JP2006198508A - 液滴吐出装置、液滴吐出装置におけるワーク加振方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】機能性の液体をワークに対して描画した後の工程でワークを振動させることにより、描画ステージには振動を与えずに、液体の見かけの表面張力を減少させて、ワークにおける液体の濡れ広がりを確実に行うことができる液滴吐出装置、液滴吐出装置におけるワーク加振方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供すること。
【解決手段】ヘッド１１のノズル１２１から液体をワークＷに吐出する液滴吐出装置１０であって、ワークＷを保持するワーク保持テーブル１４と、液体が吐出されたワークＷＰを前記ワーク保持テーブルから搬送するための搬送手段４７０と、搬送手段に設けられて搬送手段上のワークを加振する加振手段４５０とを有する。
【選択図】図５

Description

本発明は、ヘッドのノズルから液体をワークに吐出する液滴吐出装置、液滴吐出装置におけるワーク加振方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関する。

液滴吐出装置は、描画システムとして用いられることがあり、この描画システムはインクジェット式で液滴をワークに対して吐出するようになっている。この描画システムはたとえばフラットパネルディスプレイのような電気光学素子の製造に用いられることがある。
たとえば、液晶表示装置のカラーフィルタの画素や、電界発光装置、たとえば有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）装置の発光層を形成する際には、機能性液体はヘッドのノズルから基板に対して突出して形成するようにしている。このようなインクジェットのヘッドを用いて機能性液体が基板に対して吐出して描画される際に、基板には振動を与えることが提案されている（たとえば特許文献１）。
特開２００３−１３９９３４号公報（第３頁、図６）

このように、機能性液体がノズルから基板に対して吐出される際に、基板に対して振動を与えることにより、吐出された機能性液体の流動性を高めて、機能性液体は全体的に均一に広げることができる。しかし、特許文献１では、ワークを搭載した描画ステージに振動素子を設けていて、描画ステージには液滴吐出時に振動が発生するので、描画ステージの機械的精度が低下してしまう。すなわち、描画ステージの動作用のサーボ系の発振や機械的な振動が生じてしまう。このために、ヘッドからの機能性液体はステージ上のワークの適切な位置に吐出できないことがある。

そこで本発明は上記課題を解消し、機能性の液体をワークに対して描画した後の工程でワークを振動させることにより、描画ステージには振動を与えずに、液体のみかけの表面張力を減少させて、ワークにおける液体の濡れ広がりの不足を確実に防ぐことができる液滴吐出装置、液滴吐出装置におけるワーク加振方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的としている。

上記目的は、第１の発明にあっては、ヘッドのノズルから液体をワークに吐出する液滴吐出装置であって、前記ワークを保持するワーク保持テーブルと、前記液体が吐出された前記ワークを前記ワーク保持テーブルから搬送するための搬送手段と、前記搬送手段に設けられて前記搬送手段上の前記ワークを加振する加振手段と、を有することを特徴とする液滴吐出装置により、達成される。

第１の発明の構成によれば、ワーク保持テーブルは、ワークを保持する。搬送手段は、液体が吐出されたワークを搬送するためのものである。加振手段は、搬送手段を加振する。
これにより、液体が吐出されたワークは、搬送手段により搬送される。このワークが搬送される際に、加振手段は搬送手段を加振することで、ワーク上の液体に対して振動を伝達する。したがって、この振動によりワーク上の液体の表面に微小な波面が発生して、液体のみかけの表面張力が低下する。この表面張力の低下により、ワークに対して液体が濡れやすくなり、濡れ広がりの不足を確実に防止することができる。

第２の発明は、第１の発明の構成において、前記加振手段は、前記ワーク保持テーブルから受け渡された前記ワークを載せて搬送するためのワーク搬送装置に配置されていることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、加振手段は、ワーク保持テーブルから受け渡されたワークを載せて搬送するためのワーク搬送装置に配置されている。
これにより、ワークはワーク搬送装置により搬送される際に、ワーク上の液体は加振手段により加振することができる。

第３の発明は、第１の発明の構成において、前記加振手段は、前記ワーク保持テーブルとの間で前記ワークの搬出入をするためのワーク搬出入ロボットに配置されていることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、加振手段は、ワーク保持テーブルとの間でワークを搬出入するためのワーク搬出入ロボットに配置されている。
これにより、ワーク搬出入ロボットが、ワーク保持テーブルから搬出する際に、ワーク上の液体を加振することができる。

