JP6969382B2 - 蒸着マスク梱包体および蒸着マスク梱包方法 - Google Patents
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Description
受け部と、
前記受け部に対向する蓋部と、
前記受け部と前記蓋部との間に配置され、複数の貫通孔が形成された有効領域を有する蒸着マスクと、を備え、
前記受け部は、前記蓋部に対向する第1対向面と、前記第1対向面に設けられた凹部と、を有し、
前記凹部は、第1可撓性フィルムによって覆われ、
前記蒸着マスクの前記有効領域は、前記凹部上に前記第1可撓性フィルムを介して配置されている、蒸着マスク梱包体、
である。
前記蒸着マスクの第1の方向における両側の端部は、前記受け部の前記第1対向面上に配置されている、
ようにしてもよい。
前記凹部の前記第1の方向に直交する第2の方向における寸法は、前記蒸着マスクの前記第2の方向における寸法より大きい、
ようにしてもよい。
前記蒸着マスクと前記第1可撓性フィルムとの間に、挿間シートが介在され、
前記挿間シートの前記第1の方向に直交する第2の方向における寸法は、前記凹部の前記第2の方向における寸法よりも小さい、
ようにしてもよい。
前記第1可撓性フィルムは、PETフィルムである、
ようにしてもよい。
前記第1可撓性フィルムは、帯電防止コーティングされている、
ようにしてもよい。
前記蓋部と前記蒸着マスクとの間に、第2可撓性フィルムが介在されている、
ようにしてもよい。
前記受け部と前記蓋部は、ヒンジ部を介して連結されている、
ようにしてもよい。
前記受け部および前記蓋部を密封した密封袋を更に備える、
ようにしてもよい。
前記蒸着マスクに加えられる衝撃を検出する衝撃センサを更に備える、
ようにしてもよい。
複数の貫通孔が形成された有効領域を有する蒸着マスクを梱包する蒸着マスクの梱包方法であって、
第1対向面と、前記第1対向面に設けられるとともに第1可撓性フィルムで覆われた凹部と、を有する受け部を準備する工程と、
前記受け部上に載置された前記蒸着マスクを得る工程と、
前記蒸着マスク上に蓋部を配置して、前記受け部と前記蓋部とを対向させる工程と、
前記受け部と前記蓋部とで前記蒸着マスクを挟持する工程と、を備え、
前記蒸着マスクを配置する工程において、前記蒸着マスクの前記有効領域は、前記凹部上に前記第1可撓性フィルムを介して載置される、蒸着マスク梱包方法、
である。
受け部と、
前記受け部に対向する蓋部と、
前記受け部と前記蓋部との間に配置された蒸着マスク積層体と、を備え、
前記蒸着マスク積層体は、
第1面と、前記第1面の反対側に位置する第2面と、前記第1面から前記第2面に延びる複数の貫通孔と、を含む蒸着マスクと、
前記蒸着マスクの前記第1面および前記第2面に積層された複数の挿間シートと、を有し、
前記蒸着マスクの熱膨張係数と前記挿間シートの熱膨張係数との差は、7ppm/℃以下である、蒸着マスク梱包体、
である。
前記挿間シートは、前記蒸着マスクの積層方向に沿って見たときに、前記挿間シートの周縁が全周にわたって前記蒸着マスクからはみ出し可能な寸法を有している、
ようにしてもよい。
前記蒸着マスクおよび前記挿間シートは、30質量%以上且つ54質量%以下のニッケルを含む鉄合金により形成されている、
ようにしてもよい。
前記蒸着マスクおよび前記挿間シートは、クロムを含む鉄合金により形成されている、ようにしてもよい。
前記挿間シートを構成する材料は、前記蒸着マスクを構成する材料と同一である、
ようにしてもよい。
前記挿間シートの厚みは、20μm〜100μmである、
ようにしてもよい。
前記蒸着マスクの厚みは、15μm以上である、
ようにしてもよい。
前記受け部は、前記蓋部に対向する第1対向面と、前記第1対向面に設けられた凹部と、を有し、
前記蒸着マスクの第1の方向における両側の端部は、前記受け部の前記第1対向面上に配置され、
前記挿間シートの前記第1の方向に直交する第2の方向における寸法は、前記凹部の前記第2の方向における寸法よりも小さい、
ようにしてもよい。
第1面と、前記第1面の反対側に位置する第2面と、前記第1面から前記第2面に延びる複数の貫通孔と、を含む蒸着マスクを梱包する蒸着マスク梱包方法であって、
受け部上に載置された蒸着マスク積層体であって、前記蒸着マスクと、前記蒸着マスクの前記第1面および前記第2面に積層された挿間シートとを有する蒸着マスク積層体を得る工程と、
前記蒸着マスク積層体上に蓋部を配置して、前記受け部と前記蓋部とを対向させる工程と、
前記受け部と前記蓋部とで前記蒸着マスク積層体を挟持する工程と、を備え、
前記蒸着マスクの熱膨張係数と前記挿間シートの熱膨張係数との差は、7ppm/℃以下である、蒸着マスク梱包方法、
である。
