JP2023091752A - 蒸着マスク梱包体及び蒸着マスク梱包方法 - Google Patents

Abstract

【課題】蒸着マスクの塑性変形を抑制できる蒸着マスク梱包体及び蒸着マスク梱包方法を提供する。【解決手段】本開示による蒸着マスク梱包体は、第１対向面３７を含む受け部３１と、第１対向面３７に位置する第１緩衝シート３３と、蓋部３２と、第１固定部３４と、を備えている。蓋部３２は、受け部３１の第１対向面３７に対向する第２対向面３８を含み、受け部３１に、第１緩衝シート３３及び蒸着マスク２０を介して重ねられる。第１固定部３４は、第１緩衝シート３３を第１対向面３７に固定する。第１対向面３７の法線方向で見たときに、第１固定部３４は、蒸着マスク２０の外側に位置する。【選択図】図３

Description

本開示は、蒸着マスク梱包体及び蒸着マスク梱包方法に関する。

スマートフォン又はタブレットＰＣ等の電子デバイスにおいて、高精細な表示装置が、市場から求められている。表示装置は、例えば、４００ｐｐｉ以上又は８００ｐｐｉ以上等の画素密度を有する。

このような表示装置として、応答性の良さと、又は／及びコントラストの高さと、を有する有機ＥＬ表示装置が注目されている。有機ＥＬ表示装置の画素を形成する方法として、画素を構成する材料を、基板に蒸着させる方法が知られている。この場合、まず、貫通孔を含む蒸着マスクと、蒸着マスクを支持するフレームと、を備える蒸着マスク装置を準備する。次に、蒸着装置内で、蒸着マスクを基板に密着させた状態で、有機材料又は無機材料等の蒸着材料を蒸着させる。このことにより、基板に、蒸着材料が付着して蒸着層が形成される。蒸着層は、有機ＥＬ表示装置の表示領域を構成する。

蒸着マスクは、輸送する際に梱包される。例えば、受け部と蓋部とを備えた梱包体が知られている。蒸着マスクは、受け部と蓋部との間に挟持される。しかしながら、梱包体の構成によっては、蒸着マスクが塑性変形する可能性がある。

特許第６９０４５０２号公報 国際公開第２０１８－０６１７５７号公報

本開示の実施の形態は、蒸着マスクの塑性変形を抑制できる蒸着マスク梱包体及び蒸着マスク梱包方法を提供することを目的とする。

本開示による蒸着マスク梱包体は、複数の貫通孔が形成された蒸着マスクを梱包する梱包体である。蒸着マスク梱包体は、第１対向面を含む受け部と、第１対向面に位置する第１緩衝シートと、蓋部と、第１固定部と、を備えている。蓋部は、受け部の第１対向面に対向する第２対向面を含み、受け部に、第１緩衝シート及び蒸着マスクを介して重ねられる。第１固定部は、第１緩衝シートを第１対向面に固定する。第１対向面の法線方向で見たときに、第１固定部は、蒸着マスクの外側に位置する。

本開示による蒸着マスク梱包方法は、複数の貫通孔が形成された蒸着マスクを梱包する方法である。蒸着マスク梱包方法は、準備工程と、固定工程と、載置工程と、挟持工程と、を備えている。準備工程において、第１対向面を含む受け部と、第２対向面を含む蓋部と、が準備される。固定工程において、第１対向面に、第１緩衝シートが第１固定部で固定される。載置工程において、第１緩衝シート上に蒸着マスクが載置される。挟持工程において、第２対向面が第１対向面に対向するように蓋部が蒸着マスクに重ねられて、蒸着マスクが受け部と蓋部で挟持される。第1対向面の法線方向で見たときに、第１固定部は、蒸着マスクの外側に位置する。

本開示によれば、蒸着マスクの塑性変形を抑制できる。

図１は、本開示の一実施の形態による蒸着装置を示す図である。 図２は、本開示の一実施の形態による蒸着マスク梱包体を示す斜視図である。 図３は、図２に示す蒸着マスク梱包体の分解斜視図である。 図４は、図２に示す梱包ケースを示す側面図である。 図５は、図２に示す蒸着マスク梱包体の断面図であって、図３のＡ－Ａ線に示す位置に相当する部分断面図である。 図６は、図２に示す蒸着マスク梱包体の断面図であって、図３のＢ－Ｂ線に示す位置に相当する断面図である。 図７は、図３に示す第1対向面に載置された緩衝シート、挿間シート及び蒸着マスクを示す平面図である。 図８は、本開示の一実施の形態による蒸着マスク梱包方法の準備工程を示す断面図である。 図９は、本開示の一実施の形態による蒸着マスク梱包方法の固定工程を示す断面図である。 図１０は、図９に続く固定工程を示す断面図である。 図１１は、本開示の一実施の形態による蒸着マスク梱包方法の載置工程を示す断面図である。 図１２は、本開示の一実施の形態による蒸着マスク梱包方法の挟持工程を示す断面図である。 図１３は、本開示の一実施の形態による蒸着マスク梱包方法の結束工程を示す断面図である。 図１４は、図６に示す蒸着マスク積層体の変形例を示す断面図である。

本明細書及び本図面において、特別な説明が無い限りは、「基板」や「基材」や「板」や「シート」や「フィルム」などのある構成の基礎となる物質を意味する用語は、呼称の違いのみに基づいて、互いから区別されるものではない。

本明細書及び本図面において、特別な説明が無い限りは、形状や幾何学的条件並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」や「直交」等の用語や長さや角度の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待してもよい程度の範囲を含めて解釈することとする。

本明細書及び本図面において、特別な説明が無い限りは、ある部材又はある領域等のある構成が、他の部材又は他の領域等の他の構成の「上に」や「下に」、「上側に」や「下側に」、又は「上方に」や「下方に」とする場合、ある構成が他の構成に直接的に接している場合を含む。さらに、ある構成と他の構成との間に別の構成が含まれている場合、つまり間接的に接している場合も含む。また、特別な説明が無い限りは、「上」や「上側」や「上方」、又は、「下」や「下側」や「下方」という語句は、上下方向が逆転してもよい。

本明細書及び本図面において、特別な説明が無い限りは、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号又は類似の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する場合がある。また、図面の寸法比率は説明の都合上実際の比率とは異なる場合や、構成の一部が図面から省略される場合がある。

本明細書及び本図面において、特別な説明が無い限りは、矛盾の生じない範囲で、その他の実施の形態や変形例と組み合わせられてもよい。また、その他の実施の形態同士や、その他の実施の形態と変形例も、矛盾の生じない範囲で組み合わせられてもよい。また、変形例同士も、矛盾の生じない範囲で組み合わせられてもよい。

本明細書及び本図面において、特別な説明が無い限りは、製造方法などの方法に関して複数の工程を開示する場合に、開示されている工程の間に、開示されていないその他の工程が実施されてもよい。また、開示されている工程の順序は、矛盾の生じない範囲で任意である。

本明細書及び本図面において、特別な説明が無い限りは、「～」という記号によって表現される数値範囲は、「～」という符号の前後に置かれた数値を含んでいる。例えば、「３４～３８質量％」という表現によって画定される数値範囲は、「３４質量％以上且つ３８質量％以下」という表現によって画定される数値範囲と同一である。

本明細書の一実施の形態においては、有機ＥＬ表示装置を製造する際に有機材料を所望のパターンで基板上にパターニングするために用いられる蒸着マスクやその製造方法に関した例をあげて説明する。ただし、このような適用に限定されることなく、種々の用途に用いられる蒸着マスクに対し、本実施の形態を適用できる。例えば、仮想現実いわゆるＶＲや拡張現実いわゆるＡＲを表現するための画像や映像を表示又は投影するための装置を製造するために、本実施の形態のマスクを用いてもよい。

本開示の第１の態様は、
複数の貫通孔が形成された蒸着マスクを梱包する蒸着マスク梱包体であって、
第１対向面を含む受け部と、
前記第１対向面に位置する第１緩衝シートと、
前記受け部の前記第１対向面に対向する第２対向面を含み、前記受け部に、前記第１緩衝シート及び前記蒸着マスクを介して重ねられる蓋部と、
前記第１緩衝シートを前記第１対向面に固定する第１固定部と、を備え、
前記第１対向面の法線方向で見たときに、前記第１固定部は、前記蒸着マスクの外側に位置する、蒸着マスク梱包体、
である。

本開示の第２の態様は、上述した第１の態様による蒸着マスク梱包体において、
前記第１緩衝シートは、前記法線方向で見たときに、第１方向と、前記第１方向に直交する第２方向に沿うように矩形状に形成され、
前記第１固定部は、前記蒸着マスクに対して、前記第１方向における両側で外側に位置する２つの第１固定分割部材を含む、
ようにしてもよい。

