CN202244461U - 掩膜板包装盒 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种掩膜板包装盒，为解决现有立式掩膜板包装盒易于造成掩膜板及其表面膜层损伤的缺陷而设计。本实用新型掩膜板包装盒包括相适配的盒盖和盒体，盒体内设置至少三个能共同支撑掩膜板的支撑部。盒体内还设置有限位部，限位部位于支撑部和盒体侧壁之间形成L形结构。盒盖内对应支架的位置设有压块。盒体内设有至少一个固定用凹部；盒盖内对应凹部的位置设有凸块；凸块与凹部相适配；盒体外侧底部边缘设有凸出部。本实用新型掩膜板包装盒方便于工作人员用手或设备抓握、夹持掩膜板，避免掩膜板及其表面膜层的损伤。本实用新型掩膜板包装盒外侧为盒体，有利于保证掩膜板的洁净。

Description

掩膜板包装盒

技术领域

本实用新型涉及一种掩膜板包装盒。

背景技术

在微电子等需要使用光刻图形工艺的领域中，掩膜板是不可缺少的工具。在整个的产品加工过程中需要使用至少一块掩膜板，很多情况下全部流程中需要使用多块掩膜板。而且不同的产品所使用的掩膜板基本不同，因此需要随着产品的变换而更换掩膜板。因此，除了正在使用的掩膜板，其他的掩膜板均需要收纳、存放。

现有掩膜板的收纳、存放结构主要为掩膜板包装盒。如图1所示，收纳时，掩膜板1竖直放入盒体中，盖上盒盖。使用时，工作人员需要手捏掩膜板1边缘处抬起、取出。

发明人发现现有掩膜板包装盒开口小，垂直方向地取出和收纳掩膜板易造成掩膜板的损伤。尤其是当掩膜板的面积比较大时，这种垂直地提起或放下的动作容易造成包装盒内壁或边缘与掩膜板表面的碰撞、摩擦，造成掩膜板表面膜层的划伤。

实用新型内容

为了克服上述的缺陷，本实用新型提供一种方便掩膜板取放的掩膜板包装盒。

为达到上述目的，本实用新型掩膜板包装盒包括相适配的盒盖和盒体，所述盒体内设置至少三个掩膜板支撑部，所述三个支撑部能共同支撑掩膜板。

特别是，所述盒体内还设置有限位部，所述限位部位于所述支撑部和所述盒体侧壁之间。

特别是，所述限位部和所述支撑部形成L形结构。

特别是，所述盒体内设有至少一个固定用凹部；所述盒盖内对应所述凹部的位置设有凸块；所述凸块与所述凹部相适配。

特别是，所述盒体外侧底部边缘设有凸出部，所述凸出部围成容置空间，所述容置空间面积不小于所述盒盖的面积。

本实用新型掩膜板包装盒内部设有支撑部，掩膜板取出或收纳时均为水平状态，掩膜板边缘处空间开阔，方便于工作人员用手或设备抓握、夹持掩膜板，避免掩膜板及其表面膜层的损伤。本实用新型掩膜板包装盒外侧为盒体，有利于保证掩膜板的洁净。

附图说明

图1为现有包装盒结构示意图。

图2为本实用新型盒体优选实施例俯视图。

图3为本实用新型盒盖优选实施例结构示意图。

图4为本实用新型掩膜板包装盒使用状态结构示意图之一。

图5为本实用新型掩膜板包装盒使用状态结构示意图之二。

具体实施方式

下面结合说明书附图和实施例对本实用新型做详细描述。

本实用新型掩膜板包装盒包括相适配的盒盖和盒体，盒体内设置至少三个掩膜板支撑部，三个支撑部能共同支撑掩膜板。为了更好地固定掩膜板，盒体内还设置有限位部。限位部可以位于支撑部和盒体侧壁之间，即限位部和支撑部形成L形结构，如图4所示；限位部也可以位于支撑部上，即限位部和支撑部形成倒T形结构，如图5所示。

为了更好地固定掩膜板，支撑部优选设置在一个平面上，该平面的面积应该大于所用掩膜板的面积。因为掩膜板基本上均为矩形，所以优选使用四个或八个支撑部，均匀、对称地设置在一矩形底面上。支撑部围成与掩膜板面积基本相同的矩形区域，限位部位于支撑部所围成矩形区域的外侧。支撑部的高度相同为优选结构；限位部的高度无特殊要求，但是为了包装盒使用的方便以及盒盖与盒体的扣接，限位部优选设置成为相同的高度。而且，限位部顶面和支撑部顶面之间的高度差等于或者略大于掩膜板的厚度即可。

