JP4468414B2 - 抵抗変化メモリ装置 - Google Patents
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Description
Claims (6)
- 半導体基板と、
前記半導体基板上に、互いに交差するビット線及びワード線とこれらビット線及びワード線の交差部に接続された抵抗変化型メモリセルとを有するセルアレイが前記ビット線及びワード線と直交する方向に積層配列された三次元セルアレイからなる複数のセルアレイブロックと、
前記半導体基板に形成されたセンスアンプアレイとを備え、
前記各セルアレイブロックのビット線は、当該セルアレイブロックの所定の辺に設けられた垂直配線を介して前記センスアンプアレイと接続され、
前記ビット線方向に隣接する第1及び第2のセルアレイブロックの所定層のビット線が対をなして選択されて、前記対をなすビット線が前記第1及び第2のセルアレイブロックの対峙する辺の一方に設けられた垂直配線と他方に設けられた垂直配線とをそれぞれ介して前記センスアンプアレイの1つのセンスアンプの差動入力端に接続される
ことを特徴とする抵抗変化メモリ装置。 - 前記第1及び第2のセルアレイブロックの各層にそれぞれ、メモリセルのデータをセンスする際の参照抵抗値を持つ参照セルが配置され、データ読み出し時、一方のセルアレイブロックの所定層のメモリセルが選択されたとき、他方のセルアレイブロックの参照セルが同時に選択され、それらのデータが対をなすビット線を介して前記センスアンプアレイの一つのセンスアンプに入力される
ことを特徴とする請求項1記載の抵抗変化メモリ装置。 - 前記参照セルは、高抵抗状態にあるメモリセルを複数個並列接続して前記参照抵抗値を得るものである
ことを特徴とする請求項2記載の抵抗変化メモリ装置。 - 前記ビット線方向に並ぶ複数のセルアレイブロックについて、前記半導体基板には、各セルアレイブロックの下にそれぞれ2系統のセンスアンプアレイと、各層のビット線を所定のセンスアンプアレイに接続するためのマルチプレクサ回路とが形成され、
読み出し時、隣接する第1乃至第3のセルアレイブロックに着目して、第2のセルアレイブロックの所定層のワード線が選択されたとき、第1及び第3のセルアレイブロックの参照セルを駆動する2参照ワード線が同時に選択され、
前記選択ワード線により駆動される隣接する2メモリセルのデータがそれぞれ読み出される第2のセルアレイブロックの第1及び第2のビット線と、前記2参照ワード線により駆動される2参照セルのデータがそれぞれ読み出される第1及び第3のセルアレイブロックの第3及び第4のビット線とが、前記マルチプレクサ回路により決まる組み合わせで2ビット線対を構成して、第2のセルアレイブロック下の2系統のセンスアンプアレイと、第1及び第3のセルアレイブロック下のそれぞれ第2のセルアレイブロックに近い側のセンスアンプアレイの計4系統のセンスアンプアレイから選択される2系統のセンスアンプアレイに差動入力される
ことを特徴とする請求項2記載の抵抗変化メモリ装置。 - 前記第1及び第2のビット線は、第2のセルアレイブロックの互いに逆の端部に引き出されてビア配線とマルチプレクサ回路を介して、二つのセンスアンプアレイの差動入力端の一方に接続され、前記第3及び第4のビット線は、それぞれ第1及び第3のセルアレイブロックの第2のセルアレイブロック側の端部に引き出されて、ビア配線とマルチプレクサ回路を介して前記二つのセンスアンプアレイの他方の差動入力端に接続される
ことを特徴とする請求項4記載の抵抗変化メモリ装置。 - 前記セルアレイブロックの各層セルアレイは、ビット線及びワード線を隣接セルアレイで共有して積層され、かつ
積層方向の偶数番目のビット線及び奇数番目のビット線はそれぞれ、セルアレイブロック端部でビア配線により共通化され、あるセルアレイブロックからの共通化ビット線をこれに隣接するセルアレイブロック下のセンスアンプアレイに交差接続するために、前記マルチプレクサ回路に多層メタル配線が用いられる
ことを特徴とする請求項4記載の抵抗変化メモリ装置。
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