本開示の第３の態様は、上述した第２の態様による蒸着マスク梱包体において、
前記第１固定部は、前記蒸着マスクに対して、前記第２方向における両側で外側に位置する２つの第２固定分割部材を含む
ようにしてもよい。

本開示の第４の態様は、上述した第１の態様から上述した第３の態様のそれぞれによる蒸着マスク梱包体において、
前記蒸着マスクと前記第１緩衝シートとの間に位置する挿間シートを備え、
前記第１固定部は、前記法線方向で見たときに、前記挿間シートの外側に位置する、
ようにしてもよい。

本開示の第５の態様は、上述した第１の態様から上述した第４の態様のそれぞれによる蒸着マスク梱包体において、
前記受け部と前記蓋部は、ヒンジ部を介して連結されている、
ようにしてもよい。

本開示の第６の態様は、上述した第１の態様から上述した第５の態様のそれぞれによる蒸着マスク梱包体において、
前記第２対向面に位置する第２緩衝シートを備え、
前記蓋部は、前記受け部に、前記第１緩衝シート、前記蒸着マスク及び前記第２緩衝シートを介して重ねられる、
ようにしてもよい。

本開示の第７の態様は、上述した第６の態様による蒸着マスク梱包体において、
前記第２緩衝シートを前記第２対向面に固定する第２固定部を備え、
前記法線方向で見たときに、前記第２固定部は、前記蒸着マスクの外側に位置する、
ようにしてもよい。

本開示の第８の態様は、上述した第１の態様から上述した第７の態様のそれぞれによる蒸着マスク梱包体において、
前記受け部と前記蓋部との間に位置する蒸着マスクを備える、
ようにしてもよい。

本開示の第９の態様は、
複数の貫通孔が形成された蒸着マスクを梱包する蒸着マスク梱包方法であって、
第１対向面を含む受け部と、第２対向面を含む蓋部と、を準備する準備工程と、
前記第１対向面に、第１緩衝シートを第１固定部で固定する固定工程と、
前記第１緩衝シート上に前記蒸着マスクを載置する載置工程と、
前記第２対向面が前記第１対向面に対向するように前記蓋部を前記蒸着マスクに重ねて、前記蒸着マスクを前記受け部と前記蓋部で挟持する挟持工程と、を備え、
前記第1対向面の法線方向で見たときに、前記第１固定部は、前記蒸着マスクの外側に位置する、蒸着マスク梱包方法、
である。

以下、本開示の一実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下に示す実施の形態は本開示の実施の形態の一例であって、本開示はこれらの実施の形態のみに限定して解釈されない。

図１に示すように、蒸着装置８０は、蒸着源（例えばるつぼ８１）と、ヒータ８３と、蒸着マスク装置１０と、を備えていてもよい。蒸着装置８０は、蒸着装置８０の内部を真空雰囲気にするための排気手段（図示せず）を備えていてもよい。るつぼ８１は、蒸着装置８０の内部に設けられており、有機発光材料などの蒸着材料９０を収容するように構成されている。ヒータ８３は、るつぼ８１を加熱するように構成されている。真空雰囲気でるつぼ８１を加熱することにより、蒸着材料９０が蒸発する。

蒸着マスク装置１０は、フレーム１５と、フレーム１５に固定された蒸着マスク２０と、を備えていてもよい。フレーム１５は、フレーム開口１６を含んでいてもよい。フレーム開口１６は、平面視で、蒸着マスク２０の後述する貫通孔２５が形成された有効領域２３に重なっている。蒸着マスク２０は、フレーム１５に引っ張った状態で固定されて支持されていてもよい。この場合、蒸着マスク２０が撓むことを抑制できる。フレーム１５に、複数の蒸着マスク２０が固定されていてもよい。「平面視」とは、蒸着マスク２０の厚み方向で見ることを意味する用語であって、例えば、図１の上下方向で見ることを意味する用語とする。

蒸着マスク装置１０は、るつぼ８１に対向するように蒸着装置８０内に位置している。蒸着マスク装置１０は、るつぼ８１の上方に位置していてもよい。この蒸着マスク装置１０の蒸着マスク２０に対面するように基板９１が位置していてもよい。基板９１は、蒸着材料９０を付着させる対象物である。基板９１は、蒸着マスク２０の上方に位置していてもよい。基板９１は、静電気力を利用する静電チャック８４に保持されていてもよい。この場合、静電チャック８４は、基板９１の上方に位置していてもよい。

図１に示すように、蒸着装置８０は、静電チャック８４の上方に配置された磁石８５を備えていてもよい。磁石８５を設けることにより、磁力によって蒸着マスク２０を磁石８５が位置する方向に引き寄せて、蒸着マスク２０を基板９１に密着できる。静電チャック８４と磁石８５との間には、蒸着時に基板９１を冷却する冷却板（図示せず）が介在されていてもよい。

基板９１に蒸着材料９０を蒸着させる場合には、るつぼ８１から飛来した蒸着材料がフレーム開口１６及び各貫通孔２５を通って基板９１に付着する。このことにより、貫通孔２５のパターンに応じて、基板９１に、蒸着材料９０がパターン状に付着する。

次に、蒸着マスク２０について説明する。蒸着マスク２０は、エッチング処理又はめっき処理によって作製されてもよい。

図２及び図３に示すように、蒸着マスク２０は、第１方向Ｄ１と、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２と、を有するように矩形状に形成されていてもよい。第１方向は、蒸着マスク２０の長手方向であってもい。蒸着マスク２０は、第１方向Ｄ１における両端部に位置する長手方向端部２１を含んでいてもよい。蒸着マスク２０は、少なくとも１つの有効領域２３を含んでいてもよい。有効領域２３は、２つの長手方向端部２１の間に位置していてもよい。図３に示すように、蒸着マスク２０は、１つの有効領域２３を含んでいてもよい。しかしながら、蒸着マスク２０は、複数の有効領域２３を含んでいてもよい。複数の有効領域２３は、第１方向Ｄ１に並んでいてもよく、第２方向Ｄ２に並んでいてもよい。複数の有効領域２３は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２に並んでいてもよい。

１つの有効領域２３は、有機ＥＬ表示装置の１つの表示領域に対応してもよい。あるいは、１つの有効領域２３は、複数の表示領域に対応していてもよい。有効領域２３は、例えば、平面視で略矩形状の輪郭を有していてもよいが、矩形以外の形状の輪郭を有していてもよい。

図１に示すように、蒸着マスク２０は、第１面２０ａと、第１面２０ａとは反対側に位置する第２面２０ｂと、複数の貫通孔２５と、を含んでいてもよい。貫通孔２５は、蒸着マスクの第１面２０ａから第２面２０ｂに延びており、蒸着マスク２０を貫通している。

有効領域２３に、複数の貫通孔２５で構成された貫通孔群２６が位置していてもよい。１つの有効領域２３は、１つの貫通孔群２６で構成されていてもよい。有効領域２３は、貫通孔群２６が占める領域であってもよい。貫通孔群２６は、平面視でフレーム１５のフレーム開口１６に重なっていてもよい。貫通孔群２６とは、規則的に配列された複数の貫通孔２５の集合体を意味する用語として用いている。１つの貫通孔群２６を構成する外縁の貫通孔２５は、同様に規則的に配列されている複数の貫通孔２５のうち最も外側に位置する貫通孔２５である。１つの貫通孔群２６における外縁の貫通孔２５の外側には、同様に規則的に配列されて蒸着材料９０の通過を意図する貫通孔２５は存在していなくてもよい。規則的な配列の例として、例えば、貫通孔２５は、並列配列されていてもよい。貫通孔群２６は、有効領域２３と同様に、平面視で略矩形状の輪郭を有していてもよい。