第４の発明は、第１の発明の構成において、前記加振手段は、前記ワーク保持テーブルの付近に設けられて前記ワーク保持テーブルから前記ワークを搬出するワーク搬出入テーブルに配置されていることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、加振手段は、ワーク保持テーブルの付近に設けられてワーク保持テーブルからワークを搬出するワーク搬出入テーブルに配置されている。
これにより、ワーク搬出入テーブルによりワークが搬出される時に、ワーク上の液体は、加振手段により、加振することができる。

上記目的は、第５の発明にあっては、ヘッドのノズルから液体をワークに吐出する液滴吐出装置におけるワーク加振方法であって、ワーク保持テーブルに保持した前記ワークに前記液体を吐出した後に前記ワークを前記ワーク保持テーブルから取り外して、加振手段が前記ワークを搬送する際に前記ワークに対して振動を与えることを特徴とする液滴吐出装置におけるワーク加振方法により、達成される。

これにより、液体が吐出されたワークは、搬送手段により搬送される。このワークが搬送される際に、加振手段は搬送手段を加振することで、ワーク上の液体に対して振動を伝達する。したがって、この振動によりワーク上の液体の表面に微小な波面が発生して、液体のみかけの表面張力が低下する。この表面張力の低下により、ワークに対して液体が濡れやすくなり、濡れ広がりの不足を確実に防止することができる。

上記目的は、第６の発明にあっては、ヘッドのノズルから液体をワークに吐出することで電気光学装置を製造する製造方法であって、ワーク保持テーブルに保持した前記ワークに前記液体を吐出した後に前記ワークを前記ワーク保持テーブルから取り外して、加振手段が前記ワークを搬送する際に前記ワークに対して振動を与えることで前記電気光学装置を製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法により、達成される。

これにより、液体が吐出されたワークは、搬送手段により搬送される。このワークが搬送される際に、加振手段は搬送手段を加振することで、ワーク上の液体に対して振動を伝達する。したがって、この振動によりワーク上の液体の表面に微小な波面が発生して、液体のみかけの表面張力が低下する。この表面張力の低下により、ワークに対して液体が濡れやすくなり、濡れ広がりの不足を確実に防止することができる。
このために、より高品質な電気光学装置を製造することができる。

上記目的は、第７の発明にあっては、ヘッドのノズルから液体をワークに吐出することで製造される電気光学装置であって、ワーク保持テーブルに保持した前記ワークに前記液体を吐出した後に前記ワークを前記ワーク保持テーブルから取り外して、加振手段が前記ワークを搬送する際に前記ワークに対して振動を与えることで製造されることを特徴とする電気光学装置により、達成される。

これにより、液体が吐出されたワークは、搬送手段により搬送される。このワークが搬送される際に、加振手段は搬送手段を加振することで、ワーク上の液体に対して振動を伝達する。したがって、この振動によりワーク上の液体の表面に微小な波面が発生して、液体のみかけの表面張力が低下する。この表面張力の低下により、ワークに対して液体が濡れやすくなり、濡れ広がりの不足を確実に防止することができる。
このために、より高品質な電気光学装置が得られる。

第８の発明は、第７の発明に記載の前記電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器である。
これにより、高品質な電気光学装置を搭載した電子機器が得られる。

以下、本発明の好適な実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は、本発明の液滴吐出装置の好ましい実施形態を示す平面図である。
図１に示す液滴吐出装置１０は、描画システムとして用いることができる。この描画システムは、一例としていわゆるフラットパネルディスプレイの一種であるたとえば有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）装置の製造ラインに組み込まれるものである。この液滴吐出装置１０は、たとえば有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子を形成することができる。

液滴吐出装置１０は、たとえばインクジェット式描画装置として用いることができる。液滴吐出装置１０は、有機ＥＬ装置の発光素子を液滴吐出法（インクジェット法）で形成するためのものである。液滴吐出装置１０のヘッド（機能液滴吐出ヘッドとも言う）は、有機ＥＬ素子の発光素子を形成できる。具体的には、有機ＥＬ素子の製造工程において、バンク部形成工程およびプラズマ処理工程を経て、バンク部が形成された基板（ワークの一例）に対して、発光機能材料を導入したヘッドを相対的に走査することにより、液滴吐出装置１０は、基板の画素電極の位置に対応して正孔注入／輸送層および発光層の成膜部を形成することができる。
液滴吐出装置１０はたとえば２台用意することにより、１台目の液滴吐出装置１０が正孔注入／輸送層を形成し、もう１台の液滴吐出装置１０はＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の３色の発光層を形成することができる。

