KR20230150753A - 증착 마스크 곤포체 및 증착 마스크 곤포 방법 - Google Patents

증착 마스크 곤포체 및 증착 마스크 곤포 방법 Download PDF

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KR20230150753A
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마사후미 이바
야스노리 이와쿠라
가츠미 후카야
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다이니폰 인사츠 가부시키가이샤
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Abstract

본 개시에 의한 증착 마스크 곤포체는, 수용부와, 덮개부와, 제1 완충 시트와, 제2 완충 시트를 구비하고 있다. 수용부는, 제1 대향면과, 증착 마스크의 관통 구멍에 겹치는 제1 오목부를 포함한다. 덮개부는, 수용부의 제1 대향면에 대향하는 제2 대향면과, 관통 구멍에 겹치는 제2 오목부를 포함하고, 수용부에, 증착 마스크를 개재하여 겹쳐진다. 제1 완충 시트는, 제1 대향면과 증착 마스크 사이에 위치하고, 제1 오목부를 덮는다. 제2 완충 시트는, 제2 대향면과 증착 마스크 사이에 위치하고, 제2 오목부를 덮는다.

Description

증착 마스크 곤포체 및 증착 마스크 곤포 방법{VAPOR DEPOSITION MASK PACKAGE AND VAPOR DEPOSITION MASK PACKAGING METHOD}
본 개시는, 증착 마스크 곤포체 및 증착 마스크 곤포 방법에 관한 것이다.
스마트폰 또는 태블릿 PC 등의 전자 디바이스에 있어서, 고해상의 표시 장치가, 시장으로부터 요구되고 있다. 표시 장치는, 예를 들어 400ppi 이상 또는 800ppi 이상 등의 화소 밀도를 갖는다.
이러한 표시 장치로서, 응답성이 양호하다는 점과, 또는/및 콘트라스트가 높다는 점을 갖는 유기 EL 표시 장치가 주목받고 있다. 유기 EL 표시 장치의 화소를 형성하는 방법으로서, 화소를 구성하는 재료를, 기판에 증착시키는 방법이 알려져 있다. 이 경우, 먼저, 관통 구멍을 포함하는 증착 마스크와, 증착 마스크를 지지하는 프레임을 구비하는 증착 마스크 장치를 준비한다. 다음으로, 증착 장치 내에서, 증착 마스크를 기판에 밀착시킨 상태에서, 유기 재료 또는 무기 재료 등의 증착 재료를 증착시킨다. 이것에 의해, 기판에, 증착 재료가 부착되어 증착층이 형성된다. 증착층은, 유기 EL 표시 장치의 표시 영역을 구성한다.
증착 마스크는, 수송할 때에 곤포된다. 예를 들어, 수용부와 덮개부를 구비한 곤포체가 알려져 있다. 증착 마스크는, 수용부와 덮개부 사이에 끼움 지지된다. 그러나 곤포체의 구성에 따라서는, 증착 마스크가 소성 변형될 가능성이 있다.
일본 특허 제6904502호 공보 국제 공개 제2018-061757호 공보
본 개시의 실시 형태는, 증착 마스크의 소성 변형을 억제할 수 있는 증착 마스크 곤포체 및 증착 마스크 곤포 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 개시에 의한 증착 마스크 곤포체는, 복수의 관통 구멍이 형성된 증착 마스크를 곤포하는 곤포체이다. 증착 마스크 곤포체는, 수용부와, 덮개부와, 제1 완충 시트와, 제2 완충 시트를 구비하고 있다. 수용부는, 제1 대향면과, 제1 대향면에 위치하는 제1 오목부이며, 관통 구멍에 겹치는 제1 오목부를 포함한다. 덮개부는, 수용부의 제1 대향면에 대향하는 제2 대향면과, 제2 대향면에 위치하는 제2 오목부이며, 관통 구멍에 겹치는 제2 오목부를 포함하고, 수용부에, 증착 마스크를 개재하여 겹쳐진다. 제1 완충 시트는, 제1 대향면과 증착 마스크 사이에 위치하고, 제1 오목부를 덮는다. 제2 완충 시트는, 제2 대향면과 증착 마스크 사이에 위치하고, 제2 오목부를 덮는다.
본 개시에 의한 증착 마스크 곤포 방법은, 복수의 관통 구멍이 형성된 증착 마스크를 곤포하는 방법이다. 증착 마스크 곤포 방법은, 준비 공정과, 적재 공정과, 끼움 지지 공정을 구비하고 있다. 준비 공정에 있어서, 제1 대향면과, 제1 대향면에 위치하는 제1 오목부를 포함하는 수용부와, 제2 대향면과, 제2 대향면에 위치하는 제2 오목부를 포함하는 덮개부가 준비된다. 적재 공정에 있어서, 제1 오목부를 제1 완충 시트가 덮음과 함께 관통 구멍이 제1 오목부에 겹치도록, 제1 대향면에 제1 완충 시트를 개재하여 증착 마스크가 적재된다. 끼움 지지 공정에 있어서, 제2 오목부를 제2 완충 시트가 덮음과 함께 관통 구멍이 제2 오목부에 겹치도록, 증착 마스크에 제2 완충 시트를 개재하여 덮개부를 적재하고, 증착 마스크가 수용부와 덮개부 사이에 끼움 지지된다.
본 개시에 따르면, 증착 마스크의 소성 변형을 억제할 수 있다.
도 1은 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 장치를 도시하는 도면이다.
도 2는 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 곤포체를 도시하는 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시하는 증착 마스크 곤포체의 분해 사시도이다.
도 4는 도 2에 도시하는 곤포 케이스를 도시하는 측면도이다.
도 5는 도 2에 도시하는 증착 마스크 곤포체의 단면도이며, 도 3의 A-A선으로 나타내는 위치에 상당하는 부분 단면도이다.
도 6은 도 2에 도시하는 증착 마스크 곤포체의 단면도이며, 도 3의 B-B선으로 나타내는 위치에 상당하는 단면도이다.
도 7은 도 3에 도시하는 제1 대향면에 적재된 완충 시트, 삽간 시트 및 증착 마스크를 도시하는 평면도이다.
도 8은 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 곤포 방법의 준비 공정을 도시하는 단면도이다.
도 9는 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 곤포 방법의 고정 공정을 도시하는 단면도이다.
도 10은 도 9에 이어지는 고정 공정을 도시하는 단면도이다.
도 11은 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 곤포 방법의 적재 공정을 도시하는 단면도이다.
도 12는 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 곤포 방법의 끼움 지지 공정을 도시하는 단면도이다.
도 13은 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 곤포 방법의 결속 공정을 도시하는 단면도이다.
도 14는 도 6에 도시하는 증착 마스크 적층체의 변형예를 도시하는 단면도이다.
본 명세서 및 본 도면에 있어서, 특별한 설명이 없는 한은, 「기판」이나 「기재」나 「판」이나 「시트」나 「필름」 등의 어느 구성의 기초가 되는 물질을 의미하는 용어는, 호칭의 차이에만 기초하며, 서로 구별되는 것은 아니다.
본 명세서 및 본 도면에 있어서, 특별한 설명이 없는 한은, 형상이나 기하학적 조건 그리고 그것들의 정도를 특정하는, 예를 들어 「평행」이나 「직교」 등의 용어나 길이나 각도의 값 등에 대해서는, 엄밀한 의미에 얽매이지 않고, 마찬가지의 기능을 기대해도 될 정도의 범위를 포함하여 해석하는 것으로 한다.
본 명세서 및 본 도면에 있어서, 특별한 설명이 없는 한은, 어느 부재 또는 어느 영역 등의 어느 구성이, 다른 부재 또는 다른 영역 등의 다른 구성의 「위에」나 「아래에」, 「상측에」나 「하측에」, 또는 「상방에」나 「하방에」라고 하는 경우, 어느 구성이 다른 구성에 직접적으로 접하고 있는 경우를 포함한다. 또한, 어느 구성과 다른 구성 사이에 별도의 구성이 포함되어 있는 경우, 즉 간접적으로 접하고 있는 경우도 포함한다. 또한, 특별한 설명이 없는 한은, 「위」나 「상측」이나 「상방」, 또는, 「아래」나 「하측」이나 「하방」이라고 하는 어구는, 상하 방향이 역전되어도 된다.
본 명세서 및 본 도면에 있어서, 특별한 설명이 없는 한은, 동일 부분 또는 마찬가지의 기능을 갖는 부분에는 동일 부호 또는 유사 부호를 붙이고, 그 반복 설명은 생략하는 경우가 있다. 또한, 도면의 치수 비율은 설명의 사정상 실제의 비율과는 다른 경우나, 구성의 일부가 도면으로부터 생략되는 경우가 있다.
본 명세서 및 본 도면에 있어서, 특별한 설명이 없는 한은, 모순이 발생하지 않는 범위에서, 그 밖의 실시 형태나 변형예와 조합되어도 된다. 또한, 그 밖의 실시 형태끼리나, 그 밖의 실시 형태와 변형예도, 모순이 발생하지 않는 범위에서 조합되어도 된다. 또한, 변형예끼리도, 모순이 발생하지 않는 범위에서 조합되어도 된다.
본 명세서 및 본 도면에 있어서, 특별한 설명이 없는 한은, 제조 방법 등의 방법에 관하여 복수의 공정을 개시하는 경우에, 개시되어 있는 공정의 사이에, 개시되어 있지 않은 그 밖의 공정이 실시되어도 된다. 또한, 개시되어 있는 공정의 순서는, 모순이 발생하지 않는 범위에서 임의이다.
본 명세서 및 본 도면에 있어서, 특별한 설명이 없는 한은, 「내지」라고 하는 기호에 의해 표현되는 수치 범위는, 「내지」라고 하는 부호의 전후에 놓인 수치를 포함하고 있다. 예를 들어, 「34 내지 38질량％」라고 하는 표현에 의해 획정되는 수치 범위는, 「34질량％ 이상이면서 38질량％ 이하」라고 하는 표현에 의해 획정되는 수치 범위와 동일하다.
본 명세서의 일 실시 형태에 있어서는, 유기 EL 표시 장치를 제조할 때에 유기 재료를 원하는 패턴으로 기판 위에 패터닝하기 위해 사용되는 증착 마스크나 그 제조 방법에 관한 예를 들어 설명한다. 단, 이러한 적용에 한정되지 않고, 다양한 용도에 사용되는 증착 마스크에 대해 본 실시 형태를 적용할 수 있다. 예를 들어, 가상 현실 소위 VR이나 확장 현실 소위 AR을 표현하기 위한 화상이나 영상을 표시 또는 투영하기 위한 장치를 제조하기 위해, 본 실시 형태의 마스크를 사용해도 된다.
본 개시의 제1 양태는,
복수의 관통 구멍이 형성된 증착 마스크를 곤포하는 증착 마스크 곤포체이며,
제1 대향면과, 상기 제1 대향면에 위치하는 제1 오목부이며, 상기 관통 구멍에 겹치는 제1 오목부를 포함하는 수용부와,
상기 수용부의 상기 제1 대향면에 대향하는 제2 대향면과, 상기 제2 대향면에 위치하는 제2 오목부이며, 상기 관통 구멍에 겹치는 제2 오목부를 포함하고, 상기 수용부에, 상기 증착 마스크를 개재하여 겹쳐지는 덮개부와,
상기 제1 대향면과 상기 증착 마스크 사이에 위치하고, 상기 제1 오목부를 덮는 제1 완충 시트와,
상기 제2 대향면과 상기 증착 마스크 사이에 위치하고, 상기 제2 오목부를 덮는 제2 완충 시트를 구비한, 증착 마스크 곤포체이다.
본 개시의 제2 양태는, 상술한 제1 양태에 의한 증착 마스크 곤포체에 있어서,
상기 증착 마스크와 상기 제1 완충 시트 사이에 위치함과 함께 상기 증착 마스크와 상기 제2 완충 시트 사이에 위치하는 복수의 삽간 시트를 구비하도록 해도 된다.
본 개시의 제3 양태는, 상술한 제1 양태 또는 상술한 제2 양태에 의한 증착 마스크 곤포체에 있어서,
상기 제1 완충 시트를 상기 제1 대향면에 고정하는 제1 고정부를 구비하고,
상기 제1 대향면의 법선 방향에서 보았을 때, 상기 제1 고정부는, 상기 증착 마스크의 외측에 위치하도록 해도 된다.
