JP6988905B2 - 撥水撥油部材及び撥水撥油部材の製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、撥水撥油部材及び撥水撥油部材の製造方法に関し、詳細には、基材と撥水撥油層との間にシラノール基を複数有する有機ケイ素化合物を用いてプライマー層を形成した撥水撥油部材及び該撥水撥油部材の製造方法に関する。
近年、外観や視認性を良くするために、汚れを付き難くする技術や、汚れを落としやすくする技術の要求が年々高まってきており、特に眼鏡レンズ、スマートフォン、ウェアラブル端末、カーナビ、電子機器の筐体、キッチン台や輸送機器のボディーの表面は、皮脂や油汚れが付着しやすいため、撥水撥油層を設けることが望まれている。しかし、撥水撥油剤として用いられているフッ素基を有する化合物は、その表面自由エネルギーが非常に小さく、各種基材に対する非粘着性、非密着性を有するため、撥水撥油剤を基材に直接密着させることは難しい。
このような問題を解決するために、ガラス等の基材表面を撥水撥油処理できる処理剤として、例えば、特開2011−116947号公報(特許文献1)では、下記平均組成式で示されるフルオロオキシアルキレン基含有ポリマー組成物が開示されている。
Figure 0006988905
(式中Rf1は−Cd2dO−(dは1〜6の整数であり、繰返し単位ごとに異なっていてよい)の繰返し単位5〜100個を含む2価の直鎖型フルオロオキシアルキレン基、A及びBは、互いに独立に、Rf2基又は下記式
Figure 0006988905
で示される基から選ばれる基であり、Rf2はF、H、末端が−CF3基又は−CF2H基である1価のフッ素含有基であり、Qは2価の有機基であり、Zはシロキサン結合を有する2〜7価のオルガノポリシロキサン残基であり、Rは炭素数1〜4のアルキル基又はフェニル基であり、Xは加水分解性基であり、aは2又は3、bは1〜6、cは1〜5の整数であり、βは0又は1の整数)
しかしながら、特許文献1で提案されている処理剤は、ガラス等に代表されるシラノール基が多く存在する基板上では、比較的優れた耐久性を示すが、金属、金属酸化物や樹脂等に対しては、優れた密着性を得ることは難しい。
密着性を向上する方法として、乾式法(蒸着法やスパッタ法)でSiO2層をプライマー層として設ける方法が開示されている(国際公開第2014/097388号:特許文献2)。この方法を用いると、耐久性に優れた撥水撥油層を形成できることが示されているが、真空中で処理を行う必要があること、大型基板を塗工するには、大掛かりな装置が必要であることから、生産性、生産コストの点で応用範囲が限られている。
一方、湿式法でプライマー層を設けることができるポリシラザン溶液が開示されている(国際公開第2010/038648号:特許文献3)。ポリシラザン溶液を塗布後、水分と反応してシリカガラスに転化することを利用している。この方法は、真空プロセスを用いないという点で乾式法より優れているが、撥水撥油層の密着性を安定させるには、長時間の高温加熱や加湿が必要であるため、生産性、コストの面で問題があり、耐熱性の観点から応用できる基材が限られるという問題点がある。
なお、本発明に関連する従来技術として、上述した文献と共に下記文献が挙げられる。
特開2011−116947号公報 国際公開第2014/097388号 国際公開第2010/038648号 特開2007−197425号公報 特開2007−297589号公報 特開2007−297543号公報 特開2008−088412号公報 特開2008−144144号公報 特開2010−031184号公報 特開2010−047516号公報 特開2011−178835号公報 特開2014−084405号公報 特開2014−105235号公報 特開2013−253228号公報 特開2014−218639号公報 国際公開第2013/121984号
本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、耐摩耗性に優れた撥水撥油部材、及び各種基材に耐摩耗性が優れた撥水撥油層を湿式法又は乾式法で形成する撥水撥油部材の製造方法を提供することを目的とするものである。
本発明者らは、上記目的を達成するために鋭意検討を重ねた結果、基材表面に、シラノール基を複数有する有機ケイ素化合物と溶剤を含む溶液を湿式塗布する工程と、該溶剤を乾燥させてプライマー層を形成する工程と、該プライマー層上に、含フッ素化合物と溶剤を含む溶液を湿式塗布した後に、該溶剤を乾燥させるか、又は、該溶液から溶剤を蒸発させた含フッ素化合物を乾式塗布する工程と、含フッ素化合物を硬化させて撥水撥油層を形成する工程とを有する方法等により得られる、各種基材に、上記方法でシラノール基を複数有する有機ケイ素化合物を主成分とする特定厚さのプライマー層を設けた後に、該プライマー層上に、含フッ素化合物の硬化物を主成分とする特定厚さの撥水撥油層を設けた撥水撥油部材は、耐摩耗性に優れた撥水撥油被膜を、安定して、簡便に各種基材に付与でき、さらに、プライマー層及び撥水撥油層は、室温(25℃)プロセスでも塗工できることを見出し、本発明をなすに至った。
即ち、本発明は、下記の撥水撥油部材及び撥水撥油部材の製造方法を提供する。
〔1〕
基材の少なくとも片面に、第1層としてプライマー層を積層し、さらにその上に第2層として撥水撥油層を順次積層した撥水撥油部材であって、プライマー層が、重量平均分子量が5,000〜100,000であり、0.005〜0.05mol/gのシラノール基量を有するテトラエトキシシランの加水分解・脱水縮合化合物であるシラノール基を複数有する有機ケイ素化合物を主成分とする膜厚0.5〜500nmの層からなり、かつ撥水撥油層が含フッ素化合物の硬化物を主成分とする膜厚0.5〜30nmの層からなる撥水撥油部材。

含フッ素化合物が、少なくとも1つの末端に加水分解性基を少なくとも1つ有し、該加水分解性基が、炭素数1〜12のアルコキシ基、炭素数1〜12のアルコキシアルコキシ基、炭素数1〜10のアシロキシ基、炭素数2〜10のアルケニルオキシ基、ハロゲン基、アミノ基及びシラザン基から選ばれる基である〔1〕に記載の撥水撥油部材。