蒸着マスク２０は、第１面２０ａから第２面２０ｂにわたる厚みＴ１（図５参照）を有している。厚みＴ１は、例えば、２μｍ以上であってもよく、５μｍ以上であってもよく、１０μｍ以上であってもよく、１５μｍ以上であってもよい。厚みＴ１を２μｍ以上とすることにより、蒸着マスク２０の機械的強度を確保できる。また、厚みＴ１は、例えば、２０μｍ以下であってもよく、３０μｍ以下であってもよく、４０μｍ以下であってもよく、５０μｍ以下であってもよい。厚みＴ１を５０μｍ以下とすることにより、シャドーが発生することを抑制できる。シャドーとは、蒸着材料９０が貫通孔２５の壁面に付着して、基板９１に形成される蒸着層の厚みの精度が低下する現象を言う。厚みＴ１の範囲は、２μｍ、５μｍ、１０μｍ及び１５μｍからなる第１グループ、及び／又は、２０μｍ、３０μｍ、４０μｍ及び５０μｍからなる第２グループによって定められてもよい。厚みＴ１の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つと、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つとの組み合わせによって定められてもよい。厚みＴ１の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。厚みＴ１の範囲は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、２μｍ以上５０μｍ以下であってもよく、２μｍ以上４０μｍ以下であってもよく、２μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、２μｍ以上２０μｍ以下であってもよく、２μｍ以上１５μｍ以下であってもよく、２μｍ以上１０μｍ以下であってもよく、２μｍ以上５μｍ以下であってもよく、５μｍ以上５０μｍ以下であってもよく、５μｍ以上４０μｍ以下であってもよく、５μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、５μｍ以上２０μｍ以下であってもよく、５μｍ以上１５μｍ以下であってもよく、５μｍ以上１０μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上５０μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上４０μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上２０μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上１５μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上５０μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上４０μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上２０μｍ以下であってもよく、２０μｍ以上５０μｍ以下であってもよく、２０μｍ以上４０μｍ以下であってもよく、２０μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、３０μｍ以上５０μｍ以下であってもよく、３０μｍ以上４０μｍ以下であってもよく、４０μｍ以上５０μｍ以下であってもよい。

蒸着マスク２０は、例えば、ニッケルを含む鉄合金で構成されていてもよい。鉄合金は、ニッケルに加えてコバルトを更に含んでいてもよい。例えば、蒸着マスク２０の材料として、ニッケル及びコバルトの含有量が合計で３０質量％以上且つ５４質量％以下であり、且つコバルトの含有量が０質量％以上且つ６質量％以下である鉄合金を用いることができる。ニッケルを含む鉄合金の具体例としては、３４質量％以上且つ３８質量％以下のニッケルを含むインバー材、３８質量％以上且つ５４質量％以下のニッケルを含む低熱膨張Ｆｅ－Ｎｉ系めっき合金などを挙げることができる。ニッケル及びコバルトを含む鉄合金の具体例としては、３０質量％以上且つ３４質量％以下のニッケルに加えてさらにコバルトを含むスーパーインバー材などを挙げることができる。このような鉄合金を用いることにより、蒸着マスク２０の熱膨張係数を低くできる。例えば、基板９１としてガラス基板が用いられる場合に、蒸着マスク２０の熱膨張係数を、ガラス基板と同等の低い値にできる。これにより、蒸着工程の際、基板９１に形成される発光層の形状精度や位置精度が、蒸着マスク２０と基板９１との間の熱膨張係数の差に起因して低下することを抑制できる。

蒸着マスク２０を構成する材料としては、熱膨張係数をガラス基板と同等の低い値にしなくてもよい場合には、上述した鉄合金の代わりに、例えば、単体のニッケルで構成されていてもよく、又はコバルトを含むニッケル合金で構成されていてもよい。コバルトを含むニッケル合金で構成される場合には、蒸着マスク２０の材料として、コバルトの含有量が、８質量％以上且つ１０質量％以下であるニッケル合金を用いることができる。蒸着マスク２０をめっき処理で製造する場合には、このようなニッケル又はニッケル合金を用いることにより、蒸着マスク２０をなすめっき被膜を析出させるめっき液を安定させることがでる。このため、めっき処理の管理を容易にさせるとともに取扱性を向上できる。また、めっき被膜の成分を均等にでき、蒸着マスク２０の品質を向上できる。

次に、上述した蒸着マスク２０を梱包する蒸着マスク梱包体３０について説明する。蒸着マスク梱包体３０は、複数の貫通孔２５が形成された貫通孔群２６を有する蒸着マスク２０を梱包するように構成されている。

図２及び図３に示すように、蒸着マスク梱包体３０は、受け部３１と、蓋部３２と、第１緩衝シート３３と、第１固定部３４と、第２緩衝シート３５と、第２固定部３６と、蒸着マスク積層体５０と、を備えていてもよい。蒸着マスク積層体５０は、受け部３１と蓋部３２との間に位置していてもよい。蒸着マスク積層体５０は、上述した蒸着マスク２０を含んでいてもよい。図２に示すように、蓋部３２は、蒸着マスク２０を梱包した状態では、受け部３１の上方に位置していてもよい。

受け部３１と蓋部３２は、弾性ベルト６０によって結束されていてもよい。図２に示す例では、受け部３１と蓋部３２とが２つの弾性ベルト６０によって結束されているが、受け部３１と蓋部３２とがずれることを抑制できれば、弾性ベルト６０の個数は任意である。

図３及び図４に示すように、受け部３１は、第１対向面３７を含んでいてもよい。第１対向面３７は、平坦状に形成されていてもよい。あるいは、第１対向面３７は、後述する第１緩衝シート３３を平坦状に固定できれば、小さな凹凸などは形成されていてもよく、平坦状に形成されていなくてもよい。第１対向面３７には、蓋部３２の後述する凹部３９と同様な凹部は形成されていなくてもよい。

図５及び図６に示すように、蓋部３２は、受け部３１に、第１緩衝シート３３、蒸着マスク積層体５０及び第２緩衝シート３５を介して重ねられる。蓋部３２は、第２対向面３８と、凹部３９と、を含んでいてもよい。第２対向面３８は、蒸着マスク２０が梱包された状態では、受け部３１の第１対向面３７に対向している。凹部３９は、第２対向面３８に位置しており、第２対向面３８から凹むように形成されている。第２対向面３８は、凹部３９以外の領域で平坦状に形成されていてもよい。あるいは、第２対向面３８は、凹部３９以外の領域で、後述する第２緩衝シート３５を平坦状に固定できれば、小さな凹凸などが形成されていてもよく、平坦状に形成されていなくてもよい。図３及び図７に示すように、凹部３９は、法線方向Ｎで見たときに、長手方向を有するように矩形状に形成されていてもよい。凹部３９の長手方向は、梱包する蒸着マスク２０の長手方向に沿っていてもよい。凹部３９の長手方向は、第１方向Ｄ１に沿っていてもよい。法線方向Ｎとは、蒸着マスク２０が梱包された状態で、第１対向面３７に垂直な方向であってもよく、第２対向面３８に垂直な方向であってもよい。法線方向Ｎは、蒸着マスク２０の厚み方向に沿っていてもよい。

図７に示すように、第１方向Ｄ１において、凹部３９の寸法Ｌ１は、蒸着マスク２０の寸法Ｌ２よりも小さくなっていてもよい。言い換えると、蒸着マスク２０は、凹部３９に対して、第１方向Ｄ１における両側で外側に延びていてもよい。蒸着マスク２０の長手方向端部２１は、第２対向面３８に重なっていてもよい。蒸着マスク２０が梱包された状態では、蒸着マスク２０の長手方向端部２１は、第１対向面３７と第２対向面３８とに挟持されていてもよい。

第１方向Ｄ１において、凹部３９の寸法Ｌ１は、有効領域２３の寸法Ｌ３よりも大きくなっていてもよい。第２方向Ｄ２において、凹部３９の寸法Ｗ１は、蒸着マスク２０の寸法Ｗ２よりも大きくなっていてもよい。凹部３９は、蒸着マスク２０に対して、第２方向Ｄ２における両側で外側に延びていてもよい。このようにして、有効領域２３の全体が、凹部３９に重なっていてもよい。このことにより、蒸着マスク梱包体３０が輸送中に上向きの力又は衝撃を受けた場合、蒸着マスク２０の有効領域２３を凹部３９内に撓ませることができる。このため、有効領域２３が塑性変形することを抑制できる。

図３及び図４に示すように、受け部３１及び蓋部３２は、梱包ケース４０を構成していてもよい。梱包ケース４０は、受け部３１と蓋部３２とを連結するヒンジ部４１を含んでいてもよい。この場合、受け部３１と蓋部３２はヒンジ部４１を介して連結され、蓋部３２は、受け部３１に対して回動可能になっていてもよい。梱包ケース４０は、折り曲げ可能になっていてもよい。梱包ケース４０は、図３及び図４に示すように展開可能であってもよく、図２及び図６に示すように折り曲げ可能であってもよい。

図４に示すように、受け部３１、蓋部３２及びヒンジ部４１は、一体に形成されていてもよい。受け部３１とヒンジ部４１との間には、受け部側溝４２が形成されていてもよい。ヒンジ部４１と蓋部３２との間には、蓋部側溝４３が形成されていてもよい。このようにして、受け部３１と蓋部３２が相対的に回動可能になっていてもよく、梱包ケース４０が折り曲げ可能になっていてもよい。

梱包ケース４０は、１つ又は複数の段ボールシート４４によって形成されていてもよい。例えば、梱包ケース４０は、２つの段ボールシート４４を重ねて形成されていてもよい。各々の段ボールシート４４は、２つのライナーと、ライナーの間に介在された波形状の横断面を有する中芯と、を含んでいる。複数の段ボールシート４４を重ねる場合、互いに隣り合う段ボールシート４４の中芯の波形状の尾根又は谷が延びる方向が、直交するように重ねてもよい。この場合、梱包ケース４０の機械的強度を向上できる。段ボールシート４４は、プラスチック製であってもよい。

