JP2011035202A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】積層構造を有するメモリセルアレイの平坦性を保持する。
【解決手段】半導体記憶装置は、縦方向に積層され、かつ第1の方向に延在する複数の第1の選択線をそれぞれが有する複数の第1の選択線群WLと、第1の配線群WLと交互に積層され、かつ第1の方向に交差する第2の方向に延在する複数の第2の選択線をそれぞれが有する複数の第2の選択線群BLと、第1の選択線と第2の選択線との間に配置されたメモリセルMCとを具備する。複数の第1の選択線群WLのうち偶数層と奇数層とは、第2の方向にずれて配置される。
【選択図】 図2
【解決手段】半導体記憶装置は、縦方向に積層され、かつ第1の方向に延在する複数の第1の選択線をそれぞれが有する複数の第1の選択線群WLと、第1の配線群WLと交互に積層され、かつ第1の方向に交差する第2の方向に延在する複数の第2の選択線をそれぞれが有する複数の第2の選択線群BLと、第1の選択線と第2の選択線との間に配置されたメモリセルMCとを具備する。複数の第1の選択線群WLのうち偶数層と奇数層とは、第2の方向にずれて配置される。
【選択図】 図2
Description
本発明は、半導体記憶装置に係り、例えば複数の記憶素子が積層された半導体記憶装置に関する。
不揮発性半導体メモリは、PC(パーソナルコンピュータ)、携帯電話、デジタルカメラ、PDA(Personal Digital Assistant)などの電子機器の記憶装置として幅広く利用されている。この不揮発性半導体メモリとして、可変抵抗素子をメモリセルに用いたPCRAM(Phase-Change Random Access Memory)、ReRAM(Resistive RAM)、或いはMRAM(Magnetic RAM)などが開発されている。
ReRAMに利用される可変抵抗素子には、2種の動作モードがあることが知られており、一つは、印加電圧の極性を切り替えることにより高抵抗状態と低抵抗状態とを設定するものであり、これはバイポーラ型といわれる。もう一つは、印加電圧の極性を切り替えることなく、電圧値及び電圧印加時間を制御することにより、高抵抗状態と低抵抗状態とを設定するものであり、これはユニポーラ型といわれる。
ユニポーラ型を用いた場合、ビット線とワード線との交差領域に、直列接続された可変抵抗素子とダイオードなどの整流素子とを配置することでメモリセルアレイを構成することができる。さらに、メモリセルアレイを三次元に積層することで、アレイ面積を増加させることなく、記憶容量を増やすことができる(特許文献1を参照)。
このような三次元構造のメモリセルアレイでは、ビット線BLとこれに直交するワード線とが規則正しく配設されるため、メモリセルは縦方向の同じ位置に配置されることになる。このため、メモリセルが配置される領域とその他の領域とで平坦性を保持することが難しくなり、この平坦性のずれが積層するごとに重畳されてしまう。この結果、メモリセルや配線の形状が歪み、最終的には、積層構造を製造することができなくなってしまう。
本発明は、積層構造を有するメモリセルアレイの平坦性を保持することで、メモリセルの特性バラツキを抑制することが可能な半導体記憶装置を提供する。
本発明の一態様に係る半導体記憶装置は、縦方向に積層され、かつ第1の方向に延在する複数の第1の選択線をそれぞれが有する複数の第1の選択線群と、前記第1の配線群と交互に積層され、かつ前記第1の方向に交差する第2の方向に延在する複数の第2の選択線をそれぞれが有する複数の第2の選択線群と、前記第1の選択線と前記第2の選択線との間に配置されたメモリセルとを具備し、前記複数の第1の選択線群のうち偶数層と奇数層とは、前記第2の方向にずれて配置される。
本発明の一態様に係る半導体記憶装置は、縦方向に積層され、かつ第1の方向に延在する複数の第1の選択線をそれぞれが有する複数の第1の選択線群と、前記第1の配線群と交互に積層され、かつ前記第1の方向に交差する第2の方向に延在する複数の第2の選択線をそれぞれが有する複数の第2の選択線群と、前記第1の選択線と前記第2の選択線との間に配置されたメモリセルとを具備し、前記複数の第1の選択線群のうち偶数層と奇数層とは、前記第2の方向にずれて配置され、前記複数の第2の選択線群のうち偶数層と奇数層とは、前記第1の方向にずれて配置される。
