JP2018058736A - 結晶育成装置及び結晶育成方法 - Google Patents
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Abstract
Description
該ルツボの上方に配置された金属性円筒状のアフター・ヒーターと、
前記ルツボの周囲に配置され、第1の巻ピッチで巻回された下部コイル部と、該下部コイル部と離間して上方に配置され、前記第1の巻ピッチと異なる第2の巻ピッチで巻回された上部コイル部と、該上部コイル部と前記下部コイル部とを接続するとともに、少なくとも一部が前記アフター・ヒーターの周囲に配置され、前記第1及び第2の巻ピッチよりも大きい第3の巻ピッチで巻回された粗巻コイル部と、を有する加熱用の誘導コイルと、
該誘導コイルを上下動させる昇降機構と、を有する。
30 レフレクター
40 アフター・ヒーター
50、51 断熱材
60 耐火物
70 引き上げ軸
71 種結晶保持部
72 引き上げ軸駆動部
80 誘導コイル
81 下部コイル部
82 上部コイル部
83 粗巻コイル部
90 昇降機構
100 電源
120 チャンバー
130 制御部
140 種結晶
150 結晶原料
160 結晶
161 肩部
162 直胴部
Claims (11)
- 原料融液を保持可能な金属製のルツボと、
該ルツボの上方に配置された金属性円筒状のアフター・ヒーターと、
前記ルツボの周囲に配置され、第1の巻ピッチで巻回された下部コイル部と、該下部コイル部と離間して上方に配置され、前記第1の巻ピッチと異なる第2の巻ピッチで巻回された上部コイル部と、該上部コイル部と前記下部コイル部とを接続するとともに、少なくとも一部が前記アフター・ヒーターの周囲に配置され、前記第1及び第2の巻ピッチよりも大きい第3の巻ピッチで巻回された粗巻コイル部と、を有する加熱用の誘導コイルと、
該誘導コイルを上下動させる昇降機構と、を有する結晶育成装置。 - 前記第2の巻ピッチは、前記第1の巻ピッチより大きい請求項1に記載の結晶育成装置。
- 前記誘導コイルは、前記下部コイル部の上端が前記ルツボの上端と同じ高さに配置されたときに、前記上部コイル部の下端が前記アフター・ヒーターの上端よりも上方に配置される形状を有する請求項1又は2に記載の結晶育成装置。
- 前記昇降機構は、前記上部コイル部が前記アフター・ヒーターの周囲に配置されるように前記誘導コイルを昇降可能である請求項3に記載の結晶育成装置。
- 下端部に種結晶を保持可能であり、該種結晶を前記原料融液に接触させて単結晶の引き上げが可能な引き上げ軸を更に有し、
前記昇降機構は、前記引き上げ軸が前記種結晶を前記原料融液に接触させて前記単結晶を引き上げる際、前記単結晶の肩部育成までは前記下部コイル部の上端が前記ルツボの上端であるとともに前記上部コイル部の下端が前記アフター・ヒーターの上端よりも上方にあるように前記誘導コイルを配置し、前記単結晶の直胴部の育成時には前記誘導コイルを下降させる請求項3又は4に記載の結晶育成装置。 - 前記昇降機構は、前記単結晶の直胴部の育成時には前記アフター・ヒーターの周囲に前記上部コイル部が配置されるように前記誘導コイルを移動させる請求項5に記載の結晶育成装置。
- 前記昇降機構は、前記単結晶の直胴部の育成時には前記誘導コイルを20〜75mm下降させる請求項5又は6に記載の結晶育成装置。
- 金属製のルツボ内に保持された原料融液の液面に、引き上げ軸の下端に保持された種結晶を接触させるシーディング工程と、
前記ルツボの周囲に配置される下部コイル部と、該下部コイル部よりも上方に離間して配置された上部コイル部と、該上部コイル部と前記下部コイル部とを接続する粗巻コイル部とを有する誘導コイルで前記ルツボを加熱しながら前記引き上げ軸を引き上げ、単結晶の肩部を育成する肩部育成工程と、
前記引き上げ軸を更に引き上げるとともに前記誘導コイルを下降させ、前記ルツボの上方に設けられた金属製円筒状のアフター・ヒーターの周囲に配置されるようにして前記単結晶の直胴部を育成する直胴部育成工程と、を有する結晶育成方法。 - 前記肩部育成工程において、前記下部コイル部の上端を前記ルツボの上端と同じ高さに配置したときに、前記上部コイル部の下端は前記アフター・ヒーターの上端よりも上方に配置されるようにし、前記アフター・ヒーターを発熱させないようにする請求項8に記載の結晶育成方法。
- 前記直胴部育成工程において、前記誘導コイルを20〜75mm下降させる請求項8又は9に記載の結晶育成方法。
- 前記直胴部育成工程において、前記誘導コイルを下降させた後、前記引き上げ軸の更なる引き上げに連動させて前記上部コイル部が前記単結晶の前記肩部の周囲に配置されるように前記誘導コイルを再度上昇させる工程を更に有する請求項8乃至10のいずれか一項に記載の結晶育成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Cited By (3)
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---|---|---|---|---|
JP2019189488A (ja) * | 2018-04-25 | 2019-10-31 | 住友金属鉱山株式会社 | 単結晶の製造方法 |
CN113136618A (zh) * | 2020-01-17 | 2021-07-20 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 一种单晶炉热场及单晶炉 |
CN117403330A (zh) * | 2023-12-14 | 2024-01-16 | 天通控股股份有限公司 | 一种调控钽酸锂晶体退火阶段热场温度梯度的方法 |
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2016
- 2016-10-07 JP JP2016198820A patent/JP6790698B2/ja active Active
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CN117403330A (zh) * | 2023-12-14 | 2024-01-16 | 天通控股股份有限公司 | 一种调控钽酸锂晶体退火阶段热场温度梯度的方法 |
CN117403330B (zh) * | 2023-12-14 | 2024-03-01 | 天通控股股份有限公司 | 一种调控钽酸锂晶体退火阶段热场温度梯度的方法 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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