JP6829125B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
[1]第1実施形態
以下に、第1実施形態に係る半導体記憶装置について、相変化メモリを例に説明する。
[1−1−1]半導体記憶装置1の全体構成
まず、図1を用いて第1実施形態に係る半導体記憶装置1の全体構成について説明する。図1には、半導体記憶装置1のブロック図が示されている。図1に示すように半導体記憶装置1は、メモリセルアレイ10、コントローラ11、電圧生成回路12、ライトドライバ13、センスアンプ14、ビット線ドライバ15、ロウデコーダ16、及びワード線ドライバ17を備えている。
次に、図2を用いて第1実施形態におけるメモリセルアレイ10及びビット線ドライバ15の回路構成について説明する。図2には、メモリセルアレイ10及びビット線ドライバ15の詳細な回路構成が示されている。図2に示すように、メモリセルアレイ10はメモリユニットMU0〜MU3を含み、ビット線ドライバ15はトランジスタTR0〜TR3及びカラムスイッチCS0〜CS3を含んでいる。
次に、第1実施形態におけるメモリセルアレイ10の構造について説明する。
[1−2−1]読み出し動作
次に、図9を用いて第1実施形態に係る半導体記憶装置1の読み出し動作について説明する。図9は、図2に示されたメモリセルアレイ10の回路図から1つのメモリユニットMUを抽出した回路図である。また、図9には読み出し動作の一例として、ビット線BL0及びワード線WLo1に接続されたメモリセルMCに記憶されたデータを読み出す場合に、ビット線BL及びワード線WLに印加される電圧が示されている。
次に、図10を用いて第1実施形態に係る半導体記憶装置1の書き込み動作について説明する。図10は、図2に示されたメモリセルアレイ10の回路図から1つのメモリユニットMUを抽出した回路図である。また、図10には書き込み動作の一例として、ビット線BL0及びワード線WLo1に接続されたメモリセルMCにデータを書き込む場合に、ビット線BL及びワード線WLに印加される電圧が示されている。
以上で説明した第1実施形態に係る半導体記憶装置1によれば、メモリセルが記憶するデータの信頼性を向上することが出来る。以下に、本効果の詳細について説明する。
次に、第2実施形態に係る半導体記憶装置1について説明する。第2実施形態に係る半導体記憶装置1は、下層から奇数番目に設けられたビット線BLに対応する導電体と、下層から偶数番目に設けられたビット線BLに対応する導電体とで、面内方向にずらして配置するものである。
以下に、第2実施形態におけるメモリセルアレイ10の構造について説明する。
以上で説明した第2実施形態に係る半導体記憶装置1によれば、メモリセルが記憶するデータの信頼性を向上することが出来る。以下に、本効果の詳細について説明する。
次に、第3実施形態に係る半導体記憶装置1について説明する。第3実施形態に係る半導体記憶装置1は、第1実施形態及び第2実施形態の組み合わせであり、積層方向に隣り合うワード線WLに対応する導電体と、積層方向に隣り合うビット線BLに対応する導電体とをそれぞれ面内方向にずらして配置するものである。
以下に、第1実施形態におけるメモリセルアレイ10の構造について説明する。
以上のように、第3実施形態に係る半導体記憶装置1では、積層するビット線BL及びワード線WLの位置を面内方向で配線層毎にずらして配置している。つまり、ビット線BL方向及びワード線WL方向でそれぞれ面内方向にシフトして配置されているため、選択メモリセルと、選択メモリセル近傍の非選択メモリセルとの間隔が、第1及び第2実施形態を合わせた形となる。
次に、第4実施形態に係る半導体記憶装置1について説明する。第4実施形態に係る半導体記憶装置1は、第1実施形態で説明したワード線WLをワード線ドライバ17に接続する際の配線方法に関するものである。
以下に、図24〜図26を用いて第4実施形態に係る半導体記憶装置1の構成について説明する。図24には、メモリセルアレイ10における平面レイアウトの一例が示されている。図25及び図26は、それぞれ図24のA−A’線及びB−B’線に沿ったメモリセルアレイ10の断面図である。尚、図25及び図26に示されているメモリセルMC、ビット線BL、及びワード線WLに対応する構成要素は、それぞれ第1実施形態で図5及び図6を用いて説明した構成要素と同様のため、説明を省略する。
以上で説明した第4実施形態に係る半導体記憶装置1によれば、メモリセルアレイ10のプロセス難易度を抑制することが出来る。以下に、本効果の詳細について説明する。
次に、第5実施形態に係る半導体記憶装置1について説明する。第5実施形態は、半導体記憶装置1が複数のメモリセルアレイ10を備える場合において、各種動作が実行されるメモリセルMCの選択順番に関するものである。