본 개시의 제4 양태는, 상술한 제1 양태 내지 상술한 제3 양태의 각각에 의한 증착 마스크 곤포체에 있어서,
상기 제2 완충 시트를 상기 제2 대향면에 고정하는 제2 고정부를 구비하고,
상기 제2 대향면의 법선 방향에서 보았을 때, 상기 제2 고정부는, 상기 증착 마스크의 외측에 위치하도록 해도 된다.
본 개시의 제5 양태는, 상술한 제1 양태 내지 상술한 제4 양태의 각각에 의한 증착 마스크 곤포체에 있어서,
상기 수용부와 상기 덮개부는, 힌지부를 통해 연결되어 있도록 해도 된다.
본 개시의 제6 양태는, 상술한 제1 양태 내지 상술한 제5 양태의 각각에 의한 증착 마스크 곤포체에 있어서,
상기 수용부와 상기 덮개부 사이에 위치하는 증착 마스크를 구비하도록 해도 된다.
본 개시의 제7 양태는,
복수의 관통 구멍이 형성된 증착 마스크를 곤포하는 증착 마스크 곤포 방법이며,
제1 대향면과, 상기 제1 대향면에 위치하는 제1 오목부를 포함하는 수용부와, 제2 대향면과, 상기 제2 대향면에 위치하는 제2 오목부를 포함하는 덮개부를 준비하는 준비 공정과,
상기 제1 오목부를 제1 완충 시트가 덮음과 함께 상기 관통 구멍이 상기 제1 오목부에 겹치도록, 상기 제1 대향면에 상기 제1 완충 시트를 개재하여 상기 증착 마스크를 적재하는 적재 공정과,
상기 제2 오목부를 제2 완충 시트가 덮음과 함께 상기 관통 구멍이 상기 제2 오목부에 겹치도록, 상기 증착 마스크에 상기 제2 완충 시트를 개재하여 상기 덮개부를 적재하는 끼움 지지 공정이며, 상기 증착 마스크를 상기 수용부와 상기 덮개부 사이에 끼움 지지하는 끼움 지지 공정을 구비한, 증착 마스크 곤포 방법이다.
이하, 본 개시의 일 실시 형태에 대해서, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 또한, 이하에 나타내는 실시 형태는 본 개시의 실시 형태의 일례이며, 본 개시는 이들 실시 형태에만 한정하여 해석되는 것은 아니다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 증착 장치(80)는, 증착원(예를 들어 도가니(81))과, 히터(83)와, 증착 마스크 장치(10)를 구비하고 있어도 된다. 증착 장치(80)는, 증착 장치(80)의 내부를 진공 분위기로 하기 위한 배기 수단(도시하지 않음)을 구비하고 있어도 된다. 도가니(81)는, 증착 장치(80)의 내부에 마련되어 있고, 유기 발광 재료 등의 증착 재료(90)를 수용하도록 구성되어 있다. 히터(83)는 도가니(81)를 가열하도록 구성되어 있다. 진공 분위기에서 도가니(81)를 가열함으로써, 증착 재료(90)가 증발한다.
증착 마스크 장치(10)는, 프레임(15)과, 프레임(15)에 고정된 증착 마스크(20)를 구비하고 있어도 된다. 프레임(15)은, 프레임 개구(16)를 포함하고 있어도 된다. 프레임 개구(16)는, 평면으로 보아, 증착 마스크(20)의 후술하는 관통 구멍(25)이 형성된 유효 영역(23)에 겹쳐 있다. 증착 마스크(20)는 프레임(15)에 잡아당겨진 상태에서 고정되어 지지되어 있어도 된다. 이 경우, 증착 마스크(20)가 처지는 것을 억제할 수 있다. 프레임(15)에, 복수의 증착 마스크(20)가 고정되어 있어도 된다. 「평면으로 보아」란, 증착 마스크(20)의 두께 방향에서 보는 것을 의미하는 용어이며, 예를 들어 도 1의 상하 방향에서 보는 것을 의미하는 용어로 한다.
증착 마스크 장치(10)는, 도가니(81)에 대향하도록 증착 장치(80) 내에 위치하고 있다. 증착 마스크 장치(10)는, 도가니(81)의 상방에 위치하고 있어도 된다. 이 증착 마스크 장치(10)의 증착 마스크(20)에 대면하도록 기판(91)이 위치하고 있어도 된다. 기판(91)은 증착 재료(90)를 부착시키는 대상물이다. 기판(91)은 증착 마스크(20)의 상방에 위치하고 있어도 된다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 증착 장치(80)는, 기판(91)의 상방에 배치된 자석(85)을 구비하고 있어도 된다. 자석(85)을 마련함으로써, 자력에 의해 증착 마스크(20)를 자석(85)이 위치하는 방향으로 끌어 당겨, 증착 마스크(20)를 기판(91)에 밀착시킬 수 있다. 기판(91)과 자석(85) 사이에는, 증착 시에 기판(91)을 냉각하는 냉각판(도시하지 않음)이 개재되어 있어도 된다.
기판(91)에 증착 재료(90)를 증착시키는 경우에는, 도가니(81)로부터 비래한 증착 재료가 프레임 개구(16) 및 각 관통 구멍(25)을 통해 기판(91)에 부착된다. 이것에 의해, 관통 구멍(25)의 패턴에 따라, 기판(91)에, 증착 재료(90)가 패턴 형상으로 부착된다.
다음으로, 증착 마스크(20)에 대해 설명한다. 증착 마스크(20)는, 에칭 처리 또는 도금 처리에 의해 제작되어도 된다.
도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)는 제1 방향(D1)과, 제1 방향(D1)에 직교하는 제2 방향(D2)을 갖도록 직사각 형상으로 형성되어 있어도 된다. 제1 방향은, 증착 마스크(20)의 길이 방향이어도 된다. 증착 마스크(20)는, 제1 방향(D1)에 있어서의 양단부에 위치하는 길이 방향 단부(21)를 포함하고 있어도 된다. 증착 마스크(20)는 적어도 하나의 유효 영역(23)을 포함하고 있어도 된다. 유효 영역(23)은, 2개의 길이 방향 단부(21)의 사이에 위치하고 있어도 된다. 도 3에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)는 하나의 유효 영역(23)을 포함하고 있어도 된다. 그러나, 증착 마스크(20)는 복수의 유효 영역(23)을 포함하고 있어도 된다. 복수의 유효 영역(23)은 제1 방향(D1)으로 배열되어 있어도 되고, 제2 방향(D2)으로 배열되어 있어도 된다. 복수의 유효 영역(23)은 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)으로 배열되어 있어도 된다.
하나의 유효 영역(23)은 유기 EL 표시 장치의 하나의 표시 영역에 대응해도 된다. 혹은, 하나의 유효 영역(23)은 복수의 표시 영역에 대응하고 있어도 된다. 유효 영역(23)은, 예를 들어 평면으로 보아 대략 직사각 형상의 윤곽을 갖고 있어도 되지만, 직사각형 이외의 형상의 윤곽을 갖고 있어도 된다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)는, 제1 면(20a)과, 제1 면(20a)과는 반대측에 위치하는 제2 면(20b)과, 복수의 관통 구멍(25)을 포함하고 있어도 된다. 관통 구멍(25)은 증착 마스크의 제1 면(20a)으로부터 제2 면(20b)으로 연장되어 있고, 증착 마스크(20)를 관통하고 있다.
유효 영역(23)에, 복수의 관통 구멍(25)으로 구성된 관통 구멍 군(26)이 위치하고 있어도 된다. 하나의 유효 영역(23)은 하나의 관통 구멍 군(26)으로 구성되어 있어도 된다. 유효 영역(23)은 관통 구멍 군(26)이 차지하는 영역이어도 된다. 관통 구멍 군(26)은 평면으로 보아 프레임(15)의 프레임 개구(16)에 겹쳐 있어도 된다. 관통 구멍 군(26)이란, 규칙적으로 배열된 복수의 관통 구멍(25)의 집합체를 의미하는 용어로서 사용하고 있다. 하나의 관통 구멍 군(26)을 구성하는 외연의 관통 구멍(25)은, 마찬가지로 규칙적으로 배열되어 있는 복수의 관통 구멍(25) 중 가장 외측에 위치하는 관통 구멍(25)이다. 하나의 관통 구멍 군(26)에 있어서의 외연의 관통 구멍(25)의 외측에는, 마찬가지로 규칙적으로 배열되어 증착 재료(90)의 통과를 의도하는 관통 구멍(25)은 존재하고 있지 않아도 된다. 규칙적인 배열의 예로서, 예를 들어 관통 구멍(25)은 병렬 배열되어 있어도 된다. 관통 구멍 군(26)은, 유효 영역(23)과 마찬가지로, 평면으로 보아 대략 직사각 형상의 윤곽을 갖고 있어도 된다.
증착 마스크(20)는 제1 면(20a)으로부터 제2 면(20b)에 걸치는 두께 T1(도 5 참조)을 갖고 있다. 두께 T1은, 예를 들어 2㎛ 이상이어도 되고, 5㎛ 이상이어도 되고, 10㎛ 이상이어도 되고, 15㎛ 이상이어도 된다. 두께 T1을 2㎛ 이상으로 함으로써, 증착 마스크(20)의 기계적 강도를 확보할 수 있다. 또한, 두께 T1은, 예를 들어 20㎛ 이하여도 되고, 30㎛ 이하여도 되고, 40㎛ 이하여도 되고, 50㎛ 이하여도 된다. 두께 T1을 50㎛ 이하로 함으로써, 섀도우가 발생하는 것을 억제할 수 있다. 섀도우란, 증착 재료(90)가 관통 구멍(25)의 벽면에 부착되어, 기판(91)에 형성되는 증착층의 두께의 정밀도가 저하되는 현상을 말한다. 두께 T1의 범위는, 2㎛, 5㎛, 10㎛ 및 15㎛로 이루어지는 제1 그룹, 및/또는 20㎛, 30㎛, 40㎛ 및 50㎛로 이루어지는 제2 그룹에 의해 정해져도 된다. 두께 T1의 범위는, 상술한 제1 그룹에 포함되는 값 중 임의의 1개와, 상술한 제2 그룹에 포함되는 값 중 임의의 1개의 조합에 의해 정해져도 된다. 두께 T1의 범위는, 상술한 제1 그룹에 포함되는 값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 된다. 두께 T1의 범위는, 상술한 제2 그룹에 포함되는 값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 2㎛ 이상 50㎛ 이하여도 되고, 2㎛ 이상 40㎛ 이하여도 되고, 2㎛ 이상 30㎛ 이하여도 되고, 2㎛ 이상 20㎛ 이하여도 되고, 2㎛ 이상 15㎛ 이하여도 되고, 2㎛ 이상 10㎛ 이하여도 되고, 2㎛ 이상 5㎛ 이하여도 되고, 5㎛ 이상 50㎛ 이하여도 되고, 5㎛ 이상 40㎛ 이하여도 되고, 5㎛ 이상 30㎛ 이하여도 되고, 5㎛ 이상 20㎛ 이하여도 되고, 5㎛ 이상 15㎛ 이하여도 되고, 5㎛ 이상 10㎛ 이하여도 되고, 10㎛ 이상 50㎛ 이하여도 되고, 10㎛ 이상 40㎛ 이하여도 되고, 10㎛ 이상 30㎛ 이하여도 되고, 10㎛ 이상 20㎛ 이하여도 되고, 10㎛ 이상 15㎛ 이하여도 되고, 15㎛ 이상 50㎛ 이하여도 되고, 15㎛ 이상 40㎛ 이하여도 되고, 15㎛ 이상 30㎛ 이하여도 되고, 15㎛ 이상 20㎛ 이하여도 되고, 20㎛ 이상 50㎛ 이하여도 되고, 20㎛ 이상 40㎛ 이하여도 되고, 20㎛ 이상 30㎛ 이하여도 되고, 30㎛ 이상 50㎛ 이하여도 되고, 30㎛ 이상 40㎛ 이하여도 되고, 40㎛ 이상 50㎛ 이하여도 된다.
