JP6623508B2 - 光源及びその製造方法、実装方法 - Google Patents

光源及びその製造方法、実装方法 Download PDF

Info

Publication number
JP6623508B2
JP6623508B2 JP2014199677A JP2014199677A JP6623508B2 JP 6623508 B2 JP6623508 B2 JP 6623508B2 JP 2014199677 A JP2014199677 A JP 2014199677A JP 2014199677 A JP2014199677 A JP 2014199677A JP 6623508 B2 JP6623508 B2 JP 6623508B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic substrate
metal bumps
substrate
mounting
light source
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014199677A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2016072408A (ja
Inventor
拓司 細谷
拓司 細谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nichia Corp
Original Assignee
Nichia Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nichia Corp filed Critical Nichia Corp
Priority to JP2014199677A priority Critical patent/JP6623508B2/ja
Priority to US14/869,499 priority patent/US9520544B2/en
Publication of JP2016072408A publication Critical patent/JP2016072408A/ja
Priority to US15/342,778 priority patent/US10833235B2/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6623508B2 publication Critical patent/JP6623508B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/64Heat extraction or cooling elements
    • H01L33/641Heat extraction or cooling elements characterized by the materials
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/10Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L24/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/075Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L33/00
    • H01L25/0753Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L33/00 the devices being arranged next to each other
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/483Containers
    • H01L33/486Containers adapted for surface mounting
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/52Encapsulations
    • H01L33/56Materials, e.g. epoxy or silicone resin
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/62Arrangements for conducting electric current to or from the semiconductor body, e.g. lead-frames, wire-bonds or solder balls
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/13099Material
    • H01L2224/131Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/13138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/13144Gold [Au] as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/13099Material
    • H01L2224/131Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/13138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/13147Copper [Cu] as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/12Passive devices, e.g. 2 terminal devices
    • H01L2924/1204Optical Diode
    • H01L2924/12041LED
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/35Mechanical effects
    • H01L2924/351Thermal stress
    • H01L2924/3512Cracking
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2933/00Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2933/0008Processes
    • H01L2933/0033Processes relating to semiconductor body packages
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2933/00Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2933/0008Processes
    • H01L2933/0033Processes relating to semiconductor body packages
    • H01L2933/005Processes relating to semiconductor body packages relating to encapsulations
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2933/00Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2933/0008Processes
    • H01L2933/0033Processes relating to semiconductor body packages
    • H01L2933/0066Processes relating to semiconductor body packages relating to arrangements for conducting electric current to or from the semiconductor body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2933/00Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2933/0008Processes
    • H01L2933/0033Processes relating to semiconductor body packages
    • H01L2933/0075Processes relating to semiconductor body packages relating to heat extraction or cooling elements

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)