まず、図27を用いて第5実施形態に係る半導体記憶装置1の構成について説明する。図27には、第5実施形態に係る半導体記憶装置1のブロック図が示されている。図27に示すように半導体記憶装置1は、複数のメモリセルアレイ10及び複数のSA&WD18を備えている。具体的には、半導体記憶装置1は、例えばメモリセルアレイ10A、10B、及び10C、並びにSA&WD18A及び18Bを備えている。
次に、図28を用いて第5実施形態に係る半導体記憶装置1の動作について説明する。図28は、半導体記憶装置1の書き込み動作時における動作順番の一例が示されたメモリセルアレイの平面レイアウト図であり、メモリセルアレイ10A及び10Bを対象とした動作が示されている。
以上のように、第5実施形態係る半導体記憶装置1では、メモリセルアレイ10Aを選択した動作と、メモリセルアレイ10Bを選択した書き込み動作とが交互に実行される。ここで、図29に示す比較例を参照して、第5実施形態の効果について説明する。図29には、第5実施形態の比較例に係る半導体記憶装置1の書き込み動作時における動作順番の一例が示されている。
次に、第6実施形態に係る半導体記憶装置1について説明する。第6実施形態に係る半導体記憶装置1は、ビット線BLに対応する導電体と半導体基板との間を接続し、各種動作時に選択メモリセルMCで発生した熱を半導体基板に拡散させるものである。
以下に、図31及び図32を用いて第6実施形態に係る半導体記憶装置1の構成について説明する。図31には、第6実施形態におけるメモリセルアレイ10の平面レイアウトの一例が示されている。図32は、図31のA−A’線に沿ったメモリセルアレイ10の断面図である。
以上のように、第6実施形態に係る半導体記憶装置1では、ビット線BLに対応する導電体20Aが、電界効果トランジスタを構成しないn+不純物拡散領域52に接続されている。また、このn+不純物拡散領域52は、P型ウェル領域51の表面内に形成されているため、ビット線BLからP型ウェル領域51に向かう方向が、PN接合の逆バイアス方向となっている。
次に、第7実施形態に係る半導体記憶装置1について説明する。第7実施形態は、第6実施形態がビット線BLを介して半導体基板50に熱を拡散させるのに対して、ワード線WLを介して半導体基板50に熱を拡散させるものである。
以下に、図34及び図35を用いて第7実施形態に係る半導体記憶装置1の構成について説明する。図34には、第7実施形態におけるメモリセルアレイ10の平面レイアウトの一例が示されている。図35は、図34のA−A’線に沿ったメモリセルアレイ10の断面図である。
以上の構成により第7実施形態に係る半導体記憶装置1は、第6実施形態と同様に、ワード線WLに対応する導電体を介して半導体基板50に熱を拡散させることが出来る。具体的には、第6実施形態に係る半導体記憶装置1は、例えばメモリセルアレイ10Aの選択メモリセルMCで発生した熱を半導体基板50に拡散させ、さらにこの熱を隣り合うメモリセルアレイ10Bに拡散させることが出来る。
次に、第8実施形態に係る半導体記憶装置1について説明する。第8実施形態は、半導体記憶装置1が複数のメモリセルアレイ10を備え、さらに半導体記憶装置1がメモリセルアレイ10近傍の温度を検知する回路を備えるものである。
以下に、図36を用いて第8実施形態に係る半導体記憶装置1の構成について説明する。図36は図27と同様の半導体記憶装置1のブロック図であり、温度検知回路60の回路構成が追加されて示されている。図36に示すように半導体記憶装置1は、温度検知回路60A及び60Bを備えている。
以上の構成により第8実施形態に係る半導体記憶装置1は、メモリセルアレイ10近傍の温度を監視することが出来る。例えば、ダイオード素子63A及び63Bが接続されている箇所の温度が変化すると、ダイオード素子63A及び63Bの閾値電圧−温度依存性に基づいて電圧降下が生じる。これに対して比較器62A及び62Bは、適切な参照電圧Vrefを設定することにより、ダイオード素子63A及び63Bの温度が所定の温度を超えたかどうか(例えば、高温状態か低温状態かどうか)を判定することが出来る。
次に、第9実施形態に係る半導体記憶装置1について説明する。第9実施形態は、半導体記憶装置1がマトリクス状に配置された複数のメモリセルアレイ10を備える場合において、各種動作が並列に実行されるメモリセルアレイ10の組み合わせに関するものである。
まず、図37を用いて第9実施形態に係る半導体記憶装置1の構成について説明する。図37には、第9実施形態に係る半導体記憶装置1のブロック図が示されている。図37に示すように半導体記憶装置1は、マトリクス状に配置されたメモリグループGR0〜GR3を備えている。
