JP6866706B2 - 発熱体モジュール及び発熱体モジュールを含む育成装置 - Google Patents
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- 二硅化モリブデンで形成された発熱体と耐火物と別の耐火物とを備えた発熱体モジュールであって、
前記発熱体は、該発熱体の発熱部が前記耐火物の表面から所定の間隔を空けて配置されるように前記耐火物に取り付けられており、
前記耐火物は、ルツボが配置される加熱空間を囲むように、且つ、前記ルツボと協働して前記加熱空間を上部加熱空間と下部加熱空間に熱的に分離する前記別の耐火物を支持するように構成されており、且つ、
前記別の耐火物は、前記別の耐火物の内径が前記ルツボの外径よりも小さくなるように構成されている、
発熱体モジュール。 - 前記発熱部は、前記耐火物の表面から少なくとも10mmの間隔を空けて配置されている、
請求項1に記載の発熱体モジュール。 - 前記耐火物は円筒形状を有し、
前記発熱体は、前記耐火物の内壁面に沿って縦方向に延び且つ周方向に並ぶ複数の発熱体要素で構成されている、
請求項1又は2に記載の発熱体モジュール。 - 当該発熱体モジュールは、単結晶の育成装置を構成している、
請求項1乃至3の何れかに記載の発熱体モジュール。 - 前記発熱部は、前記下部加熱空間において、前記耐火物の表面から所定の間隔を空けて配置されている、
請求項4に記載の発熱体モジュール。 - 前記上部加熱空間には別の発熱体が配置されている、
請求項5に記載の発熱体モジュール。 - 前記単結晶は、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、ランガサイトの単結晶である、
請求項4乃至6の何れか一項に記載の発熱体モジュール。
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