本発明によれば、積層構造を有するメモリセルアレイの平坦性を保持することで、メモリセルの特性バラツキを抑制することが可能な半導体記憶装置を提供することができる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の説明において、同一の機能及び構成を有する要素については、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係る抵抗変化メモリ(半導体記憶装置)のチップ構成を示すレイアウト図である。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る抵抗変化メモリ(半導体記憶装置)のチップ構成を示すレイアウト図である。
データを記憶する役割を担うメモリ部11は、複数のブロック12から構成されている。各ブロック12は、メモリセルアレイ20、メモリセルアレイ20に配設されたビット線BLを選択及び制御するBL制御回路21、メモリセルアレイ20に配設されたワード線WLを選択及び制御するWL制御回路22を備えている。BL制御回路21は、メモリセルアレイ20のY方向両側にそれぞれ設けられている。WL制御回路22は、メモリセルアレイ20のX方向両側にそれぞれ設けられている。
グローバルWLデコーダ13は、複数のグローバルWL(図示せず)に接続されており、グローバルWLの選択動作を行う。グローバルWLは、メモリ部11に配設されており、WL制御回路22に接続されている。1本のグローバルWLは、ブロック12に含まれる所定数のワード線WL(ローカルWL)、例えば16本のワード線WLに対応して設けられている。データの書き込み又は読み出し動作時には、WL制御回路22によって16本のワード線WLのうちの1本が1本のグローバルWLに接続される。このような階層ワード線方式を用いることで、複数のブロック12で周辺回路14を共有することが可能となる。
周辺回路14は、グローバルWLデコーダ13、及び各BL制御回路21に接続されている。周辺回路14は、抵抗変化メモリの各種動作を制御するステートマシン、データの書き込みや読み出し時に使用する各種電圧を生成する電圧生成回路、外部からのコマンドを処理するコマンドインタフェース、入出力データを一時的に格納するデータバッファ、アドレスを一時的に格納するアドレスレジスタなどを含む。パッド15は、複数の電極を備えており、このパッド15を介して外部回路と抵抗変化メモリとが電気的に接続される。
図2は、各ブロック12に含まれるメモリセルアレイ20の構成を示す斜視図である。メモリセルアレイ20は、二次元に配列されたメモリセルユニットが縦方向(Z軸方向)に複数積層されて構成されている。各メモリセルMCは、Y方向に延在するビット線(第1の選択線)BLとX方向に延在するワード線(第2の選択線)WLとの交差領域に配置され、これらに電気的に接続されている。すなわち、本実施形態の抵抗変化メモリは、クロスポイント型の抵抗変化メモリであるとともに、三次元構造を有する抵抗変化メモリである。
メモリセルアレイ20は、積層された複数レベルの配線層を備えている。図2では、一例として、第1乃至第9レベル配線層、すなわちメモリセルMCを8層積層した例について示しているが、積層数については特に制限はなく、製造方法や周辺回路の制約に起因して積層数が決定される。
第1レベル配線層には、それぞれがY方向に延在する複数のビット線からなるビット線群BL1が配設されている。第2レベル配線層には、それぞれがX方向に延在する複数のワード線からなるワード線群WL1が配設されている。同様に、第3乃至第9レベル層には、ビット線群BL2〜BL5とワード線群WL2〜WL4とが交互に配置されている。すなわち、メモリセルアレイ20には、複数のビット線群BLと複数のワード線群WLとが交互に積層されている。