図１の液滴吐出装置１０はチャンバ１２の中に収容されている。チャンバ１２は別のチャンバ１３を有している。このチャンバ１３の中には、ワーク搬出入テーブル１４を収容している。ワーク搬出入テーブル１４は、ワークＷをチャンバ１２内のテーブル３０の上へ搬入したり、あるいは液滴吐出処理ずみのワークＷＰをチャンバ１２内のテーブル３０の上から搬出して載せておくためのテーブルである。
たとえば、ワーク搬出入テーブル１４は、図１のＸ（−）方向に移動することで、ワーク搬出入テーブル１４からテーブル３０に処理前のワークＷを搬入する。また、ワーク搬出入テーブル１４は、図１のＸ（＋）方向に移動することで、テーブル３０からワーク搬出入テーブル１４へ液滴吐出処理ずみのワークＷＰを移す。

図１に示すチャンバ１２の中には、ヘッド１１のメンテナンスを行うメンテナンス部１５を収容している。またチャンバ１２の外側には、回収部１６を備えている。
メンテナンス部１５は、吸引ユニット４００、フラッシングユニット（図示せず）、吐出検査ユニット（図示せず）あるいは重量測定ユニット（図示せず）等を有している。

フラッシングユニットは、ヘッド１１から予備的に吐出された吐出用液滴を受けるためのものである。吸引ユニット４００は、ヘッド１１のノズル面のノズルから液体や気泡を吸引するためのものである。
吐出検査ユニットは、ヘッド１１から吐出される吐出用液滴の吐出状態を検査する。重量測定ユニットは、ヘッド１１から吐出される液滴の重量を測定する。
回収部１６は、たとえば吐出用液滴を回収する液滴回収系とワイピングの後に用いる洗浄用の溶剤を供給する洗浄液供給系を有している。

チャンバ１２とチャンバ１３は、個別にエアー管理されており、チャンバ１２とチャンバ１３の中の雰囲気に変動が生じないようになっている。このようにチャンバ１２とチャンバ１３を用いるのは、たとえば有機ＥＬ素子を製造する場合には大気中の水分等を嫌うために大気の影響を排除できるようにするためである。チャンバ１２とチャンバ１３の中にはドライエアーを連続的に導入して排気することで、ドライエアー雰囲気を維持する。

次に、図１に示すチャンバ１２内の構成要素について説明する。
チャンバ１２の中には、フレーム２０、ヘッド１１、キャリッジ１９、液体貯留部３００、第１操作部２１、第２操作部２２、テーブル３０、ガイド基台１７を収容している。
図１のフレーム２０はＸ軸方向に沿って水平に設けられている。ガイド基台１７はＹ軸方向に沿って設けられている。フレーム２０はガイド基台１７の上方にある。Ｘ軸は第１移動軸に相当し、Ｙ軸は第２移動軸に相当する。Ｘ軸とＹ軸は直交しており、Ｚ軸に対しても直交している。Ｚ軸は、図１において紙面垂直方向である。

第１操作部２１は、フレーム２０に沿ってキャリッジ１９とヘッド１１を、Ｘ軸方向に沿って直線往復移動および位置決めするためのものである。
第２操作部２２は、テーブル３０を有している。このテーブル３０は、図１に示すようなワークＷを着脱可能に搭載することもできる。この第２操作部２２のテーブル３０は、ヘッド１１からワークＷに対して吐出用の液滴を与える際に、ワークＷを保持するワーク保持テーブルである。そして第２操作部２２は、ワークＷをＹ軸方向に沿ってガイド基台１７上を直線移動して位置決めすることができる。

第１操作部２１は、キャリッジ１９とヘッド１１をＸ軸方向に直線移動して位置決めするためのモータ２１Ａを有している。このモータ２１Ａは、たとえば送りねじを用いることにより、キャリッジ１９とこのヘッド１１をＸ軸方向に直線移動することができる。モータ２１Ａは、この回転型の電動モータであってもよいし、リニアモータであってもよい。

第２操作部２２のモータ２２Ａは、テーブル３０をガイド基台１７に沿ってＹ軸方向に直線移動して位置決め可能である。モータ２２Ａはたとえば送りねじを回転する回転型の電動モータを用いることができる。モータ２２Ａとしては回転型のモータの他にリニアモータを用いることも可能である。

