JP2018156750A - 発熱体モジュール及び発熱体モジュールを含む育成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の実施例に係る下部発熱体モジュール3は、二硅化モリブデンで形成された発熱体3bと耐火物3aとを備える。発熱体3bは、その発熱部としての細径部3b1が耐火物3aの内壁面IW1から水平距離D1だけ間隔を空けて配置されるように耐火物3aに取り付けられている。水平距離D1は、望ましくは、10mm以上である。耐火物3aは、望ましくは、円筒形状を有する。
【選択図】図1
Description
Claims (7)
- 二硅化モリブデンで形成された発熱体と耐火物とを備えた発熱体モジュールであって、
前記発熱体は、該発熱体の発熱部が前記耐火物の表面から所定の間隔を空けて配置されるように前記耐火物に取り付けられている、
発熱体モジュール。 - 前記発熱部は、前記耐火物の表面から少なくとも10mmの間隔を空けて配置されている、
請求項1に記載の発熱体モジュール。 - 前記耐火物は円筒形状を有し、
前記発熱体は、前記耐火物の内壁面に沿って縦方向に延び且つ周方向に並ぶ複数の発熱体要素で構成されている、
請求項1又は2に記載の発熱体モジュール。 - 単結晶の育成装置であって、
加熱空間を囲む耐火物と、
前記加熱空間内に配置されるルツボと、
前記加熱空間内に配置される二硅化モリブデンで形成された発熱体と、を有し、
前記発熱体の発熱部は、前記加熱空間において、前記耐火物の表面から所定の間隔を空けて配置されている、
育成装置。 - 前記ルツボと協働して前記加熱空間を上部加熱空間と下部加熱空間に熱的に分離する別の耐火物を有し、
前記発熱体の発熱部は、前記下部加熱空間において、前記耐火物の表面から所定の間隔を空けて配置されている、
請求項4に記載の育成装置。 - 前記上部加熱空間には別の発熱体が配置されている、
請求項5に記載の育成装置。 - 前記単結晶は、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、ランガサイトの単結晶である、
請求項4乃至6の何れか一項に記載の育成装置。
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CN107268082A (zh) * | 2017-07-27 | 2017-10-20 | 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 | 一种长方形蓝宝石单晶用加热体结构 |
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