以下の説明において、同一レベル配線層に含まれる複数のビット線、すなわち一層のビット線群を纏めてBLmと表記し、ビット線群BLmに含まれる複数のビット線をBLm_1、BLm_2、BLm_3のように表記する。同様に、同一レベル配線層に含まれる複数のワード線、すなわち一層のワード線群を纏めてWLnと表記し、ワード線群WLnに含まれる複数のワード線をWLn_1、WLn_2、WLn_3のように表記する。
図3は、1個のメモリセルMCの構成を示す断面図である。メモリセルMCは、ビット線BLとワード線WLとの間に、記憶素子としての可変抵抗素子VRと、選択素子(例えばダイオード)Dとが直列に接続されて構成されている。ビット線BLを構成する配線材料としては、例えば、タングステン(W)が挙げられる。ビット線BL上には、ダイオードDを構成するシリコン(Si)がビット線BLの金属に拡散するのを防ぐために、バリア膜30が設けられている。バリア膜30としては、例えば、窒化チタン(TiN)が挙げられる。バリア膜30上には、シリコン(Si)を半導体材料として形成されたダイオードDが設けられている。ダイオードDとしては、例えば、N型半導体層、P型半導体層、及びこれらに挟まれた真性(intrinsic)半導体層(I層)からなるPINダイオードが用いられる。
ダイオードD上には、可変抵抗素子VRが設けられている。可変抵抗素子VRは、下部電極31、抵抗変化膜32、上部電極33が積層されて構成されている。下部電極31は、ダイオードDを構成するシリコン(Si)が抵抗変化膜32に拡散するのを防ぐためのバリア膜としての機能も果たす。下部電極31及び上部電極33としては、例えば、窒化チタン(TiN)が挙げられる。抵抗変化膜32としては、例えば、遷移金属酸化物が用いられ、具体的には、NiOx、CoOx、TiOxなどが挙げられる。
可変抵抗素子VRは、電圧が印加又は電流が供給されることにより、少なくとも2値の抵抗値を、室温にて双安定状態として取り得る。この2つの安定な抵抗値を書き込み及び読み出すことにより、少なくとも2値のメモリ動作を実現できる。2値のメモリ動作をさせる場合、例えば、抵抗変化膜32の低抵抗状態を“1”、高抵抗状態を“0”に対応付ける。高抵抗状態から低抵抗状態へと変化させることをセット、逆をリセットと呼ぶ。
可変抵抗素子VR上には、この可変抵抗素子VRを保護し、かつCMP(chemical mechanical polishing)工程時のストッパーとして機能する導電性の保護膜34が設けられている。保護膜34としては、例えば、タングステン(W)が挙げられる。保護膜34上には、ワード線WLが設けられている。ワード線WLを構成する配線材料としては、例えば、タングステン(W)が挙げられる。隣接するメモリセルMCは、これらの周囲に設けられた層間絶縁層35によって絶縁されている。層間絶縁層35としては、例えば、ポリシラザン(polysilazanes)が挙げられる。このようにして、メモリセルMCが構成される。
図4は、メモリセルアレイ20の一部を抽出して示した回路図であり、ビット線群BL1、ワード線群WL1、及びこれらに接続されたメモリセルMCを示している。なお、図4には、ビット線群BL1のうちの3本のビット線BL1_1〜BL1_3と、ワード線群WL1のうちの3本のワード線WL1_1〜WL1_3とを示している。
前述したように、メモリセルMCは、可変抵抗素子VRとダイオードDとが直列に接続されて構成されている。可変抵抗素子VRの一端は、ワード線WL1_nに接続されている。可変抵抗素子VRの他端は、ダイオードDのカソードに接続されている。ダイオードDのアノードは、ビット線BL1_mに接続されている。なお、ダイオードDの接続関係は、抵抗変化メモリの周辺回路構成や、抵抗変化膜32の構成に応じて適宜設定される。このようにして、クロスポイント型の抵抗変化メモリが構成される。
ここで、図2に示すように、ビット線群BL2は、これにワード線群WL1を介して隣接するビット線群BL1に対して、X方向にずれて配置されている。そして、この関係を継続したまま、ビット線群BLが複数積層される。すなわち、奇数層のビット線群と偶数層のビット線群とは、X方向にずれて配置されている。このずらす距離としては、例えば、同一レベル配線層内のビット線のピッチの半分である。なお、ピッチとは、1本のビット線BLの幅と、ビット線BL間の距離とを合わせた長さである。本実施形態では、ビット線BLの幅と、ビット線BL間の距離とはそれぞれ、ハーフピッチである。