梱包ケース４０が２つの段ボールシート４４で構成されている場合、蓋部３２の凹部３９は、一方の段ボールシート４４に形成された開口部４４ａで構成されていてもよい。この場合、開口部４４ａは、この段ボールシート４４を貫通していてもよい。開口部４４ａは、第２対向面３８を構成する段ボールシート４４に形成される。他方の段ボールシート４４には、開口部４４ａは形成されていなくてもよい。

図５及び図６に示すように、第１緩衝シート３３は、第１対向面３７に位置していてもよい。第１緩衝シート３３は、蒸着マスク梱包体３０が輸送中に下向きの力又は衝撃を受けた場合、蒸着マスク２０が塑性変形することを抑制するためのシートであってもよい。第１緩衝シート３３は、蒸着マスク２０が梱包された状態で蒸着マスク２０に加えられる力又は衝撃を吸収可能な程度の可撓性を有していてもよい。第１緩衝シート３３は、蒸着マスク積層体５０を支持できる程度の機械的強度を有していてもよい。

図７に示すように、第１緩衝シート３３は、法線方向Ｎで見たときに、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２に沿うように矩形状に形成されていてもよい。第１緩衝シート３３は、第１方向Ｄ１に沿う長手方向を有していてもよい。

第１緩衝シート３３の材料は、任意である。例えば、第１緩衝シート３３は、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムで構成されていてもよい。ＰＥＴフィルムは、比較的硬く、皺が形成され難い。このため、蒸着マスク２０の塑性変形を効果的に抑制できる。

図５に示す第１緩衝シート３３の厚みＴ２は、任意である。例えば、厚みＴ２は、例えば、０．０５ｍｍ以上でもよく、０．０８ｍｍ以上でもよく、０．１０ｍｍ以上でもよい。厚みＴ２を０．０５ｍｍ以上とすることにより、力又は衝撃を吸収できるとともに機械的強度を確保できる。厚みＴ２は、例えば、０．１５ｍｍ以下でもよく、０．１７ｍｍ以下でもよく、０．２０ｍｍ以下でもよい。厚みＴ２を０．２０ｍｍ以下とすることにより、蒸着マスク積層体５０が厚くなることを抑制できる。厚みＴ２の範囲は、０．０５ｍｍ、０．０８ｍｍ及び０．１０ｍｍからなる第１グループ、及び／又は、０．１５ｍｍ、０．１７ｍｍ及び０．２０ｍｍからなる第２グループによって定められてもよい。厚みＴ２の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つと、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つとの組み合わせによって定められてもよい。厚みＴ２の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。厚みＴ２の範囲は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、０．０５ｍｍ以上０．２０ｍｍ以下でもよく、０．０５ｍｍ以上０．１７ｍｍ以下でもよく、０．０５ｍｍ以上０．１５ｍｍ以下でもよく、０．０５ｍｍ以上０．１０ｍｍ以下でもよく、０．０５ｍｍ以上０．０８ｍｍ以下でもよく、０．０８ｍｍ以上０．２０ｍｍ以下でもよく、０．０８ｍｍ以上０．１７ｍｍ以下でもよく、０．０８ｍｍ以上０．１５ｍｍ以下でもよく、０．０８ｍｍ以上０．１０ｍｍ以下でもよく、０．１０ｍｍ以上０．２０ｍｍ以下でもよく、０．１０ｍｍ以上０．１７ｍｍ以下でもよく、０．１０ｍｍ以上０．１５ｍｍ以下でもよく、０．１５ｍｍ以上０．２０ｍｍ以下でもよく、０．１５ｍｍ以上０．１７ｍｍ以下でもよく、０．１７ｍｍ以上０．２０ｍｍ以下でもよい。

図５～図７に示すように、第１方向Ｄ１において、第１緩衝シート３３の寸法Ｌ４は、蒸着マスク２０の寸法Ｌ２よりも大きくてもよい。第１緩衝シート３３は、蒸着マスク２０に対して、第１方向Ｄ１における両側で外側に延びていてもよい。第２方向Ｄ２において、第１緩衝シート３３の寸法Ｗ３は、蒸着マスク２０の寸法Ｗ２よりも大きくてもよい。第１緩衝シート３３は、蒸着マスク２０に対して、第２方向Ｄ２における両側で外側に延びていてもよい。このようにして、蒸着マスク２０の全体は、第１緩衝シート３３に重なっていてもよい。このことにより、蒸着マスク梱包体３０が輸送中に下向きの力又は衝撃を受けた場合、蒸着マスク２０が塑性変形することを抑制できる。

第１緩衝シート３３は、静電気が発生することを抑制するために、帯電防止コーティングされていてもよい。例えば、第１緩衝シート３３の両面に、帯電防止層が形成されていてもよい。帯電防止コーティングされた第１緩衝シート３３の例としては、商品名クリスパー（登録商標）として販売されている東洋紡株式会社製のポリエステル系合成紙Ｋ２３２３－１８８－６９０ｍｍが挙げられる。

図５及び図６に示すように、第１固定部３４は、第１緩衝シート３３を第１対向面３７に固定していてもよい。第１固定部３４は、第１対向面３７と第１緩衝シート３３との間に介在されていてもよい。

図７に示すように、第１固定部３４は、法線方向Ｎで見たときに、蒸着マスク２０の外側に位置していてもよい。第１固定部３４は、第１緩衝シート３３の外縁の内側に位置していてもよい。第１固定部３４は、第１緩衝シート３３に重なっていてもよく、蒸着マスク２０に重なっていなくてもよい。第１固定部３４は、蓋部３２の凹部３９の外側に位置していてもよい。第１固定部３４は、凹部３９に重なっていなくてもよい。

より具体的には、図３及び図７に示すように、第１固定部３４は、第１方向Ｄ１において、蒸着マスク２０に対して両側で外側に位置する２つの第１固定分割部材４５を含んでいてもよい。２つの第１固定分割部材４５の間に、蒸着マスク２０が位置していてもよく、第１固定分割部材４５は、蒸着マスク２０に重なっていなくてもよい。第１固定分割部材４５は、第２方向Ｄ２に沿って細長に延びていてもよい。この場合、第１固定分割部材４５は、平面視で、第２方向Ｄ２を長手方向とする矩形状に形成されていてもよい。第１固定分割部材４５は、連続状に延びていてもよく、断続的に形成されていてもよい。この場合、第１固定分割部材４５は、平面視で、第２方向Ｄ２を長手方向とする矩形状に形成されていてもよく、正方形状、円形状又は楕円形状など任意の形状に形成されていてもよい。

第１固定部３４は、第２方向Ｄ２において、蒸着マスク２０に対して両側で外側に位置する２つの第２固定分割部材４６を含んでいてもよい。２つの第２固定分割部材４６の間に、蒸着マスク２０が位置していてもよく、第２固定分割部材４６は、蒸着マスク２０に重なっていなくてもよい。第２固定分割部材４６は、第１方向Ｄ１に沿って細長に延びていてもよい。この場合、第２固定分割部材４６は、平面視で、第１方向Ｄ１を長手方向とする矩形状に形成されていてもよい。第２固定分割部材４６は、連続状に延びていてもよく、断続的に形成されていてもよい。この場合、第２固定分割部材４６は、平面視で、第１方向Ｄ１を長手方向とする矩形状に形成されていてもよく、正方形状、円形状又は楕円形状など任意の形状に形成されていてもよい。

図３及び図７に示す例では、第１固定分割部材４５は、第１方向Ｄ１において、第２固定分割部材４６の両側に位置しており、第１固定分割部材４５が、第２方向Ｄ２において、第２固定分割部材４６の後述する外側縁まで延びている。しかしながら、第２固定分割部材４６が、第２方向Ｄ２において第１固定分割部材４５の両側に位置し、第２固定分割部材４６が、第１方向Ｄ１において、第１固定分割部材４５の後述する外側縁まで延びていてもよい。また、第１固定分割部材４５と第２固定分割部材４６との間に隙間が形成されていてもよく、又は隙間無く接続されていてもよい。

第１固定分割部材４５及び第２固定分割部材４６は、両面テープで構成されていてもよい。両面テープは、基材と、基材の両面に位置する粘着層と、を含んでいてもよい。基材は、任意の合成樹脂で作製されていてもよい。粘着層は、粘着性を有していれば、任意の合成樹脂で作製されていてもよい。両面テープの一例としては、商品名スコッチ（登録商標）として販売されている３Ｍ製の両面テープ６６５が挙げられる。しかしながら、第１緩衝シート３３は、接着剤によって第１対向面３７に固定されていてもよい。この場合、第１固定分割部材４５及び第２固定分割部材４６は、接着剤が硬化することにより形成されていてもよい。

