JPH05247682A

JPH05247682A - 電解めっき方法

Info

Publication number: JPH05247682A
Application number: JP4965992A
Authority: JP
Inventors: Hidetsugu Ono; 英嗣小野; Hiroyuki Iizuka; 博之飯塚; Seiji Saito; 征士斉藤; Yoshiomi Go; 良臣郷
Original assignee: Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 1992-03-06
Filing date: 1992-03-06
Publication date: 1993-09-24

Abstract

(57)【要約】【目的】電子部品等の微小部品を容易かつ効率的に電
解めっき処理する。【構成】絶縁性の第１の無限軌道帯５と導電性の第２
の無限軌道帯６，７との間に被めっき物１０を挾み込
み、これら無限軌道帯５，６，７を無端回動させ、被め
っき品１０をめっき液槽１，３中に浸漬させた状態で移
動させて電解めっきを行なう。【効果】被めっき物の大きさや形状、材質等に制限を
受けることなく、電子部品等の微小部品であっても、容
易かつ効率的に、連続的に電解めっき処理することがで
き、均一厚さのめっき皮膜を安定に析出させて、めっき
処理中の被めっき物の損傷や劣化をひき起こすことな
く、高い歩留りにて高特性めっき処理品を得ることがで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は電解めっき方法に係り、
特に、電子部品等の微小部品を容易かつ効率的に電解め
っき処理する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、電子部品等の微小部品のめっき処
理は、壁面に多条のスリット又は多数の小孔を設けた多
角形の筒体（以下「ドラム」と称す。）の内部に電極を
通してなる回転バレルと称される装置に、当該微小部品
の被めっき物を充填し、ドラムをめっき液中に浸漬した
状態で、モータにより回転駆動させることにより、ドラ
ム内の被めっき物を電解めっき処理することにより実施
されている。なお、ドラム内には、多くの場合、被めっ
き物と共に、被めっき物の通電を良好にするための導電
性の媒体、例えばスチールボール等を適量充填する必要
がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の電解めっき
方法では、ドラムの回転のために、被めっき物が機械的衝撃を
受け、被めっき物が損傷したり、特性が劣化する場合が
ある。このため、被めっき物の形状や材質に制限を受
け、機械的強度の低い、複雑形状の被めっき物には不適
当である。被めっき物の通電のために導電性の媒体を用いる必
要がある。より、めっき処理後、被めっき物と導電性の媒体
との選別工程が必要となる。被めっき物の大きさや形状に応じて、導電性の媒体
として、適性な大きさ、形状のものを選定する必要があ
る。ロット毎或いは製品毎に、析出するめっき皮膜のば
らつきが大きい。といった問題がある。

【０００４】本発明は上記従来の問題点を解決し、電子
部品等の微小部品であっても、容易かつ効率的に、しか
も安定かつ均一にめっき処理することができる電解めっ
き方法を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の電解めっき方法
は、少なくとも一方が導電性を有している第１の無限軌
道帯と第２の無限軌道帯との間に被めっき物を挾み込
み、これら無限軌道帯を無端回動させ、該被めっき品を
めっき液中に浸漬させた状態で移動させてめっきを行な
うことを特徴とする。

【０００６】

【作用】本発明の電解めっき方法では、無端回動する第
１の無限軌道帯と第２の無限軌道帯との間に被めっき物
を挾み込み、被めっき物をめっき液中に浸漬させた状態
で移動させて電解めっき処理するため、めっき処理中に
おいて、被めっき物に何ら機械的衝撃が加えられること
はない。また、第１の無限軌道帯と第２の無限軌道帯と
のいずれか一方は導電性であることから、この導電性の
無限軌道帯が通電のための媒体となるため、別途導電性
の媒体を選定して使用する必要がない。しかも、めっき
処理後の被めっき物は、第１の無限軌道帯と第２の無限
軌道帯との無端回動の分岐点となる位置において、両無
限軌道帯の間から容易に回収することができる。

【０００７】このような本発明の電解めっき方法によれ
ば、被めっき物は、めっき液中に浸漬されている間は、
常に電解めっき処理されるので、無限軌道帯の回動速
度、無限軌道帯及びめっき液槽の寸法等より求められる
被めっき物のめっき液中浸漬時間や電流値等が一定であ
れば、めっき皮膜析出量は一定であるので、製品毎のば
らつきを抑えて、均一なめっき処理品を安定に生産する
ことができる。

【０００８】その上、２種以上のめっき処理を行なっ
て、多層めっき皮膜を形成する場合においても、単にめ
っき液槽を無限軌道帯の回動方向に直列配置して、被め
っき物を順次めっき液槽内に浸漬された状態で移動させ
れば良く、容易かつ効率的に連続めっき処理することが
できる。