第２操作部２２のテーブル３０は、搭載面３０Ａを有している。この搭載面３０Ａは、図１のＺ軸方向に垂直な面である。搭載面３０Ａは、吸着部３０Ｂを有している。この吸着部３０Ｂは、ワークＷを真空吸着により吸着することができるものである。これにより、ワークＷは、搭載面３０Ａに対してずれることなく確実に着脱可能に固定することができる。

次に、図２と図３を参照して、キャリッジ１９とヘッド１１の構造例について説明する。
図２はキャリッジ１９とヘッド１１の周りの形状例を示す斜視図であり、図３は、図２のＧ方向から見た正面図の例である。
キャリッジ１９は、図１に示すモータ２１ＡによりＸ軸方向に移動して位置決め可能である。キャリッジ１９はヘッドホルダ６１を用いてヘッド１１を着脱可能に保持している。

図３に示すように、制御部２００の指令によりモータ６２が作動すると、ヘッドホルダ６１とヘッド１１のユニットがＺ軸方向に沿って上下動して位置決め可能である。そして、制御部２００の指令により、もう１つのモータ６３が作動することにより、ヘッド１１は、Ｕ軸を中心としてθ方向に回転可能になっている。

図２と図３に示すように、ヘッド１１はノズルプレート６４を有している。ノズルプレート６４の下面はノズル面７０である。このノズル面７０は、複数のノズルのノズル開口１２１を有している。ヘッド１１は、液体貯留部３００に接続されている。この液体貯留部３００は、ワークＷに吐出するための液体を貯留するものであり、液体貯留部３００は機能液貯蔵部ともいう。液体貯留部３００内の吐出用液体は、ノズル開口１２１からたとえば図４に示す圧電振動子７８９の作動によりインクジェット式で吐出させることができるのである。

図４は、ヘッド１１内に配置されている複数の圧電振動子７８９の例を示している。この圧電振動子７８９は、図２に示すヘッド１１の各ノズルに対応して１つずつ配列されている。図４の制御部２００は、駆動部２０１に信号を与えることにより、駆動部２０１は、複数の圧電振動子７８９の中の任意の圧電振動子を動作させることで、動作された圧電振動子７８９に対応するノズルの図２に示すノズル開口１２１からはインクジェット式で液滴を吐出させることができるようになっている。

図５は、図１に示す液滴吐出処理ずみのワークＷＰと、ワーク搬出入テーブル１４の形状例を示す、図１のＥ−Ｅ線における断面図である。
ワーク搬出入テーブル１４は、好ましくは平板状の部材であり、ワーク搬出入テーブル１４は金属または石材もしくはセラミックスなどにより作ることができる。ワーク搬出入テーブル１４の搭載面１４Ａは、平坦面である。搭載面１４Ａの上には、液滴吐出処理ずみのワークＷＰがすでに搭載されている。
このワークＷＰは、有機ＥＬ素子７０２のための基板７１１であり、この基板７１１には、複数のバンク部７４１がＺ２方向に突出して形成されている。このバンク部７４１は、たとえば正方形状の空間部を作っておりこの空間部の中には、機能性の液体２５０がそれぞれすでにノズルから吐出して配置されている。
図５における状態では、各液体２５０は、Ｚ２方向に盛り上がった、たとえば略半球状になっていて、このままでは、液体２５０は表面張力により液体２５０の表面が平坦にならず、液体２５０は基板７１１の底面７１１Ａに対して濡れ不足を生じた状態になっている。

図５のワーク搬出入テーブル１４は、１つまたは複数の加振手段４５０を有している。図５の例では、複数の加振手段４５０が、搭載面１４Ａ側の凹部４５１内に収容して固定されている。
加振手段４５０は、たとえば円柱状の部材であり、加振手段４５０は、たとえば超音波を発生する振動子である。この超音波を発生する加振手段４５０は、たとえば磁歪振動子や電歪振動子を用いることができる。
磁歪振動子としては、たとえばニッケルなどの強磁性体物質に交流磁場をかけると、その長さが伸び縮みする性質を持つ素子である。この交流の周波数を、超音波領域の周波数にすれば、機械振動の周波数は超音波領域の振動になる。交流磁場はコイルに交流電流を流すことで得られ、このコイルの中に棒状の磁場振動子を挿入すると、超音波振動が発生する。磁歪振動子としては、ニッケル、鉄、フェライトなどが採用できる。