図５に示す第１固定分割部材４５及び第２固定分割部材４６の厚みＴ３は、任意である。例えば、厚みＴ３は、例えば、０．０４ｍｍ以上でもよく、０．０６ｍｍ以上でもよく、０．０７ｍｍ以上でもよい。厚みＴ３を、０．０４ｍｍ以上とすることにより、粘着力を確保できる。厚みＴ３は、例えば、０．０９ｍｍ以下でもよく、０．１０ｍｍ以下でもよく、１．２０ｍｍ以下でもよい。厚みＴ３を１．２０ｍｍ以下とすることにより、第１緩衝シート３３の変形を抑制できるとともに、第１固定分割部材４５及び第２固定分割部材４６が互いに緩衝することを抑制できる。厚みＴ３の範囲は、０．０４ｍｍ、０．０６ｍｍ及び０．０７ｍｍからなる第１グループ、及び／又は、０．０９ｍｍ、０．１０ｍｍ及び１．２０ｍｍからなる第２グループによって定められてもよい。厚みＴ３の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つと、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つとの組み合わせによって定められてもよい。厚みＴ３の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。厚みＴ３の範囲は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、０．０４ｍｍ以上１．２０ｍｍ以下でもよく、０．０４ｍｍ以上０．１０ｍｍ以下でもよく、０．０４ｍｍ以上０．０９ｍｍ以下でもよく、０．０４ｍｍ以上０．０７ｍｍ以下でもよく、０．０４ｍｍ以上０．０６ｍｍ以下でもよく、０．０６ｍｍ以上１．２０ｍｍ以下でもよく、０．０６ｍｍ以上０．１０ｍｍ以下でもよく、０．０６ｍｍ以上０．０９ｍｍ以下でもよく、０．０６ｍｍ以上０．０７ｍｍ以下でもよく、０．０７ｍｍ以上１．２０ｍｍ以下でもよく、０．０７ｍｍ以上０．１０ｍｍ以下でもよく、０．０７ｍｍ以上０．０９ｍｍ以下でもよく、０．０９ｍｍ以上１．２０ｍｍ以下でもよく、０．０９ｍｍ以上０．１０ｍｍ以下でもよく、０．１０ｍｍ以上１．２０ｍｍ以下でもよい。

図５及び図６に示すように、第２緩衝シート３５は、第２対向面３８に位置していてもよい。第２緩衝シート３５は、蒸着マスク梱包体３０が輸送中に上向きの力又は衝撃を受けた場合、蒸着マスク２０が塑性変形することを抑制するためのシートであってもよい。第２緩衝シート３５の厚みは、第１緩衝シート３３の厚みＴ２と同様であってもよい。第２緩衝シート３５は、上述した第１緩衝シート３３と同様に構成されていてもよい。このため、第２緩衝シート３５の詳細な説明は省略する。図３に示す例では、図面を明瞭にするために、第２緩衝シート３５を省略している。

図５及び図６に示すように、第２固定部３６は、第２緩衝シート３５を第２対向面３８に固定していてもよい。第２固定部３６は、第２対向面３８と第２緩衝シート３５との間に介在されていてもよい。

図７に示すように、第２固定部３６は、法線方向Ｎで見たときに、蒸着マスク２０の外側に位置していてもよい。第２固定部３６は、第２緩衝シート３５の外縁の内側に位置していてもよい。第２固定部３６は、第２緩衝シート３５に重なっていてもよく、蒸着マスク２０に重なっていなくてもよい。第２固定部３６は、蓋部３２の凹部３９の外側に位置していてもよい。第２固定部３６は、凹部３９に重なっていなくてもよい。

より具体的には、図３及び図７に示すように、第２固定部３６は、第１方向Ｄ１において、蒸着マスク２０に対して両側で外側に位置する２つの第３固定分割部材４７を含んでいてもよい。２つの第３固定分割部材４７の間に、蒸着マスク２０が位置していてもよく、第３固定分割部材４７は、蒸着マスク２０に重なっていなくてもよい。第３固定分割部材４７は、第２方向Ｄ２に沿って細長に延びていてもよい。この場合、第３固定分割部材４７は、平面視で、第２方向Ｄ２を長手方向とする矩形状に形成されていてもよい。第３固定分割部材４７は、連続状に延びていてもよく、断続的に形成されていてもよい。この場合、第３固定分割部材４７は、平面視で、第２方向Ｄ２を長手方向とする矩形状に形成されていてもよく、正方形状、円形状又は楕円形状など任意の形状に形成されていてもよい。第３固定分割部材４７は、第１固定分割部材４５と重なっていてもよく、第１固定分割部材４５と重なっていなくてもよい。

第２固定部３６は、第２方向Ｄ２において、蒸着マスク２０に対して両側で外側に位置する２つの第４固定分割部材４８を含んでいてもよい。２つの第４固定分割部材４８の間に、蒸着マスク２０が位置していてもよく、第４固定分割部材４８は、蒸着マスク２０に重なっていなくてもよい。第４固定分割部材４８は、第１方向Ｄ１に沿って細長に延びていてもよい。この場合、第４固定分割部材４８は、平面視で、第１方向Ｄ１を長手方向とする矩形状に形成されていてもよい。第４固定分割部材４８は、連続状に延びていてもよく、断続的に形成されていてもよい。この場合、第４固定分割部材４８は、平面視で、第１方向Ｄ１を長手方向とする矩形状に形成されていてもよく、正方形状、円形状又は楕円形状など任意の形状に形成されていてもよい。第４固定分割部材４８は、第２固定分割部材４６と重なっていてもよく、第２固定分割部材４６と重なっていなくてもよい。

図３及び図７に示す例では、第３固定分割部材４７は、第１方向Ｄ１において、第４固定分割部材４８の両側に位置しており、第３固定分割部材４７が、第２方向Ｄ２において、第４固定分割部材４８の後述する外側縁まで延びている。しかしながら、第４固定分割部材４８が、第２方向Ｄ２において第３固定分割部材４７の両側に位置し、第４固定分割部材４８が、第１方向Ｄ１において、第３固定分割部材４７の後述する外側縁まで延びていてもよい。また、第３固定分割部材４７と第４固定分割部材４８との間に隙間が形成されていてもよく、又は隙間無く接続されていてもよい。

第３固定分割部材４７及び第４固定分割部材４８は、第１固定分割部材４５及び第２固定分割部材４６と同様に構成されていてもよい。例えば、第３固定分割部材４７及び第４固定分割部材４８は、第１固定分割部材４５及び第２固定分割部材４６と同様に両面テープで構成されていてもよい。第３固定分割部材４７及び第４固定分割部材４８の厚みは、上述した第１固定分割部材４５及び第２固定分割部材４６の厚みＴ３と同様であってもよい。第３固定分割部材４７及び第４固定分割部材４８の詳細な説明は省略する。

図５及び図６に示すように、蒸着マスク積層体５０は、受け部３１と蓋部３２との間に位置している。より具体的には、蒸着マスク積層体５０は、第１緩衝シート３３と第２緩衝シート３５との間に位置している。蒸着マスク２０が梱包された状態では、蒸着マスク積層体５０は、受け部３１と蓋部３２で挟持されていてもよい。

蒸着マスク積層体５０は、１つの蒸着マスク２０と、複数の挿間シート５１と、を含んでいてもよい。蒸着マスク２０の第１面２０ａ及び第２面２０ｂに、挿間シート５１が位置していてもよい。２つの挿間シート５１の間に、蒸着マスク２０が位置していてもよく、蒸着マスク２０は、挿間シート５１で挟持されていてもよい。蒸着マスク２０の第１面２０ａは、受け部３１の第１対向面３７に対向していてもよい。しかしながら、第１面２０ａは、蓋部３２の第２対向面３８に対向してもよい。

挿間シート５１は、蒸着マスク２０と第１緩衝シート３３との間に位置していてもよい。蒸着マスク２０と第１緩衝シート３３との間に、１つ又は複数の挿間シート５１が介在されていてもよい。本実施の形態においては、蒸着マスク２０と第１緩衝シート３３との間に２つの挿間シート５１が介在されている。図３においては、図面を明瞭にするために、蒸着マスク２０と第１緩衝シート３３との間に位置する挿間シート５１は省略している。

挿間シート５１は、蒸着マスク２０と第２緩衝シート３５との間に位置していてもよい。蒸着マスク２０と第２緩衝シート３５との間に、１つ又は複数の挿間シート５１が介在されていてもよい。本実施の形態においては、蒸着マスク２０と第２緩衝シート３５との間に２つの緩衝シートが介在されている。

