JP6616856B2 - めっき装置、めっき方法、及びめっき対象物収容カートリッジ - Google Patents

Description

この発明は、電子部品等のめっき対象物にめっきするようなめっき装置、めっき方法、及びめっき対象物収容カートリッジに関する。

従来、電子部品などの小物部品をめっきするバレルめっき方法が提案されている（特許文献１参照）。この方法では、バレル内のめっき溶液中にめっき対象物である複数の小物物品を多数のダミーメディア（鉄球）と共に入れ、バレルを回転させて撹拌しつつアノード極とカソード極に電流を流し、アノード極側のニッケル（めっき用金属）で小物部品にめっきをする。

ここで、上記の方法で使用されるバレルは、消耗品であるが、大きくて重いために取扱いが容易ではない。このため、このようなバレルの取り扱いを容易にすることが望まれる。

しかし、上述した方法は、撹拌に用いられるバレルの取り扱いを容易にできるようなものではなかった。

特開２００７−３９７１９号公報

この発明は、上述の問題に鑑みて、消耗品の取り扱いが容易なめっき装置、めっき方法、及びめっき対象物収容カートリッジを提供し、利用者の満足度を向上させることを目的とする。

この発明は、めっき液を収容するめっき室と、電源から供給される電流を前記めっき液に流すための陽極と、陰極として機能してめっき対象である複数のめっき対象物が載置されるめっき対象物載置部と、前記めっき対象物を撹拌する撹拌手段とを備え、前記めっき対象物載置部は、導電性フィルムにより形成され、前記導電性フィルムと略平行に配置されてめっき対象物を覆っているカバーシートを備え、前記めっき対象物は、前記導電性フィルムの上にメッキ用の電流方向である鉛直方向に複数積み上げられて前記導電性フィルムが見えない状態となっており前記カバーシートと前記導電性フィルムの間は、めっき対象物を積層させる厚さとほぼ同じかそれより少し厚い程度であり、前記導電性フィルムを振動させる振動発生部と、前記めっき対象物の近傍にて前記めっき液を噴射又は吸引して前記めっき対象物を撹拌する液流発生手段とを備えためっき装置であることを特徴とする。

この発明により消耗品の取り扱いが容易なめっき装置、めっき方法、及びめっき対象物収容カートリッジを提供できる。

実施例１のめっき装置の縦断正面図。 実施例１のめっき装置の平面図。 実施例１のめっき装置の一部縦断拡大正面図。 実施例２のめっき装置の縦断正面図。 実施例２のめっき装置の一部横断平面図。

この発明の一実施形態を以下図面と共に説明する。

図１は、めっき装置１の一部縦断正面図を示し、図２はめっき装置１の平面図を示し、図３はめっき装置１の一部縦断拡大正面図を示す。

図１に示すように、めっき装置１は、上面を開口した外部筐体３と、外部筐体３内に収容されるめっき室１０と、めっき室１０内のめっき液５内の上部に配置されるアノード極（陽極）７と、めっき室１０の周囲の一方に供給ロール部９ａ、他方に巻き取りロール部９ｃを有してその間の平面フィルム部（陰極，めっき対象物載置部）９ｂがめっき室１０の内部を通過する導電性フィルム９とを備えている。

外部筐体３は、上面開口した長方形の容器であり、外部筐体３内には、めっき室１０が収納されている。

めっき室１０は、外部筐体３内に収まる大きさで上面を開口した長方形の容器状に形成されており、内部にめっき液５が充填されている。めっき室１０内には、このめっき液５内にアノード極７と、導電性フィルム９の少なくとも平面フィルム部９ｂが浸された状態で収容されている。

めっき室１０は、導電性フィルム９の供給方向（図１の左右方向）の一方の側面（図１の左側面）と、これと反対側となる他方の側面（図１の右側面）の各底部付近に、横長のスリット穴１２が形成されている。このスリット穴１２は、導電性フィルム９の幅より広く形成されている。このスリット穴１２を通じて、導電性フィルム９の平面フィルム部９ｂがめっき室１０内に導入される。また、このスリット穴１２が図示省略する密閉体によって密閉された後に、めっき室１０内にめっき液５が充填され、めっき液５が漏れ出ないようにして作業が行われる。