Description

本発明は、光源及びその製造方法、実装方法に関する。
実装基板に支持基板が載置された半導体装置が知られている(例えば、特許文献1及び2参照)。
特許文献1には、バンプ導体が接合されたセラミックス多層配線基板が開示されている。バンプ導体は半田ボールが用いられている。
特許文献2には、半導体チップと、前記半導体チップを支持する第1のチップ支持基板と、前記第1のチップ支持基板が形成された第2のチップ支持基板と、が実装基板上に載置されることが開示されている。第2のチップ支持基板はバンプ電極が形成され、第2のチップ支持基板は、バンプ電極を介して、実装基板に接続される。バンプ電極は、半田ボールが用いられている。
特開2001−210746号公報 特開2004−259798号公報
しかし、半田ボールを用いたバンプでは、セラミックス多層配線基板と実装基板との接合が不十分であった。
そこで、セラミックス基板と実装基板との接合強度の高い光源及びその製造方法を提供する。
本実施形態に係る光源は、実装基板と、前記実装基板上に金、銅、金合金若しくは銅合金である複数の金属バンプを用いて接合される、発光素子が実装されたセラミックス基板と、を有する。
本実施形態に係る光源の製造方法は、実装基板に、複数の金属バンプを形成する工程と、前記実装基板上に発光素子が実装されたセラミックス基板を載置し、前記金属バンプを介して前記実装基板と前記セラミックス基板とを接合する工程と、を有する。
本実施形態に係る実装方法は、実装基板に複数の金属バンプを形成し、前記実装基板上にセラミックス基板を載置し、前記金属バンプを介して前記実装基板と前記セラミックス基板とを接合する。
上記の構成にすることにより、セラミックス基板と実装基板との接合強度の高い光源及びその製造方法を提供する。
第1の実施形態に係る光源を示す概略斜視図である。 第1の実施形態に係る光源を示す概略断面図である。 第1の実施形態に係る光源の製造工程を示す概略断面図である。 第1の実施形態に係る光源の製造工程を示す概略断面図である。 第1の実施形態に係る光源の製造工程を示す概略断面図である。 第1の実施形態に係る光源の製造工程を示す概略断面図である。 第2の実施形態に係る光源の製造工程を示す概略断面図である。 第3、第4の実施形態に係る光源の製造工程を示す概略断面図である。 実施例1に係る光源を示す概略平面図である。 実施例1に係る光源を示す概略断面図である。 実施例1に係る光源を示す概略側面図である。 実施例1に係る光源を示す概略側面図である。 実施例1に係る光源を示す概略背面図である。
以下、第1の実施形態に係る光源及びその製造方法を説明する。ただし、本発明は、この実施の形態及び実施例に限定されない。
説明上、実装基板に発光素子が載置されている側を上面側若しくは平面側と呼ぶ。
<第1の実施形態>
第1の実施形態に係る光源について図面を用いて説明する。図1は、第1の実施形態に係る光源を示す概略斜視図である。図2は、第1の実施形態に係る光源を示す概略断面図である。
光源は、実装基板10と、金属バンプ20と、セラミックス基板30と、発光素子40と、封止部材50とを有する。
実装基板10は略直方体であり、底面と側面を持つカップ状を成している。カップは平面視において角部に丸みを帯びた四角形を成す。実装基板10は銅材と熱可塑性樹脂とで構成されている。熱可塑性樹脂はポリフタルアミド、液晶ポリマー、ポリブチレンテレフタレート(PBT)、不飽和ポリエステル等も使用することができる。また、実装基板10は銅材とセラミックスとで構成することもできる。ただし、実装基板10は平板状であってもよい。実装基板10は、銅若しくは銅合金のみで形成されていても良い。また実装基板10はガラスエポキシ基板やエポキシ基板、金属基板を用いることができる。実装基板10は所定の箇所のみ金属を配置して、それ以外に絶縁物を配置することで外部電極と電気的接続を採ることができる。
セラミックス基板30には発光素子40が実装されている。発光素子40の実装はフェイスアップでもフェイスダウンでも良い。発光素子40は窒化物半導体が好ましいが、それ以外の半導体を使用することもできる。
セラミックス基板30はアルミナ(Al)等のアルミナ質焼結体、ムライト(3Al・2SiO)質焼結体、炭化珪素(SiC)質焼結体、ガラスセラミックス質焼結体、窒化アルミ(AlN)等の電気絶縁性材料からなる。セラミックス基板30は単層配線若しくは多層配線が施されている。単層配線、多層配線は、タングステン、モリブデン、マンガン等の高融点金属粉末に適当な有機樹脂バインダー、可塑剤、溶剤を添加混合して得た金属ペーストを、スクリーン印刷等の方法で所定のパターンに印刷塗布しておき、グリーンシートを焼成することによって、単層配線、多層配線が施されたセラミックス基板30を形成することができる。