含フッ素化合物が、分子中に−(CF2d−O−(CF2O)p(CF2CF2O)q(CF2CF2CF2O)r(CF2CF2CF2CF2O)s(CF(CF3)CF2O)t−(CF2d−(式中、p、q、r、s、tはそれぞれ独立に0〜200の整数であり、かつ、p+q+r+s+t=3〜500であり、括弧内に示される各単位はランダムに結合されていてよく、dは0〜8の整数であり、該単位は直鎖状であっても分岐状であってもよい。)を有し、かつ、少なくとも1つの末端に加水分解性基を少なくとも1つ有するフルオロオキシアルキレン基含有有機ケイ素化合物である〔1〕又は〔2〕に記載の撥水撥油部材。

含フッ素化合物が、下記一般式(1)、(2)、(3)、(4)及び(5)で表されるフッ素含有加水分解性有機ケイ素化合物から選ばれる少なくとも1種である〔1〕〜〔〕のいずれかに記載の撥水撥油部材。
(A−Rf)α−ZWβ (1)
Rf−(ZWβ2 (2)
Z’−(Rf−ZWβγ (3)
〔式中、Rfは−(CF2d−O−(CF2O)p(CF2CF2O)q(CF2CF2CF2O)r(CF2CF2CF2CF2O)s(CF(CF3)CF2O)t−(CF2d−であり、p、q、r、s、tはそれぞれ独立に0〜200の整数であり、かつ、p+q+r+s+t=3〜500であり、括弧内に示される各単位はランダムに結合されていてよく、dは0〜8の整数であり、該単位は直鎖状であっても分岐状であってもよい。Aはフッ素原子、水素原子、又は末端が−CF3基、−CF2H基もしくは−CH2F基である1価のフッ素含有基であり、Z、Z’は独立に単結合、又は窒素原子、酸素原子、ケイ素原子、リン原子もしくは硫黄原子を含んでいてもよく、フッ素置換されていてもよい2〜8価の有機基であり、Wは末端に加水分解性基を有する1価の有機基である。α、βはそれぞれ独立に1〜7の整数であり、かつ、α+β=2〜8である。γは2〜8の整数である。〕
A−Rf−Q−(Y)δ−B (4)
Rf−(Q−(Y)δ−B)2 (5)
(式中、Rf、Aは前記と同じであり、Qは単結合又は2価の有機基であり、δは1〜10の整数であり、Yは加水分解性基を有する2価の有機基であり、Bは水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、又はハロゲン原子である。)

式(1)〜(5)で表されるフッ素含有加水分解性有機ケイ素化合物が、下記に示すものである〔〕に記載の撥水撥油部材。
Figure 0006988905
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(式中、Meはメチル基であり、p1、q1、r1、s1、t1はそれぞれ独立に1〜200の整数であり、かつ、p1、q1、r1、s1、t1の合計は3〜500であり、括弧内に示される各単位はランダムに結合されていてよい。)

基材が、金属酸化物、金属、樹脂、セラミック、石英、ガラス、サファイヤ又はダイヤモンドである〔1〕〜〔〕のいずれかに記載の撥水撥油部材。

基材表面に、重量平均分子量が5,000〜100,000であり、0.005〜0.05mol/gのシラノール基量を有するテトラエトキシシランの加水分解・脱水縮合化合物であるシラノール基を複数有する有機ケイ素化合物と溶剤を含む溶液を湿式塗布する工程と、該溶剤を乾燥させてプライマー層を形成する工程と、該プライマー層上に、含フッ素化合物と溶剤を含む溶液を湿式塗布した後に、該溶剤を乾燥させるか、又は、該溶液から溶剤を蒸発させた含フッ素化合物を乾式塗布する工程と、含フッ素化合物を硬化させて撥水撥油層を形成する工程とを含む〔1〕〜〔〕のいずれかに記載の撥水撥油部材の製造方法。
本発明によれば、撥水撥油性に優れた防汚層表面が強固に密着した撥水撥油部材を形成することができる。該撥水撥油部材の製造方法は、真空プロセスや高温の加熱プロセスを必須とすることなく、湿式(刷毛塗り、スピンコート、スプレー塗装、グラビアコート、ダイコート、バーコート、スリットコート)プロセスで形成することができ、様々な用途に適用することができる。例えば、表面に防汚性を有する物品、特には、電子機器の筐体、ウェアラブル端末、キッチン用品及びサニタリー用品、輸送用機器のボディー、タッチパネルディスプレイ、保護フイルム等に有用である。
以下、本発明についてさらに詳しく説明する。
本発明は、各種基材の表面(少なくとも片面)に、シラノール基を複数有する有機ケイ素化合物と溶剤を含む溶液を湿式塗布した後、該溶剤を乾燥させてプライマー層を形成し、さらに該プライマー層上に、含フッ素化合物と溶剤を含む溶液(撥水撥油剤)を湿式塗布した後に、該溶剤を乾燥させるか、あるいは、該溶液から溶剤を蒸発させた含フッ素化合物を乾式塗布すると共に含フッ素化合物を硬化させて撥水撥油層を形成する方法等によって、各種基材上に、シラノール基を複数有する有機ケイ素化合物を主成分とする膜厚0.5〜500nmのプライマー層を有し、さらにその上に含フッ素有機化合物の硬化物を主成分とする膜厚0.5〜30nmの撥水撥油層を有する撥水撥油部材を提供するものである。
本発明で適用される基材としては特に制限されないが、金属酸化物、金属、樹脂、セラミック、石英、ガラス、サファイヤ、ダイヤモンドが特に好適である。
ここで、基材の金属酸化物としては、SiO、SiO2、Al23、ITO、In23、SnO2、ZrO2、TiO2、Ti23、Ti47、Ti35、Nb25、Ta25、Y23、WO3、HfO2、La2Ti27等が挙げられる。
また、基材の金属としては、マグネシウム、マグネシウム合金、チタン、チタン合金、クロム、鉄、ニッケル、コバルト、銅、亜鉛、イットリウム、ジルコニウム、ニオブ、モリブデン、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、銀、タングステン、白金、金、ステンレス、アルミニウム、アルミニウム合金、ジュラルミン、ハステロイ等が挙げられる。