めっき室１０の内側における導電性フィルム９の供給方向の両端付近には、ガイド２１，２１がそれぞれ配置されている。
ガイド２１は、導電性フィルム９の幅方向（図２の上下方向）の長さが導電性フィルム９の幅と同程度で、底面が平面状に形成されている。このガイド２１は、導電性フィルム９の平面フィルム部９ｂの上面が浮き上がらないように押さえる。なお、ガイド２１の長さは、めっき室１０の内側全体とする、導電性フィルム９の幅より長くする、あるいは導電性フィルム９の幅より少し短くするなど、導電性フィルム９の平面フィルム部９ｂ上でめっき対象物をめっきするために十分な長さとすればよい。

ガイド２１の内部には、導電性フィルム９の供給方向へ延びる液噴射穴２３（図３参照）が設けられている。この液噴射穴２３は、一端が液噴射ユニット１５に連通し、他端がガイド２１のめっき室１０中心側の端面を貫通してめっき空間２７（図３参照）に連通している。この液噴射穴２３は、導電性フィルム９の幅方向へ導電性フィルム９の幅全体（少なくともめっき空間２７の幅全体）に渡って形成されている。

液噴射ユニット１５は、ガイド２１上部でめっき室１０側面付近に、導電性フィルム９の幅方向全体に渡って配置されている。この液噴射ユニット１５は、噴射ポンプ１６から噴射しためっき液を、流動空間１７内で流動させてガイド２１の液噴射穴２３へ搬送し、このめっき液を、液噴射穴２３の先端（めっき室１０中心側）からめっき空間２７へ噴射する。

各ガイド２１の上面には、導電性フィルム９の幅方向（図２の上下方向）に長いカバー固定部２５が設けられている。このカバー固定部２５は、導電性フィルム９の平面フィルム部９ｂ上に載置されためっき対象物Ｗを覆うメッシュ状のカバーシート２８の両端をそれぞれ固定する。

カバーシート２８は、めっき空間２７を空けて導電性フィルム９の平面フィルム部９ｂと略平行に配置され、撹拌ユニット３０部分で導電性フィルム９から離れる方向へ凸となるように誘導ガイド３５，３３，３５（図３参照）でガイドされている。

カバーシート２８の撹拌ユニット３０以外の部分と導電性フィルム９の平面フィルム部９ｂで形成されるめっき空間２７は、導電性フィルム９の平面フィルム部９ｂ上に載置されて鉛直方向に複数重なり合っているめっき対象物Ｗが、平面フィルム部９ｂの上面とカバーシート２８の下面ではさみ込まれて移動しないよう規制される程度の空間に形成されている。

撹拌ユニット３０は、導電性フィルム９の幅方向両端（図２の上下方向両端）に対向配置される板状の側面板３６，３６と、この側面板３６，３６に両端が連結するように配置される電流防止カバー３１と誘導ガイド３３，３５，３５と液流発生部（液流発生手段，撹拌手段）３７とを備えている。

誘導ガイド３５，３５は、撹拌ユニット移動方向（図３の左右方向、導電性フィルム９の供給方向と同じ）に、めっき対象物Ｗを撹拌するために十分な間隔を空けてカバーフィルム２８上面に接触するように配置された導電性フィルム９の幅方向に延びる２本の円柱状部材により形成されている。

誘導ガイド３３は、正面視が上方へ凸となる円弧状に形成されている。この誘導ガイド３３により、水平状態から一方の誘導ガイド３５によって上方へ誘導されたカバーシート２８を誘導ガイド３３の上面で湾曲するように誘導して下方にある他方の誘導ガイド３５へ誘導する。この他方の誘導ガイド３５へ誘導されたカバーシート２８は、他方の誘導ガイド３５によって水平状態へ誘導される。この構成によって、誘導ガイド３５，３３，３５で方向付けされて誘導されたカバーシート２８の下方に、めっき対象物Ｗを撹拌するための撹拌空間２９が形成されている。