電歪振動子は、ＰＺＴ（ピエゾ）素子などであり、たとえばチタン酸ジルコン酸鉛などの強誘電体の交流電圧をかけると、その長さが伸び縮みする素子である。たとえば両側から金属のブロックで電歪振動子を挟み、ボルトで締めた構造のボルト締めランジュバン（人名）型振動子として使用する。これらの加振手段４５０は、制御部２００から交流磁場あるいは交流電圧をかけることにより加振することができる。
図５の実施形態では、たとえば加振手段４５０としては電歪振動子を用いている。

図６は、図５の制御部２００が加振手段４５０を作動させることで、図５の液体２５０がワーク搬出入テーブル１４と基板７１１を介して液体２５０に振動を伝達した後の状態を示している。この振動伝達により、図５の液体２５０の表面に微小な波面が発生して、液体２５０の表面張力が低下する。この液体２５０の表面張力の低下により、バンク部７４１の底面７１１Ａに対する液体２５０の濡れ性が向上して、その結果図６に示すようなたとえば正孔注入／輸送層７５２が各バンク部７４１に対して形成することができる。つまり正孔注入／輸送層７５２には、液体２５０の濡れ広がり不足を確実に解消して、バンク部７４１内において平坦な表面になるように短時間で形成することができる。

このように、バンク部７４１内に液体２５０を吐出して描画した後に、図１のテーブル３０から液滴吐出処理ずみのワークＷＰをワーク搬出入テーブル１４側に移した後に、ワーク搬出入テーブル１４を加振手段４５０で加振する。つまり、図１のテーブル３０は加振せずに、液滴吐出処理ずみのワークＷＰはテーブル３０からワーク搬出入テーブル１４側に搬出した後に、ワーク搬出入テーブル１４の上で加振手段４５０を用いて液体２５０に対して振動を加えることで、テーブル３０に対して加振する必要が無くなる。
このため、テーブル３０の機械的精度が低下するのを防ぐことができ、テーブル３０の上でワークＷＰに対してヘッド１１のノズルが液体を液滴として吐出する際の噴射位置のずれや位置決め精度の低下を確実に防ぐことができる。

図７と図８は、図５と図６とは異なる実施形態を示している。
図７と図８は、液晶表示装置用の液滴吐出処理ずみのワークＷＰを示している。ワーク搬出入テーブル１４と加振手段４５０および制御部２００の構造は同じものを採用することができる。図７に示す液滴吐出処理ずみのワークＷＰは、透明基板８１１を有していて、この透明基板８１１の上には、Ｚ２方向に沿って仕切り８１４が形成されている。この仕切り８１４の中には、液体２５０がノズルから吐出して形成されている。図８では、この液体２５０が、ワーク搬出入テーブル１４と透明基板８１１を介して仕切り８１４の底面７１１Ｂに対して着色層８１３として平坦になるように振動を与えられた状態を示している。このように、図７に示す液体２５０は、着色層８１３として、各仕切り８１４の中において表面が平坦になるように形成することができる。
図１と図５ないし図８に示す加振手段４５０は、ワーク搬出入テーブル１４に対して１つまたは複数個装着されている。

図９と図１０は、本発明の別の実施形態を示している。図９と図１０に示すワーク搬出入用のロボット３５０は、たとえばテーブル３０の上に搭載されている液滴吐出処理ずみのワークＷＰを、ワーク搬出入テーブル１４側に搬出したり、液滴吐出処理がされていない新しいワークＷをワーク搬出入テーブル１４からテーブル３０側に搬入するためのロボットである。
図１０に示すようにロボット３５０は、ベース３０１とサポート３０２およびアーム３０３を有している。アーム３０３の第１部分３１１は、モータ３１３によりＲ方向に回転して位置決め可能である。アーム３０３の第２部分３１２は、別のモータ３１４により、第１部分３１１に対してＲ１方向に回転して位置決め可能である。
第２部分３１２は、ワークＷもしくは液滴吐出処理ずみのワークＷＰを着脱可能に保持するための搬送部分３１５を有している。搬送部分３１５は、液滴吐出処理ずみのワークＷＰもしくは液滴吐出処理前のワークＷを支持して搬送する部分である。