さらに、基材の樹脂としては、熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂が挙げられ、具体的には次のものがよい。セルロイド、セルロースアセテート、セルロースプロピオネート、セルロースブチレート、6−ナイロン、6,6−ナイロン、12−ナイロンなどの脂肪族ポリアミド、芳香族ポリアミド、(メタ)アクリル樹脂、ABS樹脂、AS樹脂、ポリスチレン、ポリエチレン(低密度又は高密度)、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリアセタール、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレートなどの飽和ポリエステル、芳香族ポリエステル、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリエーテルイミド、ポリアリレート、ポリメチルペンテン、アイオノマー、液晶ポリマー、ポリイミド、ポリアミドイミド、フッ素樹脂、ポリフェニレンサルファイド、(変性)ポリフェニレンオキサイド、熱可塑性ポリウレタン等の熱可塑性樹脂、あるいは、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル、熱硬化性ポリウレタン、ポリイミド、ジエチレングリコールビスアリルカーボネート(通称CR−39)の重合物、(ハロゲン化)ビスフェノールAのジ(メタ)アクリレートの(共)重合物、(ハロゲン化)ビスフェノールAのウレタン変性ジ(メタ)アクリレートの(共)重合物、ジアクリレート化合物やビニルベンジルアルコールと不飽和チオール化合物等との共重合物などの熱硬化性樹脂が挙げられる。
上記基材上に形成するプライマー層は、シラノール基を複数有する有機ケイ素化合物を主成分とし、好ましくは該有機ケイ素化合物を50質量%以上含有する、膜厚0.5〜500nmのものである。該プライマー層は、各種基材の表面に、シラノール基を複数有する有機ケイ素化合物と溶剤を含む溶液を湿式塗布した後、該溶剤を乾燥除去することにより形成できる。
シラノール基を複数有する有機ケイ素化合物は、1分子中にシラノール基を好ましくは2個以上、より好ましくは3個以上、さらに好ましくは4個以上有するものである。シラノール基が少なすぎると、被膜自体が弱くなる場合がある。なお、シラノール基を複数有する有機ケイ素化合物中のシラノール基量は0.0001〜0.05mol/g、特に0.001〜0.04mol/g、とりわけ0.005〜0.03mol/gであることが好ましい。
シラノール基を複数有する有機ケイ素化合物は、加水分解性基を複数有する有機ケイ素化合物を加水分解することにより準備できる。
ここで、加水分解性基を複数有する有機ケイ素化合物としては、メチルトリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、ジメトキシジフェニルシラン、テトラエトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、n−プロピルトリメトキシシラン、n−プロピルトリエトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、ヘキシルトリエトキシシラン、デシルトリメトキシシラン、1,6−ビス(トリメトキシシリル)ヘキサン、トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、p−スチリルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、トリス−(トリメトキシシリルプロピル)イソシアヌレート、トリクロロシラン、ジクロロシラン等が挙げられ、これらを混合して用いてもよい。
なお、本発明においては、シラノール基を複数有する有機ケイ素化合物として、上述した加水分解性基を複数有する有機ケイ素化合物を加水分解した後に、脱水縮合をさせて高分子量化させたものを用いることが好ましい。
上記、加水分解・脱水縮合物は、重量平均分子量が、300〜100,000であることが好ましく、5,000〜50,000であることがさらに好ましい。なお、本発明において、重量平均分子量は、例えば、トルエンを展開溶媒としたゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)分析におけるポリスチレン換算値として求めることができる(以下、同じ。)。
本発明に用いるシラノール基を複数有する有機ケイ素化合物としては、テトラエトキシシランの加水分解・脱水縮合化合物が特に好ましい。
シラノール基を複数有する有機ケイ素化合物は、溶剤によって希釈することが望ましい。シラノール基を複数有する有機ケイ素化合物を溶解させる溶剤としては、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール等のアルコール類、プロピレングリコールモノメチルエーテルやポリエチレングリコールモノプロピルエーテル等のエーテル類が好ましいが、特に限定されるものではなく、基材との濡れ性や沸点から適宜選択すればよい。シラノール基を複数有する有機ケイ素化合物と溶剤を含む溶液中におけるシラノール基を複数有する有機ケイ素化合物の濃度は、0.01〜10質量%が好ましく、0.1〜2質量%がさらに好ましい。濃度が低すぎると、未塗工部分が増えてしまい、濃度が高すぎると、シラノール基同士で2次凝集が起こる可能性がある。
また、シラノール基を複数有する有機ケイ素化合物と溶剤を含む溶液には、必要に応じて、紫外線吸収剤、光安定剤、酸化防止剤、レベリング剤、消泡剤、顔料、染料、分散剤、帯電防止剤、防曇剤などの界面活性剤類を用いてもよい。
上記シラノール基を複数有する有機ケイ素化合物と溶剤を含む溶液は、湿式塗布、特にはディッピング、刷毛塗り、スピンコート、スプレー塗装、グラビアコート、ダイコート、バーコート、スリットコート、流し塗りなどの方法で基材表面に塗布し、溶剤を乾燥させることでシラノール基を複数有する有機ケイ素化合物を主成分とするプライマー層を形成できる。なお、基材に影響を与えない温度範囲で、例えば40〜500℃で1分〜24時間加熱してもよい。
基材表面に形成されるプライマー層の膜厚は、基材の種類により適宜選定されるが、通常0.5〜500nmであり、好ましくは3〜200nm、特に10〜100nmである。なお、本発明において、膜厚は分光エリプソメトリーやX線反射率法等公知の方法により測定できる。