挿間シート５１は、蒸着マスク２０の貫通孔２５と、第１緩衝シート３３又は第２緩衝シート３５が、互いに引っ掛かることによって蒸着マスク２０が塑性変形することを抑制するためのシートである。このため、挿間シート５１の両面は、平坦状に形成されていてもよい。挿間シート５１に、孔や凹凸などは形成されていなくてもよい。蒸着マスク２０に接する挿間シート５１は、蒸着マスク２０に固定されていなくてもよい。第１緩衝シート３３に接する挿間シート５１は、第１緩衝シート３３に固定されていなくてもよい。第２緩衝シート３５に接する挿間シート５１は、第２緩衝シート３５に固定されていなくてもよい。

図７に示すように、挿間シート５１は、法線方向Ｎで見たときに、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２に沿うように矩形状に形成されていてもよい。挿間シート５１は、第１方向Ｄ１に沿う長手方向を有していてもよい。

挿間シート５１の材料は、任意である。例えば、挿間シート５１の材料は、蒸着マスク２０の熱膨張係数との差が小さい熱膨張係数を有する材料であってもよい。例えば、挿間シート５１は、４２アロイにより作製されていてもよい。４２アロイは、４２％のニッケルを含む鉄合金であってもよい。挿間シート５１は、蒸着マスク２０の貫通孔２５に引っ掛かることを抑制できれば、紙などの繊維を含む材料により作製されていてもよく、例えば、アクリル含浸紙により作製されていてもよい。挿間シート５１は、蒸着マスク２０の材料と同じ材料で作製されていてもよい。

図５に示す挿間シート５１の厚みＴ４は、任意である。例えば、厚みＴ４は、例えば、２０μｍ以上でもよく、７０μｍ以上でもよく、１００μｍ以上でもよい。厚みＴ４を２０μｍ以上とすることにより、挿間シート５１の機械的強度を確保でき、蒸着マスク２０の貫通孔２５が他の部材に引っ掛かることを抑制できる。厚みＴ４は、例えば、２００μｍ以下でもよく、２５０μｍ以下でもよく、３００μｍ以下でもよい。厚みＴ４を３００μｍ以下とすることにより、蒸着マスク積層体５０が厚くなることを抑制できる。厚みＴ４の範囲は、２０μｍ、７０μｍ及び１００μｍからなる第１グループ、及び／又は、２００μｍ、２５０μｍ及び３００μｍからなる第２グループによって定められてもよい。厚みＴ４の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つと、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つとの組み合わせによって定められてもよい。厚みＴ４の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。厚みＴ４の範囲は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、２０μｍ以上３００μｍ以下でもよく、２０μｍ以上２５０μｍ以下でもよく、２０μｍ以上２００μｍ以下でもよく、２０μｍ以上１００μｍ以下でもよく、２０μｍ以上７０μｍ以下でもよく、７０μｍ以上３００μｍ以下でもよく、７０μｍ以上２５０μｍ以下でもよく、７０μｍ以上２００μｍ以下でもよく、７０μｍ以上１００μｍ以下でもよく、１００μｍ以上３００μｍ以下でもよく、１００μｍ以上２５０μｍ以下でもよく、１００μｍ以上２００μｍ以下でもよく、２００μｍ以上３００μｍ以下でもよく、２００μｍ以上２５０μｍ以下でもよく、２５０μｍ以上３００μｍ以下でもよい。

図７に示すように、第１方向Ｄ１において、挿間シート５１の寸法Ｌ５は、蒸着マスク２０の寸法Ｌ２よりも大きくてもよい。挿間シート５１は、蒸着マスク２０に対して、第１方向Ｄ１における両側で外側に延びていてもよい。第２方向Ｄ２において、挿間シート５１の寸法Ｗ４は、蒸着マスク２０の寸法Ｗ２よりも大きくてもよい。挿間シート５１は、蒸着マスク２０に対して、第２方向Ｄ２における両側で外側に延びていてもよい。このようにして、蒸着マスク２０の全体は、挿間シート５１に重なっていてもよい。このことにより、蒸着マスク２０が、他の部材に引っ掛かることを抑制でき、塑性変形することを抑制できる。

第１方向Ｄ１において、挿間シート５１の寸法Ｌ５は、第１緩衝シート３３の寸法Ｌ４よりも小さくてもよい。言い換えると、第１緩衝シート３３は、挿間シート５１に対して、第１方向Ｄ１における両側で外側に延びていてもよい。第２方向Ｄ２において、挿間シート５１の寸法Ｗ４は、第１緩衝シート３３の寸法Ｗ３よりも小さくてもよい。言い換えると、第１緩衝シート３３は、挿間シート５１に対して、第２方向Ｄ２における両側で外側に延びていてもよい。このようにして、挿間シート５１の全体は、第１緩衝シート３３に重なっていてもよい。同様にして、挿間シート５１の全体は、第２緩衝シート３５に重なっていてもよい。

図７に示すように、法線方向Ｎで見たときに、挿間シート５１は、第１固定部３４に重なっていなくてもよい。言い換えると、第１固定部３４は、挿間シート５１の外側に位置していてもよい。挿間シート５１は、２つの第１固定分割部材４５の間に位置していてもよい。挿間シート５１は、２つの第２固定分割部材４６の間に位置していてもよい。挿間シート５１は、第１固定分割部材４５に重なっていなくてもよく、第２固定分割部材４６に重なっていなくてもよい。

より具体的には、図７に示すように、第１方向Ｄ１において、２つの第１固定分割部材４５の間の寸法Ｌ６は、挿間シート５１の寸法Ｌ５よりも大きくてもよい。寸法Ｌ６は、第１方向Ｄ１における第１固定部３４の内側寸法とも称する。寸法Ｌ６は、２つの第１固定分割部材４５の内側縁の間の寸法であってもよい。第１固定分割部材４５の内側縁は、平面視で、第１固定分割部材４５の挿間シート５１に対向する縁であってもよい。

第１方向Ｄ１において、第１固定部３４の寸法Ｌ７は、第１緩衝シート３３の寸法Ｌ４よりも小さくてもよい。寸法Ｌ７は、第１方向Ｄ１における第１固定部３４の外側寸法とも称する。寸法Ｌ７は、２つの第１固定分割部材４５の外側縁の間の寸法であってもよい。第１固定分割部材４５の外側縁は、平面視で、第１固定分割部材４５の挿間シート５１とは反対側の縁であってもよい。

第２方向Ｄ２において、２つの第２固定分割部材４６の間の寸法Ｗ５は、挿間シート５１の寸法Ｗ４よりも大きくてもよい。寸法Ｗ５は、第２方向Ｄ２における第１固定部３４の内側寸法とも称する。寸法Ｗ５は、凹部３９の寸法Ｗ１よりも大きくてもよい。寸法Ｗ４は、２つの第２固定分割部材４６の内側縁の間の寸法であってもよい。第２固定分割部材４６の内側縁は、平面視で、第２固定分割部材４６の挿間シート５１に対向する縁であってもよい。

第２方向Ｄ２において、第１固定部３４の寸法Ｗ６は、第１緩衝シート３３の寸法Ｗ３よりも小さくてもよい。寸法Ｗ６は、第２方向Ｄ２における第１固定部３４の外側寸法とも称する。寸法Ｗ６は、２つの第２固定分割部材４６の外側縁の間の寸法であってもよい。第２固定分割部材４６の外側縁は、平面視で、第２固定分割部材４６の挿間シート５１とは反対側の縁であってもよい。

第１固定部３４の寸法Ｌ６と、凹部３９の寸法Ｌ１との差は、第１固定部３４の寸法Ｗ５と、凹部３９の寸法Ｗ１との差よりも大きくてもよい。この場合、第１固定分割部材４５と凹部３９との第１方向Ｄ１の距離を、第２固定分割部材４６と凹部３９との間の第２方向Ｄ２の距離よりも大きくでき、第１固定分割部材４５を、凹部３９から離すことができる。この場合、蒸着マスク２０の長手方向端部２１が、第１固定部３４及び第２固定部３６と重なることを抑制でき、長手方向端部２１を第２対向面３８に重ねるためのスペースを確保できる。第１緩衝シート３３及び第２緩衝シート３５の第２方向Ｄ２の寸法Ｗ３を小さくでき、受け部３１及び蓋部３２の第２方向Ｄ２の寸法を小さくできる。

図７に示すように、法線方向Ｎで見たときに、挿間シート５１は、第２固定部３６に重なっていなくてもよい。言い換えると、第２固定部３６は、挿間シート５１の外側に位置していてもよい。より具体的には、挿間シート５１は、２つの第３固定分割部材４７の間に位置していてもよい。挿間シート５１は、２つの第４固定分割部材４８の間に位置していてもよい。挿間シート５１は、第３固定分割部材４７に重なっていなくてもよく、第４固定分割部材４８に重なっていなくてもよい。