증착 마스크(20)는, 예를 들어 니켈을 포함하는 철 합금으로 구성되어 있어도 된다. 철 합금은, 니켈 외에도 코발트를 더 포함하고 있어도 된다. 예를 들어, 증착 마스크(20)의 재료로서, 니켈 및 코발트의 함유량이 합계로 30질량％ 이상이면서 54질량％ 이하이며, 또한 코발트의 함유량이 0질량％ 이상이면서 6질량％ 이하인 철 합금을 사용할 수 있다. 니켈을 포함하는 철 합금의 구체예로서는, 34질량％ 이상이면서 38질량％ 이하인 니켈을 포함하는 인바재, 38질량％ 이상이면서 54질량％ 이하인 니켈을 포함하는 저열팽창 Fe-Ni계 도금 합금 등을 들 수 있다. 니켈 및 코발트를 포함하는 철 합금의 구체예로서는, 30질량％ 이상이면서 34질량％ 이하인 니켈 외에도 또한 코발트를 포함하는 수퍼인바재 등을 들 수 있다. 이러한 철 합금을 사용함으로써, 증착 마스크(20)의 열팽창 계수를 낮게 할 수 있다. 예를 들어, 기판(91)으로서 유리 기판이 사용되는 경우에, 증착 마스크(20)의 열팽창 계수를, 유리 기판과 동등한 낮은 값으로 할 수 있다. 이에 의해, 증착 공정 시, 기판(91)에 형성되는 발광층의 형상 정밀도나 위치 정밀도가, 증착 마스크(20)와 기판(91) 사이의 열팽창 계수의 차에 기인하여 저하되는 것을 억제할 수 있다.
증착 마스크(20)를 구성하는 재료로서는, 열팽창 계수를 유리 기판과 동등한 낮은 값으로 하지 않아도 되는 경우에는, 상술한 철 합금 대신에, 예를 들어 단체의 니켈로 구성되어 있어도 되고, 또는 코발트를 포함하는 니켈 합금으로 구성되어 있어도 된다. 코발트를 포함하는 니켈 합금으로 구성되는 경우에는, 증착 마스크(20)의 재료로서, 코발트의 함유량이, 8질량％ 이상이면서 10질량％ 이하인 니켈 합금을 사용할 수 있다. 증착 마스크(20)를 도금 처리로 제조하는 경우에는, 이러한 니켈 또는 니켈 합금을 사용함으로써, 증착 마스크(20)를 이루는 도금 피막을 석출시키는 도금액을 안정시킬 수 있다. 이 때문에, 도금 처리의 관리를 용이하게 할 수 있음과 함께 취급성을 향상시킬 수 있다. 또한, 도금 피막의 성분을 균등하게 할 수 있어, 증착 마스크(20)의 품질을 향상시킬 수 있다.
다음으로, 상술한 증착 마스크(20)를 곤포하는 증착 마스크 곤포체(30)에 대해 설명한다. 증착 마스크 곤포체(30)는 복수의 관통 구멍(25)이 형성된 관통 구멍 군(26)을 갖는 증착 마스크(20)를 곤포하도록 구성되어 있다.
도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크 곤포체(30)는, 수용부(31)와, 덮개부(32)와, 제1 완충 시트(33)와, 제1 고정부(34)와, 제2 완충 시트(35)와, 제2 고정부(36)와, 증착 마스크 적층체(50)를 구비하고 있어도 된다. 증착 마스크 적층체(50)는, 수용부(31)와 덮개부(32) 사이에 위치하고 있어도 된다. 증착 마스크 적층체(50)는 상술한 증착 마스크(20)를 포함하고 있어도 된다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 덮개부(32)는 증착 마스크(20)를 곤포한 상태에서는, 수용부(31)의 상방에 위치하고 있어도 된다.
수용부(31)와 덮개부(32)는 탄성 벨트(60)에 의해 결속되어 있어도 된다. 도 2에 도시하는 예에서는, 수용부(31)와 덮개부(32)가 2개의 탄성 벨트(60)에 의해 결속되어 있지만, 수용부(31)와 덮개부(32)가 어긋나는 것을 억제할 수 있으면, 탄성 벨트(60)의 개수는 임의이다.
도 3 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 수용부(31)는 제1 대향면(37a)과, 제1 오목부(37b)를 포함하고 있어도 된다. 제1 오목부(37b)는, 제1 대향면(37a)에 위치하고 있고, 제1 대향면(37a)으로부터 오목하게 형성되어 있다. 제1 대향면(37a)은 제1 오목부(37b) 이외의 영역에서 평탄 형상으로 형성되어 있어도 된다. 혹은, 제1 대향면(37a)은 제1 오목부(37b) 이외의 영역에서, 후술하는 제1 완충 시트(33)를 평탄 형상으로 고정할 수 있으면, 작은 요철 등은 형성되어 있어도 되고, 평탄 형상으로 형성되어 있지 않아도 된다. 제1 오목부(37b)는, 법선 방향(N)에서 보았을 때, 길이 방향을 갖도록 직사각 형상으로 형성되어 있어도 된다. 제1 오목부(37b)의 길이 방향은, 곤포하는 증착 마스크(20)의 길이 방향을 따르고 있어도 된다. 제1 오목부(37b)의 길이 방향은 제1 방향(D1)을 따르고 있어도 된다. 법선 방향(N)이란, 증착 마스크(20)가 곤포된 상태에서, 제1 대향면(37a)에 수직인 방향이어도 되고, 후술하는 제2 대향면(38a)에 수직인 방향이어도 된다. 법선 방향(N)은, 증착 마스크(20)의 두께 방향을 따르고 있어도 된다.
도 7에 도시하는 바와 같이, 제1 방향(D1)에 있어서, 제1 오목부(37b)의 치수 L11은, 증착 마스크(20)의 치수 L2보다 작게 되어 있어도 된다. 바꾸어 말하면, 증착 마스크(20)는 제1 오목부(37b)에 대해 제1 방향(D1)에 있어서의 양측에서 외측으로 연장되어 있어도 된다. 증착 마스크(20)의 길이 방향 단부(21)는 제1 대향면(37a)에 겹쳐 있어도 된다. 증착 마스크(20)가 곤포된 상태에서는, 증착 마스크(20)의 길이 방향 단부(21)는 제1 대향면(37a)과 제2 대향면(38a) 사이에 끼움 지지되어 있어도 된다. 제1 방향(D1)에 있어서, 제1 오목부(37b)의 치수 L11은, 유효 영역(23)의 치수 L3보다 크게 되어 있어도 된다.
제2 방향(D2)에 있어서, 제1 오목부(37b)의 치수 W11은, 증착 마스크(20)의 치수 W2보다 크게 되어 있어도 된다. 제1 오목부(37b)는, 증착 마스크(20)에 대해 제2 방향(D2)에 있어서의 양측에서 외측으로 연장되어 있어도 된다. 이와 같이 하여, 유효 영역(23)의 전체가, 제1 오목부(37b)에 겹쳐 있어도 된다. 이것에 의해, 증착 마스크 곤포체(30)가 수송 중에 상하 방향의 힘 또는 충격을 받은 경우, 증착 마스크(20)의 유효 영역(23)을 제1 오목부(37b) 내로 처지게 할 수 있다. 이 때문에, 유효 영역(23)이 소성 변형되는 것을 억제할 수 있다.
도 5 및 도 6에 도시하는 바와 같이, 덮개부(32)는, 수용부(31)에, 제1 완충 시트(33), 증착 마스크 적층체(50) 및 제2 완충 시트(35)를 개재하여 겹쳐진다. 덮개부(32)는 제2 대향면(38a)과, 제2 오목부(38b)를 포함하고 있어도 된다. 제2 대향면(38a)은 증착 마스크(20)가 곤포된 상태에서는, 수용부(31)의 제1 대향면(37a)에 대향하고 있다. 제2 오목부(38b)는 제2 대향면(38a)에 위치하고 있고, 제2 대향면(38a)으로부터 오목해지도록 형성되어 있다. 제2 대향면(38a)은 제2 오목부(38b) 이외의 영역에서 평탄 형상으로 형성되어 있어도 된다. 혹은, 제2 대향면(38a)은 제2 오목부(38b) 이외의 영역에서, 후술하는 제2 완충 시트(35)를 평탄 형상으로 고정할 수 있으면, 작은 요철 등이 형성되어 있어도 되고, 평탄 형상으로 형성되어 있지 않아도 된다. 제2 오목부(38b)는 법선 방향(N)에서 보았을 때, 길이 방향을 갖도록 직사각 형상으로 형성되어 있어도 된다. 제2 오목부(38b)의 길이 방향은, 곤포하는 증착 마스크(20)의 길이 방향을 따르고 있어도 된다. 제2 오목부(38b)의 길이 방향은 제1 방향(D1)을 따르고 있어도 된다.
도 7에 도시하는 바와 같이, 제1 방향(D1)에 있어서, 제2 오목부(38b)의 치수 L12는, 증착 마스크(20)의 치수 L2보다 작게 되어 있어도 된다. 바꾸어 말하면, 증착 마스크(20)는 제2 오목부(38b)에 대해, 제1 방향(D1)에 있어서의 양측에서 외측으로 연장되어 있어도 된다. 증착 마스크(20)의 길이 방향 단부(21)는 제2 대향면(38a)에 겹쳐 있어도 된다. 증착 마스크(20)가 곤포된 상태에서는, 증착 마스크(20)의 길이 방향 단부(21)는 제1 대향면(37a)과 제2 대향면(38a) 사이에 끼움 지지되어 있어도 된다. 제1 방향(D1)에 있어서, 제2 오목부(38b)의 치수 L12는, 유효 영역(23)의 치수 L3보다 크게 되어 있어도 된다.
제2 방향(D2)에 있어서, 제2 오목부(38b)의 치수 W12는, 증착 마스크(20)의 치수 W2보다 크게 되어 있어도 된다. 제2 오목부(38b)는 증착 마스크(20)에 대해 제2 방향(D2)에 있어서의 양측에서 외측으로 연장되어 있어도 된다. 이와 같이 하여, 유효 영역(23)의 전체가, 제2 오목부(38b)에 겹쳐 있어도 된다. 이것에 의해, 증착 마스크 곤포체(30)가 수송 중에 상하 방향의 힘 또는 충격을 받은 경우, 증착 마스크(20)의 유효 영역(23)을 제2 오목부(38b) 내로 처지게 할 수 있다. 이 때문에, 유효 영역(23)이 소성 변형되는 것을 억제할 수 있다.
제2 오목부(38b)는, 법선 방향(N)에서 보았을 때, 제1 오목부(37b)와 겹쳐 있어도 된다. 제2 오목부(38b)는 제1 오목부(37b)와 일치하고 있어도 된다. 그러나, 이것에 한정되는 것은 아니며, 제2 오목부(38b)는 제1 오목부(37b)와 어긋나 있어도 된다.
제2 오목부(38b)의 치수 L12는, 제1 오목부(37b)의 치수 L11과 동등해도 된다. 그러나, 이것에 한정되는 것은 아니며, 치수 L12는, 치수 L11과 달라도 된다. 예를 들어, 치수 L12는, 치수 L11보다 커도 된다. 이 경우, 제2 오목부(38b)는 제1 오목부(37b)에 대해 제1 방향(D1)에 있어서의 양측에서 외측으로 연장되어 있어도 된다. 혹은, 예를 들어 치수 L12는, 치수 L11보다 작아도 된다. 이 경우, 제1 오목부(37b)는 제2 오목부(38b)에 대해 제1 방향(D1)에 있어서의 양측에서 외측으로 연장되어 있어도 된다.
제2 오목부(38b)의 치수 W12는, 제1 오목부(37b)의 치수 W11과 동등해도 된다. 그러나, 이것에 한정되는 것은 아니며, 치수 W12는, 치수 W11과 달라도 된다. 예를 들어, 치수 W12는, 치수 W11보다 커도 된다. 이 경우, 제2 오목부(38b)는 제1 오목부(37b)에 대해 제2 방향(D2)에 있어서의 양측에서 외측으로 연장되어 있어도 된다. 혹은, 예를 들어 치수 W12는, 치수 W11보다 작아도 된다. 이 경우, 제1 오목부(37b)는 제2 오목부(38b)에 대해 제2 방향(D2)에 있어서의 양측에서 외측으로 연장되어 있어도 된다.
도 3 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 수용부(31) 및 덮개부(32)는 곤포 케이스(40)를 구성하고 있어도 된다. 곤포 케이스(40)는, 수용부(31)와 덮개부(32)를 연결하는 힌지부(41)를 포함하고 있어도 된다. 이 경우, 수용부(31)와 덮개부(32)는 힌지부(41)를 통해 연결되고, 덮개부(32)는 수용부(31)에 대해 회동 가능하게 되어 있어도 된다. 곤포 케이스(40)는 절곡 가능하게 되어 있어도 된다. 곤포 케이스(40)는, 도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이 전개 가능해도 되고, 도 2 및 도 6에 도시하는 바와 같이 절곡 가능해도 된다.