次に、形成したプライマー層表面に撥水撥油剤を塗布して硬化し、防汚表面層(撥水撥油層)を形成する。撥水撥油剤としては、含フッ素有機ケイ素化合物を主成分とするものである。該含フッ素有機ケイ素化合物としては、特開2007−197425号公報、特開2007−297589号公報、特開2007−297543号公報、特開2008−088412号公報、特開2008−144144号公報、特開2010−031184号公報、特開2010−047516号公報、特開2011−116947号公報、特開2011−178835号公報、特開2014−084405号公報、特開2014−105235号公報、特開2013−253228号公報、特開2014−218639号公報、国際公開第2013/121984号(特許文献1、4〜16)に記載の含フッ素有機ケイ素化合物を使用することができる。
含フッ素有機ケイ素化合物(又は含フッ素化合物)に関してさらに具体的に説明する。
本発明にかかる含フッ素化合物は、少なくとも1つの末端に加水分解性基を少なくとも1つ有する含フッ素化合物であることが好ましく、該化合物は、1分子中にメトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基などの炭素数1〜12、特に炭素数1〜10のアルコキシ基、メトキシメトキシ基、メトキシエトキシ基などの炭素数2〜12、特に炭素数2〜10のアルコキシアルコキシ基、アセトキシ基などの炭素数1〜10のアシロキシ基、イソプロペノキシ基などの炭素数2〜10のアルケニルオキシ基、クロル基、ブロモ基、ヨード基などのハロゲン基、アミノ基及び、シラザン基等の加水分解性基を有し、かつ、フッ素原子を有する有機ケイ素化合物であることがより好ましい。含フッ素化合物として、好ましくは、フルオロオキシアルキレン基を有する化合物であるのがよい。フルオロオキシアルキレン基とは、−Cj2jO−で示される繰返し単位が複数結合された(ポリ)フルオロオキシアルキレン構造を有する化合物である(該構造においてjは1以上、好ましくは1〜6、より好ましくは1〜4の整数である)。特には、該繰返し単位を3〜500個、好ましくは15〜200個、さらに好ましくは20〜100個、より好ましくは25〜80個有するのがよい。
上記繰返し単位−Cj2jO−は、直鎖型及び分岐型のいずれであってもよい。例えば下記の単位が挙げられ、これらの繰返し単位の2種以上が結合されたものであってもよい。
−CF2O−
−CF2CF2O−
−CF2CF2CF2O−
−CF(CF3)CF2O−
−CF2CF2CF2CF2O−
−CF2CF2CF2CF2CF2O−
−C(CF32O−
上記(ポリ)フルオロオキシアルキレン構造は、特には、−(CF2d−O−(CF2O)p(CF2CF2O)q(CF2CF2CF2O)r(CF2CF2CF2CF2O)s(CF(CF3)CF2O)t−(CF2d−であり、p、q、r、s、tはそれぞれ独立に0〜200の整数、好ましくはpは5〜100の整数、qは5〜100の整数、rは0〜100の整数、sは0〜50の整数、tは0〜100の整数であり、かつ、p+q+r+s+t=3〜500の整数、好ましくは10〜105の整数である。なお、括弧内に示される各単位はランダムに結合されていてよい。dは独立に0〜8の整数、好ましくは0〜5の整数、さらに好ましくは0〜2の整数であり、該単位は直鎖状であっても分岐状であってもよい。特には、下記構造で表すことができる。
Figure 0006988905
(式中、p’、q’、r’、s’、t’はそれぞれ独立に1〜200の整数であり、かつ、p’、q’、r’、s’、t’の合計は3〜500である。括弧内に示される各単位はランダムに結合されていてよい。d’は独立に0〜5の整数であり、該単位は直鎖状であっても分岐状であってもよい。)
本発明にかかる含フッ素化合物は、より好ましくは下記一般式(1)〜(5)のいずれかで表されるフッ素含有加水分解性有機ケイ素化合物(又は含フッ素加水分解性有機ケイ素化合物)である。これらは1種を単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
(A−Rf)α−ZWβ (1)
Rf−(ZWβ2 (2)
Z’−(Rf−ZWβγ (3)
A−Rf−Q−(Y)δ−B (4)
Rf−(Q−(Y)δ−B)2 (5)
式(1)〜(5)中、Rfは−(CF2d−O−(CF2O)p(CF2CF2O)q(CF2CF2CF2O)r(CF2CF2CF2CF2O)s(CF(CF3)CF2O)t−(CF2d−であり、p、q、r、s、tはそれぞれ独立に0〜200の整数であり、かつ、p+q+r+s+t=3〜500であり、括弧内に示される各単位はランダムに結合されていてよく、dは0〜8の整数であり、該単位は直鎖状であっても分岐状であってもよい。Aはフッ素原子、水素原子、又は末端が−CF3基、−CF2H基もしくは−CH2F基である1価のフッ素含有基であり、Z、Z’は独立に単結合、又は窒素原子、酸素原子、ケイ素原子、リン原子もしくは硫黄原子を含んでいてもよく、フッ素置換されていてもよい2〜8価の有機基であり、Wは末端に加水分解性基を有する1価の有機基である。α、βはそれぞれ独立に1〜7の整数、好ましくは、αは1〜3の整数、より好ましくは1、βは1〜3の整数であり、かつ、α+β=2〜8の整数、好ましくは2〜4の整数である。γは2〜8の整数、好ましくは2又は3である。
また、Qは単結合又は2価の有機基であり、δはそれぞれ独立に1〜10の整数であり、Yは加水分解性基を有する2価の有機基であり、Bは水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、又はハロゲン原子である。
上記式(1)〜(5)において、Rfは上述した(ポリ)フルオロオキシアルキレン構造である−(CF2d−O−(CF2O)p(CF2CF2O)q(CF2CF2CF2O)r(CF2CF2CF2CF2O)s(CF(CF3)CF2O)t−(CF2d−であり、上記と同様のものが例示できる。
上記式(1)及び(4)において、Aはフッ素原子、水素原子、又は末端が−CF3基、−CF2H基もしくは−CH2F基である1価のフッ素含有基である。中でも、−CF3基、−CF2CF3基、−CF2CF2CF3基が好ましい。
上記式(1)〜(3)において、Z、Z’は、独立に単結合、又は窒素原子、酸素原子、ケイ素原子、リン原子もしくは硫黄原子を含んでいてもよく、フッ素置換されていてもよい2〜8価の有機基である。該有機基は(L)e−M(eは1〜7の整数、好ましくは1〜3の整数である)で表すことができる。