第２固定部３６は、上述した第１固定部３４と、同様の平面形状を有していてもよい。第２固定部３６は、上述した第１固定部３４の内側寸法Ｌ６と同様の内側寸法を有していてもよく、上述した第１固定部３４の外側寸法Ｌ７と同様の外側寸法を有していてもよい。第３固定分割部材４７は、平面視で、第１固定分割部材４５と一致するように重なっていてもよい。しかしながら、第３固定分割部材４７は、挿間シート５１及び凹部３９と重ならなければ、平面視で第１固定分割部材４５と部分的に重なっていてもよく、又は重なっていなくてもよい。第２固定部３６は、上述した第１固定部３４の内側寸法Ｗ５と同様の内側寸法を有していてもよく、上述した第１固定部３４の外側寸法Ｗ６と同様の外側寸法を有していてもよい。第４固定分割部材４８は、平面視で、第２固定分割部材４６と一致するように重なっていてもよい。しかしながら、第４固定分割部材４８は、挿間シート５１及び凹部３９と重ならなければ、平面視で第２固定分割部材４６と部分的に重なっていてもよく、又は重なっていなくてもよい。

蒸着マスク梱包体３０は、図示しない外装袋に収容されて、密封されていてもよい。密封袋内には、乾燥剤が収容されてもよい。この場合、外装袋内の空気を乾燥させ、蒸着マスク２０が水分で変質することを抑制できる。

次に、本実施の形態による蒸着マスク梱包方法について図８～図１３を用いて説明する。蒸着マスク梱包方法は、蒸着マスク２０を梱包する方法である。蒸着マスク梱包方法は、準備工程と、固定工程と、載置工程と、挟持工程と、結束工程と、を備えていてもよい。図８～図１３では、第２方向Ｄ２に沿う断面が示されている。

準備工程として、図８に示すように、受け部３１と蓋部３２とヒンジ部４１とを含む梱包ケース４０を準備してもよい。

準備工程の後、固定工程として、第１対向面３７に第１緩衝シート３３が固定されてもよい。第１緩衝シート３３は、第１固定部３４で第１対向面３７に固定されてもよい。

例えば、図９に示すように、第１固定部３４を構成する第１固定分割部材４５（図３及び図５参照）が、第１対向面３７の所望の位置に固定される。第１固定分割部材４５が両面テープで構成されている場合、第１固定分割部材４５は第１対向面３７に貼り付けられる。同様にして、第１固定部３４を構成する第２固定分割部材４６が、第１対向面３７の所望の位置に固定される。第１固定分割部材４５及び第２固定分割部材４６は、法線方向Ｎで見たときに、後述する挟持工程で蒸着マスク２０の外側に位置するように固定されてもよい。第１固定分割部材４５及び第２固定分割部材４６は、後述する挟持工程で挿間シート５１の外側に位置するように固定されてもよい。

その後、図１０に示すように、第１緩衝シート３３が第１対向面３７の所望の位置に載置される。このことにより、第１緩衝シート３３が第１固定分割部材４５及び第２固定分割部材４６に貼り付けられ、第１緩衝シート３３が第１対向面３７に固定される。

同様に、固定工程として、第２対向面３８に第２緩衝シート３５が固定されてもよい。第２緩衝シート３５は、第２固定部３６で第２対向面３８に固定されてもよい。

例えば、図９に示すように、第２固定部３６を構成する第３固定分割部材４７（図３及び図５参照）が、第２対向面３８の所望の位置に固定される。第３固定分割部材４７が両面テープで構成されている場合、第３固定分割部材４７は第２対向面３８に貼り付けられる。同様にして、第２固定部３６を構成する第４固定分割部材４８が、第２対向面３８の所望の位置に固定される。第３固定分割部材４７及び第４固定分割部材４８は、法線方向Ｎで見たときに、後述する挟持工程で蒸着マスク２０の外側に位置するように固定されてもよい。第３固定分割部材４７及び第４固定分割部材４８は、後述する挟持工程で挿間シート５１の外側に位置するように固定されてもよい。

その後、図１０に示すように、第２緩衝シート３５が第２対向面３８の所望の位置に載置される。このことにより、第２緩衝シート３５が第３固定分割部材４７及び第４固定分割部材４８に貼り付けられ、第２緩衝シート３５が第２対向面３８に固定される。

固定工程の後、載置工程として、図１１に示すように、第１緩衝シート３３上に蒸着マスク２０を含む蒸着マスク積層体５０が載置されてもよい。

例えば、まず、第１緩衝シート３３上に、２つの挿間シート５１が載置される。挿間シート５１は、第１緩衝シート３３の所望の位置に載置される。挿間シート５１は、法線方向Ｎで見たときに、第１固定部３４に重ならない位置に載置されてもよい。挿間シート５１は、後述する挟持工程で第２固定部３６に重ならない位置に載置されてもよい。

続いて、挿間シート５１上に、蒸着マスク２０が載置される。蒸着マスク２０は、挿間シート５１の所望の位置に載置される。蒸着マスク２０は、第１固定部３４に重ならない位置に載置される。この場合、法線方向Ｎで見たときに、第１固定部３４は、蒸着マスク２０の外側に位置する。蒸着マスク２０は、後述する挟持工程で第２固定部３６に重ならない位置に載置される。この場合、法線方向Ｎで見たときに、第２固定部３６は、蒸着マスク２０の外側に位置する。

次に、蒸着マスク２０上に、２つの挿間シート５１が載置される。蒸着マスク２０の上方に位置する挿間シート５１は、蒸着マスク２０の下方に位置する挿間シート５１と同じ位置に載置されてもよい。このようにして、蒸着マスク２０と挿間シート５１とを含む蒸着マスク積層体５０が、第１緩衝シート３３上に載置される。

載置工程の後、挟持工程として、図１２に示すように、蒸着マスク２０が受け部３１と蓋部３２で挟持されてもよい。梱包ケース４０を、ヒンジ部４１を介して折り曲げることにより、蓋部３２が蒸着マスク積層体５０に重ねられる。この場合、蓋部３２の第２対向面３８が、受け部３１の第１対向面３７に対向する。第２対向面３８に固定されている第２緩衝シート３５は、蒸着マスク積層体５０と蓋部３２との間に位置し、蒸着マスク積層体５０の最上位置に位置する挿間シート５１に接する。この場合、法線方向Ｎで見たときに、第２固定部３６は、蒸着マスク２０の外側に位置してもよい。このことにより、蒸着マスク２０は、第２固定部３６に重ならなくてもよい。蓋部３２の凹部３９は、蒸着マスク２０の有効領域２３に重なっていてもよい。

挟持工程の後、結束工程として、図１３に示すように、弾性ベルト６０で、受け部３１と蓋部３２とが結束される。このようにして、蒸着マスク２０が梱包され、本実施の形態による蒸着マスク梱包体３０が得られる。蒸着マスク梱包体３０は、図示しない外装袋に収容されてもよい。

上述のようにして得られた蒸着マスク梱包体３０は目的地に輸送される。輸送中、蒸着マスク２０に上下方向の力又は衝撃が加えられる場合がある。受け部３１の第１対向面３７には凹部３９が形成されていないため、蒸着マスク２０が下方に撓むことを抑制できる。このため、蒸着マスク２０が塑性変形することを抑制できる。一方、蓋部３２の第２対向面３８には凹部３９が形成されているため、蒸着マスク２０が上方に弾性的に撓むことができる。このため、蒸着マスク２０に加えられた衝撃を吸収でき、蒸着マスク２０が塑性変形することを抑制できる。

目的地に到達した蒸着マスク梱包体３０は、上述した蒸着マスク梱包方法とは逆の手順を踏むことにより開梱されてもよい。このことにより、蒸着マスク２０を取り出すことができる。本実施の形態においては、蒸着マスク２０は、挿間シート５１で挟持されているため、蒸着マスク２０を取り出す際に、蒸着マスク２０が他の部材に引っ掛かることを抑制できる。このため、蒸着マスク２０が塑性変形することを抑制できるとともに、蒸着マスク２０の開梱作業効率を向上できる。

このように本実施の形態によれば、受け部３１の第１対向面３７に、第１緩衝シート３３が位置し、蓋部３２は、受け部３１に、第１緩衝シート３３及び蒸着マスク２０を介して重ねられる。このことにより、蒸着マスク２０が下向きの力又は衝撃を受けた場合、第１緩衝シート３３が力又は衝撃を吸収できる。このことにより、蒸着マスク２０が塑性変形することを抑制できる。