ワード線群WL2は、これにビット線群BL2を介して隣接するワード線群WL1に対して、Y方向にずれて配置されている。そして、この関係を継続したまま、ワード線群WLが複数積層される。すなわち、奇数層のワード線群と偶数層のワード線群とは、Y方向にずれて配置されている。このずらす距離としては、例えば、同一レベル配線層内のワード線のピッチの半分である。本実施形態では、ワード線WLの幅と、ワード線WL間の距離とはそれぞれ、ハーフピッチである。
図5は、メモリセルアレイ20の俯瞰図である。図6は、メモリセルアレイ20をX方向から見た側面図である。図6において、メモリセルMCには番号を付している。同じレベルに配置された、すなわち同じビット線群及びワード線群に接続されたメモリセルMCには同じ番号を付しており、さらに俯瞰図において同じ位置に配置されたメモリセルMCにも同じ番号を付している。図5及び図6の番号は、共通のメモリセルMCを表している。
まず、図5から、奇数層のビット線群BL1,3,5と偶数層のビット線群BL2,4とは、X方向にハーフピッチずれていることが確認できる。具体的には、奇数層のビット線群BL1,3,5は、図5の俯瞰図において同じ位置に配置されている。偶数層のビット線群BL2,4とは、図5の俯瞰図において同じ位置に配置されている。
同様に、奇数層のワード線群WL1,3と偶数層のワード線群WL2,4とは、Y方向にハーフピッチずれていることが確認できる。具体的には、奇数層のワード線群WL1,3は、図5の俯瞰図において同じ位置に配置されている。偶数層のワード線群WL2,4は、図5の俯瞰図において同じ位置に配置されている。
また、図5及び図6から、メモリセルアレイ20には、メモリセルMCが均等に配置されている。一方、ビット線同士、及びワード線同士が同じパターンで積層される従来のメモリでは、1個のメモリセルの周囲には、他のメモリセルが配置されない、すなわちメモリセルが均等に配置されない。このように、本実施形態では、メモリセルMCが均等に配置されるため、メモリセルMCを複数積層した場合でも、各層の平坦性が保たれる。このため、形状ばらつきの少ない、かつ歪みの少ないメモリセルアレイ20を構成することができる。
(ビット線及びワード線の引き出し配線の構成)
次に、ビット線BL及びワード線WLをそれぞれBL制御回路21及びWL制御回路22へ引き出すための引き出し配線の構成について説明する。図7は、引き出し配線の構成を示す斜視図である。なお、図7は、メモリセルを6層分積層した構成、すなわちビット線BL1〜BL4までの間の積層構成について示している。
次に、ビット線BL及びワード線WLをそれぞれBL制御回路21及びWL制御回路22へ引き出すための引き出し配線の構成について説明する。図7は、引き出し配線の構成を示す斜視図である。なお、図7は、メモリセルを6層分積層した構成、すなわちビット線BL1〜BL4までの間の積層構成について示している。
同じレベル配線層に含まれる複数のビット線BLは、メモリセルアレイ20のY方向両側に交互に引き出されている。すなわち、同じレベル配線層に含まれる複数のビット線BLのうち半分(例えば奇数番目のビット線BL)は、メモリセルアレイ20のY方向に沿った一方の側に引き出され、残りの半分(例えば偶数番目のビット線BL)は、メモリセルアレイ20のY方向に沿った他方の側に引き出されている。この時、ビット線BLは、上の層に行くに従って、より外側に引き出される。
各ビット線BLの引き出された側の端部は、Z方向(垂直方向)に延在するビア配線40に接続されている。ビア配線40は、半導体基板まで延在しており、半導体基板に形成された選択トランジスタTrの電流経路の一端に接続されている。選択トランジスタTrの電流経路の他端は、同じく半導体基板に形成されたBL制御回路21に接続される。なお、図7には、一方の側のビア配線40及び引き出されたビット線BLの構成について図示しているが、他方の側のビア配線40及びビット線BLについても同じ構成である。