アーム３０３は、別の図示しないモータによりＺ方向に上下動することができる。
搬送部分３１５は、加振手段４５０を有している。この加振手段４５０は、搬送部分３１５の上に搭載された液滴吐出処理ずみのワークＷＰを加振するためのものである。
このような構造を採用することにより、図９において、テーブル３０の上でヘッド１１のノズルから機能性の液体が吐出して液滴吐出処理ずみのワークＷＰを、テーブル３０からワーク搬出入テーブル１４側に対してロボット３５０を用いて搬出する場合に、図１０に示すように搬送部分３１５が液滴吐出処理ずみのワークＷＰを搬送しながら加振手段４５０により加振することができるので、液滴吐出処理ずみのワークＷＰ上の液体を、たとえば図１０に示すように、液体２５０を平坦な正孔注入／輸送層７５２になるように短時間で形成することができる。

図１１は、本発明のさらに別の実施形態を示している。
図１１に示すのは、ワーク搬送装置４７０である。このワーク搬送装置４７０は、図９にも示していて、テーブル３０の上にある液滴吐出処理ずみのワークＷＰを、たとえばロボット３５０を用いたりあるいは別の装置を用いて、液滴吐出処理ずみのワークＷＰを移して載せるためのものである。ワーク搬送装置４７０は、液滴吐出処理ずみのワークＷＰを載せるための搭載台４７１を有している。この搭載台４７１は、たとえば複数の加振手段４５０を有している。搭載台４７１は、ベース４７２の上に固定されていて、ベース４７２は、手押し部４７３とタイヤ４７４を有している。

このワーク搬送装置４７０は、手押し部４７３によりたとえばＦ方向に押して移動することもできるし、モータ４７５を作動することで、モータアシストによる移動も行うことができる。モータ４７５によるアシストの無いワーク搬送装置４７０を採用しても良い。
搭載台４７１の上端部には加振手段４５０が設けられている。搭載台４７１の上に搭載された液滴吐出処理ずみのワークＷＰは、加振手段４５０により加振することにより、液滴吐出処理ずみのワークＷＰに形成されている液体を平坦化することができる。

本発明の実施形態は、図示した各種の例があるが、各実施形態の例は、図５と図６に示すような有機ＥＬ装置用の液滴吐出処理ずみのワークＷＰにおいて液体２５０の濡れ広がりの向上を図るようにしても良いし、図７と図８に示すような液晶表示装置用の液滴吐出処理ずみのワークＷＰにおける液体２５０の濡れ広がりを確実に行うために用いても勿論構わない。

本発明の実施形態では、液体が吐出されたワークは、搬送手段により搬送される。このワークが搬送される際に、加振手段は搬送手段を加振することで、ワーク上の液体に対して振動を伝達する。したがって、この振動によりワーク上の液体の表面に微小な波面が発生して、液体の見かけの表面張力が低下する。この表面張力の低下により、ワークに対して液体が濡れやすくなり、濡れ広がりの不足を確実に防止することができる。

本発明の液滴吐出装置の実施形態は、電気光学装置（デバイス）を製造するのに用いることができる。この電気光学装置（デバイス）としては液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する各種装置が考えられる。

図１２は、本発明の液滴吐出装置を描画装置として用いて、フラットパネルディスプレイの一種類である有機ＥＬ装置の製造に用いる場合の有機ＥＬ装置の構造例を示している。有機ＥＬ装置７０１は、基板７１１、回路素子部７２１、画素電極７３１、バンク部７４１、発光素子７５１、陰極７６１（対向電極）、および封止用基板７７１から構成された有機ＥＬ素子７０２に対して、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。

有機ＥＬ素子７０２の基板７１１上には、回路素子部７２１が形成され、回路素子部７２１上には、複数の画素電極７３１が整列している。そして、各画素電極７３１間には、バンク部７４１が格子状に形成されており、バンク部７４１により生じた凹部開口７４４に、発光素子７５１が形成されている。バンク部７４１および発光素子７５１の上部全面には、陰極７６１が形成され、陰極７６１の上には、封止用基板７７１が積層されている。

有機ＥＬ素子７０２の製造プロセスは、バンク部７４１を形成するバンク部形成工程と、発光素子７５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子７５１を形成する発光素子形成工程と、陰極７６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。
すなわち、有機ＥＬ素子７０２は、予め回路素子部７２１および画素電極７３１が形成された基板７１１（ワークＷ）の所定位置にバンク部７４１を形成した後、プラズマ処理、発光素子７５１および陰極７６１（対向電極）の形成を順に行い、さらに、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止することにより製造される。なお、有機ＥＬ素子７０２は、大気中の水分等の影響を受けて劣化しやすいため、有機ＥＬ素子７０２の製造は、ドライエアーまたは不活性ガス（窒素、アルゴン、ヘリウム等）雰囲気で行うことが好ましい。