また、本実施の形態によれば、第１緩衝シート３３は、第１固定部３４で第１対向面３７に固定されている。法線方向Ｎで見たときに、第１固定部３４は、蒸着マスク２０の外側に位置する。このことにより、第１固定部３４が蒸着マスク２０と重なることを抑制できる。このため、蒸着マスク２０を受け部３１と蓋部３２とで挟持した場合であっても、蒸着マスク２０に、第１固定部３４の痕跡が残ることを抑制できる。この結果、蒸着マスク２０が塑性変形することを抑制できる。

また、本実施の形態によれば、第１緩衝シート３３は、法線方向Ｎで見たときに、第１方向Ｄ１と、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２に沿うように矩形状に形成されている。第１固定部３４は、第１方向Ｄ１において蒸着マスク２０に対して両側で外側に位置する２つの第１固定分割部材４５を含んでいる。このことにより、第１緩衝シート３３が第１対向面３７に対して、第１方向Ｄ１にずれることを抑制できる。このため、蒸着マスク２０を第１緩衝シート３３上に載置する場合に、第１緩衝シート３３がずれることを抑制でき、蒸着マスク２０の梱包作業効率を向上できる。例えば、第１方向Ｄ１が、蒸着マスク２０の長手方向に沿う場合には、第１緩衝シート３３がずれることを効果的に抑制できる。

また、本実施の形態によれば、第１固定部３４は、第２方向Ｄ２において蒸着マスク２０に対して両側で外側に位置する２つの第２固定分割部材４６を含んでいる。このことにより、第１緩衝シート３３が第１対向面３７に対して、第２方向Ｄ２にずれることを抑制できる。このため、蒸着マスク２０を第１緩衝シート３３上に載置する場合に、第１緩衝シート３３がずれることを抑制でき、蒸着マスク２０の梱包作業効率を向上できる。

また、本実施の形態によれば、第１固定部３４は、法線方向Ｎで見たときに、挿間シート５１の外側に位置している。このことにより、挿間シート５１が第１固定部３４の厚みによって変形することを抑制できる。このため、蒸着マスク２０が挿間シート５１によって塑性変形することを抑制できる。

また、本実施の形態によれば、受け部３１と蓋部３２は、ヒンジ部４１を介して連結されている。このことにより、蓋部３２を受け部３１に対して容易に回動できる。このため、受け部３１の第１対向面３７に蒸着マスク２０及び挿間シート５１を載置した後、蒸着マスク２０に蓋部３２を容易に重ねることができる。

また、本実施の形態によれば、蓋部３２の第２対向面３８に第２緩衝シート３５が位置し、蓋部３２は、受け部３１に、第１緩衝シート３３、蒸着マスク２０及び第２緩衝シート３５を介して重ねられる。このことにより、蒸着マスク２０が上向きの力又は衝撃を受けた場合、第２緩衝シート３５が力又は衝撃を吸収できる。このことにより、蒸着マスク２０が塑性変形することを抑制できる。

また、本実施の形態によれば、第２緩衝シート３５は、第２固定部３６で第２対向面３８に固定されている。法線方向Ｎで見たときに、第２固定部３６は、蒸着マスク２０の外側に位置する。このことにより、第２固定部３６が蒸着マスク２０と重なることを抑制できる。このため、蒸着マスク２０を受け部３１と蓋部３２とで挟持した場合であっても、蒸着マスク２０に、第２固定部３６の痕跡が残ることを抑制できる。この結果、蒸着マスク２０が塑性変形することを抑制できる。

上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、必要に応じて図面を参照しながら、変形例について説明する。以下の説明及び以下の説明で用いる図面では、上述した実施の形態と同様に構成され得る部分について、上述の実施の形態における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いることとし、重複する説明を省略する。また、上述した実施の形態において得られる作用効果が変形例においても得られることが明らかである場合、その説明を省略することもある。

上述した本実施の形態においては、受け部３１と蓋部３２がヒンジ部４１を介して連結されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、受け部３１と蓋部３２は、別体に形成されていてもよい。この場合においても、弾性ベルト６０によって受け部３１と蓋部３２を結束して、受け部３１と蓋部３２で蒸着マスク２０を挟持できる。

上述した本実施の形態においては、第１固定部３４が、２つの第１固定分割部材４５と、２つの第２固定分割部材４６と、を含んでいる例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、第１固定部３４は、第１緩衝シート３３がずれることを抑制できれば、合計で３つの固定分割部材４５、４６を含んでいてもよい。例えば、第１固定部３４は、２つの第１固定分割部材４５と、１つの第２固定分割部材４６と、を含んでいてもよい。あるいは、第１固定部３４は、１つの第１固定分割部材４５と、２つの第２固定分割部材４６と、を含んでいてもよい。例えば、第１固定部３４は、第１緩衝シート３３がずれることを抑制できれば、合計で２つの固定分割部材４５、４６を含んでいてもよい。例えば、第１固定部３４は、２つの第１固定分割部材４５を含んでいてもよい。あるいは、第１固定部３４は、２つの第２固定分割部材４６を含んでいてもよい。あるいは、第１固定部３４は、１つの第１固定分割部材４５と、１つの第２固定分割部材４６と、を含んでいてもよい。第２固定部３６についても同様である。

上述した本実施の形態においては、蒸着マスク積層体５０が、１つの蒸着マスク２０を含んでいる例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、図１４に示すように、蒸着マスク積層体５０は、複数の蒸着マスク２０を備えていてもよい。この場合、隣り合う２つの蒸着マスク２０の間に、１つ又は複数の挿間シート５１が介在されていてもよい。図１４に示す例では、隣り合う２つの蒸着マスク２０の間に、２つの挿間シート５１が介在されている。このように、隣り合う２つの蒸着マスク２０の間に挿間シート５１が介在されることにより、蒸着マスク２０同士が引っ掛かることを抑制できる。このため、蒸着マスク２０が塑性変形することを抑制できる。例えば、隣り合う２つの蒸着マスク２０の間に２つの挿間シート５１が介在される場合には、蒸着マスク２０同士が引っ掛かることを効果的に抑制できる。

Claims (9)

1. 複数の貫通孔が形成された蒸着マスクを梱包する蒸着マスク梱包体であって、
   第１対向面を含む受け部と、
   前記第１対向面に位置する第１緩衝シートと、
   前記受け部の前記第１対向面に対向する第２対向面を含み、前記受け部に、前記第１緩衝シート及び前記蒸着マスクを介して重ねられる蓋部と、
   前記第１緩衝シートを前記第１対向面に固定する第１固定部と、を備え、
   前記第１対向面の法線方向で見たときに、前記第１固定部は、前記蒸着マスクの外側に位置する、蒸着マスク梱包体。
2. 前記第１緩衝シートは、前記法線方向で見たときに、第１方向と、前記第１方向に直交する第２方向に沿うように矩形状に形成され、
   前記第１固定部は、前記蒸着マスクに対して、前記第１方向における両側で外側に位置する２つの第１固定分割部材を含む、請求項１に記載の蒸着マスク梱包体。
3. 前記第１固定部は、前記蒸着マスクに対して、前記第２方向における両側で外側に位置する２つの第２固定分割部材を含む、請求項２に記載の蒸着マスク梱包体。
4. 前記蒸着マスクと前記第１緩衝シートとの間に位置する挿間シートを備え、
   前記第１固定部は、前記法線方向で見たときに、前記挿間シートの外側に位置する、請求項１～３のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
5. 前記受け部と前記蓋部は、ヒンジ部を介して連結されている、請求項１～３のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
6. 前記第２対向面に位置する第２緩衝シートを備え、
   前記蓋部は、前記受け部に、前記第１緩衝シート、前記蒸着マスク及び前記第２緩衝シートを介して重ねられる、請求項１～３のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
7. 前記第２緩衝シートを前記第２対向面に固定する第２固定部を備え、
   前記法線方向で見たときに、前記第２固定部は、前記蒸着マスクの外側に位置する、請求項６に記載の蒸着マスク梱包体。
8. 前記受け部と前記蓋部との間に位置する蒸着マスクを備えた、請求項１～３のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
9. 複数の貫通孔が形成された蒸着マスクを梱包する蒸着マスク梱包方法であって、
   第１対向面を含む受け部と、第２対向面を含む蓋部と、を準備する準備工程と、
   前記第１対向面に、第１緩衝シートを第１固定部で固定する固定工程と、
   前記第１緩衝シート上に前記蒸着マスクを載置する載置工程と、
   前記第２対向面が前記第１対向面に対向するように前記蓋部を前記蒸着マスクに重ねて、前記蒸着マスクを前記受け部と前記蓋部で挟持する挟持工程と、を備え、
   前記第1対向面の法線方向で見たときに、前記第１固定部は、前記蒸着マスクの外側に位置する、蒸着マスク梱包方法。

Images