【０００９】また、前述の如く、被めっき物はめっき処
理中に機械的衝撃を殆ど受けることはないので、機械的
強度の低い材質よりなる被めっき物や、複雑形状の被め
っき物であっても何ら損傷，劣化を受けることなくめっ
き処理可能である。

【００１０】しかも、被めっき物の大きさについても、
無限軌道帯間に挾み込むことができるものであれば良
く、形状についても何ら制限を受けることはない。被め
っき物の大きさ、形状に応じて、適宜無限軌道帯の幅や
材質等を選択することにより、様々な形状の被めっき物
について電解めっき処理することが可能とされる。

【００１１】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て詳細に説明する。図１は本発明の電解めっき方法の実
施に好適な電解めっき装置を示す模式的な断面図、図２
は同平面図、図３，図４，図５は各々図１の部，
部，部の拡大図である。

【００１２】図１〜図５に示す電解めっき装置は、第１
のめっき液槽１、第１の洗浄槽２、第２のめっき液槽３
及び第２の洗浄槽４を直列に配置して、２層めっき皮膜
を連続して形成するための装置であって、これら第１の
めっき液槽１、第１の洗浄槽２、第２のめっき液槽３及
び第２の洗浄槽４の各槽内を通過した後各槽の下方を回
って無端回動する、絶縁性の網状帯体（第１の無限軌道
帯）５と、この絶縁性の網状帯体５と平行して第１のめ
っき液槽１及び第１の洗浄槽２を通過してた後、各槽の
上方を回って無端回動する導電性の網状帯体（第２の無
限軌道帯）６と、同様に、絶縁性の網状帯体５と平行し
て第２のめっき液槽３及び第２の洗浄槽４を通過した
後、各槽の上方を回って無端回動する導電性の網状帯体
（第２の無限軌道帯）７とが設けられている。

【００１３】第１のめっき液槽１の内面側壁には金属板
よりなるアノード１１，１２が設けられており、このア
ノード１１，１２に第１のめっき電源１３の十極が接続
されている。この第１のめっき電源１３の一極は導電性
の網状帯体６に接続されている。

【００１４】同様に、第２のめっき液槽３の内面側壁に
は金属板よりなるアノード１４，１５が設けられてお
り、このアノード１４，１５に第２のめっき電源１６の
十極が接続されている。この第２のめっき電源１６の一
極は導電性の網状帯体７に接続されている。

【００１５】８は被めっき物１０の供給口、９は２層め
っき処理品１０Ｂの回収箱、２１〜４９の各符号は回転
ロールを示す。なお、図１，２において被めっき物１０
やめっき処理品１０Ａ，１０Ｂは図示を省略した。

【００１６】図示の方法においては、まず、供給口８よ
り、絶縁性の網状帯体５上に供給された被めっき物１０
は、図３に示す如く、導電性の網状帯体６と絶縁性の網
状帯体５との回動の合流点Ｉにて、両網状帯体５，６の
間に挾まれた状態で、第１のめっき液槽１内に浸漬され
つつ移動し、その後第１の洗浄槽２内に浸漬されつつ移
動する。これにより、被めっき物１０は、第１のめっき
液槽１内で、導電性の網状帯体６と第１のめっき液槽１
のアノード１１，１２との間に印加される電圧で電解め
っき処理されてめっき層が形成され、次いで第１の洗浄
槽２内で洗浄される。

【００１７】第２の洗浄槽２で洗浄処理された１層めっ
き処理品１０Ａは、図４に示す如く、導電性の網状帯体
６と絶縁性の網状帯体５との回動の分岐点IIで導電性の
網状帯体６から解放され、絶縁性の網状帯体５に載って
移送された後、導電性の網状帯体７と絶縁性の網状帯体
５との回動の合流点III において、両網状帯体５，７の
間に挾まれた状態で、第２のめっき液槽３内に浸漬され
つつ移動し、その後第２の洗浄槽４内に浸漬されつつ移
動する。これにより、１層めっき処理品１０Ａは、第２
のめっき液槽３内で、導電性の網状帯体７と第２のめっ
き液槽３のアノード１４，１５との間に印加される電圧
で電解めっき処理されてめっき層が形成され、次いで第
２の洗浄槽４内で洗浄される。