また、各発光素子７５１は、正孔注入／輸送層７５２およびＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）のいずれかの色に着色された発光層７５３から成る成膜部で構成されており、発光素子形成工程には、正孔注入／輸送層７５２を形成する正孔注入／輸送層形成工程と、３色の発光層７５３を形成する発光層形成工程と、が含まれている。
有機ＥＬ装置７０１は、有機ＥＬ素子７０２を製造した後、有機ＥＬ素子７０２の陰極７６１にフレキシブル基板の配線を接続するとともに、駆動ＩＣに回路素子部７２１の配線を接続することにより製造される。
本発明の実施形態により、有機ＥＬ装置７０１のたとえば正孔注入／輸送層７５２と発光層７５３が、液体を吐出した後工程の搬出または搬送工程において加振することで、濡れ広がり不足を解消して短時間で形成できる。

次に、本発明の実施形態の液滴吐出装置１０を液晶表示装置の製造に適用した場合について説明する。
図１３は、液晶表示装置８０１の断面構造を表している。液晶表示装置８０１は、カラーフィルタ８０２と、対向基板８０３と、カラーフィルタ８０２と対向基板８０３との間に封入された液晶組成物８０４と、バックライト（図示省略）と、で構成されている。対向基板８０３の内側の面には、画素電極８０５と、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示省略）とがマトリクス状に形成されている。画素電極８０５に対向する位置に、カラーフィルタ８０２の赤、緑、青の着色層８１３が配列するようになっている。カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ内側の面には、液晶分子を一定方向に配列させる配向膜８０６が形成されており、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ外側の面には、偏光板８０７が接着されている。

カラーフィルタ８０２は、透光性の透明基板８１１と、透明基板８１１上にマトリクス状に並んだ多数の画素（フィルタエレメント）８１２と、画素８１２上に形成された着色層８１３と、各画素８１２を仕切る遮光性の仕切り８１４と、を備えている。着色層８１３および仕切り８１４の上面には、オーバーコート層８１５および電極層８１６が形成されている。

液晶表示装置８０１の製造方法について説明すると、先ず、透明基板８１１に仕切り８１４を作り込んだ後、画素８１２部分にＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３を形成する。そして、透明アクリル樹脂塗料とスピンコートしてオーバーコート層８１５を形成し、さらに、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）から成る電極層８１６を形成して、カラーフィルタ８０２を作成する。

対向基板８０３には、画素電極８０５とＴＦＴ素子を作り込んでおく。次に、作成したカラーフィルタ８０２および画素電極８０５が形成された対向基板８０３に配向膜８０６の塗布を行った後、これらを貼り合わせる。そして、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３との間に液晶組成物８０４を封入した後、偏光板８０７およびバックライトを積層する。

本発明の液滴吐出装置の実施形態は、液体を吐出した後工程の搬出もしくは搬送工程で上記カラーフィルタのフィルタエレメント（Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３）の濡れ広がり不足を解消して短時間で形成に用いることができる。また、画素電極８０５に対応する液体材料を用いることにより、画素電極８０５についても、液体を吐出した後工程の搬出もしくは搬送工程で形成することが可能である。
また、他の電気光学装置としては、表面電界ディスプレイ（ＳＥＤ）のようなＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）の製造や、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の他、プレパラート形成を包含する装置が考えられる。上記した液滴吐出装置を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

本発明の電子機器は、上記電気光学装置を搭載している。この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。

図１４は、電子機器の一例である携帯電話１０００の形状例を示している。携帯電話１０００は、本体部１００１と表示部１００２を有している。表示部１００２は、上述したような電気光学装置であるたとえば有機ＥＬ装置７０１や液晶表示装置８０１を用いている。

図１５は、電子機器の他の例であるコンピュータ１１００を示している。コンピュータ１１００は本体部１１０１と表示部１１０２を有している。表示部１１０２は、上述したような電気光学装置の一例である有機ＥＬ装置７０１や液晶表示装置８０１を使用することができる。
本発明の液滴吐出装置の実施形態は、ワークの一例である印刷対象に対して、白黒もしくはカラー印刷（印字）することにも使用できる。この場合には、液体貯留部は、インクカートリッジであり、このインクカートリッジは、１種類もしくは複数種類のインク（たとえばブラック、イエロー、マゼンダ、シアン、ライトシアン、ライトマゼンダ等）を別々に貯留しておく。各インクは液体の一例である。