発光素子40が実装されたセラミックス基板30は、実装基板10上に金、銅、金合金若しくは銅合金である複数の金属バンプ20を用いて接合される。金が好ましいが、金を主成分とする金合金を用いることもできる。金を主成分とする場合は、金が75重量%以上であり、80重量%が好ましく、90重量%以上が最も好ましい。反射率や延性、展性の観点から金が好ましい。ただし銅、銅合金も使用することができる。金属バンプ20は複数個使用する。金属バンプ20はセラミックス基板30の実装面の全面に形成することもできるが、クラックが発生し易い位置に集中的に金属バンプ20を形成することもできる。例えば、セラミックス基板30の中央付近に金属バンプ20を密に集中させ、セラミックス基板30の外周付近は金属バンプ20を間引くこともできる。また、セラミックス基板30が一方向に長い場合は、長さ方向に対し垂直な方向にクラックが発生し易いため、長さ方向の中央付近に長さ方向に複数列の金属バンプ20を形成することもできる。
発光素子40、セラミックス基板30は、封止部材50で被覆されている。封止部材50は、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂などの熱硬化性樹脂を用いることができる他、ガラスも用いることができる。
平面視において、複数の金属バンプ20間には、樹脂60が充填されている。セラミックス基板30と実装基板10との接合強度を高めるためである。樹脂60には銀、銅、アルミニウムなどの熱伝導率の高い粒子を含有することもできる。これによりセラミックス基板30にたまった熱を実装基板10側に効率良く伝達することもできる。
セラミックス基板30と銅材を用いた実装基板10とを接合する場合、両者間の熱膨張係数差が大きいため、半田を用いた実装方法では半田実装時の熱履歴によりセラミックス基板に大きな熱応力がかかり、クラックが発生していた。半田実装においてはリフロー工程が必須となり、このリフロー工程においてセラミックス基板30と実装基板10との熱膨張係数差に起因するクラックが発生するものと考えられる。セラミックス基板30のクラックを防止するため、応力低減策としてエポキシ樹脂を用いた接合が考えられるが、半田による接合と比較して接合性、放熱性が大幅に低下するため、エポキシ樹脂を使用することに問題を有していた。そこで、第1の実施形態における光源のように、発光素子40が実装されたセラミックス基板30と実装基板10との接合を金、銅、金合金若しくは銅合金である複数の金属バンプ20を用いることで、セラミックス基板30と実装基板10との接合強度を高め、かつ放熱性に優れた光源を提供することができる。また、金属バンプ20を用いるため、断面視においてセラミックス基板30と実装基板10との間に空間が形成される。この空間等がセラミックス基板30と実装基板10との熱応力を緩和させ、セラミックス基板30のクラックの発生を低減させている。この空間に樹脂60を充填することで接合強度を更に一層高め、かつ、放熱効果も向上させることができる。
第1の実施形態に係る光源の製造方法について図面を用いて説明する。図3〜図6第1の実施形態に係る光源の製造工程を示す概略断面図である。
実装基板10に、複数の金属バンプ20を形成する。
カップ状を成す実装基板10に複数の金属バンプ20を形成する。例えば、金属バンプ20は直径約60μm〜120μm、高さ20μm〜50μmの大きさのものを使用することができる。金属バンプ20を縦方向、横方向に配列する。金属バンプ20は金を使用するが、銅、金合金、銅合金も使用することができる。金の純度は95%以上のものが良く、99%以上のものが好ましい。
実装基板10上に発光素子40が実装されたセラミックス基板30を載置し、金属バンプ20を介して実装基板10とセラミックス基板30とを接合する。
セラミックス基板30は平面視において略四角形のものを使用し、セラミックス基板30上には発光素子40を3行3列に配列している。この発光素子40の個数は適宜変更できる。発光素子40はフェイスダウン実装してセラミックス基板30に実装している。
実装基板10とセラミックス基板30との接合は温度100℃〜200℃、1.0kg/mm〜5.0kg/mmで加圧することができる。
次に実装基板10とセラミックス30との隙間に樹脂60を流し込む。樹脂60はエポキシ樹脂を用い、エポキシ樹脂中には銀フィラーが混合されている。
実装基板10、セラミックス基板30の濡れ性などを考慮し、エポキシ樹脂の粘度を適宜調整するが、例えば、吐出圧が150kPa〜400kPaのものを使用することが好ましい。銀フィラーは0.1μm〜10μm程度の粒径のものを使用することができる。