【００１８】得られた２層めっき処理品１０Ｂは、図５
に示す如く、導電性の網状帯体７と絶縁性の網状帯体５
との回動の分岐点IVで導電性の網状帯体７から解放さ
れ、絶縁性の網状帯体５に載置されて移送され、絶縁性
の網状帯体５の回動の折り回し点Ｖにて回収箱９に投下
されて回収される。

【００１９】このような方法において、各網状帯体の回
動速度、各めっき液槽の回動方向の長さや液深さ等、或
いは、各めっき電源の印加電圧等を選定し、被めっき物
のめっき液中浸漬時間及び電解電圧を適宜設定すること
により、容易に所望の厚さのめっき皮膜を均一厚さに安
定に形成することができる。

【００２０】図示の方法において、無限軌道帯として網
状帯体を用いたが、無限軌道帯は網状帯体に限らず、板
状、又は複数の線状のものであっても良く、被めっき物
の形状や大きさ等に応じて、その材質や形状、帯幅等が
適宜決定される。

【００２１】また、図示の例は、２層めっきを行なう場
合の例であるが、第２のめっき液槽３、第２の洗浄槽４
及び導電性の網状帯体７を省いて、１層めっきとするこ
ともできる。更に同様に、第３のめっき液槽、第３の洗
浄槽、第４のめっき液槽、第４の洗浄槽…を直列配置
し、各槽に導電性の網状帯体を設けると共に、絶縁性の
網状帯体を延設することにより３層以上の多層めっきを
行なうこともできる。いずれの場合においても、一枚の
絶縁性の網状帯体を全槽にわたって無端回動させ、各め
っき液槽及び洗浄槽毎に導電性の網状帯体を設けて回動
させるのが有利である。

【００２２】以下に具体的な実施例及び比較例を挙げ
て、本発明をより詳細に説明する。

【００２３】実施例１図１〜図５に示す本発明方法に従って、磁器絶縁体の両
端に外部電極を塗布したチップ状の試料のめっき処理
（電解ニッケルめっき後、電解はんだめっき）を行なっ
た。得られためっき処理品のニッケルめっき膜厚、はん
だめっき膜厚及びカケワレ発生数を調べ、結果を表１に
示した。なお、各めっき膜厚は１０個の試料について調
べ、平均値、最大値（ＭＡＸ）、最小値（ＭＩＮ）、標
準偏差（σ）を求めた。また、カケワレ発生数は試料１
００００個当りのカケ又はワレが発生した試料数であ
る。

【００２４】比較例１従来の回転バレル装置を用い、ドラム内に実施例１で用
いたと同様のチップ状の試料と導電性の媒体とを適量ず
つ充填し、電解ニッケルめっき後、電解はんだめっき処
理し、得られためっき処理品について、実施例１と同様
にめっき膜厚及びカケワレ発生数を調べ、結果を表１に
示した。

【００２５】表１より明らかなように、本発明の電解め
っき方法によれば、ばらつきの小さい、均一膜厚のめっ
き皮膜を形成することができ、しかもカケワレの発生数
も大幅に低減される。

【００２６】

【表１】

【００２７】

【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の電解めっき
方法によれば、被めっき物の大きさや形状、材質等に制
限を受けることなく、電子部品等の微小部品であって
も、容易かつ効率的に、連続的に電解めっき処理するこ
とができ、均一厚さのめっき皮膜を安定に析出させて、
めっき処理中の被めっき物の損傷や劣化をひき起こすこ
となく、高い歩留りにて高特性めっき処理品を得ること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の電解めっき方法の実施に好適な電解め
っき装置を示す模式的な断面図である。

【図２】図１に示す電解めっき装置の模式的な平面図で
ある。

【図３】図１の部の拡大図である。

【図４】図１の部の拡大図である。

【図５】図１の部の拡大図である。

【符号の説明】

１第１のめっき液槽２第１の洗浄槽３第２のめっき液槽４第２の洗浄槽５絶縁性の網状帯体６導電性の網状帯体７導電性の網状帯体８供給口９回収箱１０被めっき物１０Ａ１層めっき処理品１０Ｂ２層めっき処理品１３第１のめっき電源１６第２のめっき電源

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者斉藤征士埼玉県秩父郡横瀬町大字横瀬2270番地三菱マテリアル株式会社セラミックス研究所内 (72)発明者郷良臣埼玉県秩父郡横瀬町大字横瀬2270番地三菱マテリアル株式会社セラミックス研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも一方が導電性を有している第
１の無限軌道帯と第２の無限軌道帯との間に被めっき物
を挾み込み、これら無限軌道帯を無端回動させ、該被め
っき品をめっき液中に浸漬させた状態で移動させてめっ
きを行なうことを特徴とする電解めっき方法。