また上述した実施形態の液滴吐出装置は、インクパックである液体パックがヘッド１１とは別の位置に配置されているいわゆるオフキャリッジタイプのものである。しかしこれに限らずヘッド１１が搭載されているキャリッジに対して液体パックを搭載するいわゆるオンキャリッジタイプの液滴吐出装置であっても勿論構わない。

本発明は、上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。さらに、上述の各実施形態は、相互に組み合わせて構成するようにしてもよい。

本発明の液滴吐出装置の好ましい実施形態を示す平面図。 図１の液滴吐出装置のキャリッジ、ヘッド等を示す斜視図。 図２のキャリッジおよびヘッド等を示す図２におけるＧ方向から見た正面図。 ヘッドの圧電振動子の構造例を示す図。 図１のＥ−Ｅ線におけるワーク搬出入テーブルと液滴吐出処理ずみのワークの断面図。 図５において液体が加振された後の濡れ広がり不足の解消後の状態を示す図。 図１のＥ−Ｅ線における断面図であり、別の液滴吐出処理ずみのワークの例を示す図。 図７における液体が加振されて濡れ広がり不足が解消された状態を示す図。 本発明の別の実施形態を示す液体吐出装置の平面図。 図９に示すロボットの例を示す斜視図。 図９に示すワーク搬送装置の例を示す側面図。 本発明の液滴吐出装置により製造される有機ＥＬ装置の形状例を示す断面図。 本発明の液滴吐出装置により製造される液晶表示装置の構造例を示す断面図。 本発明の実施形態により製造された表示装置を備える電子機器の一例である携帯電話を示す斜視図。 電子機器の別の例であるコンピュータを示す斜視図。

符号の説明

１０・・・液滴吐出装置、１１・・・ヘッド、１４・・・ワーク搬出入テーブル、３０・・・テーブル（ワーク保持テーブル）、７０・・・ノズル面、１２１・・・ノズル開口（ノズル）、３５０・・・ロボット、４５０・・・加振手段、４７０・・・ワーク搬送装置、Ｗ・・・液滴吐出処理前のワーク、ＷＰ・・・液滴吐出処理ずみのワーク

Claims (8)

1. ヘッドのノズルから液体をワークに吐出する液滴吐出装置であって、
   前記ワークを保持するワーク保持テーブルと、
   前記液体が吐出された前記ワークを前記ワーク保持テーブルから搬送するための搬送手段と、
   前記搬送手段に設けられて前記搬送手段上の前記ワークを加振する加振手段と、を有することを特徴とする液滴吐出装置。
2. 前記加振手段は、前記ワーク保持テーブルから受け渡された前記ワークを載せて搬送するためのワーク搬送装置に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 前記加振手段は、前記ワーク保持テーブルとの間で前記ワークの搬出入をするためのワーク搬出入ロボットに配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
4. 前記加振手段は、前記ワーク保持テーブルの付近に設けられて前記ワーク保持テーブルから前記ワークを搬出するワーク搬出入テーブルに配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
5. ヘッドのノズルから液体をワークに吐出する液滴吐出装置におけるワーク加振方法であって、
   ワーク保持テーブルに保持した前記ワークに前記液体を吐出した後に前記ワークを前記ワーク保持テーブルから取り外して、加振手段が前記ワークを搬送する際に前記ワークに対して振動を与えることを特徴とする液滴吐出装置におけるワーク加振方法。
6. ヘッドのノズルから液体をワークに吐出することで電気光学装置を製造する製造方法であって、
   ワーク保持テーブルに保持した前記ワークに前記液体を吐出した後に前記ワークを前記ワーク保持テーブルから取り外して、加振手段が前記ワークを搬送する際に前記ワークに対して振動を与えることで前記電気光学装置を製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
7. ヘッドのノズルから液体をワークに吐出することで製造される電気光学装置であって、
   ワーク保持テーブルに保持した前記ワークに前記液体を吐出した後に前記ワークを前記ワーク保持テーブルから取り外して、加振手段が前記ワークを搬送する際に前記ワークに対して振動を与えることで製造されることを特徴とする電気光学装置。
8. 請求項７に記載の前記電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。

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