掩膜板的边缘放置在支撑部上，支撑部的宽度根据具体掩膜板而定，以稳定支撑掩膜板且不划伤掩膜板表面膜层为标准。掩膜板的边缘靠近限位部的侧面，有效地限定了掩膜板的位置，防止掩膜板因包装盒的晃动而不稳定。

本实用新型掩膜板包装盒的内部面积大，掩膜板的边缘位置除了支撑部和限位部之外没有其他的物体，方便于工作人员用手或设备抓握、夹持掩膜板，避免掩膜板及其表面膜层与包装盒碰撞或摩擦而造成损伤。

如图2～图5所示，为了使掩膜板1的保存环境保持洁净、干燥，可以将本实用新型掩膜板包装盒的外侧设计成相适配的盒体10与盒盖20。掩膜板1平放在支撑部11上，盒盖20扣接盒体10，相对密封的盒内为收纳掩膜板1提供了理想的环境。

掩膜板1边缘与盒体10的内侧壁之间留有较大的间隙，可以容纳工作人员的手指伸入或者设备夹具的伸入，方便工作人员取出或者收纳掩膜板1。这样的取放方式避免了掩膜板1和盒体10发生碰撞或摩擦，不易造成掩膜板1的损伤，尤其是可以保护掩膜板1的表面膜层。

为了更好地固定掩膜板，盒盖20内对应支撑部11和限位部13的位置处设有压块21。盒盖20扣接到盒体10上后，压块21可以压在限位部13顶面上，也可以悬置在支撑部11的上方。压块21下表面与支撑部11顶面之间的距离等于或者略大于掩膜板1的厚度即可。

为了使盒体10和盒盖20组成的掩膜板包装盒本身更加地稳定，盒体10内设有至少一个固定用凹部12，盒盖20上对应凹部12的位置设有凸块22；凸块22与凹部12相适配。因为盒体10基本为矩形，凹部12优选设置在盒体10的四个顶角处，凸块22相应地设置在盒盖20的四个顶角处。使用时，盒盖20扣接在盒体10上，凸块22插入到凹部12中，限制盒盖20与盒体10在水平方向发生相对位移。

为了节省空间，可以将两个或两个以上的包装盒摞起来放置。为了使包装盒摞得更加稳固，盒体外侧底部边缘设有凸出部23，凸出部23围成容置空间的面积不小于盒盖20的面积。摞列放置时凸出部23与盒盖20顶部能卡固，摞列放置包装盒更加稳定。凸出部23可以是设置在盒体外侧底部边缘的口字形结构，也可以是设置在盒体外侧底部四个角的四个L形结构，或是设置在盒体外侧底部四边的四条一字形结构。

本实用新型掩膜板包装盒的外侧为相适配的盒盖和盒体，相对封闭的包装盒内洁净、干燥，有利于延长放置其中的掩膜板的使用寿命。同时，有包装盒的保护，避免外界物体对掩膜板的碰撞和刮压等伤害。

以上，仅为本实用新型的较佳实施例，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求所界定的保护范围为准。

Claims (6)

1.一种掩膜板包装盒，其特征在于：包括相适配的盒盖和盒体，所述盒体内设置至少三个掩膜板支撑部，所述三个支撑部能共同支撑掩膜板。

2.根据权利要求1所述的掩膜板包装盒，其特征在于：所述盒体内还设置有限位部，所述限位部位于所述支撑部和所述盒体侧壁之间。

3.根据权利要求2所述的掩膜板包装盒，其特征在于：所述限位部和所述支撑部形成L形结构。

4.根据权利要求1所述的掩膜板包装盒，其特征在于：所述盒盖内对应所述支架的位置设有压块。

5.根据权利要求1所述的掩膜板包装盒，其特征在于：所述盒体内设有至少一个固定用凹部；所述盒盖内对应所述凹部的位置设有凸块；所述凸块与所述凹部相适配。

6.根据权利要求1所述的掩膜板包装盒，其特征在于：所述盒体外侧底部边缘设有凸出部，所述凸出部围成容置空间，所述容置空间面积不小于所述盒盖的面积。

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