次に封止部材50を用いてセラミックス基板30上の発光素子40を被覆する。封止部材50はポッティングで行う。ポッティングの他にスプレー、圧縮成形、押出成形、射出成形、トランスファー成形などの塗布方法を用いることもできる。封止部材50はエポキシ樹脂、シリコーン樹脂などを用いることができる。封止部材50を硬化する。
これにより、簡易に第1の実施形態に係る光源を製造することができる。
ここでは樹脂60を用いているが、樹脂60を使用することなく、セラミックス基板30の接合工程後、封止部材50で発光素子40を被覆してもよい。
<第2の実施形態>
第1の実施形態に係る光源の製造方法に代えて、第2の実施形態に係る光源の製造方法においても第1の実施形態に係る光源を製造することができる。図7は、第2の実施形態に係る光源の製造工程を示す概略断面図である。
まず、実装基板10に、複数の金属バンプ20を形成する。
次に、実装基板10上にセラミックス基板30を載置し、金属バンプ20を介して実装基板10とセラミックス基板30とを接合する。
次に、セラミックス基板30上に発光素子40を実装する。
次に実装基板10とセラミックス30との隙間に樹脂60を流し込む。
次に封止部材50を用いてセラミックス基板30上の発光素子40を被覆する。
実装基板10とセラミックス基板30との接合後に、セラミックス基板30上に発光素子40を実装するため、実装基板10とセラミックス基板30との接合時の温度が発光素子40にかからないため、発光素子40への熱のダメージを低減することができる。
<第3の実施形態>
第1の実施形態に係る光源の製造方法に代えて、第3の実施形態に係る光源の製造方法においても第1の実施形態に係る光源を製造することができる。図8は、第3の実施形態に係る光源の製造工程を示す概略断面図である。
セラミックス基板30に、金、銅、金合金若しくは銅合金である複数の金属バンプ20を形成する。セラミックス基板30の背面側に金属バンプ20を形成する。
実装基板10上にセラミックス基板30を載置し、金属バンプ20を介して実装基板10とセラミックス基板30とを接合する。
セラミックス基板30上に発光素子40を実装する。
セラミックス基板30側に金属バンプ20を形成するためセラミックス基板30と実装基板10との位置合わせの制御を不要にすることができる。また、カップ状の実装基板10を使用する場合、カップ内への金属バンプ20の形成が困難な場合も生じる。それに代えて、平板状のセラミックス基板30を用いることで金属バンプ20の形成を簡易に行うことができる。
実装基板10とセラミックス基板30との接合後に、セラミックス基板30上に発光素子40を実装するため、実装基板10とセラミックス基板30との接合時の温度が発光素子40にかからないため、発光素子40への熱のダメージを低減することができる。
<第4の実施形態>
第1の実施形態に係る光源の製造方法に代えて、第4の実施形態に係る光源の製造方法においても第1の実施形態に係る光源を製造することができる。図8は、第4の実施形態に係る光源の製造工程を示す概略断面図である。
発光素子40が実装されたセラミックス基板30に、金、銅、金合金若しくは銅合金である複数の金属バンプ20を形成する。
実装基板10上にセラミックス基板30を載置し、金属バンプ20を介して実装基板10とセラミックス基板30とを接合する。
セラミックス基板30側に金属バンプ20を形成するためセラミックス基板30と実装基板10との位置合わせの制御を不要にすることができる。また、カップ状の実装基板10を使用する場合、カップ内への金属バンプ20の形成が困難な場合も生じる。それに代えて、平板状のセラミックス基板30を用いることで金属バンプ20の形成を簡易に行うことができる。
なお、第2〜第4の実施形態に係る光源の製造方法において、実装基板10とセラミックス基板30とを接合する工程において、金属バンプ20で接合した後に、金属バンプ20間に樹脂60を充填することもできる。
また、第2〜第4の実施形態に係る光源の製造方法において、封止部材50を用いてセラミックス基板30上の発光素子40を被覆する。
<実装方法>
実装基板10とセラミックス基板30との実装方法について説明する。
実装基板10に複数の金属バンプ20を形成する。
実装基板10上にセラミックス基板30を載置し、金属バンプ20を介して実装基板10とセラミックス基板30とを接合する。
また、別の実施形態として、セラミックス基板30に金若しくは金合金である複数の金属バンプ20を形成する。実装基板10上にセラミックス基板30を載置し、金属バンプ20を介して実装基板10とセラミックス基板30とを接合する。