同じレベル配線層に含まれる複数のワード線WLは、メモリセルアレイ20のX方向両側に交互に引き出されている。すなわち、同じレベル配線層に含まれる複数のワード線WLのうち半分(例えば奇数番目のワード線WL)は、メモリセルアレイ20のX方向に沿った一方の側に引き出され、残りの半分(例えば偶数番目のワード線WL)は、メモリセルアレイ20のX方向に沿った他方の側に引き出されている。この時、ワード線WLは、上の層に行くに従って、より外側に引き出される。
各ワード線WLの引き出された側の端部は、Z方向(垂直方向)に延在するビア配線41に接続されている。ビア配線41は、半導体基板まで延在しており、半導体基板に形成された選択トランジスタTrの電流経路の一端に接続されている。選択トランジスタTrの電流経路の他端は、同じく半導体基板に形成されたWL制御回路22に接続される。なお、図7には、一方の側のビア配線41及び引き出されたワード線WLの構成について図示しているが、他方の側のビア配線41及びワード線WLについても同じ構成である。
以上詳述したように第1の実施形態では、ビット線BLとワード線WLとの交差領域にメモリセルMCが配置されたクロスポイント型の抵抗変化メモリにおいて、二次元に配列されたメモリセルユニットを複数積層する。この時、ビット線群BLとワード線群WLとは、交互に積層される。そして、奇数層のビット線群と偶数層のビット線群とを、ハーフピッチずれて配置するようにしている。同様に、奇数層のワード線群と偶数層のワード線群とを、ハーフピッチずれて配置するようにしている。
従って第1の実施形態によれば、メモリセルMCを均等に配置することが可能となり、メモリセルMCを複数縦積みした場合でも、各層の平坦性が保持できる。これにより、メモリセルMCや配線の歪みが少なく、また、メモリセルMCや層間絶縁膜に欠陥の少ない抵抗変化メモリを実現することができる。結果として、特性バラツキの少ないメモリセルMCを備えた抵抗変化メモリを構成することができる。
また、三次元構造の各層の平坦性を保持できるため、より多くの層を積層してメモリセルアレイ20を構成することができる。これにより、より記録密度の高い抵抗変化メモリを実現することができる。
(第2の実施形態)
第2の実施形態は、ワード線群のみ奇数層と偶数層とをずらして配置するようにしている。すなわち、積層されたビット線群は縦方向の同じ位置に配置し、一方、積層されたワード線群に対しては、奇数層のワード線群と偶数層のワード線群とを、例えばハーフピッチずらして配置するようにしている。
第2の実施形態は、ワード線群のみ奇数層と偶数層とをずらして配置するようにしている。すなわち、積層されたビット線群は縦方向の同じ位置に配置し、一方、積層されたワード線群に対しては、奇数層のワード線群と偶数層のワード線群とを、例えばハーフピッチずらして配置するようにしている。
図8は、第2の実施形態に係るメモリセルアレイ20の構成を示す斜視図である。メモリセルアレイ20には、Z方向に向かって、ビット線群BLとワード線群WLとが交互に積層されている。図8では、一例として、メモリセルMCを8層積層した例について示しているが、積層数については特に制限はなく、製造方法や周辺回路の制約に起因して積層数が決定される。各メモリセルMCは、Y方向に延在するビット線BLとX方向に延在するワード線WLとの交差領域に配置され、これらに電気的に接続されている。
ここで、図8に示すように、ワード線群WL2は、これにビット線群BL2を介して隣接するワード線群WL1に対して、Y方向にずれて配置されている。そして、この関係を継続したまま、ワード線群WLが複数積層される。すなわち、奇数層のワード線群と偶数層のワード線群とは、Y方向にずれて配置されている。このずらす距離としては、例えば、同一レベル配線層内のワード線のピッチの半分である。なお、ワード線WLの幅と、ワード線WL間の距離とはそれぞれ、ハーフピッチである。