도 4에 도시하는 바와 같이, 수용부(31), 덮개부(32) 및 힌지부(41)는, 일체로 형성되어 있어도 된다. 수용부(31)와 힌지부(41) 사이에는, 수용부측 홈(42)이 형성되어 있어도 된다. 힌지부(41)과 덮개부(32) 사이에는, 덮개부측 홈(43)이 형성되어 있어도 된다. 이와 같이 하여, 수용부(31)와 덮개부(32)가 상대적으로 회동 가능하게 되어 있어도 되고, 곤포 케이스(40)가 절곡 가능하게 되어 있어도 된다.
곤포 케이스(40)는 하나 또는 복수의 골판지 시트(44)에 의해 형성되어 있어도 된다. 예를 들어, 곤포 케이스(40)는 2개의 골판지 시트(44)를 겹쳐서 형성되어 있어도 된다. 각각의 골판지 시트(44)는, 2개의 라이너와, 라이너 사이에 개재된 파 형상의 횡단면을 갖는 골심을 포함하고 있다. 복수의 골판지 시트(44)를 겹치는 경우, 서로 인접하는 골판지 시트(44)의 골심의 파 형상의 능선 또는 골이 연장되는 방향이 직교하도록 골판지 시트(44)를 겹쳐도 된다. 이 경우, 곤포 케이스(40)의 기계적 강도를 향상시킬 수 있다. 골판지 시트(44)는 플라스틱제여도 된다. 골판지 시트(44)는 정전기가 발생하는 것을 억제하기 위해, 대전 방지 코팅되어 있어도 된다. 예를 들어, 골판지 시트(44)의 양면에, 대전 방지층이 형성되어 있어도 된다.
곤포 케이스(40)가 2개의 골판지 시트(44)로 구성되어 있는 경우, 수용부(31)의 제1 오목부(37b)는 한쪽의 골판지 시트(44)에 형성된 제1 개구부(44a)로 구성되어 있어도 된다. 이 경우, 제1 개구부(44a)는 이 골판지 시트(44)를 관통하고 있어도 된다. 제1 개구부(44a)는 제1 대향면(37a)을 구성하는 골판지 시트(44)에 형성된다. 다른 쪽의 골판지 시트(44)에는, 제1 개구부(44a)는 형성되어 있지 않아도 된다.
마찬가지로, 곤포 케이스(40)가 2개의 골판지 시트(44)로 구성되어 있는 경우, 덮개부(32)의 제2 오목부(38b)는 한쪽의 골판지 시트(44)에 형성된 제2 개구부(44b)로 구성되어 있어도 된다. 이 경우, 제2 개구부(44b)는 이 골판지 시트(44)를 관통하고 있어도 된다. 제2 개구부(44b)는 제2 대향면(38a)을 구성하는 골판지 시트(44)에 형성된다. 다른 쪽의 골판지 시트(44)에는, 제2 개구부(44b)는 형성되어 있지 않아도 된다.
도 5 및 도 6에 도시하는 바와 같이, 제1 완충 시트(33)는, 제1 대향면(37a)에 위치하고 있어도 된다. 제1 완충 시트(33)는, 제1 오목부(37b)를 덮고 있어도 된다. 제1 완충 시트(33)는 증착 마스크 곤포체(30)가 수송 중에 상하 방향의 힘 또는 충격을 받은 경우, 증착 마스크(20)가 소성 변형되는 것을 억제하기 위한 시트여도 된다. 제1 완충 시트(33)는 증착 마스크(20)가 곤포된 상태에서 증착 마스크(20)에 가해지는 힘 또는 충격을 흡수 가능한 정도의 가요성을 갖고 있어도 된다. 제1 완충 시트(33)는 증착 마스크 적층체(50)를 지지할 수 있을 정도의 기계적 강도를 갖고 있어도 된다.
도 7에 도시하는 바와 같이, 제1 완충 시트(33)는 법선 방향(N)에서 보았을 때, 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)을 따르도록 직사각 형상으로 형성되어 있어도 된다. 제1 완충 시트(33)는 제1 방향(D1)을 따르는 길이 방향을 갖고 있어도 된다.
제1 완충 시트(33)의 재료는, 임의이다. 예를 들어, 제1 완충 시트(33)는 PET(폴리에틸렌테레프탈레이트) 필름으로 구성되어 있어도 된다. PET 필름은, 비교적 딱딱하고, 주름이 형성되기 어렵다. 이 때문에, 증착 마스크(20)의 소성 변형을 효과적으로 억제할 수 있다.
도 5에 도시하는 제1 완충 시트(33)의 두께 T2는, 임의이다. 예를 들어, 두께 T2는, 예를 들어 0.05mm 이상이어도 되고, 0.08mm 이상이어도 되고, 0.10mm 이상이어도 된다. 두께 T2를 0.05mm 이상으로 함으로써, 힘 또는 충격을 흡수할 수 있음과 함께 기계적 강도를 확보할 수 있다. 두께 T2는, 예를 들어 0.15mm 이하여도 되고, 0.17mm 이하여도 되고, 0.20mm 이하여도 된다. 두께 T2를 0.20mm 이하로 함으로써, 증착 마스크 적층체(50)가 두꺼워지는 것을 억제할 수 있다. 두께 T2의 범위는, 0.05mm, 0.08mm 및 0.10mm로 이루어지는 제1 그룹, 및/또는 0.15mm, 0.17mm 및 0.20mm로 이루어지는 제2 그룹에 의해 정해져도 된다. 두께 T2의 범위는, 상술한 제1 그룹에 포함되는 값 중 임의의 1개와, 상술한 제2 그룹에 포함되는 값 중 임의의 1개의 조합에 의해 정해져도 된다. 두께 T2의 범위는, 상술한 제1 그룹에 포함되는 값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 된다. 두께 T2의 범위는, 상술한 제2 그룹에 포함되는 값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 0.05mm 이상 0.20mm 이하여도 되고, 0.05mm 이상 0.17mm 이하여도 되고, 0.05mm 이상 0.15mm 이하여도 되고, 0.05mm 이상 0.10mm 이하여도 되고, 0.05mm 이상 0.08mm 이하여도 되고, 0.08mm 이상 0.20mm 이하여도 되고, 0.08mm 이상 0.17mm 이하여도 되고, 0.08mm 이상 0.15mm 이하여도 되고, 0.08mm 이상 0.10mm 이하여도 되고, 0.10mm 이상 0.20mm 이하여도 되고, 0.10mm 이상 0.17mm 이하여도 되고, 0.10mm 이상 0.15mm 이하여도 되고, 0.15mm 이상 0.20mm 이하여도 되고, 0.15mm 이상 0.17mm 이하여도 되고, 0.17mm 이상 0.20mm 이하여도 된다.
도 5 내지 도 7에 도시하는 바와 같이, 제1 방향(D1)에 있어서, 제1 완충 시트(33)의 치수 L4는, 증착 마스크(20)의 치수 L2보다 커도 된다. 제1 완충 시트(33)는 증착 마스크(20)에 대해 제1 방향(D1)에 있어서의 양측에서 외측으로 연장되어 있어도 된다. 제2 방향(D2)에 있어서, 제1 완충 시트(33)의 치수 W3은, 증착 마스크(20)의 치수 W2보다 커도 된다. 제1 완충 시트(33)는 증착 마스크(20)에 대해 제2 방향(D2)에 있어서의 양측에서 외측으로 연장되어 있어도 된다. 이와 같이 하여, 증착 마스크(20)의 전체는, 제1 완충 시트(33)에 겹쳐 있어도 된다. 이것에 의해, 증착 마스크 곤포체(30)가 수송 중에 상하 방향의 힘 또는 충격을 받은 경우, 증착 마스크(20)가 소성 변형되는 것을 억제할 수 있다.
제1 완충 시트(33)는 정전기가 발생하는 것을 억제하기 위해, 대전 방지 코팅되어 있어도 된다. 예를 들어, 제1 완충 시트(33)의 양면에, 대전 방지층이 형성되어 있어도 된다. 대전 방지 코팅된 제1 완충 시트(33)의 예로서는, 상품명 크리스퍼(등록상표)로서 판매되고 있는 도요보 가부시키가이샤제의 폴리에스테르계 합성지 K2323-188-690mm를 들 수 있다.
도 5 및 도 6에 도시하는 바와 같이, 제1 고정부(34)는, 제1 완충 시트(33)를 제1 대향면(37a)에 고정하고 있어도 된다. 제1 고정부(34)는 제1 대향면(37a)과 제1 완충 시트(33) 사이에 개재되어 있어도 된다.
도 7에 도시하는 바와 같이, 제1 고정부(34)는 법선 방향(N)에서 보았을 때, 증착 마스크(20)의 외측에 위치하고 있어도 된다. 제1 고정부(34)는 제1 완충 시트(33)의 외연의 내측에 위치하고 있어도 된다. 제1 고정부(34)는 제1 완충 시트(33)에 겹쳐 있어도 되고, 증착 마스크(20)에 겹쳐 있지 않아도 된다. 제1 고정부(34)는 수용부(31)의 제1 오목부(37b)의 외측에 위치하고 있어도 되고, 덮개부(32)의 제2 오목부(38b)의 외측에 위치하고 있어도 된다. 제1 고정부(34)는 제2 오목부(38b)에 겹쳐 있지 않아도 된다.
제1 고정부(34)는, 제1 고정 분할 부재(45)와, 제2 고정 분할 부재(46)를 포함하고 있어도 된다.
보다 구체적으로는, 도 3 및 도 7에 도시하는 바와 같이, 제1 고정부(34)는 제1 방향(D1)에 있어서, 증착 마스크(20)에 대해 양측에서 외측에 위치하는 2개의 제1 고정 분할 부재(45)를 포함하고 있어도 된다. 2개의 제1 고정 분할 부재(45)의 사이에, 증착 마스크(20)가 위치하고 있어도 되고, 제1 고정 분할 부재(45)는 증착 마스크(20)에 겹쳐 있지 않아도 된다. 제1 고정 분할 부재(45)는 제2 방향(D2)을 따라 가늘고 길게 연장되어 있어도 된다. 이 경우, 제1 고정 분할 부재(45)는 평면으로 보아, 제2 방향(D2)을 길이 방향으로 하는 직사각 형상으로 형성되어 있어도 된다. 제1 고정 분할 부재(45)는 연속 형상으로 연장되어 있어도 되고, 단속적으로 형성되어 있어도 된다. 이 경우, 제1 고정 분할 부재(45)는 평면으로 보아, 제2 방향(D2)을 길이 방향으로 하는 직사각 형상으로 형성되어 있어도 되고, 정사각 형상, 원 형상 또는 타원 형상 등 임의의 형상으로 형성되어 있어도 된다.
제1 고정부(34)는, 제2 방향(D2)에 있어서, 증착 마스크(20)에 대해 양측에서 외측에 위치하는 2개의 제2 고정 분할 부재(46)를 포함하고 있어도 된다. 2개의 제2 고정 분할 부재(46)의 사이에, 증착 마스크(20)가 위치하고 있어도 되고, 제2 고정 분할 부재(46)는 증착 마스크(20)에 겹쳐 있지 않아도 된다. 제2 고정 분할 부재(46)는, 제1 방향(D1)을 따라 가늘고 길게 연장되어 있어도 된다. 이 경우, 제2 고정 분할 부재(46)는 평면으로 보아, 제1 방향(D1)을 길이 방향으로 하는 직사각 형상으로 형성되어 있어도 된다. 제2 고정 분할 부재(46)는, 연속 형상으로 연장되어 있어도 되고, 단속적으로 형성되어 있어도 된다. 이 경우, 제2 고정 분할 부재(46)는 평면으로 보아, 제1 방향(D1)을 길이 방향으로 하는 직사각 형상으로 형성되어 있어도 되고, 정사각 형상, 원 형상 또는 타원 형상 등 임의의 형상으로 형성되어 있어도 된다.
도 3 및 도 7에 도시하는 예에서는, 제1 고정 분할 부재(45)는, 제1 방향(D1)에 있어서, 제2 고정 분할 부재(46)의 양측에 위치하고 있고, 제1 고정 분할 부재(45)가, 제2 방향(D2)에 있어서, 제2 고정 분할 부재(46)의 후술하는 외측연까지 연장되어 있다. 그러나, 제2 고정 분할 부재(46)가, 제2 방향(D2)에 있어서 제1 고정 분할 부재(45)의 양측에 위치하고, 제2 고정 분할 부재(46)가, 제1 방향(D1)에 있어서, 제1 고정 분할 부재(45)의 후술하는 외측연까지 연장되어 있어도 된다. 또한, 제1 고정 분할 부재(45)와 제2 고정 분할 부재(46) 사이에 간극이 형성되어 있어도 되고, 또는 간극 없이 접속되어 있어도 된다.