実装基板10とセラミックス基板30との接合時における熱履歴を低減し、セラミックス基板30のクラックを防止することができる。
<その他の構成部材>
発光素子の上に透光性基板を配置することもできる。透光性基板には蛍光体や反射部材、光拡散部材等を含有していてもよい。発光素子と透光性基板とは接着剤を用いて接合することができる。また、実装基板のカップ内に発光素子を載置し、その発光素子上に透光性基板を配置し、その外周を樹脂で固定することもできる。樹脂はカップ内に充填することができる。樹脂は光反射材、拡散剤、熱伝導部材、顔料、光吸収剤等を含有することができるが、光反射材を含有することが好ましい。これにより、発光素子からの光が光反射材を含む樹脂に照射され、反射され、外部に放出されるからである。この樹脂はエポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ユリア樹脂等の熱硬化性樹脂が好ましいが、ポリフタルアミド、液晶ポリマー、ポリブチレンテレフタレート(PBT)、不飽和ポリエステル等の熱可塑性樹脂も使用することができる。
封止部材には、蛍光体、拡散剤、熱伝導部材、顔料、光吸収剤等を含有していても良い。セラミックス基板上には保護素子を載置することもできる。発光素子とセラミックス基板との接合は金属バンプを用いてフェイスダウン実装することもできるし、樹脂を用いてフェイスアップ実装することもできる。
<実施例1>
実施例1に係る光源について図面を用いて説明する。図9は、実施例1に係る光源を示す概略平面図である。図10は、実施例1に係る光源を示す概略断面図である。図11は、実施例1に係る光源を示す概略側面図である。図12は、実施例1に係る光源を示す概略側面図である。図13は、実施例1に係る光源を示す概略背面図である。第1の実施形態に係る光源とほぼ同じ構成を採るところは説明を一部省略することもある。
光源は、実装基板10と、金属バンプ20、セラミックス基板30、発光素子40、封止部材50、樹脂60を有している。
実装基板10は平板の銅材と熱可塑性樹脂を用いている。この熱可塑性樹脂は、ポリフタルアミドを使用する。実装基板10は略直方体の形状を成し、縦2.5mm、横5.1mm、高さ0.75mmの大きさを有する。平面視において略長方形のカップを有し、縦1.2mm、横4.6mm、深さ約0.35mmの大きさを有する。実装基板10の背面はアノード電極とカソード電極が略正方形を成し、一辺約2.1mmの大きさを有する。
セラミックス基板30は、平板状で略直方体の形状を成し、縦1.0mm、横約4.4mm、厚さ0.2mmの大きさを有する。セラミックス基板30は主成分にアルミナを用い、所定の内部配線、外部配線を施している。
セラミックス基板30上には、発光素子40が載置される。発光素子40は正方形の形状を成し、一辺約800μmの大きさを有する。発光素子40を4個、セラミックス基板30の長さ方向に実装している。
実装基板10上に複数の金属バンプ20を用いて接合される。金属バンプ20は金を用いる。金属バンプ20は直径60μm〜120μm、高さ約40μmのものを使用する。金の純度は99.9%のものを使用する。
発光素子40が実装されたセラミックス基板30と実装基板10とを金属バンプ20を用いて接合する。
実装基板10とセラミックス基板30との隙間には樹脂60を配置する。樹脂60は銀粒子が含有されたフェニルシリコーン樹脂を使用する。
封止部材50は蛍光体を含有する。封止部材50はジメチルシリコーン樹脂を使用し、蛍光体はYAG蛍光体を使用する。
これにより実装基板10とセラミックス基板30との接合強度の高い光源を提供することができる。
実施例1に係る光源は以下の製造方法により製造することができる。
実装基板10に、複数の金属バンプ20を形成する。金属バンプ20は金を使用し、縦に3個、横に12個配列する。
次に、実装基板10上に発光素子40が実装されたセラミックス基板30を載置し、金属バンプ20を介して実装基板10とセラミックス基板30とを接合する。金属バンプ20を介して実装基板10とセラミックス基板30との接合は、温度100℃〜200℃の熱及び2.2kg/mm圧力をかけて接合する。
次に、実装基板10とセラミックス基板30との隙間に樹脂60を注入する。
実装基板10とセラミックス基板30との隙間に樹脂60が入り込むように、吐出圧が160kPa〜350kPaで注入する。
次に、発光素子40の上方から封止部材50を注入する。封止部材50は発光素子40の上方からポッティングする。
これにより、簡易に光源を製造することができる。
本実施形態に係る光源は、照明用光源、車載用光源、携帯電話用光源等に利用することができる。
10 実装基板
20 金属バンプ
30 セラミックス基板
40 発光素子
50 封止部材
60 樹脂