ここで、Lは単結合、又は酸素原子、硫黄原子、もしくは2価の有機基であり、上記式(1)〜(3)において、ZのLはいずれもRf基とM基(又はW基)との連結基であり、Z’のLはM(又はRf基)とRf基との連結基である。2価の有機基として、好ましくは、アミド結合、エーテル結合、エステル結合、又はジメチルシリレン基等のジオルガノシリレン基、−Si[OH][(CH2fSi(CH33]−(fは2〜4の整数)で示される基からなる群より選ばれる1種又は2種以上を含んでよい非置換又は置換の炭素数2〜12の2価有機基であり、より好ましくは前記構造を含んでよい非置換又は置換の炭素数2〜12の2価炭化水素基である。
前記非置換又は置換の炭素数2〜12の2価炭化水素基としては、例えば、エチレン基、プロピレン基(トリメチレン基、メチルエチレン基)、ブチレン基(テトラメチレン基、メチルプロピレン基)、ヘキサメチレン基、オクタメチレン基等のアルキレン基、フェニレン基等のアリーレン基、又はこれらの基の2種以上の組み合わせ(アルキレン・アリーレン基等)が挙げられる。さらに、これらの基の炭素原子に結合する水素原子の一部又は全部をフッ素、ヨウ素等のハロゲン原子で置換した基であってもよい。中でも、非置換又は置換の炭素数2〜4のアルキレン基又はフェニレン基が好ましい。
Lの2価の有機基としては、例えば、下記構造で示される基、又はこれらの2種以上が結合した基が挙げられる。
Figure 0006988905
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Figure 0006988905
Figure 0006988905
(式中、fは2〜4の整数であり、bは2〜6の整数、好ましくは2〜4の整数であり、u、vは1〜4の整数であり、gは2〜4の整数であり、Meはメチル基である。)
また、Mは、単結合、又は窒素原子、ケイ素原子、炭素原子、リン原子あるいはこれらを含む基、もしくは2〜8価の有機基である。具体的には、単結合、−R1 2C−で示される2価の基、−R3 2Si−で示される2価の基、−NR4−で示される2価の基、−N=で示される3価の基、−P=で示される3価の基、−PO=で示される3価の基、−R1C=で示される3価の基、−R3Si=で示される3価の基、−C≡で示される4価の基、−O−C≡で示される4価の基、及び−Si≡で示される4価の基から選ばれる基、又は2〜8価のシロキサン残基であり、上記式(1)〜(3)において、ZのMはいずれもL(又はRf基)とW基との連結基であり、Z’のMはLを介してRf基と連結する基である。
上記において、R1は互いに独立に、好ましくは炭素数1〜3のアルキル基、ヒドロキシル基、ケイ素原子数2〜51個のジオルガノシロキサン構造を介在していてもよい炭素数1〜3のオキシアルキレン基の繰返し単位を有する基、又はR2 3SiO−で示されるシリルエーテル基であり、R2は互いに独立に、水素原子、好ましくは炭素数1〜3のアルキル基、フェニル基等のアリール基、又は炭素数1〜3のアルコキシ基である。R3は互いに独立に、好ましくは炭素数1〜3のアルキル基、炭素数2又は3のアルケニル基、炭素数1〜3のアルコキシ基、又はクロル基である。R4は炭素数1〜3のアルキル基、フェニル基等の炭素数6〜10のアリール基である。Mがシロキサン残基の場合には、ケイ素原子数2〜51個、好ましくはケイ素原子数2〜13個、より好ましくはケイ素原子数2〜11個、さらに好ましくはケイ素原子数2〜5個の直鎖状、分岐状又は環状オルガノポリシロキサン構造を有することが好ましい。該オルガノポリシロキサンは、炭素数1〜8、より好ましくは炭素数1〜4のメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、及びC37−C36−等の非置換もしくはフッ素置換アルキル基又はフェニル基を有するものがよい。また、2つのケイ素原子がアルキレン基で結合されたシルアルキレン構造、即ちSi−(CH2n−Siを含んでいてもよい。前記式においてnは2〜6の整数であり、好ましくは2〜4の整数である。
このようなMとしては、下記に示すものが挙げられる。
Figure 0006988905
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Figure 0006988905
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Figure 0006988905
(式中、iは1〜20の整数であり、cは1〜50の整数であり、Meはメチル基である。)
上記式(1)〜(3)において、Wは末端に加水分解性基を有する1価の有機基であり、好ましくは下記式で表される。
Figure 0006988905
(式中、Rは炭素数1〜4のアルキル基又はフェニル基であり、Xは加水分解性基であり、aは2又は3であり、mは0〜10の整数である。)
上記式において、Xの加水分解性基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基などの炭素数1〜12、特に炭素数1〜10のアルコキシ基、メトキシメトキシ基、メトキシエトキシ基などの炭素数2〜12、特に炭素数2〜10のアルコキシアルコキシ基、アセトキシ基などの炭素数1〜10のアシロキシ基、イソプロペノキシ基などの炭素数2〜10のアルケニルオキシ基、クロル基、ブロモ基、ヨード基などのハロゲン基、アミノ基などが挙げられる。中でもメトキシ基及びエトキシ基が好適である。
また、Rは、炭素数1〜4のメチル基、エチル基等のアルキル基、又はフェニル基であり、中でもメチル基が好適である。
aは2又は3であり、反応性、基材に対する密着性の観点から、3が好ましい。mは0〜10の整数であり、好ましくは2〜8の整数であり、より好ましくは2又は3である。
式(1)〜(3)において、(−)αZWβ、−ZWβで表される構造としては、下記の構造が挙げられる。
Figure 0006988905
Figure 0006988905
Figure 0006988905
(式中、L、R、X、f、c及びaは上記の通りであり、m1は0〜10の整数、好ましくは2〜8の整数であり、m2は1〜10の整数、好ましくは2〜8の整数であり、Meはメチル基である。)