제1 고정 분할 부재(45) 및 제2 고정 분할 부재(46)는 양면 테이프로 구성되어 있어도 된다. 양면 테이프는, 기재와, 기재의 양면에 위치하는 점착층을 포함하고 있어도 된다. 기재는, 임의의 합성 수지로 제작되어 있어도 된다. 점착층은, 점착성을 갖고 있으면, 임의의 합성 수지로 제작되어 있어도 된다. 양면 테이프의 일례로서는, 상품명 스카치(등록상표)로서 판매되고 있는 3M제의 양면 테이프 665를 들 수 있다. 그러나, 제1 완충 시트(33)는 접착제에 의해 제1 대향면(37)에 고정되어 있어도 된다. 이 경우, 제1 고정 분할 부재(45) 및 제2 고정 분할 부재(46)는 접착제가 경화됨으로써 형성되어 있어도 된다.
도 5에 도시하는 제1 고정 분할 부재(45) 및 제2 고정 분할 부재(46)의 두께 T3은, 임의이다. 예를 들어, 두께 T3은, 예를 들어 0.04mm 이상이어도 되고, 0.06mm 이상이어도 되고, 0.07mm 이상이어도 된다. 두께 T3을, 0.04mm 이상으로 함으로써, 점착력을 확보할 수 있다. 두께 T3은, 예를 들어 0.09mm 이하여도 되고, 0.10mm 이하여도 되고, 1.20mm 이하여도 된다. 두께 T3을 1.20mm 이하로 함으로써, 제1 완충 시트(33)의 변형을 억제할 수 있음과 함께, 제1 고정 분할 부재(45) 및 제2 고정 분할 부재(46)가 서로 완충하는 것을 억제할 수 있다. 두께 T3의 범위는, 0.04mm, 0.06mm 및 0.07mm로 이루어지는 제1 그룹, 및/또는 0.09mm, 0.10mm 및 1.20mm로 이루어지는 제2 그룹에 의해 정해져도 된다. 두께 T3의 범위는, 상술한 제1 그룹에 포함되는 값 중 임의의 1개와, 상술한 제2 그룹에 포함되는 값 중 임의의 1개의 조합에 의해 정해져도 된다. 두께 T3의 범위는, 상술한 제1 그룹에 포함되는 값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 된다. 두께 T3의 범위는, 상술한 제2 그룹에 포함되는 값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 0.04mm 이상 1.20mm 이하여도 되고, 0.04mm 이상 0.10mm 이하여도 되고, 0.04mm 이상 0.09mm 이하여도 되고, 0.04mm 이상 0.07mm 이하여도 되고, 0.04mm 이상 0.06mm 이하여도 되고, 0.06mm 이상 1.20mm 이하여도 되고, 0.06mm 이상 0.10mm 이하여도 되고, 0.06mm 이상 0.09mm 이하여도 되고, 0.06mm 이상 0.07mm 이하여도 되고, 0.07mm 이상 1.20mm 이하여도 되고, 0.07mm 이상 0.10mm 이하여도 되고, 0.07mm 이상 0.09mm 이하여도 되고, 0.09mm 이상 1.20mm 이하여도 되고, 0.09mm 이상 0.10mm 이하여도 되고, 0.10mm 이상 1.20mm 이하여도 된다.
도 5 및 도 6에 도시하는 바와 같이, 제2 완충 시트(35)는, 제2 대향면(38a)에 위치하고 있어도 된다. 제2 완충 시트(35)는, 제2 오목부(38b)를 덮고 있어도 된다. 제2 완충 시트(35)는, 증착 마스크 곤포체(30)가 수송 중에 상하 방향의 힘 또는 충격을 받은 경우, 증착 마스크(20)가 소성 변형되는 것을 억제하기 위한 시트여도 된다. 제2 완충 시트(35)의 두께는, 제1 완충 시트(33)의 두께 T2와 동등해도 되고, 또는 달라도 된다. 제2 완충 시트(35)는 상술한 제1 완충 시트(33)와 마찬가지로 구성되어 있어도 된다. 이 때문에, 제2 완충 시트(35)의 상세한 설명은 생략한다. 도 3에 도시하는 예에서는, 도면을 명료하게 하기 위해, 제2 완충 시트(35)를 생략하고 있다.
도 5 및 도 6에 도시하는 바와 같이, 제2 고정부(36)는, 제2 완충 시트(35)를 제2 대향면(38a)에 고정하고 있어도 된다. 제2 고정부(36)는 제2 대향면(38a)과 제2 완충 시트(35) 사이에 개재되어 있어도 된다.
도 7에 도시하는 바와 같이, 제2 고정부(36)는, 법선 방향(N)에서 보았을 때, 증착 마스크(20)의 외측에 위치하고 있어도 된다. 제2 고정부(36)는, 제2 완충 시트(35)의 외연의 내측에 위치하고 있어도 된다. 제2 고정부(36)는, 제2 완충 시트(35)에 겹쳐 있어도 되고, 증착 마스크(20)에 겹쳐 있지 않아도 된다. 제2 고정부(36)는 수용부(31)의 제1 오목부(37b)의 외측에 위치하고 있어도 되고, 덮개부(32)의 제2 오목부(38b)의 외측에 위치하고 있어도 된다. 제2 고정부(36)는 제2 오목부(38b)에 겹쳐 있지 않아도 된다.
제2 고정부(36)는, 제3 고정 분할 부재(47)와, 제4 고정 분할 부재(48)를 포함하고 있어도 된다.
보다 구체적으로는, 도 3 및 도 7에 도시하는 바와 같이, 제2 고정부(36)는 제1 방향(D1)에 있어서, 증착 마스크(20)에 대해 양측에서 외측에 위치하는 2개의 제3 고정 분할 부재(47)를 포함하고 있어도 된다. 2개의 제3 고정 분할 부재(47)의 사이에, 증착 마스크(20)가 위치하고 있어도 되고, 제3 고정 분할 부재(47)는 증착 마스크(20)에 겹쳐 있지 않아도 된다. 제3 고정 분할 부재(47)는 제2 방향(D2)을 따라 가늘고 길게 연장되어 있어도 된다. 이 경우, 제3 고정 분할 부재(47)는 평면으로 보아, 제2 방향(D2)을 길이 방향으로 하는 직사각 형상으로 형성되어 있어도 된다. 제3 고정 분할 부재(47)는 연속 형상으로 연장되어 있어도 되고, 단속적으로 형성되어 있어도 된다. 이 경우, 제3 고정 분할 부재(47)는 평면으로 보아, 제2 방향(D2)을 길이 방향으로 하는 직사각 형상으로 형성되어 있어도 되고, 정사각 형상, 원 형상 또는 타원 형상 등 임의의 형상으로 형성되어 있어도 된다. 제3 고정 분할 부재(47)는 제1 고정 분할 부재(45)와 겹쳐 있어도 되고, 제1 고정 분할 부재(45)와 겹쳐 있지 않아도 된다.
제2 고정부(36)는 제2 방향(D2)에 있어서, 증착 마스크(20)에 대해 양측에서 외측에 위치하는 2개의 제4 고정 분할 부재(48)를 포함하고 있어도 된다. 2개의 제4 고정 분할 부재(48)의 사이에, 증착 마스크(20)가 위치하고 있어도 되고, 제4 고정 분할 부재(48)는 증착 마스크(20)에 겹쳐 있지 않아도 된다. 제4 고정 분할 부재(48)는 제1 방향(D1)을 따라 가늘고 길게 연장되어 있어도 된다. 이 경우, 제4 고정 분할 부재(48)는 평면으로 보아, 제1 방향(D1)을 길이 방향으로 하는 직사각 형상으로 형성되어 있어도 된다. 제4 고정 분할 부재(48)는 연속 형상으로 연장되어 있어도 되고, 단속적으로 형성되어 있어도 된다. 이 경우, 제4 고정 분할 부재(48)는 평면으로 보아, 제1 방향(D1)을 길이 방향으로 하는 직사각 형상으로 형성되어 있어도 되고, 정사각 형상, 원 형상 또는 타원 형상 등 임의의 형상으로 형성되어 있어도 된다. 제4 고정 분할 부재(48)는 제2 고정 분할 부재(46)와 겹쳐 있어도 되고, 제2 고정 분할 부재(46)와 겹쳐 있지 않아도 된다.
도 3 및 도 7에 도시하는 예에서는, 제3 고정 분할 부재(47)는, 제1 방향(D1)에 있어서, 제4 고정 분할 부재(48)의 양측에 위치하고 있고, 제3 고정 분할 부재(47)가, 제2 방향(D2)에 있어서, 제4 고정 분할 부재(48)의 후술하는 외측연까지 연장되어 있다. 그러나, 제4 고정 분할 부재(48)가, 제2 방향(D2)에 있어서 제3 고정 분할 부재(47)의 양측에 위치하고, 제4 고정 분할 부재(48)가, 제1 방향(D1)에 있어서, 제3 고정 분할 부재(47)의 후술하는 외측연까지 연장되어 있어도 된다. 또한, 제3 고정 분할 부재(47)와 제4 고정 분할 부재(48) 사이에 간극이 형성되어 있어도 되고, 또는 간극 없이 접속되어 있어도 된다.
제3 고정 분할 부재(47) 및 제4 고정 분할 부재(48)는, 제1 고정 분할 부재(45) 및 제2 고정 분할 부재(46)와 마찬가지로 구성되어 있어도 된다. 예를 들어, 제3 고정 분할 부재(47) 및 제4 고정 분할 부재(48)는 제1 고정 분할 부재(45) 및 제2 고정 분할 부재(46)와 마찬가지로 양면 테이프로 구성되어 있어도 된다. 제3 고정 분할 부재(47) 및 제4 고정 분할 부재(48)의 두께는, 상술한 제1 고정 분할 부재(45) 및 제2 고정 분할 부재(46)의 두께 T3과 동등해도 되고, 또는 달라도 된다. 제3 고정 분할 부재(47) 및 제4 고정 분할 부재(48)의 상세한 설명은 생략한다.
도 5 및 도 6에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크 적층체(50)는, 수용부(31)와 덮개부(32) 사이에 위치하고 있다. 보다 구체적으로는, 증착 마스크 적층체(50)는 제1 완충 시트(33)와 제2 완충 시트(35) 사이에 위치하고 있다. 증착 마스크(20)가 곤포된 상태에서는, 증착 마스크 적층체(50)는 수용부(31)와 덮개부(32) 사이에 끼움 지지되어 있어도 된다.
증착 마스크 적층체(50)는, 하나의 증착 마스크(20)와, 복수의 삽간 시트(51)를 포함하고 있어도 된다. 증착 마스크(20)의 제1 면(20a) 및 제2 면(20b)에, 삽간 시트(51)가 위치하고 있어도 된다. 2개의 삽간 시트(51) 사이에, 증착 마스크(20)가 위치하고 있어도 되고, 증착 마스크(20)는 삽간 시트(51) 사이에 끼움 지지되어 있어도 된다. 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)은 수용부(31)의 제1 대향면(37a)에 대향하고 있어도 된다. 그러나 제1 면(20a)은 덮개부(32)의 제2 대향면(38a)에 대향해도 된다.
삽간 시트(51)는 증착 마스크(20)와 제1 완충 시트(33) 사이에 위치하고 있어도 된다. 증착 마스크(20)와 제1 완충 시트(33) 사이에, 하나 또는 복수의 삽간 시트(51)가 개재되어 있어도 된다. 본 실시 형태에 있어서는, 증착 마스크(20)와 제1 완충 시트(33) 사이에 2개의 삽간 시트(51)가 개재되어 있다. 도 3에 있어서는, 도면을 명료하게 하기 위해, 증착 마스크(20)와 제1 완충 시트(33) 사이에 위치하는 삽간 시트(51)는 생략하고 있다.
삽간 시트(51)는 증착 마스크(20)와 제2 완충 시트(35) 사이에 위치하고 있어도 된다. 증착 마스크(20)와 제2 완충 시트(35) 사이에, 하나 또는 복수의 삽간 시트(51)가 개재되어 있어도 된다. 본 실시 형태에 있어서는, 증착 마스크(20)와 제2 완충 시트(35) 사이에 2개의 삽간 시트(51)가 개재되어 있다.