Claims (8)

  1. 実装基板と、前記実装基板上に金、銅、金合金若しくは銅合金である複数の金属バンプを用いて接合される、複数の発光素子が実装されたセラミックス基板と、を有し、
    前記金属バンプは、高さが20μm乃至50μmであり、
    前記セラミックス基板の中央付近に前記金属バンプを密に集中させ、前記セラミックス基板の外周付近は前記金属バンプを間引いており、
    前記金属バンプを介して接合された、前記実装基板と前記セラミックス基板と隙間に樹脂が配置されている光源。
  2. 平面視において、前記複数の金属バンプ間には、樹脂が充填されている請求項1に記載の光源。
  3. 前記実装基板は、銅若しくは銅合金である請求項1又は2のいずれかに記載の光源。
  4. 実装基板に、高さが20μm乃至50μmである複数の金属バンプを形成する工程と、
    前記実装基板上に複数の発光素子が実装されたセラミックス基板を載置し、前記金属バンプを介して前記実装基板と前記セラミックス基板とを接合する工程と、
    前記金属バンプを介して接合された、前記実装基板と前記セラミックス基板との隙間に樹脂を流し込み、前記金属バンプ間に樹脂を充填させる工程と、
    を有し、
    前記金属バンプを形成する工程は、前記セラミックス基板の中央付近に前記金属バンプを密に集中させ、前記セラミックス基板の外周付近は前記金属バンプを間引くように前記金属バンプを形成する光源の製造方法。
  5. 実装基板に、高さが20μm乃至50μmである複数の金属バンプを形成する工程と、
    前記実装基板上にセラミックス基板を載置し、前記金属バンプを介して前記実装基板と前記セラミックス基板とを接合する工程と、
    前記金属バンプを介して接合された、前記実装基板と前記セラミックス基板との隙間に樹脂を流し込み、前記金属バンプ間に樹脂を充填させる工程と、
    前記セラミックス基板上に複数の発光素子を実装する工程と、
    を有し、
    前記金属バンプを形成する工程は、前記セラミックス基板の中央付近に前記金属バンプを密に集中させ、前記セラミックス基板の外周付近は前記金属バンプを間引くように前記金属バンプを形成する光源の製造方法。
  6. セラミックス基板に、高さが20μm乃至50μmである金、銅、金合金若しくは銅合金である複数の金属バンプを形成する工程と、
    実装基板上に前記セラミックス基板を載置し、前記金属バンプを介して前記実装基板と前記セラミックス基板とを接合する工程と、
    前記金属バンプを介して接合された、前記実装基板と前記セラミックス基板との隙間に樹脂を流し込み、前記金属バンプ間に樹脂を充填させる工程と、
    前記セラミックス基板上に複数の発光素子を実装する工程と、
    を有し、
    前記金属バンプを形成する工程は、前記セラミックス基板の中央付近に前記金属バンプを密に集中させ、前記セラミックス基板の外周付近は前記金属バンプを間引くように前記金属バンプを形成する光源の製造方法。
  7. 複数の発光素子が実装されたセラミックス基板に、高さが20μm乃至50μmである金、銅、金合金若しくは銅合金である複数の金属バンプを形成する工程と、
    実装基板上に前記セラミックス基板を載置し、前記金属バンプを介して前記実装基板と前記セラミックス基板とを接合する工程と、
    前記金属バンプを介して接合された、前記実装基板と前記セラミックス基板との隙間に樹脂を流し込み、前記金属バンプ間に樹脂を充填させる工程と、
    を有し、
    前記金属バンプを形成する工程は、前記セラミックス基板の中央付近に前記金属バンプを密に集中させ、前記セラミックス基板の外周付近は前記金属バンプを間引くように前記金属バンプを形成する光源の製造方法。
  8. 前記金属バンプは、直径60μm乃至120μmである請求項1乃至3のいずれか一項に記載の光源。
JP2014199677A 2014-09-30 2014-09-30 光源及びその製造方法、実装方法 Active JP6623508B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014199677A JP6623508B2 (ja) 2014-09-30 2014-09-30 光源及びその製造方法、実装方法
US14/869,499 US9520544B2 (en) 2014-09-30 2015-09-29 Light source including ceramic substrate mounted on mounting substrate
US15/342,778 US10833235B2 (en) 2014-09-30 2016-11-03 Light source, method of manufacturing the light source, and method of mounting the light source