一方、複数のビット線群BLは、縦方向の同じ位置に配置されており、すなわち、ワード線群とは異なり、奇数層のビット線群BLと偶数層のビット線群BLとはずれて配置されていない。
図9は、メモリセルアレイ20の俯瞰図である。図10は、メモリセルアレイ20をX方向から見た側面図である。図10において、メモリセルMCには番号を付している。同じレベルに配置された、すなわち同じビット線群及びワード線群に接続されたメモリセルMCには同じ番号を付しており、さらに俯瞰図において同じ位置に配置されたメモリセルMCにも同じ番号を付している。図9及び図10の番号は、共通のメモリセルMCを表している。
図9及び図10から、奇数層のワード線群WL1,3と偶数層のワード線群WL2,4とは、Y方向にハーフピッチずれていることが確認できる。具体的には、奇数層のワード線群WL1,3は、図9の俯瞰図において同じ位置に配置されている。偶数層のワード線群WL2,4は、図9の俯瞰図において同じ位置に配置されている。一方、ビット線群BL1〜BL5は、縦方向の同じ位置に配置されており、具体的には図9の俯瞰図において同じ位置に配置されている。
このようにワード線群WLの配置を変更することで、メモリセルアレイ20には、メモリセルMCがY方向に沿って均等に配置される。これにより、メモリセルMCを複数積層した場合でも、各層の平坦性が保たれるため、形状ばらつきの少ない、かつ歪みの少ないメモリセルアレイ20を構成することができる。
また、ワード線群WLのみ配置を変更し、ビット線群BLについては配置を変更していない。これにより、第1の実施形態と比べて、製造コストを低減することができる。その他の効果は、第1の実施形態と同じである。
(第3の実施形態)
第3の実施形態は、ビット線群のみ奇数層と偶数層とをずらして配置するようにしている。すなわち、積層されたワード線群は縦方向の同じ位置に配置し、一方、積層されたビット線群に対しては、奇数層のビット線群と偶数層のビット線群とを、例えばハーフピッチずらして配置するようにしている。
第3の実施形態は、ビット線群のみ奇数層と偶数層とをずらして配置するようにしている。すなわち、積層されたワード線群は縦方向の同じ位置に配置し、一方、積層されたビット線群に対しては、奇数層のビット線群と偶数層のビット線群とを、例えばハーフピッチずらして配置するようにしている。
図11は、第3の実施形態に係るメモリセルアレイ20の構成を示す斜視図である。メモリセルアレイ20には、Z方向に向かって、ビット線群BLとワード線群WLとが交互に積層されている。図11では、一例として、メモリセルMCを8層積層した例について示しているが、積層数については特に制限はなく、製造方法や周辺回路の制約に起因して積層数が決定される。各メモリセルMCは、Y方向に延在するビット線BLとX方向に延在するワード線WLとの交差領域に配置され、これらに電気的に接続されている。
ここで、図11に示すように、ビット線群BL2は、これにワード線群WL1を介して隣接するビット線群BL1に対して、X方向にずれて配置されている。そして、この関係を継続したまま、ビット線群BLが複数積層される。すなわち、奇数層のビット線群と偶数層のビット線群とは、X方向にずれて配置されている。このずらす距離としては、例えば、同一レベル配線層内のビット線のピッチの半分である。なお、ビット線BLの幅と、ビット線BL間の距離とはそれぞれ、ハーフピッチである。
一方、複数のワード線群WLは、縦方向の同じ位置に配置されており、すなわち、ビット線群とは異なり、奇数層のワード線群WLと偶数層のワード線群WLとはずれて配置されていない。
図12は、メモリセルアレイ20の俯瞰図である。図13は、メモリセルアレイ20をY方向から見た側面図である。図13において、メモリセルMCには番号を付している。同じレベルに配置された、すなわち同じビット線群及びワード線群に接続されたメモリセルMCには同じ番号を付しており、さらに俯瞰図において同じ位置に配置されたメモリセルMCにも同じ番号を付している。図12及び図13の番号は、共通のメモリセルMCを表している。