まず、対象物に蒸着材料を蒸着させる蒸着処理を実施する蒸着装置90について、図1を参照して説明する。図1に示すように、蒸着装置90は、蒸着源(例えばるつぼ94)、ヒータ96、及び蒸着マスク装置10を備える。るつぼ94は、有機発光材料などの蒸着材料98を収容する。ヒータ96は、るつぼ94を加熱して蒸着材料98を蒸発させる。蒸着マスク装置10は、るつぼ94と対向するよう配置されている。
以下、蒸着マスク装置10について説明する。図1に示すように、蒸着マスク装置10は、蒸着マスク20と、蒸着マスク20を支持するフレーム15と、を備える。フレーム15は、蒸着マスク20が撓んでしまうことがないように、蒸着マスク20をその長手方向(第1の方向)に引っ張った状態で支持する。蒸着マスク装置10は、図1に示すように、蒸着マスク20が、蒸着材料98を付着させる対象物である基板、例えば有機EL基板92に対面するよう、蒸着装置90内に配置される。以下の説明において、蒸着マスク20の面のうち、有機EL基板92側の面を第1面20aと称し、第1面20aの反対側に位置する面を第2面20bと称する。このうち蒸着マスク20の第2面20bにフレーム15が面している。
次に、蒸着マスク20について詳細に説明する。図3乃至図5に示すように、蒸着マスク20は、第1面20aから第2面20bに延びる貫通孔25が形成された有効領域22と、有効領域22を取り囲む周囲領域23と、を含む。周囲領域23は、有効領域22を支持するための領域であり、有機EL基板92へ蒸着されることを意図された蒸着材料98が通過する領域ではない。例えば、有効領域22は、蒸着マスク20のうち、有機EL基板92の表示領域に対面する領域である。
ここでは、蒸着マスク20がエッチング処理によって形成される場合の、貫通孔25及びその周囲の部分の形状について説明する。
はじめに、蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の製造方法について説明する。
はじめに図9に示すように、ニッケルを含む鉄合金から構成された母材155を準備し、この母材155を、一対の圧延ロール156a,156bを含む圧延装置156に向けて、矢印で示す方向に沿って搬送する。一対の圧延ロール156a,156bの間に到達した母材155は、一対の圧延ロール156a,156bによって圧延され、この結果、母材155は、その厚みが低減されるとともに、搬送方向に沿って伸ばされる。これによって、厚みt0の板材164Xを得ることができる。図9に示すように、板材164Xをコア161に巻き取ることによって巻き体162を形成してもよい。厚みt0の具体的な値は、好ましくは上述のように5μm以上且つ85μm以下となっている。
その後、板材164Xの幅が所定の範囲内になるよう、圧延工程によって得られた板材164Xの幅方向における両端をそれぞれ所定の範囲にわたって切り落とすスリット工程を実施してもよい。このスリット工程は、圧延に起因して板材164Xの両端に生じ得るクラックを除去するために実施される。このようなスリット工程を実施することにより、板材164Xが破断してしまう現象、いわゆる板切れが、クラックを起点として生じてしまうことを防ぐことができる。
その後、圧延によって板材164X内に蓄積された残留応力(内部応力)を取り除くため、図10に示すように、アニール装置157を用いて板材164Xをアニールし、これによって長尺金属板164を得る。アニール工程は、図10に示すように、板材164Xや長尺金属板164を搬送方向(長手方向)に引っ張りながら実施されてもよい。すなわち、アニール工程は、いわゆるバッチ式の焼鈍ではなく、搬送しながらの連続焼鈍として実施されてもよい。
その後、長尺金属板164の幅方向における両端をそれぞれ所定範囲にわたって切り落とし、これによって、長尺金属板164の幅を所望の幅に調整する切断工程を実施する。このようにして、所望の厚みおよび幅を有する長尺金属板164を得ることができる。
次に、長尺金属板164を用いて蒸着マスク20を製造する方法について、主に図11〜図19を参照して説明する。以下に説明する蒸着マスク20の製造方法では、図11に示すように、長尺金属板164が供給され、この長尺金属板164に貫通孔25が形成され、さらに長尺金属板164を断裁することによって枚葉状の金属板21からなる蒸着マスク20が得られる。
ところで、蒸着マスク20は、めっき処理を利用して製造することもできる。そこで、以下に、めっき処理によって製造された蒸着マスク20について説明する。ここでは、まず、蒸着マスク20がめっき処理によって形成される場合の、貫通孔25及びその周囲の部分の形状について説明する。
・第2金属層37の幅M2:2μm以上且つ20μm以下