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014199677A JP6623508B2 (ja) 2014-09-30 2014-09-30 光源及びその製造方法、実装方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016072408A JP2016072408A (ja) 2016-05-09
JP6623508B2 true JP6623508B2 (ja) 2019-12-25

Family

ID=55585374

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014199677A Active JP6623508B2 (ja) 2014-09-30 2014-09-30 光源及びその製造方法、実装方法

Country Status (2)

Country Link
US (2) US9520544B2 (ja)
JP (1) JP6623508B2 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016107495B4 (de) * 2016-04-22 2022-04-14 Tdk Electronics Ag Vielschicht-Trägersystem, Verfahren zur Herstellung eines Vielschicht-Trägersystems und Verwendung eines Vielschicht-Trägersystems
WO2020031944A1 (ja) 2018-08-09 2020-02-13 パナソニックIpマネジメント株式会社 半導体発光装置および半導体発光装置の製造方法
EP3675190B1 (en) 2018-12-25 2023-05-03 Nichia Corporation Method of manufacturing light source device and light source device
JP7366337B2 (ja) * 2018-12-25 2023-10-23 日亜化学工業株式会社 光源装置の製造方法および光源装置

Family Cites Families (57)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1652740A (en) * 1925-07-24 1927-12-13 Shields & Moore White-gold solder
US2426467A (en) * 1945-07-18 1947-08-26 Gen Electric Gold-copper solder
US4015948A (en) * 1974-01-04 1977-04-05 Masatoshi Tsuda Copper-base solder
US4332341A (en) * 1979-12-26 1982-06-01 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Fabrication of circuit packages using solid phase solder bonding
US4352449A (en) * 1979-12-26 1982-10-05 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Fabrication of circuit packages
US4914814A (en) * 1989-05-04 1990-04-10 International Business Machines Corporation Process of fabricating a circuit package
JP3279765B2 (ja) 1993-03-08 2002-04-30 イビデン株式会社 セラミックパッケージ
US5473814A (en) * 1994-01-07 1995-12-12 International Business Machines Corporation Process for surface mounting flip chip carrier modules
JPH0917824A (ja) 1995-06-30 1997-01-17 Toshiba Corp 電子回路装置およびその製造方法
JP3688801B2 (ja) * 1996-04-25 2005-08-31 株式会社日立製作所 半導体装置及びその製造方法並びにその実装方法
US5708280A (en) 1996-06-21 1998-01-13 Motorola Integrated electro-optical package and method of fabrication
JP3383518B2 (ja) * 1996-07-17 2003-03-04 日本特殊陶業株式会社 半田バンプを有する配線基板の製造方法
JPH1154884A (ja) * 1997-08-06 1999-02-26 Nec Corp 半導体装置の実装構造
CA2218307C (en) * 1997-10-10 2006-01-03 Gennum Corporation Three dimensional packaging configuration for multi-chip module assembly
JP2001176928A (ja) * 1999-12-20 2001-06-29 Nec Corp 半導体装置
JP2001210746A (ja) 2000-01-24 2001-08-03 Kyocera Corp 半導体素子搭載用基板
JP3597754B2 (ja) * 2000-04-24 2004-12-08 Necエレクトロニクス株式会社 半導体装置及びその製造方法
US6333563B1 (en) * 2000-06-06 2001-12-25 International Business Machines Corporation Electrical interconnection package and method thereof
JP4023076B2 (ja) * 2000-07-27 2007-12-19 富士通株式会社 表裏導通基板及びその製造方法
JP5110744B2 (ja) * 2000-12-21 2012-12-26 フィリップス ルミレッズ ライティング カンパニー リミテッド ライアビリティ カンパニー 発光装置及びその製造方法
JP4051893B2 (ja) * 2001-04-18 2008-02-27 株式会社日立製作所 電子機器
JP3891838B2 (ja) * 2001-12-26 2007-03-14 株式会社ルネサステクノロジ 半導体装置およびその製造方法
JP4044769B2 (ja) * 2002-02-22 2008-02-06 富士通株式会社 半導体装置用基板及びその製造方法及び半導体パッケージ
JP3803596B2 (ja) * 2002-03-14 2006-08-02 日本電気株式会社 パッケージ型半導体装置
EP1491927B1 (en) * 2002-04-01 2013-02-27 Ibiden Co., Ltd. Ic chip mounting substrate, and ic chip mounting substrate manufacturing method
JP2004259798A (ja) 2003-02-25 2004-09-16 Toshiba Corp 半導体装置
JP4029843B2 (ja) * 2004-01-19 2008-01-09 豊田合成株式会社 発光装置
TWI253765B (en) * 2003-05-26 2006-04-21 Matsushita Electric Works Ltd Light-emitting device
US6876008B2 (en) * 2003-07-31 2005-04-05 Lumileds Lighting U.S., Llc Mount for semiconductor light emitting device
JP2005123493A (ja) * 2003-10-20 2005-05-12 Sony Corp 配線基板及び素子実装基板
US8574959B2 (en) * 2003-11-10 2013-11-05 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor device and method of forming bump-on-lead interconnection
JP3917133B2 (ja) * 2003-12-26 2007-05-23 株式会社東芝 インターフェイスモジュール付lsiパッケージ及びそれに用いるインターポーザ、インターフェイスモジュール、接続モニタ回路、信号処理lsi
JP2006005208A (ja) 2004-06-18 2006-01-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置およびその実装方法
JP2006049695A (ja) 2004-08-06 2006-02-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置およびその実装方法
US7445141B2 (en) * 2004-09-22 2008-11-04 International Business Machines Corporation Solder interconnection array with optimal mechanical integrity
TW200637033A (en) * 2004-11-22 2006-10-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Light-emitting device, light-emitting module, display unit, lighting unit and method for manufacturing light-emitting device
TWI420686B (zh) * 2004-12-10 2013-12-21 Panasonic Corp 半導體發光裝置、發光模組及照明裝置
EP1873563B1 (en) * 2005-03-29 2017-03-22 Kyocera Corporation Light-emitting device using reflective member and illuminating device
JP2007027278A (ja) * 2005-07-13 2007-02-01 Shinko Electric Ind Co Ltd 半導体装置および半導体装置の製造方法
JP4899406B2 (ja) * 2005-10-12 2012-03-21 日本電気株式会社 フリップチップ型半導体装置
JP2007220866A (ja) * 2006-02-16 2007-08-30 Sony Corp 半導体装置
US8004075B2 (en) * 2006-04-25 2011-08-23 Hitachi, Ltd. Semiconductor power module including epoxy resin coating
JP4595877B2 (ja) * 2006-04-25 2010-12-08 株式会社日立製作所 半導体パワーモジュール
JP2008021867A (ja) 2006-07-13 2008-01-31 Toyoda Gosei Co Ltd 発光装置
JP2008060542A (ja) * 2006-08-03 2008-03-13 Toyoda Gosei Co Ltd 発光装置、発光装置の製造方法、及びこれを備えた光源装置
US7783141B2 (en) * 2007-04-04 2010-08-24 Ibiden Co., Ltd. Substrate for mounting IC chip and device for optical communication
TW200928203A (en) * 2007-12-24 2009-07-01 Guei-Fang Chen LED illuminating device capable of quickly dissipating heat and its manufacturing method
KR20090094698A (ko) 2008-03-03 2009-09-08 삼성전기주식회사 패키지 기판 제조방법 및 반도체 패키지 제조방법
TWI514635B (zh) * 2011-12-29 2015-12-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 發光二極體燈條及其製造方法
TWI536617B (zh) * 2012-02-17 2016-06-01 鴻海精密工業股份有限公司 發光二極體燈條及其製造方法
US9768137B2 (en) * 2012-04-30 2017-09-19 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Stud bump structure for semiconductor package assemblies
JP6001921B2 (ja) * 2012-05-25 2016-10-05 新光電気工業株式会社 配線基板及び配線基板の製造方法
JP2014103262A (ja) * 2012-11-20 2014-06-05 Nichia Chem Ind Ltd 発光装置の製造方法、実装基板および発光装置
JP2014137973A (ja) * 2013-01-18 2014-07-28 Stanley Electric Co Ltd 光源装置
JP6230794B2 (ja) * 2013-01-31 2017-11-15 新光電気工業株式会社 電子部品内蔵基板及びその製造方法
US8975177B2 (en) * 2013-03-14 2015-03-10 Intel Corporation Laser resist removal for integrated circuit (IC) packaging
US20150060911A1 (en) * 2013-09-05 2015-03-05 Unistars Corporation Optoelectronic semiconductor device and fabricating method thereof