電流防止カバー３１は、誘導ガイド３５，３５の間を導電性フィルム９の幅全体に渡って覆う板状の非導電性素材により形成されており、撹拌空間２９の上部全体を覆うように配置されている。これにより、撹拌空間２９内に電流が流れることを防止し、撹拌空間２９内で導電性フィルム９の平面フィルム部９ｂ上面に意図しないめっきが行われることを防止している。つまり、めっき対象物Ｗが撹拌空間２９内で撹拌されると、導電性フィルム９の平面フィルム部９ｂ上面がむき出しになる。このむき出しになった導電性フィルム９の平面フィルム部９ｂ上面は、めっきされやすい状態となる。このため、この部分への不要なめっきを電流防止カバー３１により防止している。

液流発生部３７，３７は、誘導ガイド３５，３５の内側位置に配置され、導電性フィルム９の幅方向に長く形成されている。この液流発生部３７，３７は、図示省略するポンプに接続されており、撹拌空間２９内のめっき液を吸い上げる。これにより発生する液流によってめっき対象物Ｗを巻き上げるように撹拌する。液流発生部３７，３７の底面側に設けられる吸入口（図示省略）は、めっき対象物Ｗより小さい穴とするか、あるいはめっき対象物Ｗの大きさより目の細かいメッシュ生地によって覆うといった方法により、めっき対象物Ｗを吸引することを防止している。

側面板３６の外側面には、ガイド突起３８（図２参照）が設けられている。このガイド突起３８は、めっき室１０の両側面の内側に設けられた移動ガイド３９に係合する。移動ガイド３９は、撹拌ユニット移動方向に延びるガイドであり、これにガイド突起３８が係合することで、撹拌ユニット３０が導電性フィルム９の平面フィルム部９ｂと平行に撹拌ユニット移動方向へ水平移動することができる。この水平移動は、図示省略するモータ等の駆動装置によって実行される。

撹拌ユニット３０が移動すると、これに伴ってカバーシート２８が持ち上げられている位置も移動するため、撹拌空間２９も共に移動する。

図１に示すように、めっき室１０の導電性フィルム９供給側の外側には、導電性フィルム９がロール状に巻かれた状態で供給ロール部９ａとしてセットされている。ここから供給される導電性フィルム９がめっき室１０の一方のスリット穴１２を介してめっき室１０内部に導入され、他方のスリット穴１２を介してめっき室１０外部へ誘導される。めっき室１０外部へ誘導された導電性フィルム９は、巻き取りロール部９ｃにより巻き取られる。巻き取りロール部９ｃは、モータ等の適宜の駆動手段によって回転駆動され、必要分の導電性フィルム９の巻き取りを実施する。供給ロール部９ａは、巻き取りロール部９ｃの巻き取りに伴って回転し、巻き取り量と同じ量の導電性フィルム９を繰り出して供給する。

これにより、供給ロール部９ａから導電性フィルム９をめっき室１０内に供給してめっき処理を行い、めっき処理が終わると使用分の導電性フィルム９を巻き取りロール部９ｃで巻き取ることで、新たな導電性フィルム９（つまり未使用部分）がめっき室１０内に供給される。

導電性フィルム９は、柔軟性若しくは伸縮性のあるフィルム（特に非導電性素材のフィルムが好ましい）に導電性素材をめっきしてフレキシブルに形成したものであり、例えば、ポリイミドフィルムに６〜８ミクロン程度の銅めっきを施して形成することができる。

アノード極７（図１参照）は、めっきを行う素材で形成された陽極であり、ニッケルやスズ等の適宜のめっき用金属で形成している。

アノード極７には、電源のプラス側が接続され、導電性フィルム９の少なくとも平面フィルム部９ｂは、電源のマイナス側が接続されて、めっき液内に電流が流れるようにされている。

めっき対象物Ｗは、コンデンサや抵抗等の適宜の電子部品とすることができ、例えば０．６ｍｍ×０．３ｍｍや０．４×０．２ｍｍといった極小サイズの電子部品とすることができる。

このように構成されためっき装置１は、次のめっき方法を実行してめっき処理を行う。
まず、めっき室１０内に新しい導電性フィルム９が導入され、平面フィルム部９ｂの上面に複数のめっき対象物Ｗが積層される。この積層は、０．６ｍｍ×０．３ｍｍや０．４×０．２ｍｍといった極小サイズの電子部品であるめっき対象物Ｗを、積み上げた高さが６ｍｍ厚や１０ｍｍ厚となる程度（電気的に見て導電性フィルム９がめっき対象物Ｗにより見えなくなる程度）に多数積み上げる。なお、このとき鉄球等で構成されるダミーメディアは不要であり、めっき対象物Ｗのみを積層させる。