上記式(4)及び(5)において、Qは単結合又は2価の有機基であり、Rf基とY基との連結基である。該Qの2価の有機基として、好ましくは、アミド結合、エーテル結合、エステル結合、又はジメチルシリレン基等のジオルガノシリレン基、−Si[OH][(CH2fSi(CH33]−(fは2〜4の整数)で示される基からなる群より選ばれる1種又は2種以上を含んでよい非置換又は置換の炭素数2〜12の2価有機基であり、より好ましくは前記構造を含んでよい非置換又は置換の炭素数2〜12の2価炭化水素基である。
前記非置換又は置換の炭素数2〜12の2価炭化水素基としては、上記Lで例示した非置換又は置換の炭素数2〜12の2価炭化水素基と同様のものを例示することができる。
Qの2価の有機基としては、例えば、下記構造で示される基が挙げられる。
Figure 0006988905
Figure 0006988905
Figure 0006988905
Figure 0006988905
(式中、fは2〜4の整数であり、bは2〜6の整数、好ましくは2〜4の整数であり、u、vは1〜4の整数であり、gは2〜4の整数であり、Meはメチル基である。)
上記式(4)及び(5)において、Yは、互いに独立に加水分解性基を有する2価の有機基であり、好ましくは下記式で表される構造のものである。
Figure 0006988905
(式中、R、X及びaは上記の通りである。kは0〜10の整数、好ましくは1〜10の整数、より好ましくは2〜8の整数、さらに好ましくは2〜6の整数である。hは1〜6の整数、好ましくは1又は2であり、M’は非置換又は置換の3〜8価、好ましくは3価又は4価の炭化水素基であり、該炭化水素基における炭素原子の一部又は全部がケイ素原子に置き換わっていてもよく、また、該炭素原子に結合する水素原子の一部又は全部がフッ素原子等のハロゲン原子に置き換わっていてもよい。)
M’として、好ましくは下記構造で表される基である。
Figure 0006988905
(上記において、M1は単結合、炭素数1〜6の非置換もしくは置換の2価炭化水素基又はジメチルシリレン基等のジオルガノシリレン基であり、M2は−R1C=で示される3価の基又は−R3Si=で示される3価の基であり、R1、R3は上記と同じである。R5は水素原子又は炭素数1〜6のメチル基、エチル基、プロピル基等のアルキル基などの1価炭化水素基である。)
1としては、単結合、フェニレン基、ジメチルシリレン基、テトラフルオロエチレン基等が例示できる。また、M2としては、下記に示すものが挙げられる。
Figure 0006988905
(式中、Meはメチル基である。)
このようなYとしては、例えば下記の基が挙げられる。
Figure 0006988905
Figure 0006988905
(式中、Xは上記と同じであり、k1は0〜10の整数、好ましくは1〜8の整数であり、k2は2〜10の整数、好ましくは2〜8の整数であり、Meはメチル基である。)
上記式(4)及び(5)において、δは1〜10の整数、好ましくは1〜4の整数である。
また、Bは互いに独立に、水素原子、炭素数1〜4のメチル基、エチル基、プロピル基及びブチル基等のアルキル基、又はフッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等のハロゲン原子である。
上記式(1)〜(5)で表されるフッ素含有加水分解性有機ケイ素化合物(含フッ素加水分解性有機ケイ素化合物)として、例えば、下記構造が挙げられる。
Figure 0006988905
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(式中、Meはメチル基であり、p1、q1、r1、s1、t1はそれぞれ独立に1〜200の整数であり、かつ、p1、q1、r1、s1、t1の合計は3〜500であり、括弧内に示される各単位はランダムに結合されていてよい。)
なお、本発明にかかる一般式(1)〜(5)で表されるフッ素含有加水分解性有機ケイ素化合物(含フッ素加水分解性有機ケイ素化合物)は、上記加水分解性基(X)の一部又は全部が加水分解されている化合物(XがOH基である化合物)を含んでいてよく、これらOH基の一部又は全部が縮合している化合物を含んでいてもよい。
含フッ素化合物は、予め溶剤によって希釈しておくことが望ましく、このような溶剤としては、上記含フッ素化合物を均一に溶解させるものであれば特に限定されない。例えば、フッ素変性脂肪族炭化水素系溶剤(パーフルオロヘプタン、パーフルオロオクタンなど)、フッ素変性芳香族炭化水素系溶剤(1,3−トリフルオロメチルベンゼンなど)、フッ素変性エーテル系溶剤(メチルパーフルオロブチルエーテル、エチルパーフルオロブチルエーテル、パーフルオロ(2−ブチルテトラヒドロフラン)など)、フッ素変性アルキルアミン系溶剤(パーフルオロトリブチルアミン、パーフルオロトリペンチルアミンなど)、炭化水素系溶剤(石油ベンジン、トルエン、キシレンなど)、ケトン系溶剤(アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなど)が挙げられる。これらの中でも、溶解性及び安定性などの点で、フッ素変性された溶剤が望ましく、特には、フッ素変性エーテル系溶剤、フッ素変性芳香族炭化水素系溶剤が好ましい。
上記溶剤は1種を単独で使用しても2種以上を混合して使用してもよい。
溶剤は撥水撥油剤(含フッ素化合物と溶剤を含む溶液)中における含フッ素化合物の質量%が0.01〜50質量%、好ましくは0.03〜10質量%、さらに好ましくは0.05〜1質量%になるように含有することが好ましい。
含フッ素化合物を含有する撥水撥油剤は、ウェット塗工法(浸漬法、刷毛塗り、スピンコート、スプレー、グラビアコート、ダイコート、バーコート、スリットコート)、蒸着法など公知の方法で基材に施与することができる。塗工条件等は従来公知の方法に従えばよいが、プライマー層をウェット塗工法(湿式法)で塗工、形成することから、含フッ素化合物を含有する撥水撥油剤もウェット塗工法(湿式法)で塗工する方が効率的である。
含フッ素化合物は、室温(25℃)で1〜24時間にて硬化させることができるが、さらに短時間で硬化させるために30〜200℃で1分〜1時間加熱してもよい。硬化は加湿下(50〜90%RH)で行うことが加水分解を促進する上で好ましい。