・蒸着マスク20の厚みT0:3μm以上且つ50μm以下、より好ましくは3μm以上且つ50μm以下、さらに好ましくは3μm以上且つ30μm以下、さらに好ましくは3μm以上且つ25μm以下
・第1金属層32の厚みT1:5μm以下
・第2金属層37の厚みT2:2μm以上且つ50μm以下、より好ましくは3μm以上且つ50μm以下、さらに好ましくは3μm以上且つ30μm以下、さらに好ましくは3μm以上且つ25μm以下
なお、本実施の形態において、蒸着マスク20の厚みT0は、有効領域22および周囲領域23において同一である。
図23乃至図26は、蒸着マスク20の製造方法を説明する図である。
まず、図23に示すパターン基板50を準備する。パターン基板50は、絶縁性を有する基材51と、基材51上に形成された導電性パターン52と、を有する。導電性パターン52は、第1金属層32に対応するパターンを有する。なお、蒸着マスク20をパターン基板50から分離させる後述する分離工程を容易化するため、パターン基板50に離型処理を施しておいてもよい。
次に、導電性パターン52が形成された基材51上に第1めっき液を供給して、導電性パターン52上に第1金属層32を析出させる第1めっき処理工程を実施する。例えば、導電性パターン52が形成された基材51を、第1めっき液が充填されためっき槽に浸す。これによって、図24に示すように、パターン基板50上に、所定のパターンで第1開口部30が設けられた第1金属層32を得ることができる。
次に、基材51上および第1金属層32上に、所定の隙間56を空けてレジストパターン55を形成するレジスト形成工程を実施する。図25に示すように、レジスト形成工程は、第1金属層32の第1開口部30がレジストパターン55によって覆われるとともに、レジストパターン55の隙間56が第1金属層32上に位置するように実施される。
次に、レジストパターン55の隙間56に第2めっき液を供給して、第1金属層32上に第2金属層37を析出させる第2めっき処理工程を実施する。例えば、第1金属層32が形成された基材51を、第2めっき液が充填されためっき槽に浸す。これによって、図26に示すように、第1金属層32上に第2金属層37を形成することができる。
その後、レジストパターン55を除去するレジスト除去工程を実施する。例えばアルカリ系剥離液を用いることによって、レジストパターン55を基材51、第1金属層32や第2金属層37から剥離させることができる。
次に、第1金属層32および第2金属層37の組み合わせ体を基材51から分離させる分離工程を実施する。当該組み合わせ体が基材51から分離される際には、導電性パターン52上に、上述した離型処理によって形成された有機物の膜が形成されているため、組み合わせ体の第1金属層32は、有機物の膜の表面から剥離され、導電性パターン52は、有機物の膜とともに基材51に残る。これによって、所定のパターンで第1開口部30が設けられた第1金属層32と、第1開口部30に連通する第2開口部35が設けられた第2金属層37と、を備えた蒸着マスク20を得ることができる。
次に、上述のようにして得られた蒸着マスク20を用いて蒸着マスク装置10を製造する方法について説明する。
次に、エッチング処理またはめっき処理によって得られた上述した蒸着マスク20を梱包した蒸着マスク梱包体について図27乃至図41を用いて説明する。
まず、上述した蒸着マスク20を準備するとともに、図34に示すように、受け部61および蓋部62により構成された梱包部材65を準備する。この際、第1可撓性フィルム70が、受け部61の凹部69を覆うように受け部61の第1対向面68に貼り付けられるとともに、第2可撓性フィルム72が、蓋部62の第2対向面71に貼り付けられる。なお、第1可撓性フィルム70および第2可撓性フィルム72は、変質などの利用上の問題が無いと見なされれば、再利用してもよい。
Claims (19)
- 受け部と、
前記受け部に対向する蓋部と、
前記受け部と前記蓋部との間に配置され、複数の貫通孔が形成された有効領域を有する蒸着マスクと、を備え、
前記受け部は、前記蓋部に対向する第1対向面と、前記第1対向面に設けられた凹部と、を有し、
前記凹部は、第1可撓性フィルムによって覆われ、
前記蒸着マスクの前記有効領域は、前記凹部上に前記第1可撓性フィルムを介して配置され、
前記受け部と前記蓋部は、ヒンジ部を介して連結されている、蒸着マスク梱包体。 - 前記蒸着マスクの第1の方向における両側の端部は、前記受け部の前記第1対向面上に配置されている、請求項1に記載の蒸着マスク梱包体。
- 前記凹部の前記第1の方向に直交する第2の方向における寸法は、前記蒸着マスクの前記第2の方向における寸法より大きい、請求項2に記載の蒸着マスク梱包体。
- 前記蒸着マスクと前記第1可撓性フィルムとの間に、挿間シートが介在され、