積層されためっき対象物Ｗは、めっき空間２７（図３参照）内で上からカバーシート２８で覆われて移動しないように固定される。なお、撹拌空間２９（図３参照）に存在する対象物Ｗは、上から押さえられることがなく自由に移動できる状態となっている。

このようにして下準備した後、アノード極７と、カソード極（陰極）としての導電性フィルム９に接続されている電源から電流を流す。すると、アノード極７から溶解しためっき用金属イオンがめっき対象物Ｗのめっき対象部分表面で還元作用を受けて表面にめっき用金属皮膜が形成され、めっき空間２７内のめっき対象物Ｗがめっき用金属でめっきされる。

めっき装置１は、撹拌ユニット３０を連続的または間欠的に、一方のガイド２１側端部から他方のガイド２１側端部まで移動させ、液流発生部３７で液流を発生させて撹拌空間２９内のめっき対象物Ｗを撹拌する。このとき、めっき対象物Ｗは、撹拌空間２９という限られた空間のなかで短い距離を移動すると共に姿勢（向き）が変わる。そして、撹拌ユニット３０の移動により、撹拌されためっき対象物Ｗは導電性フィルム９上に積層された状態で、カバーシート２８によって押さえられて移動停止し、再びめっきされていく。

撹拌ユニット３０がガイド２１に最も近接している位置では、撹拌空間２９内で撹拌されためっき対象物Ｗが液流発生部３７（図３参照）の液流によってガイド２１側に広がっていく。このように広がっためっき対象物Ｗを、ガイド２１の液噴射穴２３（図３参照）からめっき液を噴射することで押し戻し、めっき対象物Ｗが積層されている厚みを維持する。

このようにして、撹拌ユニット３０を移動させて適宜撹拌し、撹拌していないめっき空間２７（図３参照）でめっきしていく処理を繰り返して、めっき対象物Ｗに肉厚一定で均一なめっきを施す。

以上の構成および動作により、電源から電流を流すと、めっき空間２７（図３参照）内に存在するめっき対象物Ｗをアノード極７の素材によってめっきすることができる。めっき空間２７内のめっき対象物Ｗは、鉛直方向（めっき用の電流方向）に複数積み上げられて導電性フィルム９が見えない状態となるため、導電性フィルム９上面に不要なめっきが電着することを防止できる。

また、導電性フィルム９上面が露出する撹拌空間２９（図３参照）は、電流防止カバー３１に覆われて電流が流れない構成であるため、撹拌空間２９で導電性フィルム９上面に不要なめっきが電着することも防止できる。

また、カソード極となる導電性フィルム９をロール状にしているため、必要分だけ次々に繰り出していくことができ、取扱い容易にすることができる。つまり、以前のバレル式のようにバレルを取り換えるといった必要がなく、必要分の導電性フィルム９を容易に繰り出してめっき処理を行うことができる。

また、撹拌空間２９はめっき空間２７の半分以下、好ましくは３分の１以下、より好ましくは５分の１以下と十分に狭いため、めっき対象物Ｗを狭い空間で移動および姿勢変更（向き変更）をさせつつ、広い空間で多くのめっき対象物Ｗを効率よくめっきして、安定しためっきをすることができる。

図４は、第２実施例のめっき装置５１の縦断正面図を示し、図５は、第２実施例のめっき装置５１の一部横断平面図を示す。

めっき装置５１は、円筒形で上面を開口した下部筐体５３ｂと、半径サイズが同じ円筒形で上下両面を開口した上部筐体（めっき室）５３ａと、上部筐体５３ａの上面を覆う蓋部５４と、蓋部５４に設けられたモータ等の駆動手段で構成された振動発生部（振動手段，撹拌手段）８０とを備えている。

下部筐体５３ｂは、上面の円周に沿ってリング形状に形成されたパッキンＰを備えている。上部筐体５３ａは、下面の円周に沿ってリング形状に形成されたパッキンＰを備えている。これらのパッキンＰは、ゴム等の弾力性素材によって形成されている。

上部筐体５３ａと下部筐体５３ｂの間には、めっき対象物収容カートリッジ７０がパッキンＰを介して挟み込まれ、図示省略する位置固定具によって密着固定される。この状態で上部筐体５３ａ内にめっき液５５を入れると、めっき対象物収容カートリッジ７０が底となり、パッキンＰの働きによってめっき液５５が漏れ出ることがなく、上部筐体５３ａがめっき室として機能する。

蓋部５４には、上部に振動発生部８０が設けられ、下部にアノード極（陽極）５７が設けられている。アノード極５７は、ニッケルやスズ等のめっき用金属によって平面視円形の板状に形成されている。このアノード極５７は、めっき対象物収容カートリッジ７０内のめっき対象物Ｗが存在している領域全体を覆う大きさに形成されており、上部筐体５３ａのめっき液５５内に浸される。このアノード極５７は、めっき用金属の異なる複数種類のものが準備されており、どの素材によってめっきするかによって使い分けされる。

また、蓋部５４には、液流を発生させる液流発生部（液流発生手段，撹拌手段）８３が設けられている。この液流発生部８３は、Ｌ字型に形成されて上端が蓋部５４の図示省略する回転駆動部に接続されている。液流発生部８３の内部は中空になっており、底面に複数の液通過穴８４が設けられている。この液流発生部８３は、図示省略するポンプにより、上部筐体５３ａに収容されているめっき液５５を取り込んで液通過穴８４から放出する。これにより、下方への液流を発生させてめっき対象物Ｗを巻き上げて撹拌する。

また、この液流発生部８３は、下部の横一直線部分がめっき対象物収容カートリッジ７０の中心から外周近傍まで半径方向に平行配置されており、蓋部５４の回転駆動部によって平面視円形に回転する。このため、液通過穴８４の下方位置にあるめっき対象物Ｗを撹拌して位置および姿勢（向き）を変更させ、これを回転しながら全めっき対象物Ｗに対して行う。

めっき対象物収容カートリッジ７０は、四角形のフィルム状に形成されており、下面側に四角形の導電性フィルム（陰極，めっき対象物載置部）５９、上面側に四角形のカバーシート７８が設けられて、その間にリング状のパッキンＰが挟み込まれている。パッキンＰは、ゴム等の弾力性素材で形成されており、厚さ（鉛直方向の長さ）が、６ｍｍ厚や１０ｍｍ厚など、めっき対象物Ｗを積層させる厚さとほぼ同じかそれより少し厚い程度である。これにより、めっき対象物Ｗが収容され、かつ、撹拌できる空間を確保するとともに、上部筐体５３ａと下部筐体５３ｂで挟み込まれたときにその弾力性でしっかりと密着してめっき液５５が漏れ出ないようにしている。なお、図示では、めっき対象物収容カートリッジ７０内のパッキンＰが、めっき対象物収容カートリッジ７０の上下に配置されるパッキンＰより半径方向幅広に形成されて多少の装着ズレがあっても問題ないように形成されているが、これに限らず、幅の広狭関係を逆にする、あるいは同じ幅にするなど、適宜の幅にすることができる。

このカバーシート７８と導電性フィルム５９との間でパッキンＰの内側に生じる空間には、複数のめっき対象物Ｗが収容されている。このめっき対象物Ｗは、実施例１と同じものを用いることができ、実施例１と同じ程度の厚さに積層させると良い。これにより、導電性フィルム５９がむき出しになることを防止し、導電性フィルム５９にめっきが電着することを防止できる。

導電性フィルム５９は、柔軟性若しくは伸縮性のあるフィルム（特に非導電性素材のフィルムが好ましい）に導電性素材をめっきして形成したものであり、例えば、ポリイミドフィルムに６〜８ミクロン程度の銅めっきを施して形成することができる。

カバーシート７８は、めっき空間を空けて導電性フィルム５９と略平行に配置されたメッシュ状の素材であり、めっき対象物Ｗを覆っている。
導電性フィルム５９とカバーシート７８は、周囲が全周に渡って隙間なく密着しており、内部のめっき対象物Ｗが外部へ漏れ出ないように構成されている。

なお、図示の例ではカバーシート７８と導電性フィルム５９を同じ大きさに形成しているが、これに限らず、例えばカバーシート７８を導電性フィルム５９より一回り大きいサイズの袋状に形成し、その中にパッキンＰと導電性フィルム５９を収容して、パッキンＰの内側に複数のめっき対象物Ｗを収容する構成としてもよい。この場合でも同じ効果を奏することができる。

このように構成されためっき装置５１は、次のめっき方法を実行してめっき処理を行う。
まず、上部筐体５３ａと下部筐体５３ｂの間にめっき対象物収容カートリッジ７０が挟まれ、図示省略する位置固定具によって密着固定される。このとき、めっき対象物収容カートリッジ７０（特に導電性フィルム５９）は、全体をピンと張った状態でセットされる。そして、上部筐体５３ａ内にめっき液５５が注がれ、アノード極５７のセットされた蓋部５４が閉められる。

アノード極５７を陽極、めっき対象物収容カートリッジ７０の導電性フィルム５９をカソード極（陰極）として電源から電流を流すと、アノード極５７から溶解しためっき用金属イオンがめっき対象物Ｗのめっき対象部分表面で還元作用を受けて表面にめっき用金属皮膜が形成され、めっき対象物Ｗがめっき用金属でめっきされる。

なお、めっき対象物Ｗは、０．６ｍｍ×０．３ｍｍや０．４×０．２ｍｍといった極小サイズの電子部品であるめっき対象物Ｗを、積み上げた高さが６ｍｍ厚や１０ｍｍ厚となる程度（電気的に見て導電性フィルム５９がめっき対象物Ｗにより見えなくなる程度）に多数積み上げられている。鉄球等で構成されるダミーメディアは不要であり、めっき対象物収容カートリッジ７０内にはめっき対象物Ｗのみが存在している。

めっき装置５１は、電流を流すとともに、振動発生部８０による振動も実施する。この振動は、めっき対象物収容カートリッジ７０に伝わり、めっき対象物収容カートリッジ７０の導電性フィルム５９が振動する。導電性フィルム５９は、ピンと張った状態で振動するため、この上に載置されているめっき対象物Ｗが少し跳ねるように移動するとともに姿勢（向き）を変える。振動は細かい単位で連続して実施されるため、１回の振動によるめっき対象物Ｗの少し（導電性フィルム５９とカバーシート７８の間の距離程度）の移動および姿勢変更が連続的に行われる。また、振動の周波数を変化させることで、全てのめっき対象物Ｗによるめっき対象物Ｗ群の鉛直方向の積層量と水平方向の広がり幅を変化させることができる。

また、めっき装置５１は、電流を流すとともに、液流発生部８３を回転させながら液通過穴８４からめっき液５５を噴射する動作を実行する。これにより、めっき対象物収容カートリッジ７０内のめっき対象物Ｗは、撹拌されて、平面視略円形に収容されているめっき対象物Ｗの存在範囲の直径の半分以下、好ましくは３分の１以下、より好ましくは５分の１以下の短い距離の移動をする。

液通過穴８４からめっき液５５が噴射されるとその位置のめっき対象物Ｗが広がるように撹拌され、液通過穴８４の直下位置のめっき対象物Ｗが減るか一時的に存在しなくなるが、振動発生部８０の振動によってすぐに周囲のめっき対象物Ｗが集まってきて元の積層量に戻る。

このようにして、適宜撹拌しながらめっきしていく処理を繰り返して、めっき対象物Ｗに肉厚一定で均一なめっきを施す。

以上の構成および動作により、電源から電流を流すと、めっき空間内に存在するめっき対象物Ｗをアノード極５７の素材によってめっきすることができる。めっき空間内のめっき対象物Ｗは、鉛直方向（めっき用の電流方向）に複数積み上げられて導電性フィルム５９が見えない状態となるため、導電性フィルム５９上面に不要なめっきが電着することを防止できる。

また、撹拌によってめっき対象物Ｗが移動する距離は、めっき対象物Ｗが存在しているめっき空間の半分以下、好ましくは３分の１以下、より好ましくは５分の１以下と十分に短い距離のため、安定しためっきを行うことができる。

また、めっきが完了される毎に交換の必要があるめっき対象物Ｗと導電性フィルム５９は、めっき対象物収容カートリッジ７０としてワンタッチでセットできるため、交換作業が容易になるとともに交換時間を短縮することができる。

また、めっき対象物収容カートリッジ７０は、厚みの薄い四角形であるため、複数重ねて保管しておくことができ、保管に必要な空間を少なくできる。また、めっき装置５１の近くにめっき対象物収容カートリッジ７０を積み上げておけるため、交換作業時にその都度保管庫へ行かなくとも、その場で随時取って交換することができる。

この発明は、上述の実施形態の構成のみに限定されるものではなく、多くの実施の形態を得ることができる。
例えば、実施例１では導電性フィルム９の供給方向と同じ方向に撹拌部位を移動させる構成としが、これに限らず、導電性フィルム９の供給方向と直行する方向に撹拌部位を移動させる構成とするなど、適宜の方向に移動させることができる。

また、めっき対象物Ｗが、ある程度大きくめっき液５５の中でも自重ですぐに沈むようなものである場合には、実施例１のカバーシート２８（図１参照）や実施例２のカバーシート７８（図４参照）を無くしてもよい。この場合、めっき対象物Ｗが必要以上に浮き上がらないために、カバーシート２８，７８で浮き上がりを防止しなくとも上述した実施例１，２と同じ効果を奏することができる。

また、実施例２のめっき対象物収容カートリッジ７０は、さらにプラスチック等の素材で形成された枠体に固定されたカートリッジとすることができる。この場合、作業者がピンと張らなくとも、枠体によってピンと張った状態を常に維持することができ、より取扱いを容易にできるとともに導電性フィルム５９の張り具合を安定化させることができる。

また、実施例２に、めっき対象物収容カートリッジ７０（特に導電性フィルム５９）の張り具合を変化させることができる張力変更部を設けても良い。具体的には、例えば下部筐体５３ｂの内側から上方へ向かってめっき対象物収容カートリッジ７０（特に導電性フィルム５９）の周囲近傍を押圧するリング形状の押圧具と、この押圧具を昇降させる昇降部を設けることができる。この場合、押圧具でめっき対象物収容カートリッジ７０を押圧する量を変化させることで、押圧具の内側のめっき対象物収容カートリッジ７０にかかる張力を変化させることができる。これにより、めっき対象物収容カートリッジ７０にかかる張力が強くなるとめっき対象物Ｗが広い範囲で振動し、めっき対象物収容カートリッジ７０にかかる張力が弱くなるとめっき対象物Ｗが中央に集まって狭い範囲で振動する。この張力変化を繰り返すことで、めっき対象物Ｗが広がったり中央に集まったりし、位置変更と姿勢変更のランダム性を向上させることができる。

また、実施例２のめっき対象物収容カートリッジ７０は、図４に示しためっき対象物収容カートリッジ７０の上下のパッキンＰを含めたカートリッジとしてもよい。この場合、上下のパッキンＰは、カバーシート７８と導電性フィルム５９とその間のパッキンＰを挟み込んだ状態で別途の固定具によって固定される構成にすると良い。これにより、めっき対象物収容カートリッジ７０をさらに取扱い容易にすることができる。

また、実施例２のめっき対象物収容カートリッジ７０内のパッキンＰは、円形に限らず四角形や六角形等の多角形とする等、様々な形の枠形状にすることができる。この場合でも同一の効果を奏することができる。

また、実施例２の各パッキンＰの形状と上部筐体５３ａ下端の形状と下部筐体５３ｂの上端の形状は、ほぼ同じ形状としたが、これに限らず、めっき液５５が漏れ出ない適宜の形状に形成することができる。この場合でも同じ効果を奏することができる。

また、実施例２の液流発生部８３の水平部分の上方位置に電流防止カバーを備えても良い。この場合、液流によってめっき対象物Ｗが押し広げられて導電性フィルム５９上面が露出した場合でも、この部分には電流防止カバー３１に覆われて電流が流れない構成となる。このため、液流でめっき対象物Ｗが回りへ押し広げられた部分で導電性フィルム５９上面に不要なめっきが電着することを防止できる。

また、実施例１，２のいずれにおいても、まずアノード極７，５７にニッケルを用いてニッケルめっきを行い、次いでアノード極７，５７にスズを用いてスズめっきを行って、めっき対象物Ｗに２層のめっきを行など、多層めっきを行ってもよい。

また、実施例１，２のいずれにおいても、めっき対象物Ｗの撹拌を促進する他の外力付与部を追加しても良い。この場合、同じ効果を奏することができるとともに、撹拌効果をより高めることができる。

この発明は、電子部品などの比較的小さな物品をめっき対象物として、複数のめっき対象物をまとめてめっきする技術に利用することができる。

１，５１…めっき装置
５，５５…めっき液
７，５７…アノード極
９，５９…導電性フィルム
９ｂ…平面フィルム部
１０…めっき室
２８，７８…カバーシート
３７，８３…液流発生部
５３ａ…上部筐体
５９…導電性フィルム
７０…めっき対象物収容カートリッジ
８０…振動発生部
Ｗ…めっき対象物

Claims (6)

1. めっき液を収容するめっき室と、
   電源から供給される電流を前記めっき液に流すための陽極と、
   陰極として機能してめっき対象である複数のめっき対象物が載置されるめっき対象物載置部と、
   前記めっき対象物を撹拌する撹拌手段とを備え、
   前記めっき対象物載置部は、導電性フィルムにより形成され、
   前記導電性フィルムと略平行に配置されてめっき対象物を覆っているカバーシートを備え、
   前記めっき対象物は、前記導電性フィルムの上にメッキ用の電流方向である鉛直方向に複数積み上げられて前記導電性フィルムが見えない状態となっており
   前記カバーシートと前記導電性フィルムの間は、めっき対象物を積層させる厚さとほぼ同じかそれより少し厚い程度であり、
   前記導電性フィルムを振動させる振動発生部と、
   前記めっき対象物の近傍にて前記めっき液を噴射又は吸引して前記めっき対象物を撹拌する液流発生手段とを備えた
   めっき装置。
2. 前記めっき室は、下面にパッキンが設けられた上部筐体により構成され、
   前記めっき室が前記カバーシートの上方に位置して前記カバーシートの上面に前記パッキンの下面が密着する構成である
   請求項１記載のめっき装置。
3. 前記上部筐体とサイズが同じ下部筐体を備え、
   前記下部筐体の上面に円周に沿ってリング形状のパッキンが設けられ、
   前記上部筐体と前記下部筐体の間に前記カバーシートおよび導電性フィルムが前記パッキンを介して挟み込まれ、密着固定される構成である
   請求項２記載のめっき装置。
4. 前記めっき室は、円筒形に形成され、
   前記液流発生手段は、
   横一直線部分が前記導電性フィルムの中心かつ前記めっき室の中心から外周近傍まで半径方向に平行配置されており、
   前記横一直線部分が平面視円形に回転する構成である
   請求項１記載のめっき装置。
5. 前記カバーシートと前記導電性フィルムとによりめっき対象物を収容して構成されるめっき対象物収容カートリッジが構成された
   請求項１から４のいずれか１つに記載のめっき装置。
6. めっき液を収容するめっき室と、
   電源から供給される電流を前記めっき液に流すための陽極と、
   陰極として機能してめっき対象である複数のめっき対象物が載置されるめっき対象物載置部と、
   前記めっき対象物を撹拌する撹拌手段とを備えためっき装置を用いてめっきするめっき方法であって、
   前記めっき対象物載置部は、導電性フィルムにより形成され、
   前記導電性フィルムと略平行に配置されてめっき対象物を覆っているカバーシートを備え、
   前記めっき対象物は、メッキ用の電流方向である鉛直方向に複数積み上げられて前記導電性フィルムが見えない状態となっており、
   前記カバーシートと前記導電性フィルムの間は、めっき対象物を積層させる厚さとほぼ同じかそれより少し厚い程度であり、
   前記導電性フィルムを振動させる振動発生部と、
   前記めっき対象物の近傍にて前記めっき液を噴射又は吸引して前記めっき対象物を撹拌する液流発生手段とを備えた
   めっき方法。

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