なお、含フッ素化合物を含有する撥水撥油剤を塗工する前に、基材上のプライマー層表面を、プラズマ処理、UV処理、オゾン処理等の洗浄や表面を活性化させる処理を施してもよい。
本発明の撥水撥油部材のフッ素層(撥水撥油層)の膜厚は、0.5〜30nmであり、特に1〜20nmが好ましい。その膜厚が厚すぎると処理剤が凝集して視認性が悪くなることがあり、薄すぎると表面特性、耐摩耗性が十分でない場合がある。
このようにして得られた本発明の撥水撥油部材としては、カーナビゲーション、タブレットPC、スマートフォン、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、PDA、ポータブルオーディオプレーヤー、カーオーディオ、ゲーム機器等の筐体、カメラレンズ、メガネレンズ、サングラス、ARレンズ、VRレンズ等のレンズ、内視鏡、メス、血圧計、X線CT、MRI等の医療用器機、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ、フレキシブルデバイス等のタッチパネル表面、保護フイルム、反射防止フイルム、コンパクトディスク、DVD、ブルーレイディスクなどの光学物品、浴槽、洗面台のようなサニタリー用品、キッチン台のようなキッチン用品、自動車、電車、航空機などの窓ガラス、ヘッドランプカバー等、外壁用建材、台所用建材、待合室、美術品、輸送用機器のボディー、アルミホイール、ミラー、ミリ波センサー用カバー等が挙げられる。
以下、実施例及び比較例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明はこれによって限定されるものではない。
[実施例1及び比較例1〜5]
〔プライマー層の形成〕
下記に示す方法でプライマー層1〜5をアクリル樹脂基材(株式会社エンジニアリングテストサービス社製アクリルデラグラスA、厚さ2mm、幅50mm、長さ100mmの試験片基板)にそれぞれ形成した。
[プライマー層1の形成]
テトラエトキシシランの加水分解・脱水縮合化合物(重量平均分子量:25,000、シラノール基量:0.01mol/g)をブタノールで固形分0.5質量%に希釈した処理液にて、上記基材をディッピング塗工した後、室温(25℃)で1時間乾燥させて、上記基材上に厚さ20nmのプライマー層1を形成した。ディッピング塗工は、基材を処理液に30秒浸漬後、150mm/minで引き上げた。
[プライマー層2の形成]
テトラエトキシシランをエタノールで固形分0.5質量%に希釈した処理液にて、上記基材をディッピング塗工した後、80℃/80%RHで24時間硬化させて、上記基材上に厚さ20nmのプライマー層2を形成した。ディッピング塗工は、基材を処理液に30秒浸漬後、150mm/minで引き上げた。
[プライマー層3の形成]
テトラエトキシシランの5重量体物をブタノールで固形分0.5質量%に希釈した処理液にて、上記基材をディッピング塗工した後、80℃/80%RHで24時間硬化させて、上記基材上に厚さ18nmのプライマー層3を形成した。ディッピング塗工は、基材を処理液に30秒浸漬後、150mm/minで引き上げた。
[プライマー層4の形成]
ペルヒドロポリシラザンをジブチルエーテルで固形分0.5質量%に希釈した処理液にて、上記基材をディッピング塗工した後、80℃/80%RHで24時間硬化させて、上記基材上に厚さ23nmのプライマー層4を形成した。ディッピング塗工は、基材を処理液に30秒浸漬後、150mm/minで引き上げた。
[プライマー層5の形成]
上記基材にSiO2層をスパッタ法で20nm塗工して、上記基材上に厚さ20nmのプライマー層5を形成した。
さらに、下記の方法に基づきプライマー層1〜5を形成した基材のプライマー層上に撥水撥油層を形成した。
〔撥水撥油層の形成〕
下記に示す化合物1を固形分で0.1質量%になるようにフッ素系溶剤(Novec7200(3M社製))で希釈した後、スプレー塗工装置(株式会社ティーアンドケー製NST−51)で上記基材のプライマー層上にスプレー塗工した。その後、80℃で30分硬化させて硬化被膜(撥水撥油層)を形成し、試験体を作製した。蛍光X線装置(株式会社リガク製 ZSXmini2)によるF検出量から算出した撥水撥油層の平均の膜厚は約10nmであった。
[化合物1]
Figure 0006988905
(p1+q1=45)
なお、実施例1はプライマー層1を、比較例1はプライマー層2を、比較例2はプライマー層3を、比較例3はプライマー層4を、比較例4はプライマー層5を形成した基板をそれぞれ用いた。また、比較例5は、プライマー層を形成せずに、アクリル樹脂基材に直接上記方法で撥水撥油層を形成した。上記で得られた試験体を用いて、以下の方法により各種評価を行った。これらの結果を表1に示す。
〔撥水撥油性〕
接触角計(DropMaster、協和界面科学社製)を用いて、硬化被膜(撥水撥油層)の水に対する接触角及びオレイン酸に対する接触角を測定した。
〔動摩擦係数〕
硬化被膜(撥水撥油層)のベンコット(旭化成社製)に対する動摩擦係数を、新東科学社製の表面性試験機を用いて、下記条件で測定した。
接触面積:10mm×30mm
荷重:100g
〔皮脂汚れ拭取り性〕
7人のパネラーにより、額の皮脂を指で硬化被膜(撥水撥油層)の表面に転写し、ベンコット(旭化成社製)で拭取りした際の拭取り性を、下記評価基準により評価した。
A:2回以内で完全に拭取れる
B:3〜5回以内で完全に拭取れる
C:5回の拭き取りでは、一部拭取れない部分が残る
D:5回の拭き取りではほとんど拭取れない
〔耐摩耗試験〕
往復摩耗試験機(HEIDON 30S、新東科学社製)を用いて、以下の条件で硬化被膜(撥水撥油層)の耐摩耗試験を実施した。耐摩耗試験後の硬化被膜(撥水撥油層)の水に対する接触角を、接触角計(DropMaster、協和界面科学社製)を用いて測定した。
評価環境条件:25℃、湿度40%
擦り材:試料と接触するテスターの先端部(10mm×10mm)に不織布を8枚重ねて包み、輪ゴムで固定した。
荷重:1kg
擦り距離(片道):30mm
擦り速度:3,600mm/min
往復回数:5,000往復
Figure 0006988905
表内の−は、基材に大きな傷が入り、正確な水接触角を決定できなかった。