삽간 시트(51)는, 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25)과, 제1 완충 시트(33) 또는 제2 완충 시트(35)가, 서로 걸리는 것을 억제함으로써, 증착 마스크(20)가 소성 변형되는 것을 억제하기 위한 시트이다. 이 때문에, 삽간 시트(51)의 양면은, 평탄 형상으로 형성되어 있어도 된다. 삽간 시트(51)에, 구멍이나 요철 등은 형성되어 있지 않아도 된다. 증착 마스크(20)에 접하는 삽간 시트(51)는, 증착 마스크(20)에 고정되어 있지 않아도 된다. 제1 완충 시트(33)에 접하는 삽간 시트(51)는 제1 완충 시트(33)에 고정되어 있지 않아도 된다. 제2 완충 시트(35)에 접하는 삽간 시트(51)는 제2 완충 시트(35)에 고정되어 있지 않아도 된다.
도 7에 도시하는 바와 같이, 삽간 시트(51)는 법선 방향(N)에서 보았을 때, 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)을 따르도록 직사각 형상으로 형성되어 있어도 된다. 삽간 시트(51)는 제1 방향(D1)을 따르는 길이 방향을 갖고 있어도 된다.
삽간 시트(51)의 재료는, 임의이다. 예를 들어, 삽간 시트(51)의 재료는, 증착 마스크(20)의 열팽창 계수와의 차가 작은 열팽창 계수를 갖는 재료여도 된다. 예를 들어, 삽간 시트(51)는 42 알로이에 의해 제작되어 있어도 된다. 42 알로이는, 42％의 니켈을 포함하는 철 합금이어도 된다. 삽간 시트(51)는 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25)에 걸리는 것을 억제할 수 있으면, 종이 등의 섬유를 포함하는 재료에 의해 제작되어 있어도 되고, 예를 들어 아크릴 함침지에 의해 제작되어 있어도 된다. 삽간 시트(51)는 증착 마스크(20)의 재료와 동일한 재료로 제작되어 있어도 된다.
도 5에 도시하는 삽간 시트(51)의 두께 T4는, 임의이다. 예를 들어, 두께 T4는, 예를 들어 20㎛ 이상이어도 되고, 70㎛ 이상이어도 되고, 100㎛ 이상이어도 된다. 두께 T4를 20㎛ 이상으로 함으로써, 삽간 시트(51)의 기계적 강도를 확보할 수 있고, 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25)이 다른 부재에 걸리는 것을 억제할 수 있다. 두께 T4는, 예를 들어 200㎛ 이하여도 되고, 250㎛ 이하여도 되고, 300㎛ 이하여도 된다. 두께 T4를 300㎛ 이하로 함으로써, 증착 마스크 적층체(50)가 두꺼워지는 것을 억제할 수 있다. 두께 T4의 범위는, 20㎛, 70㎛ 및 100㎛로 이루어지는 제1 그룹, 및/또는 200㎛, 250㎛ 및 300㎛로 이루어지는 제2 그룹에 의해 정해져도 된다. 두께 T4의 범위는, 상술한 제1 그룹에 포함되는 값 중 임의의 1개와, 상술한 제2 그룹에 포함되는 값 중 임의의 1개의 조합에 의해 정해져도 된다. 두께 T4의 범위는, 상술한 제1 그룹에 포함되는 값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 된다. 두께 T4의 범위는, 상술한 제2 그룹에 포함되는 값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 20㎛ 이상 300㎛ 이하여도 되고, 20㎛ 이상 250㎛ 이하여도 되고, 20㎛ 이상 200㎛ 이하여도 되고, 20㎛ 이상 100㎛ 이하여도 되고, 20㎛ 이상 70㎛ 이하여도 되고, 70㎛ 이상 300㎛ 이하여도 되고, 70㎛ 이상 250㎛ 이하여도 되고, 70㎛ 이상 200㎛ 이하여도 되고, 70㎛ 이상 100㎛ 이하여도 되고, 100㎛ 이상 300㎛ 이하여도 되고, 100㎛ 이상 250㎛ 이하여도 되고, 100㎛ 이상 200㎛ 이하여도 되고, 200㎛ 이상 300㎛ 이하여도 되고, 200㎛ 이상 250㎛ 이하여도 되고, 250㎛ 이상 300㎛ 이하여도 된다.
도 7에 도시하는 바와 같이, 제1 방향(D1)에 있어서, 삽간 시트(51)의 치수 L5는, 증착 마스크(20)의 치수 L2보다 커도 된다. 삽간 시트(51)는 증착 마스크(20)에 대해 제1 방향(D1)에 있어서의 양측에서 외측으로 연장되어 있어도 된다. 제2 방향(D2)에 있어서, 삽간 시트(51)의 치수 W4는, 증착 마스크(20)의 치수 W2보다 커도 된다. 삽간 시트(51)는 증착 마스크(20)에 대해 제2 방향(D2)에 있어서의 양측에서 외측으로 연장되어 있어도 된다. 이와 같이 하여, 증착 마스크(20)의 전체는, 삽간 시트(51)에 겹쳐 있어도 된다. 이것에 의해, 증착 마스크(20)가 다른 부재에 걸리는 것을 억제할 수 있어, 소성 변형되는 것을 억제할 수 있다.
제1 방향(D1)에 있어서, 삽간 시트(51)의 치수 L5는, 제1 완충 시트(33)의 치수 L4보다 작아도 된다. 바꾸어 말하면, 제1 완충 시트(33)는 삽간 시트(51)에 대해 제1 방향(D1)에 있어서의 양측에서 외측으로 연장되어 있어도 된다. 제2 방향(D2)에 있어서, 삽간 시트(51)의 치수 W4는, 제1 완충 시트(33)의 치수 W3보다 작아도 된다. 바꾸어 말하면, 제1 완충 시트(33)는 삽간 시트(51)에 대해 제2 방향(D2)에 있어서의 양측에서 외측으로 연장되어 있어도 된다. 이와 같이 하여, 삽간 시트(51)의 전체는, 제1 완충 시트(33)에 겹쳐 있어도 된다. 마찬가지로 하여, 삽간 시트(51)의 전체는, 제2 완충 시트(35)에 겹쳐 있어도 된다.
도 7에 도시하는 바와 같이, 법선 방향(N)에서 보았을 때, 삽간 시트(51)는 제1 고정부(34)에 겹쳐 있지 않아도 된다. 바꾸어 말하면, 제1 고정부(34)는 삽간 시트(51)의 외측에 위치하고 있어도 된다. 삽간 시트(51)는 2개의 제1 고정 분할 부재(45)의 사이에 위치하고 있어도 된다. 삽간 시트(51)는 2개의 제2 고정 분할 부재(46)의 사이에 위치하고 있어도 된다. 삽간 시트(51)는 제1 고정 분할 부재(45)에 겹쳐 있지 않아도 되고, 제2 고정 분할 부재(46)에 겹쳐 있지 않아도 된다.
보다 구체적으로는, 도 7에 도시하는 바와 같이, 제1 방향(D1)에 있어서, 2개의 제1 고정 분할 부재(45) 사이의 치수 L6은, 삽간 시트(51)의 치수 L5보다 커도 된다. 치수 L6은, 제1 방향(D1)에 있어서의 제1 고정부(34)의 내측 치수라고도 칭한다. 보다 구체적으로는, 치수 L6은, 제1 고정부(34)를 구성하는 2개의 제1 고정 분할 부재(45)의 내측연 사이의 치수여도 된다. 제1 고정 분할 부재(45)의 내측연은, 평면으로 보아, 제1 고정 분할 부재(45)의 삽간 시트(51)에 대향하는 테두리여도 된다.
제1 방향(D1)에 있어서, 제1 고정부(34)의 치수 L7은, 제1 완충 시트(33)의 치수 L4보다 작아도 된다. 치수 L7은, 제1 방향(D1)에 있어서의 제1 고정부(34)의 외측 치수라고도 칭한다. 보다 구체적으로는, 치수 L7은, 제1 고정부(34)를 구성하는 2개의 제1 고정 분할 부재(45)의 외측연 사이의 치수여도 된다. 제1 고정 분할 부재(45)의 외측연은, 평면으로 보아, 제1 고정 분할 부재(45)의 삽간 시트(51)와는 반대측의 테두리여도 된다.
제2 방향(D2)에 있어서, 2개의 제2 고정 분할 부재(46) 사이의 치수 W5는, 삽간 시트(51)의 치수 W4보다 커도 된다. 치수 W5는, 제2 방향(D2)에 있어서의 제1 고정부(34)의 내측 치수라고도 칭한다. 치수 W5는, 제1 오목부(37b)의 치수 W11보다 커도 되고, 제2 오목부(38b)의 치수 W12보다 커도 된다. 보다 구체적으로는, 치수 W5는, 제1 고정부(34)를 구성하는 2개의 제2 고정 분할 부재(46)의 내측연 사이의 치수여도 된다. 제2 고정 분할 부재(46)의 내측연은, 평면으로 보아, 제2 고정 분할 부재(46)의 삽간 시트(51)에 대향하는 테두리여도 된다.
제2 방향(D2)에 있어서, 제1 고정부(34)의 치수 W6은, 제1 완충 시트(33)의 치수 W3보다 작아도 된다. 치수 W6은, 제2 방향(D2)에 있어서의 제1 고정부(34)의 외측 치수라고도 칭한다. 보다 구체적으로는, 치수 W6은, 제1 고정부(34)를 구성하는 2개의 제2 고정 분할 부재(46)의 외측연 사이의 치수여도 된다. 제2 고정 분할 부재(46)의 외측연은, 평면으로 보아, 제2 고정 분할 부재(46)의 삽간 시트(51)와는 반대측의 테두리여도 된다.
제1 고정부(34)의 치수 L6과, 제1 오목부(37b)의 치수 L11의 차는, 제1 고정부(34)의 치수 W5와, 제1 오목부(37b)의 치수 W11의 차보다 커도 된다. 이 경우, 제1 고정 분할 부재(45)와 제1 오목부(37b)의 제1 방향(D1)의 거리를, 제2 고정 분할 부재(46)와 제1 오목부(37b) 사이의 제2 방향(D2)의 거리보다 크게 할 수 있어, 제1 고정 분할 부재(45)를 제1 오목부(37b)로부터 이격시킬 수 있다. 이 경우, 증착 마스크(20)의 길이 방향 단부(21)가, 제1 고정부(34) 및 제2 고정부(36)와 겹치는 것을 억제할 수 있어, 길이 방향 단부(21)를 제1 대향면(37a)에 겹치게 하기 위한 스페이스를 확보할 수 있다. 제1 완충 시트(33) 및 제2 완충 시트(35)의 제2 방향(D2)의 치수 W3을 작게 할 수 있어, 수용부(31) 및 덮개부(32)의 제2 방향(D2)의 치수를 작게 할 수 있다.
제1 고정부(34)의 치수 L6과, 제2 오목부(38b)의 치수 L12의 차는, 제1 고정부(34)의 치수 W5와, 제2 오목부(38b)의 치수 W12의 차보다 커도 된다. 이 경우, 제1 고정 분할 부재(45)와 제2 오목부(38b)의 제1 방향(D1)의 거리를, 제2 고정 분할 부재(46)와 제2 오목부(38b) 사이의 제2 방향(D2)의 거리보다 크게 할 수 있어, 제1 고정 분할 부재(45)를 제2 오목부(38b)로부터 이격시킬 수 있다. 이 경우, 증착 마스크(20)의 길이 방향 단부(21)가, 제1 고정부(34) 및 제2 고정부(36)와 겹치는 것을 억제할 수 있어, 길이 방향 단부(21)를 제2 대향면(38a)에 겹치게 하기 위한 스페이스를 확보할 수 있다. 제1 완충 시트(33) 및 제2 완충 시트(35)의 제2 방향(D2)의 치수 W3을 작게 할 수 있어, 수용부(31) 및 덮개부(32)의 제2 방향(D2)의 치수를 작게 할 수 있다.