以上で説明した半導体記憶装置1においてコントローラ11は、複数のメモリセルアレイ10を制御して並列に各種動作を実行することが出来る。ここで、図38〜図40を用いて、第9実施形態においてコントローラ11が並列に各種動作を実行するメモリセルアレイ10の組み合わせについて説明する。図38〜図40には、第9実施形態に係る半導体記憶装置1においてコントローラ11が並列に各種動作を実行するメモリセルアレイ10の組み合わせの一例が示されている。
以上のように第9実施形態に係る半導体記憶装置1では、コントローラ11が複数のメモリセルアレイ10に対して並列にアクセスする場合に、各種動作を実行しないメモリセルアレイ10を設けている。
上記実施形態における半導体記憶装置1は、第1乃至第7導電体を含む。第1導電体<図4、31e>は、第1方向<図4、Y方向>に延伸している。第2導電体は、第1導電体の上方において第1方向と異なる第2方向<図4、X方向>に延伸している。第3及び第4導電体<図4、30o及び31o>は、第2導電体の上方において、第1方向に延伸し且つ第2方向に隣り合っている。第5導電体<図4、MCL>は可変抵抗部を含み、第1及び第2導電体間に設けられている。第6導電体<図4、MCU>は可変抵抗部を含み、第3及び第2導電体間に設けられている。第7導電体<図4、MCU>は可変抵抗部を含み、第4及び第2導電体間に設けられている。第1方向と第2方向とで形成される平面において、第5導電体の第2方向における中心が、第6導電体と第7導電体との間に位置する。
Claims (15)
- 第1のN型不純物拡散領域を含む第1のP型ウェル領域と、第2のN型不純物拡散領域を含む第2のP型ウェル領域とを有する基板と、
前記基板の上方において、第1方向に延伸した第1導電体と、
前記第1導電体の上方において、前記第1方向と異なる第2方向に延伸した第2導電体と、
前記第2導電体の上方において、前記第1方向に延伸し、且つ前記第2方向に隣り合う第3及び第4導電体と、
前記第1導電体と前記第2導電体との間に設けられ、可変抵抗部を含む第5導電体と、
前記第3導電体と前記第2導電体との間に設けられ、可変抵抗部を含む第6導電体と、
前記第4導電体と前記第2導電体との間に設けられ、可変抵抗部を含む第7導電体と、
前記第1のN型不純物拡散領域と前記第1導電体の一端部分との間を接続する第1コンタクトと、
前記第1導電体の他端部分と前記第2のN型不純物拡散領域との間を接続する第2コンタクトと、を備え、
前記第1方向と前記第2方向とで形成される平面において、前記第5導電体の前記第2方向における中心が、前記第6導電体と前記第7導電体との間に位置する、半導体記憶装置。 - 前記第5導電体は、前記第1及び第2方向と異なる第3方向における一端及び他端が、それぞれ前記第1及び第2導電体と接触し、
前記第6導電体の前記第3方向における一端及び他端が、それぞれ前記第3及び第2導電体と接触し、
前記第7導電体の前記第3方向における一端及び他端が、それぞれ前記第4及び第2導電体と接触している、
請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 前記第2導電体に電気的に接続することが可能なセンスアンプをさらに備え、
前記第1導電体、前記第3導電体、及び前記第4導電体は、各々がワード線として機能し、
前記第2導電体は、ビット線として機能し、
前記第5導電体、前記第6導電体、及び前記第7導電体は、各々がメモリセルとして機能する、
請求項1又は請求項2に記載の半導体記憶装置。 - 前記第5乃至第7導電体は、各々がダイオード部を含み、
前記第5導電体において、前記可変抵抗部の上方に前記ダイオード部が設けられ、
前記第6導電体において、前記ダイオード部の上方に前記可変抵抗部が設けられ、
前記第7導電体において、前記ダイオード部の上方に前記可変抵抗部が設けられている、
請求項3に記載の半導体記憶装置。 - 前記第1導電体、前記第3導電体、及び前記第4導電体のうちいずれか1つに電気的に接続することが可能なセンスアンプをさらに備え、
前記第1導電体、前記第3導電体、及び前記第4導電体は、各々がビット線として機能し、
前記第2導電体は、ワード線として機能し、
前記第5導電体、前記第6導電体、及び前記第7導電体は、各々がメモリセルとして機能する、
請求項1又は請求項2に記載の半導体記憶装置。 - 前記第5乃至第7導電体は、各々がダイオード部を含み、
前記第5導電体において、前記ダイオード部の上方に前記可変抵抗部が設けられ、
前記第6導電体において、前記可変抵抗部の上方に前記ダイオード部が設けられ、
前記第7導電体において、前記可変抵抗部の上方に前記ダイオード部が設けられている、
請求項5に記載の半導体記憶装置。 - 前記第3及び第4導電体の上方において、前記第2方向に延伸した第8導電体と、
前記第8導電体の上方において、前記第1方向に延伸した第9導電体と、