表1の結果から明らかなように、実施例1は、撥水撥油性に優れ、動摩擦係数が低いために、結果として皮脂汚れ拭き取り性に優れている。また、摩耗試験前後においても水接触角100°以上の優れた撥水撥油性を示していた。一方、加水分解させていない(シラノール基を有さない)有機ケイ素化合物を用いた比較例1、2においては、初期特性が十分でなく、耐摩耗性も悪かった。比較例3では、シリカ膜の湿式塗工で代表的なペルヒドロポリシラザンを使用したが、初期特性は優れていたものの、耐摩耗性が不十分であった。比較例4では、シリカ膜の乾式塗工で代表的なSiO2スパッタ膜を用いたが、初期特性は優れていたものの、耐摩耗性が満足するものではなかった。比較例5では、プライマーを用いなかったところ、十分な性能を発揮しなかった。シラノール基は、基材との密着性がよく、加水分解性基を有するフッ素含有化合物との反応性にも優れるため、耐摩耗性に優れた防汚膜を形成することができた。
本発明によれば、撥水撥油性に優れた硬化被膜(撥水撥油層)を有する撥水撥油部材を、湿式塗工のみで、室温プロセスで成膜できる。加熱硬化、真空プロセスの必要がないにもかかわらず、従来技術を上回る耐摩耗性を達成することができる。さらに本発明は、大面積への塗工も可能にする技術である。このため、本発明の撥水撥油部材は、ロール状で生産する機能性フイルムを可能にし、電子機器の筐体や、キッチン周り等、日常的に使用し、触れることの多い物でも、長期間にわたって良好な防汚表面を維持することができる。

Claims (7)

  1. 基材の少なくとも片面に、第1層としてプライマー層を積層し、さらにその上に第2層として撥水撥油層を順次積層した撥水撥油部材であって、プライマー層が、重量平均分子量が5,000〜100,000であり、0.005〜0.05mol/gのシラノール基量を有するテトラエトキシシランの加水分解・脱水縮合化合物であるシラノール基を複数有する有機ケイ素化合物を主成分とする膜厚0.5〜500nmの層からなり、かつ撥水撥油層が含フッ素化合物の硬化物を主成分とする膜厚0.5〜30nmの層からなる撥水撥油部材。
  2. 含フッ素化合物が、少なくとも1つの末端に加水分解性基を少なくとも1つ有し、該加水分解性基が、炭素数1〜12のアルコキシ基、炭素数1〜12のアルコキシアルコキシ基、炭素数1〜10のアシロキシ基、炭素数2〜10のアルケニルオキシ基、ハロゲン基、アミノ基及びシラザン基から選ばれる基である請求項1に記載の撥水撥油部材。
  3. 含フッ素化合物が、分子中に−(CF2d−O−(CF2O)p(CF2CF2O)q(CF2CF2CF2O)r(CF2CF2CF2CF2O)s(CF(CF3)CF2O)t−(CF2d−(式中、p、q、r、s、tはそれぞれ独立に0〜200の整数であり、かつ、p+q+r+s+t=3〜500であり、括弧内に示される各単位はランダムに結合されていてよく、dは0〜8の整数であり、該単位は直鎖状であっても分岐状であってもよい。)を有し、かつ、少なくとも1つの末端に加水分解性基を少なくとも1つ有するフルオロオキシアルキレン基含有有機ケイ素化合物である請求項1又は2に記載の撥水撥油部材。
  4. 含フッ素化合物が、下記一般式(1)、(2)、(3)、(4)及び(5)で表されるフッ素含有加水分解性有機ケイ素化合物から選ばれる少なくとも1種である請求項1〜のいずれか1項に記載の撥水撥油部材。
    (A−Rf)α−ZWβ (1)
    Rf−(ZWβ2 (2)
    Z’−(Rf−ZWβγ (3)
    〔式中、Rfは−(CF2d−O−(CF2O)p(CF2CF2O)q(CF2CF2CF2O)r(CF2CF2CF2CF2O)s(CF(CF3)CF2O)t−(CF2d−であり、p、q、r、s、tはそれぞれ独立に0〜200の整数であり、かつ、p+q+r+s+t=3〜500であり、括弧内に示される各単位はランダムに結合されていてよく、dは0〜8の整数であり、該単位は直鎖状であっても分岐状であってもよい。Aはフッ素原子、水素原子、又は末端が−CF3基、−CF2H基もしくは−CH2F基である1価のフッ素含有基であり、Z、Z’は独立に単結合、又は窒素原子、酸素原子、ケイ素原子、リン原子もしくは硫黄原子を含んでいてもよく、フッ素置換されていてもよい2〜8価の有機基であり、Wは末端に加水分解性基を有する1価の有機基である。α、βはそれぞれ独立に1〜7の整数であり、かつ、α+β=2〜8である。γは2〜8の整数である。〕
    A−Rf−Q−(Y)δ−B (4)
    Rf−(Q−(Y)δ−B)2 (5)
    (式中、Rf、Aは前記と同じであり、Qは単結合又は2価の有機基であり、δは1〜10の整数であり、Yは加水分解性基を有する2価の有機基であり、Bは水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、又はハロゲン原子である。)
  5. 式(1)〜(5)で表されるフッ素含有加水分解性有機ケイ素化合物が、下記に示すものである請求項に記載の撥水撥油部材。
    Figure 0006988905
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    (式中、Meはメチル基であり、p1、q1、r1、s1、t1はそれぞれ独立に1〜200の整数であり、かつ、p1、q1、r1、s1、t1の合計は3〜500であり、括弧内に示される各単位はランダムに結合されていてよい。)
  6. 基材が、金属酸化物、金属、樹脂、セラミック、石英、ガラス、サファイヤ又はダイヤモンドである請求項1〜のいずれか1項に記載の撥水撥油部材。
  7. 基材表面に、重量平均分子量が5,000〜100,000であり、0.005〜0.05mol/gのシラノール基量を有するテトラエトキシシランの加水分解・脱水縮合化合物であるシラノール基を複数有する有機ケイ素化合物と溶剤を含む溶液を湿式塗布する工程と、該溶剤を乾燥させてプライマー層を形成する工程と、該プライマー層上に、含フッ素化合物と溶剤を含む溶液を湿式塗布した後に、該溶剤を乾燥させるか、又は、該溶液から溶剤を蒸発させた含フッ素化合物を乾式塗布する工程と、含フッ素化合物を硬化させて撥水撥油層を形成する工程とを含む請求項1〜のいずれか1項に記載の撥水撥油部材の製造方法。
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