도 7에 도시하는 바와 같이, 법선 방향(N)에서 보았을 때, 삽간 시트(51)는 제2 고정부(36)에 겹쳐 있지 않아도 된다. 바꾸어 말하면, 제2 고정부(36)는 삽간 시트(51)의 외측에 위치하고 있어도 된다. 보다 구체적으로는, 삽간 시트(51)는 2개의 제3 고정 분할 부재(47)의 사이에 위치하고 있어도 된다. 삽간 시트(51)는 2개의 제4 고정 분할 부재(48)의 사이에 위치하고 있어도 된다. 삽간 시트(51)는 제3 고정 분할 부재(47)에 겹쳐 있지 않아도 되고, 제4 고정 분할 부재(48)에 겹쳐 있지 않아도 된다.
제2 고정부(36)는, 상술한 제1 고정부(34)와 마찬가지의 평면 형상을 갖고 있어도 된다. 제2 고정부(36)는, 상술한 제1 고정부(34)의 내측 치수 L6과 마찬가지의 내측 치수를 갖고 있어도 되고, 상술한 제1 고정부(34)의 외측 치수 L7과 마찬가지의 외측 치수를 갖고 있어도 된다. 제3 고정 분할 부재(47)는, 평면으로 보아, 제1 고정 분할 부재(45)와 일치하도록 겹쳐 있어도 된다. 그러나 제3 고정 분할 부재(47)는 삽간 시트(51) 및 오목부(37b, 38b)와 겹치지 않으면, 평면으로 보아 제1 고정 분할 부재(45)와 부분적으로 겹쳐 있어도 되고, 또는 겹쳐 있지 않아도 된다. 제2 고정부(36)는 상술한 제1 고정부(34)의 내측 치수 W5와 마찬가지의 내측 치수를 갖고 있어도 되고, 상술한 제1 고정부(34)의 외측 치수 W6과 마찬가지의 외측 치수를 갖고 있어도 된다. 제4 고정 분할 부재(48)는 평면으로 보아, 제2 고정 분할 부재(46)와 일치하도록 겹쳐 있어도 된다. 그러나 제4 고정 분할 부재(48)는 삽간 시트(51) 및 오목부(37b, 38b)와 겹치지 않으면, 평면으로 보아 제2 고정 분할 부재(46)와 부분적으로 겹쳐 있어도 되고, 또는 겹쳐 있지 않아도 된다.
증착 마스크 곤포체(30)는, 도시하지 않은 외장 주머니에 수용되어, 밀봉되어 있어도 된다. 밀봉 주머니 내에는, 건조제가 수용되어도 된다. 이 경우, 외장 주머니 내의 공기를 건조시켜, 증착 마스크(20)가 수분에 의해 변질되는 것을 억제할 수 있다.
다음으로, 본 실시 형태에 의한 증착 마스크 곤포 방법에 대해 도 8 내지 도 13을 사용하여 설명한다. 증착 마스크 곤포 방법은, 증착 마스크(20)를 곤포하는 방법이다. 증착 마스크 곤포 방법은, 준비 공정과, 고정 공정과, 적재 공정과, 끼움 지지 공정과, 결속 공정을 구비하고 있어도 된다. 도 8 내지 도 13에서는, 제2 방향(D2)을 따르는 단면이 도시되어 있다.
준비 공정으로서, 도 8에 도시하는 바와 같이, 수용부(31)와 덮개부(32)와 힌지부(41)를 포함하는 곤포 케이스(40)를 준비해도 된다.
준비 공정 후, 고정 공정으로서, 제1 대향면(37a)에 제1 완충 시트(33)가 고정되어도 된다. 제1 완충 시트(33)는 제1 고정부(34)에 의해 제1 대향면(37a)에 고정되어도 된다. 제1 완충 시트(33)는 제1 오목부(37b)를 덮도록 고정되어도 된다.
예를 들어, 도 9에 도시하는 바와 같이, 제1 고정부(34)를 구성하는 제1 고정 분할 부재(45)(도 3 및 도 5 참조)가, 제1 대향면(37a)의 원하는 위치에 고정된다. 제1 고정 분할 부재(45)가 양면 테이프로 구성되어 있는 경우, 제1 고정 분할 부재(45)는 제1 대향면(37a)에 첩부된다. 마찬가지로 하여, 제1 고정부(34)를 구성하는 제2 고정 분할 부재(46)가, 제1 대향면(37a)의 원하는 위치에 고정된다. 제1 고정 분할 부재(45) 및 제2 고정 분할 부재(46)는, 법선 방향(N)에서 보았을 때, 후술하는 끼움 지지 공정에서 증착 마스크(20)의 외측에 위치하도록 고정되어도 된다. 제1 고정 분할 부재(45) 및 제2 고정 분할 부재(46)는, 후술하는 끼움 지지 공정에서 삽간 시트(51)의 외측에 위치하도록 고정되어도 된다.
그 후, 도 10에 도시하는 바와 같이, 제1 완충 시트(33)가 제1 대향면(37a)의 원하는 위치에 적재된다. 이것에 의해, 제1 완충 시트(33)가 제1 고정 분할 부재(45) 및 제2 고정 분할 부재(46)에 첩부되고, 제1 완충 시트(33)가 제1 대향면(37a)에 고정된다.
마찬가지로, 고정 공정으로서, 제2 대향면(38a)에 제2 완충 시트(35)가 고정되어도 된다. 제2 완충 시트(35)는 제2 고정부(36)에 의해 제2 대향면(38a)에 고정되어도 된다. 제2 완충 시트(35)는 제2 오목부(38b)를 덮도록 고정되어도 된다.
예를 들어, 도 9에 도시하는 바와 같이, 제2 고정부(36)를 구성하는 제3 고정 분할 부재(47)(도 3 및 도 5 참조)가, 제2 대향면(38a)의 원하는 위치에 고정된다. 제3 고정 분할 부재(47)가 양면 테이프로 구성되어 있는 경우, 제3 고정 분할 부재(47)는 제2 대향면(38a)에 첩부된다. 마찬가지로 하여, 제2 고정부(36)를 구성하는 제4 고정 분할 부재(48)가 제2 대향면(38a)의 원하는 위치에 고정된다. 제3 고정 분할 부재(47) 및 제4 고정 분할 부재(48)는 법선 방향(N)에서 보았을 때, 후술하는 끼움 지지 공정에서 증착 마스크(20)의 외측에 위치하도록 고정되어도 된다. 제3 고정 분할 부재(47) 및 제4 고정 분할 부재(48)는 후술하는 끼움 지지 공정에서 삽간 시트(51)의 외측에 위치하도록 고정되어도 된다.
그 후, 도 10에 도시하는 바와 같이, 제2 완충 시트(35)가 제2 대향면(38a)의 원하는 위치에 적재된다. 이것에 의해, 제2 완충 시트(35)가 제3 고정 분할 부재(47) 및 제4 고정 분할 부재(48)에 첩부되고, 제2 완충 시트(35)가 제2 대향면(38a)에 고정된다.
고정 공정 후, 적재 공정으로서, 도 11에 도시하는 바와 같이, 제1 완충 시트(33) 위에 증착 마스크(20)를 포함하는 증착 마스크 적층체(50)가 적재되어도 된다.
예를 들어, 먼저, 제1 완충 시트(33) 위에 2개의 삽간 시트(51)가 적재된다. 삽간 시트(51)는 제1 완충 시트(33)의 원하는 위치에 적재된다. 삽간 시트(51)는 법선 방향(N)에서 보았을 때, 제1 고정부(34)에 겹치지 않는 위치에 적재되어도 된다. 삽간 시트(51)는 후술하는 끼움 지지 공정에서 제2 고정부(36)에 겹치지 않는 위치에 적재되어도 된다.
계속해서, 삽간 시트(51) 위에 증착 마스크(20)가 적재된다. 증착 마스크(20)는 삽간 시트(51)의 원하는 위치에 적재된다. 증착 마스크(20)는 제1 고정부(34)에 겹치지 않는 위치에 적재된다. 이 경우, 법선 방향(N)에서 보았을 때, 제1 고정부(34)는 증착 마스크(20)의 외측에 위치한다. 증착 마스크(20)는 후술하는 끼움 지지 공정에서 제2 고정부(36)에 겹치지 않는 위치에 적재된다. 이 경우, 법선 방향(N)에서 보았을 때, 제2 고정부(36)는 증착 마스크(20)의 외측에 위치한다.
다음으로, 증착 마스크(20) 위에 2개의 삽간 시트(51)가 적재된다. 증착 마스크(20)의 상방에 위치하는 삽간 시트(51)는 증착 마스크(20)의 하방에 위치하는 삽간 시트(51)와 동일한 위치에 적재되어도 된다. 이와 같이 하여, 증착 마스크(20)와 삽간 시트(51)를 포함하는 증착 마스크 적층체(50)가, 제1 완충 시트(33) 위에 적재된다.
적재 공정 후, 끼움 지지 공정으로서, 도 12에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)가 수용부(31)와 덮개부(32) 사이에 끼움 지지되어도 된다. 곤포 케이스(40)를, 힌지부(41)를 통해 절곡함으로써, 덮개부(32)가 증착 마스크 적층체(50)에 겹쳐진다. 이 경우, 덮개부(32)의 제2 대향면(38a)이 수용부(31)의 제1 대향면(37a)에 대향한다. 제2 대향면(38a)에 고정되어 있는 제2 완충 시트(35)는 증착 마스크 적층체(50)와 덮개부(32) 사이에 위치하고, 증착 마스크 적층체(50)의 최상 위치에 위치하는 삽간 시트(51)에 접한다. 이 경우, 법선 방향(N)에서 보았을 때, 제2 고정부(36)는 증착 마스크(20)의 외측에 위치해도 된다. 이것에 의해, 증착 마스크(20)는 제2 고정부(36)에 겹치지 않아도 된다. 덮개부(32)의 제2 오목부(38b)는 증착 마스크(20)의 유효 영역(23)에 겹쳐 있어도 된다.
끼움 지지 공정 후, 결속 공정으로서, 도 13에 도시하는 바와 같이, 탄성 벨트(60)에 의해, 수용부(31)와 덮개부(32)가 결속된다. 이와 같이 하여, 증착 마스크(20)가 곤포되어, 본 실시 형태에 의한 증착 마스크 곤포체(30)가 얻어진다. 증착 마스크 곤포체(30)는 도시하지 않은 외장 주머니에 수용되어도 된다.
상술한 바와 같이 하여 얻어진 증착 마스크 곤포체(30)는 목적지에 수송된다. 수송 중, 증착 마스크(20)에 상하 방향의 힘 또는 충격이 가해지는 경우가 있다. 수용부(31)의 제1 대향면(37a)에는 제1 오목부(37b)가 형성되어 있기 때문에, 증착 마스크(20)가 하방으로 탄성적으로 처질 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)에 가해진 힘 또는 충격을 흡수할 수 있어, 증착 마스크(20)가 소성 변형되는 것을 억제할 수 있다. 한편, 덮개부(32)의 제2 대향면(38a)에는 제2 오목부(38b)가 형성되어 있기 때문에, 증착 마스크(20)가 상방으로 탄성적으로 처질 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)에 가해진 힘 또는 충격을 흡수할 수 있어, 증착 마스크(20)가 소성 변형되는 것을 억제할 수 있다.
목적지에 도달한 증착 마스크 곤포체(30)는, 상술한 증착 마스크 곤포 방법과는 반대의 수순을 밟음으로써 곤포 개방되어도 된다. 이것에 의해, 증착 마스크(20)를 취출할 수 있다. 본 실시 형태에 있어서는, 증착 마스크(20)는 삽간 시트(51) 사이에 끼움 지지되어 있기 때문에, 증착 마스크(20)를 취출할 때, 증착 마스크(20)가 다른 부재에 걸리는 것을 억제할 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)가 소성 변형되는 것을 억제할 수 있음과 함께, 증착 마스크(20)의 곤포 개방 작업 효율을 향상시킬 수 있다.