前記第3導電体と前記第8導電体との間に設けられ、可変抵抗部を含む第10導電体と、
前記第4導電体と前記第8導電体との間に設けられ、可変抵抗部を含む第11導電体と、
前記第8導電体と前記第9導電体との間に設けられ、可変抵抗部を含む第12導電体と、をさらに備え、
前記第1方向と前記第2方向とで形成される平面において、前記第5及び第12導電体と、前記第6及び第10導電体と、前記第7及び第11導電体とがそれぞれ重なり、
前記第12導電体の前記第2方向における中心が、前記第10導電体と前記第11導電体との間に位置する、
請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の半導体記憶装置。 - 前記第1導電体の下方において、前記第2方向に延伸し、且つ前記第1方向に隣り合う第8及び第9導電体と、
前記第1導電体と前記第8導電体との間に設けられ、可変抵抗部を含む第10導電体と、
前記第1導電体と前記第9導電体との間に設けられ、可変抵抗部を含む第11導電体と、をさらに備え、
前記第1方向と前記第2方向とで形成される平面において、前記第5導電体の前記中心が、前記第10導電体と前記第11導電体との間に位置する、
請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 前記第5導電体の前記第1及び第2方向と異なる第3方向における一端及び他端が、それぞれ前記第1及び第2導電体と接触し、
前記第6導電体の前記第3方向における一端及び他端が、それぞれ前記第3及び第2導電体と接触し、
前記第7導電体の前記第3方向における一端及び他端が、それぞれ前記第4及び第2導電体と接触し、
前記第10導電体の前記第3方向における一端及び他端が、それぞれ前記第1及び第8導電体と接触し、
前記第11導電体の前記第3方向における一端及び他端が、それぞれ前記第1及び第9導電体と接触している、
請求項8に記載の半導体記憶装置。 - 前記第2導電体、前記第8導電体、及び前記第9導電体のうちいずれか1つに電気的に接続することが可能なセンスアンプをさらに備え、
前記第1導電体、前記第3導電体、及び前記第4導電体は、各々がワード線として機能し、
前記第2導電体、前記第8導電体、及び前記第9導電体は、各々がビット線として機能し、
前記第5導電体、前記第6導電体、前記第7導電体、前記第10導電体、及び前記第11導電体は、各々がメモリセルとして機能する、
請求項8又は請求項9に記載の半導体記憶装置。 - 前記第5導電体、前記第6導電体、前記第7導電体、前記第10導電体、及び前記第11導電体は、各々がダイオード部を含み、
前記第5導電体において、前記可変抵抗部の上方に前記ダイオード部が設けられ、
前記第6導電体において、前記ダイオード部の上方に前記可変抵抗部が設けられ、
前記第7導電体において、前記ダイオード部の上方に前記可変抵抗部が設けられ、
前記第10導電体において、前記ダイオード部の上方に前記可変抵抗部が設けられ、
前記第11導電体において、前記ダイオード部の上方に前記可変抵抗部が設けられている、
請求項10に記載の半導体記憶装置。 - 前記可変抵抗部は、ゲルマニウム、テルル、アンチモンを含む、
請求項1乃至請求項11のいずれかに記載の半導体記憶装置。 - 前記第1のP型ウェル領域は、前記第1のN型不純物拡散領域と異なる第3のN型不純物拡散領域をさらに含み、
前記基板の上方において、前記第1導電体と離隔し、且つ前記第1方向に延伸した第13導電体と、
前記第13導電体の上方において、前記第2方向に延伸した第14導電体と、
前記第13導電体と前記第14導電体との間に設けられ、可変抵抗部を含む第15導電体と、
前記第3のN型不純物拡散領域と前記第13導電体の一端部分との間を接続する第3コンタクトと、
をさらに備える、
請求項1乃至請求項12のいずれかに記載の半導体記憶装置。 - 前記基板は、第4のN型不純物拡散領域を含む第3のP型ウェル領域をさらに有し、
前記第2導電体の一端部分と前記第4のN型不純物拡散領域との間を接続する第4コンタクトをさらに備える、
請求項1乃至請求項13のいずれかに記載の半導体記憶装置。 - 前記第3のP型ウェル領域は、前記第4のN型不純物拡散領域と異なる第5のN型不純物拡散領域をさらに含み、
前記基板の上方において、前記第1導電体と離隔し、且つ前記第1方向に延伸した第16導電体と、
前記第16導電体の上方において、前記第2導電体と離隔し、且つ前記第2方向に延伸した第17導電体と、
前記第16導電体と前記第17導電体との間に設けられ、可変抵抗部を含む第18導電体と、
前記第5のN型不純物拡散領域と前記第17導電体の一端部分との間を接続する第5コンタクトと、
をさらに備える、
請求項14に記載の半導体記憶装置。
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