前記挿間シートの前記第1の方向に直交する第2の方向における寸法は、前記凹部の前記第2の方向における寸法よりも小さい、請求項2または3に記載の蒸着マスク梱包体。 - 前記第1可撓性フィルムは、PETフィルムである、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
- 前記第1可撓性フィルムは、帯電防止コーティングされている、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
- 前記蓋部と前記蒸着マスクとの間に、第2可撓性フィルムが介在されている、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
- 前記受け部および前記蓋部を密封した密封袋を更に備えた、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
- 前記蒸着マスクに加えられる衝撃を検出する衝撃センサを更に備えた、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
- 複数の貫通孔が形成された有効領域を有する蒸着マスクを梱包する蒸着マスクの梱包方法であって、
第1対向面と、前記第1対向面に設けられるとともに第1可撓性フィルムで覆われた凹部と、を有する受け部を準備する工程と、
前記受け部上に載置された前記蒸着マスクを得る工程と、
前記蒸着マスク上に蓋部を配置して、前記受け部と前記蓋部とを対向させる工程と、
前記受け部と前記蓋部とで前記蒸着マスクを挟持する工程と、を備え、
前記蒸着マスクを配置する工程において、前記蒸着マスクの前記有効領域は、前記凹部上に前記第1可撓性フィルムを介して載置され、
前記受け部と前記蓋部は、ヒンジ部を介して連結されている、蒸着マスク梱包方法。 - 受け部と、
前記受け部に対向する蓋部と、
前記受け部と前記蓋部との間に配置された蒸着マスク積層体と、を備え、
前記蒸着マスク積層体は、
第1面と、前記第1面の反対側に位置する第2面と、前記第1面から前記第2面に延びる複数の貫通孔と、を含む蒸着マスクと、
前記蒸着マスクの前記第1面および前記第2面に積層された複数の挿間シートと、を有し、
前記蒸着マスクの熱膨張係数と前記挿間シートの熱膨張係数との差は、7ppm/℃以下である、蒸着マスク梱包体。 - 前記挿間シートは、前記蒸着マスクの積層方向に沿って見たときに、前記挿間シートの周縁が全周にわたって前記蒸着マスクからはみ出し可能な寸法を有している、請求項11に記載の蒸着マスク梱包体。
- 前記蒸着マスクおよび前記挿間シートは、30質量%以上且つ54質量%以下のニッケルを含む鉄合金により形成されている、請求項11または12に記載の蒸着マスク梱包体。
- 前記蒸着マスクおよび前記挿間シートは、クロムを含む鉄合金により形成されている、請求項11または12に記載の蒸着マスク梱包体。
- 前記挿間シートを構成する材料は、前記蒸着マスクを構成する材料と同一である、請求項11乃至14のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
- 前記挿間シートの厚みは、20μm〜100μmである、請求項11乃至15のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
- 前記蒸着マスクの厚みは、15μm以上である、請求項11乃至16のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
- 前記受け部は、前記蓋部に対向する第1対向面と、前記第1対向面に設けられた凹部と、を有し、
前記蒸着マスクの第1の方向における両側の端部は、前記受け部の前記第1対向面上に配置され、
前記挿間シートの前記第1の方向に直交する第2の方向における寸法は、前記凹部の前記第2の方向における寸法よりも小さい、請求項11乃至17のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。 - 第1面と、前記第1面の反対側に位置する第2面と、前記第1面から前記第2面に延びる複数の貫通孔と、を含む蒸着マスクを梱包する蒸着マスク梱包方法であって、
受け部上に載置された蒸着マスク積層体であって、前記蒸着マスクと、前記蒸着マスクの前記第1面および前記第2面に積層された挿間シートとを有する蒸着マスク積層体を得る工程と、
前記蒸着マスク積層体上に蓋部を配置して、前記受け部と前記蓋部とを対向させる工程と、
前記受け部と前記蓋部とで前記蒸着マスク積層体を挟持する工程と、を備え、
前記蒸着マスクの熱膨張係数と前記挿間シートの熱膨張係数との差は、7ppm/℃以下である、蒸着マスク梱包方法。
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