図12及び図13から、奇数層のビット線群BL1,3,5と偶数層のビット線群BL2,4とは、Y方向にハーフピッチずれていることが確認できる。具体的には、奇数層のビット線群BL1,3,5は、図12の俯瞰図において同じ位置に配置されている。偶数層のビット線群BL2,4は、図12の俯瞰図において同じ位置に配置されている。一方、ワード線群WL1〜WL4は、縦方向の同じ位置に配置されており、具体的には図12の俯瞰図において同じ位置に配置されている。
このようにビット線群BLの配置を変更することで、メモリセルアレイ20には、メモリセルMCがX方向に沿って均等に配置される。これにより、メモリセルMCを複数積層した場合でも、各層の平坦性が保たれるため、形状ばらつきの少ない、かつ歪みの少ないメモリセルアレイ20を構成することができる。
また、ビット線群BLのみ配置を変更し、ワード線群WLについては配置を変更していない。これにより、第1の実施形態と比べて、製造コストを低減することができる。その他の効果は、第1の実施形態と同じである。
なお、上述した各実施形態において、抵抗変化メモリとしては、ReRAM以外に、PCRAM、MRAMなどを用いることが可能である。さらに、上記各実施形態は、クロスポイント型のメモリ全般に適用可能であり、その適用範囲は抵抗変化メモリに限定されるものではない。
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で、構成要素を変形して具体化できる。また、実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を構成することができる。例えば、実施形態に開示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよいし、異なる実施形態の構成要素を適宜組み合わせてもよい。
WL…ワード線、BL…ビット線、MC…メモリセル、VR…可変抵抗素子、D…ダイオード、Tr…選択トランジスタ、11…メモリ部、12…ブロック、13…グローバルWLデコーダ、14…周辺回路、15…パッド、20…メモリセルアレイ、21…BL制御回路、22…WL制御回路、30…バリア膜、31…下部電極、32…抵抗変化膜、33…上部電極、34…保護膜、35…層間絶縁層、40,41…ビア配線。
Claims (5)
- 縦方向に積層され、かつ第1の方向に延在する複数の第1の選択線をそれぞれが有する複数の第1の選択線群と、
前記第1の配線群と交互に積層され、かつ前記第1の方向に交差する第2の方向に延在する複数の第2の選択線をそれぞれが有する複数の第2の選択線群と、
前記第1の選択線と前記第2の選択線との間に配置されたメモリセルと、
を具備し、
前記複数の第1の選択線群のうち偶数層と奇数層とは、前記第2の方向にずれて配置されることを特徴とする半導体記憶装置。 - 縦方向に積層され、かつ第1の方向に延在する複数の第1の選択線をそれぞれが有する複数の第1の選択線群と、
前記第1の配線群と交互に積層され、かつ前記第1の方向に交差する第2の方向に延在する複数の第2の選択線をそれぞれが有する複数の第2の選択線群と、
前記第1の選択線と前記第2の選択線との間に配置されたメモリセルと、
を具備し、
前記複数の第1の選択線群のうち偶数層と奇数層とは、前記第2の方向にずれて配置され、
前記複数の第2の選択線群のうち偶数層と奇数層とは、前記第1の方向にずれて配置されることを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記偶数層と前記奇数層とは、選択線のピッチの半分ずれていることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体記憶装置。
- 選択線の幅及び選択線間の距離はそれぞれ、ピッチの半分であることを特徴とする請求項3に記載の半導体記憶装置。
- 前記メモリセルは、2つの抵抗状態を取り得る可変抵抗素子と、前記可変抵抗素子に直列に接続された選択素子とを含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体記憶装置。
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