Also Published As

Publication number Publication date
JP2016072408A (ja) 2016-05-09
US20160093786A1 (en) 2016-03-31
US9520544B2 (en) 2016-12-13
US20170077372A1 (en) 2017-03-16
US10833235B2 (en) 2020-11-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2016001724A (ja) 発光装置
KR20110103307A (ko) 발광 장치
US10833235B2 (en) Light source, method of manufacturing the light source, and method of mounting the light source
JP6368924B2 (ja) 半導体装置
JP2016066680A (ja) 発光装置
US20160118565A1 (en) Led support assembly and led module
JP2017098494A (ja) 光素子搭載用パッケージ、光素子搭載用母基板および電子装置
JP2008198782A (ja) 発光装置
JP6622812B2 (ja) 発光素子搭載用基板、発光装置および発光モジュール
JP2011233775A (ja) 半導体パッケージおよび半導体発光装置
JP2009038161A (ja) 発光素子収納用パッケージ
JP2014157949A (ja) 配線基板および電子装置
KR100878325B1 (ko) 열방출 기둥과 지지체를 포함하는 발광 다이오드 패키지 및그의 제조방법
JP2011176060A (ja) 発光装置
JP5241537B2 (ja) 電子部品搭載用基板および電子装置ならびに電子部品搭載用基板の製造方法
JP2009135543A (ja) 発光装置の製造方法
JP5312250B2 (ja) 電子部品収納用パッケージおよび電子装置
JP2016103518A (ja) 配線基板および電子装置
KR100917721B1 (ko) 발광 다이오드용 패키지의 제조 방법
JP2005191065A (ja) 発光素子収納用パッケージ及びその製造方法
KR100966744B1 (ko) 세라믹 패키지 및 이의 제조 방법
JP2009218512A (ja) 電子素子収納用パッケージおよび電子装置
JP6269356B2 (ja) 発光装置
CN107431047B (zh) 布线基板、电子装置以及电子模块
JP2006013420A (ja) 電子部品収納用パッケージおよび電子装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170525

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20180214

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180227

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180427

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180905

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20181105

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20190507

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190807

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20190815

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20191029

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20191111

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6623508

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250