이와 같이 본 실시 형태에 의하면, 수용부(31)의 제1 대향면(37a)과 증착 마스크(20) 사이에 제1 완충 시트(33)가 위치하고 있다. 제1 완충 시트(33)는 제1 오목부(37b)를 덮고, 법선 방향(N)에서 보았을 때, 제1 오목부(37b)에, 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25)이 겹쳐 있다. 이것에 의해, 증착 마스크(20)가 상하 방향의 힘 또는 충격을 받은 경우, 제1 오목부(37b)의 존재에 의해, 증착 마스크(20)가 하방으로 탄성적으로 처질 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)에 가해진 힘 또는 충격을 흡수할 수 있다. 또한, 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25)이 위치하는 영역을, 제1 완충 시트(33)에 의해 지지할 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)가 상하 방향의 힘 또는 충격을 받은 경우, 제1 완충 시트(33)가 힘 또는 충격을 흡수할 수 있다. 이 결과, 증착 마스크(20)가 소성 변형되는 것을 억제할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 의하면, 덮개부(32)의 제2 대향면(38a)과 증착 마스크(20) 사이에 제2 완충 시트(35)가 위치하고 있다. 제2 완충 시트(35)는 제2 오목부(38b)를 덮고, 법선 방향(N)에서 보았을 때, 제2 오목부(38b)에, 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25)이 겹쳐 있다. 이것에 의해, 증착 마스크(20)가 상하 방향의 힘 또는 충격을 받은 경우, 제2 오목부(38b)의 존재에 의해, 증착 마스크(20)가 상방으로 탄성적으로 처질 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)에 가해진 힘 또는 충격을 흡수할 수 있다. 또한, 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25)이 위치하는 영역을, 제2 완충 시트(35)에 의해 지지할 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)가 상하 방향의 힘 또는 충격을 받은 경우, 제2 완충 시트(35)가 힘 또는 충격을 흡수할 수 있다. 이 결과, 증착 마스크(20)가 소성 변형되는 것을 억제할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 의하면, 증착 마스크(20)와 제1 완충 시트(33) 사이에 삽간 시트(51)가 위치함과 함께, 증착 마스크(20)와 제2 완충 시트(35) 사이에 삽간 시트(51)가 위치하고 있다. 이것에 의해, 증착 마스크(20)와 제1 완충 시트(33)가 서로 걸리는 것을 억제함으로써, 증착 마스크(20)가 소성 변형되는 것을 억제할 수 있다. 마찬가지로, 증착 마스크(20)와 제2 완충 시트(35)가 서로 걸리는 것을 억제함으로써, 증착 마스크(20)가 소성 변형되는 것을 억제할 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)가 소성 변형되는 것을 억제할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 의하면, 제1 완충 시트(33)는 제1 고정부(34)에 의해 제1 대향면(37a)에 고정되어 있다. 법선 방향(N)에서 보았을 때, 제1 고정부(34)는 증착 마스크(20)의 외측에 위치한다. 이것에 의해, 제1 고정부(34)가 증착 마스크(20)와 겹치는 것을 억제할 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)를 수용부(31)와 덮개부(32) 사이에 끼움 지지한 경우라도, 증착 마스크(20)에, 제1 고정부(34)의 흔적이 남는 것을 억제할 수 있다. 이 결과, 증착 마스크(20)가 소성 변형되는 것을 억제할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 의하면, 제1 완충 시트(33)는, 법선 방향(N)에서 보았을 때, 제1 방향(D1)과, 제1 방향(D1)에 직교하는 제2 방향(D2)을 따르도록 직사각 형상으로 형성되어 있다. 제1 고정부(34)는 제1 방향(D1)에 있어서 증착 마스크(20)에 대해 양측에서 외측에 위치하는 2개의 제1 고정 분할 부재(45)를 포함하고 있다. 이것에 의해, 제1 완충 시트(33)가 제1 대향면(37a)에 대해 제1 방향(D1)으로 어긋나는 것을 억제할 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)를 제1 완충 시트(33) 위에 적재하는 경우에, 제1 완충 시트(33)가 어긋나는 것을 억제할 수 있어, 증착 마스크(20)의 곤포 작업 효율을 향상시킬 수 있다. 예를 들어, 제1 방향(D1)이, 증착 마스크(20)의 길이 방향을 따르는 경우에는, 제1 완충 시트(33)가 어긋나는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 의하면, 제1 고정부(34)는 제2 방향(D2)에 있어서 증착 마스크(20)에 대해 양측에서 외측에 위치하는 2개의 제2 고정 분할 부재(46)를 포함하고 있다. 이것에 의해, 제1 완충 시트(33)가 제1 대향면(37a)에 대해 제2 방향(D2)으로 어긋나는 것을 억제할 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)를 제1 완충 시트(33) 위에 적재하는 경우에, 제1 완충 시트(33)가 어긋나는 것을 억제할 수 있어, 증착 마스크(20)의 곤포 작업 효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 의하면, 제1 고정부(34)는 법선 방향(N)에서 보았을 때, 삽간 시트(51)의 외측에 위치하고 있다. 이것에 의해, 삽간 시트(51)가 제1 고정부(34)의 두께에 의해 변형되는 것을 억제할 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)가 삽간 시트(51)에 의해 소성 변형되는 것을 억제할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 의하면, 제2 완충 시트(35)는 제2 고정부(36)에 의해 제2 대향면(38a)에 고정되어 있다. 법선 방향(N)에서 보았을 때, 제2 고정부(36)는 증착 마스크(20)의 외측에 위치한다. 이것에 의해, 제2 고정부(36)가 증착 마스크(20)와 겹치는 것을 억제할 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)를 수용부(31)와 덮개부(32) 사이에 끼움 지지한 경우라도, 증착 마스크(20)에, 제2 고정부(36)의 흔적이 남는 것을 억제할 수 있다. 이 결과, 증착 마스크(20)가 소성 변형되는 것을 억제할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 의하면, 수용부(31)와 덮개부(32)는 힌지부(41)를 통해 연결되어 있다. 이것에 의해, 덮개부(32)를 수용부(31)에 대해 용이하게 회동시킬 수 있다. 이 때문에, 수용부(31)의 제1 대향면(37a)에 증착 마스크(20) 및 삽간 시트(51)를 적재한 후, 증착 마스크(20)에 덮개부(32)를 용이하게 겹칠 수 있다.
상술한 실시 형태에 대해 다양한 변경을 가하는 것이 가능하다. 이하, 필요에 따라서 도면을 참조하면서, 변형예에 대해 설명한다. 이하의 설명 및 이하의 설명에서 사용하는 도면에서는, 상술한 실시 형태와 마찬가지로 구성될 수 있는 부분에 대해서, 상술한 실시 형태에 있어서의 대응하는 부분에 대해 사용한 부호와 동일 부호를 사용하는 것으로 하고 중복되는 설명을 생략한다. 또한, 상술한 실시 형태에 있어서 얻어지는 작용 효과가 변형예에 있어서도 얻어지는 것이 명확한 경우, 그 설명을 생략하는 경우도 있다.
상술한 본 실시 형태에 있어서는, 수용부(31)와 덮개부(32)가 힌지부(41)를 통해 연결되어 있는 예에 대해 설명하였다. 그러나 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 수용부(31)와 덮개부(32)는 별체로 형성되어 있어도 된다. 이 경우에 있어서도, 탄성 벨트(60)에 의해 수용부(31)와 덮개부(32)를 결속하여, 수용부(31)와 덮개부(32) 사이에 증착 마스크(20)를 끼움 지지할 수 있다.
상술한 본 실시 형태에 있어서는, 제1 고정부(34)가, 2개의 제1 고정 분할 부재(45)와, 2개의 제2 고정 분할 부재(46)를 포함하고 있는 예에 대해 설명하였다. 그러나 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 제1 고정부(34)는 제1 완충 시트(33)가 어긋나는 것을 억제할 수 있으면, 합계로 3개의 고정 분할 부재(45, 46)를 포함하고 있어도 된다. 예를 들어, 제1 고정부(34)는 2개의 제1 고정 분할 부재(45)와, 1개의 제2 고정 분할 부재(46)를 포함하고 있어도 된다. 혹은, 제1 고정부(34)는 1개의 제1 고정 분할 부재(45)와, 2개의 제2 고정 분할 부재(46)를 포함하고 있어도 된다. 예를 들어, 제1 고정부(34)는 제1 완충 시트(33)가 어긋나는 것을 억제할 수 있으면, 합계로 2개의 고정 분할 부재(45, 46)를 포함하고 있어도 된다. 예를 들어, 제1 고정부(34)는 2개의 제1 고정 분할 부재(45)를 포함하고 있어도 된다. 혹은, 제1 고정부(34)는 2개의 제2 고정 분할 부재(46)를 포함하고 있어도 된다. 혹은, 제1 고정부(34)는 1개의 제1 고정 분할 부재(45)와, 1개의 제2 고정 분할 부재(46)를 포함하고 있어도 된다. 제2 고정부(36)에 대해서도 마찬가지이다.
상술한 본 실시 형태에 있어서는, 증착 마스크 적층체(50)가, 1개의 증착 마스크(20)를 포함하고 있는 예에 대해 설명하였다. 그러나 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 도 14에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크 적층체(50)는 복수의 증착 마스크(20)를 구비하고 있어도 된다. 이 경우, 인접하는 2개의 증착 마스크(20) 사이에, 하나 또는 복수의 삽간 시트(51)가 개재되어 있어도 된다. 도 14에 도시하는 예에서는, 인접하는 2개의 증착 마스크(20) 사이에, 2개의 삽간 시트(51)가 개재되어 있다. 이와 같이, 인접하는 2개의 증착 마스크(20) 사이에 삽간 시트(51)가 개재됨으로써, 증착 마스크(20)끼리가 걸리는 것을 억제할 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)가 소성 변형되는 것을 억제할 수 있다. 예를 들어, 인접하는 2개의 증착 마스크(20) 사이에 2개의 삽간 시트(51)가 개재되는 경우에는, 증착 마스크(20)끼리가 걸리는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.

Claims (7)

  1. 복수의 관통 구멍이 형성된 증착 마스크를 곤포하는 증착 마스크 곤포체이며,
    제1 대향면과, 상기 제1 대향면에 위치하는 제1 오목부이며, 상기 관통 구멍에 겹치는 제1 오목부를 포함하는 수용부와,
    상기 수용부의 상기 제1 대향면에 대향하는 제2 대향면과, 상기 제2 대향면에 위치하는 제2 오목부이며, 상기 관통 구멍에 겹치는 제2 오목부를 포함하고, 상기 수용부에, 상기 증착 마스크를 개재하여 겹쳐지는 덮개부와,
    상기 제1 대향면과 상기 증착 마스크 사이에 위치하고, 상기 제1 오목부를 덮는 제1 완충 시트와,
    상기 제2 대향면과 상기 증착 마스크 사이에 위치하고, 상기 제2 오목부를 덮는 제2 완충 시트를 구비한, 증착 마스크 곤포체.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 증착 마스크와 상기 제1 완충 시트 사이에 위치함과 함께 상기 증착 마스크와 상기 제2 완충 시트 사이에 위치하는 복수의 삽간 시트를 구비한, 증착 마스크 곤포체.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 완충 시트를 상기 제1 대향면에 고정하는 제1 고정부를 구비하고,
    상기 제1 대향면의 법선 방향에서 보았을 때, 상기 제1 고정부는, 상기 증착 마스크의 외측에 위치하는, 증착 마스크 곤포체.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제2 완충 시트를 상기 제2 대향면에 고정하는 제2 고정부를 구비하고,
    상기 제2 대향면의 법선 방향에서 보았을 때, 상기 제2 고정부는, 상기 증착 마스크의 외측에 위치하는, 증착 마스크 곤포체.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 수용부와 상기 덮개부는, 힌지부를 통해 연결되어 있는, 증착 마스크 곤포체.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 수용부와 상기 덮개부 사이에 위치하는 증착 마스크를 구비한, 증착 마스크 곤포체.
  7. 복수의 관통 구멍이 형성된 증착 마스크를 곤포하는 증착 마스크 곤포 방법이며,
    제1 대향면과, 상기 제1 대향면에 위치하는 제1 오목부를 포함하는 수용부와, 제2 대향면과, 상기 제2 대향면에 위치하는 제2 오목부를 포함하는 덮개부를 준비하는 준비 공정과,
    상기 제1 오목부를 제1 완충 시트가 덮음과 함께 상기 관통 구멍이 상기 제1 오목부에 겹치도록, 상기 제1 대향면에 상기 제1 완충 시트를 개재하여 상기 증착 마스크를 적재하는 적재 공정과,
    상기 제2 오목부를 제2 완충 시트가 덮음과 함께 상기 관통 구멍이 상기 제2 오목부에 겹치도록, 상기 증착 마스크에 상기 제2 완충 시트를 개재하여 상기 덮개부를 적재하는 끼움 지지 공정이며, 상기 증착 마스크를 상기 수용부와 상기 덮개부 사이에 끼움 지지하는 끼움 지지 공정을 구비한, 증착 마스크 곤포 방법.
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WO2018061757A1 (ja) 2016-09-29 2018-04-05 大日本印刷株式会社 蒸着マスク梱包体および蒸着マスク梱包方法

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