成方法 | |
US20180016703A1 (en) | Method for producing crystal | |
JP6702249B2 (ja) | 酸化物単結晶の製造方法及び酸化物単結晶引き上げ装置 | |
JP2019043788A (ja) | 単結晶育成方法及び単結晶育成装置 | |
JP2022025994A (ja) | 単結晶育成装置と単結晶育成方法 | |
JP6992488B2 (ja) | 単結晶育成用ルツボ | |
JP2018002573A (ja) | 結晶育成装置 | |
JP7031425B2 (ja) | 単結晶育成装置及び単結晶育成方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210301 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211207 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220203 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220614 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220627 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7106978 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |