JP4793380B2 - めっき装置 - Google Patents
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Description
めっき液が貯留してあるめっき槽と、
前記めっき槽の内部に配置されるアノード電極と、
前記アノード電極に対して前記めっき液を介して導通可能なカソード電極と、
前記めっき槽の内部に配置され、内部に被めっき物およびメディアが着脱自在に収容される筒体と、を有するめっき装置であって、
前記筒体は、前記めっき液を筒体内部に流通させるためのメッシュを有し、
前記メッシュには、前記カソード電極の頭部が、前記筒体の内側に位置するように取り付けられ、
前記カソード電極の頭部は、全体として、前記筒体の内部に向けて凸の曲面を有し、
前記カソード電極の頭部には、
前記メディアまたは被めっき物が接触して電気的導通可能な可能な電気接続部分と、
前記電気接続部分と前記メッシュとの間に形成され電気的導通が生じない絶縁部分と、が形成されている。
図1は本発明の一実施形態に係るめっき装置の全体概略図、
図2は図1に示すポッドの分解斜視図、
図3(A)〜図3(C)は図2に示すポッドの縦断面図、横断面図および要部縦断面図、
図4は図2に示すポッドにおける下部取付リングの斜視図、
図5はカソード電極の頭部を示す要部断面図、
図6〜図11は図1に示すめっき装置の動きを示す概略図、
図12および図13はそれぞれ本発明の別の実施形態に係るめっき装置におけるカソード電極の頭部を示す要部断面図、
図14〜図16は本発明の比較例に係るめっき装置におけるカソード電極の頭部を示す要部断面図である。
めっき装置
めっき方法
4… めっき槽
6… めっき液
8… シリンジ
8a… 収容空間
8b… 供給通路
12… バルブ
14… ポンプ
20… ポッド
30… カソード電極
30a… 頭部
30a1,30a2… 傘部(電気接続部分)
30b1,30b2… リング部材(絶縁部分)
30b3… 絶縁膜(絶縁部分)
40… アノード電極
50… ワーク(被めっき物)
52… メディア
54… めっき析出部分
Claims (7)
- めっき液が貯留してあるめっき槽と、
前記めっき槽の内部に配置されるアノード電極と、
前記アノード電極に対して前記めっき液を介して導通可能なカソード電極と、
前記めっき槽の内部に配置され、内部に被めっき物およびメディアが着脱自在に収容される筒体と、
前記筒体の内部に収容される前記メディアと、を有するめっき装置であって、
前記筒体は、円筒状の本体と、前記本体における軸方向の両端開口部に装着されて前記めっき液を筒体内部に流通させるための一対のメッシュとを有し、
前記本体の下端開口部に取り付けられる前記メッシュには、前記カソード電極の頭部が、前記筒体の内側に位置するように取り付けられ、
前記カソード電極の頭部は、全体として、前記筒体の内部に向けて凸の曲面を有し、
前記カソード電極の頭部には、
前記メディアまたは被めっき物が接触して電気的導通可能な電気接続部分と、
前記電気接続部分と前記メッシュとの間に形成され電気的導通が生じない絶縁部分と、が形成され、
前記筒体の内部で前記メディアが前記メッシュの表面に接触した状態で、当該メディアが前記カソード電極の頭部と接触する接触点のメッシュ表面からの高さに比較して、
前記メッシュ表面からの前記絶縁部分の高さは同等以上である
ことを特徴とするめっき装置。 - 前記絶縁部分は、前記カソード電極の頭部に着脱自在に一体化される絶縁性のリング部材で構成してある請求項1に記載のめっき装置。
- 前記リング部材の外周面は、前記電気接続部分の外周面に対して滑らかに繋がっている請求項2に記載のめっき装置。
- 前記電気接続部分では、前記カソード電極自体が露出している請求項1〜3のいずれかに記載のめっき装置。
- 前記絶縁部分では、前記カソード電極の表面に絶縁膜が形成してある請求項1に記載のめっき装置。
- めっき液が貯留してあるめっき槽と、
前記めっき槽の内部に配置されるアノード電極と、
前記アノード電極に対して前記めっき液を介して導通可能なカソード電極と、
前記めっき槽の内部に配置され、内部に被めっき物およびメディアが着脱自在に収容される筒体と、を有するめっき装置であって、
前記筒体は、円筒状の本体と、前記本体における軸方向の両端開口部に装着されて前記めっき液を筒体内部に流通させるための一対のメッシュとを有し、
前記本体の下端開口部に取り付けられる前記メッシュには、前記カソード電極の頭部が、前記筒体の内側に位置するように取り付けられ、
前記カソード電極の頭部は、全体として、前記筒体の内部に向けて凸の曲面を有し、
前記カソード電極の頭部には、
前記メディアまたは被めっき物が接触して電気的導通可能な電気接続部分と、
前記電気接続部分と前記メッシュとの間に形成され電気的導通が生じない絶縁部分と、が形成され、
前記絶縁部分は、前記カソード電極の頭部に着脱自在に一体化される絶縁性のリング部材で構成してあり、
前記リング部材の外周面は、前記電気接続部分の外周面に対して滑らかに繋がっていることを特徴とするめっき装置。 - めっき液が貯留してあるめっき槽と、
前記めっき槽の内部に配置されるアノード電極と、
前記アノード電極に対して前記めっき液を介して導通可能なカソード電極と、
前記めっき槽の内部に配置され、内部に被めっき物およびメディアが着脱自在に収容される筒体と、
前記筒体の内部に収容される前記メディアと、
前記カソード電極が着脱自在に固定されるシャフトと、
前記シャフトを前記筒体と共に上下移動させる昇降手段と、
を有するめっき装置であって、
前記筒体は、前記めっき液を筒体内部に流通させるためのメッシュを有し、
前記メッシュには、前記カソード電極の頭部が、前記筒体の内側に位置するように取り付けられ、
前記カソード電極の頭部は、全体として、前記筒体の内部に向けて凸の曲面を有し、
前記カソード電極の頭部には、
前記メディアまたは被めっき物が接触して電気的導通可能な電気接続部分と、
前記電気接続部分と前記メッシュとの間に形成され電気的導通が生じない絶縁部分と、が形成され、
前記筒体の内部で前記メディアが前記メッシュの表面に接触した状態で、当該メディアが前記カソード電極の頭部と接触する接触点のメッシュ表面からの高さに比較して、
前記メッシュ表面からの前記絶縁部分の高さは同等以上である
ことを特徴とするめっき装置。
Priority Applications (1)
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JP2007301364A JP4793380B2 (ja) | 2007-11-21 | 2007-11-21 | めっき装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007301364A JP4793380B2 (ja) | 2007-11-21 | 2007-11-21 | めっき装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2009127070A JP2009127070A (ja) | 2009-06-11 |
JP4793380B2 true JP4793380B2 (ja) | 2011-10-12 |
Family
ID=40818305
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007301364A Active JP4793380B2 (ja) | 2007-11-21 | 2007-11-21 | めっき装置 |
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2007
- 2007-11-21 JP JP2007301364A patent/JP4793380B2/ja active Active
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