JP6442359B2 - 液充填方法および充填材層形成方法 - Google Patents
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Description
請求項2に記載の発明は、パターンが形成された基板の主面に対する処理液による処理後に、前記主面上に充填材溶液を充填する液充填方法であって、a)基板の主面上において直立する多数のパターン要素が形成されており、充填材溶液を前記主面の中央部に付与する工程と、b)前記基板を回転することにより、前記主面の全体に付着する処理液を前記充填材溶液に置換して所定の厚さの溶液層を形成する工程とを備え、前記a)工程にて付与される前記充填材溶液の粘度、および、前記b)工程における前記基板の回転数が、固化した前記溶液層におけるボイドの発生を抑制する条件に設定され、前記充填材溶液が、表面張力低下剤を含む。
請求項9に記載の発明は、パターンが形成された基板の主面に対する処理液による処理後に、前記主面上に充填材溶液を充填して充填材層を形成する充填材層形成方法であって、a)基板の主面上において直立する多数のパターン要素が形成されており、充填材溶液を前記主面の中央部に付与する工程と、b)前記基板を回転することにより、前記主面の全体に付着する処理液を前記充填材溶液に置換して所定の厚さの溶液層を形成する工程と、c)前記基板をベークして前記溶液層を固化し、充填材層を形成する工程とを備え、前記a)工程にて付与される前記充填材溶液の粘度、および、前記b)工程における前記基板の回転数が、前記充填材層におけるボイドの発生を抑制する条件に設定されている。
請求項10に記載の発明は、請求項8または9に記載の充填材層形成方法であって、前記充填材溶液が、溶媒として水を含む。
請求項11に記載の発明は、請求項8ないし10のいずれかに記載の充填材層形成方法であって、前記充填材溶液が、表面張力低下剤を含む。
請求項12に記載の発明は、請求項11に記載の充填材層形成方法であって、前記表面張力低下剤がイソプロピルアルコールである。
請求項13に記載の発明は、請求項8ないし12のいずれかに記載の充填材層形成方法であって、前記充填材溶液の粘度が15センチポアズ以下である。
請求項14に記載の発明は、請求項8ないし13のいずれかに記載の充填材層形成方法であって、前記b)工程における前記基板の回転数が、毎分300回以上である。
請求項15に記載の発明は、請求項8ないし14のいずれかに記載の充填材層形成方法であって、前記多数のパターン要素において互いに隣接するパターン要素の先端が、前記主面に沿って伸びるブリッジにより連結されている。
81 溶液層
82 充填材層
91 上面
821 ボイド
910 パターン
911,911a パターン要素
912 ブリッジ
S11〜S15 ステップ
Claims (15)
- パターンが形成された基板の主面に対する処理液による処理後に、前記主面上に充填材溶液を充填する液充填方法であって、
a)基板の主面上において直立する多数のパターン要素が形成されており、粘度が3センチポアズ以上である充填材溶液を、前記主面の中央部に付与する工程と、
b)前記基板の半径をrミリメートルとし、(150/r)の平方根に1000を乗じて得た値をVとして、前記基板を毎分V回以下の回転数にて回転することにより、前記主面の全体に付着する処理液を前記充填材溶液に置換して所定の厚さの溶液層を形成する工程と、
を備え、
前記充填材溶液が、表面張力低下剤を含むことを特徴とする液充填方法。 - パターンが形成された基板の主面に対する処理液による処理後に、前記主面上に充填材溶液を充填する液充填方法であって、
a)基板の主面上において直立する多数のパターン要素が形成されており、充填材溶液を前記主面の中央部に付与する工程と、
b)前記基板を回転することにより、前記主面の全体に付着する処理液を前記充填材溶液に置換して所定の厚さの溶液層を形成する工程と、
を備え、
前記a)工程にて付与される前記充填材溶液の粘度、および、前記b)工程における前記基板の回転数が、固化した前記溶液層におけるボイドの発生を抑制する条件に設定され、
前記充填材溶液が、表面張力低下剤を含むことを特徴とする液充填方法。 - 請求項1または2に記載の液充填方法であって、
前記充填材溶液が、溶媒として水を含むことを特徴とする液充填方法。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の液充填方法であって、
前記表面張力低下剤がイソプロピルアルコールであることを特徴とする液充填方法。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の液充填方法であって、
前記充填材溶液の粘度が15センチポアズ以下であることを特徴とする液充填方法。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の液充填方法であって、
前記b)工程における前記基板の回転数が、毎分300回以上であることを特徴とする液充填方法。 - 請求項1ないし6のいずれかに記載の液充填方法であって、
前記多数のパターン要素において互いに隣接するパターン要素の先端が、前記主面に沿って伸びるブリッジにより連結されていることを特徴とする液充填方法。 - パターンが形成された基板の主面に対する処理液による処理後に、前記主面上に充填材溶液を充填して充填材層を形成する充填材層形成方法であって、
a)基板の主面上において直立する多数のパターン要素が形成されており、粘度が3センチポアズ以上である充填材溶液を、前記主面の中央部に付与する工程と、
b)前記基板の半径をrミリメートルとし、(150/r)の平方根に1000を乗じて得た値をVとして、前記基板を毎分V回以下の回転数にて回転することにより、前記主面の全体に付着する処理液を前記充填材溶液に置換して所定の厚さの溶液層を形成する工程と、
c)前記基板をベークして前記溶液層を固化し、充填材層を形成する工程と、
を備えることを特徴とする充填材層形成方法。 - パターンが形成された基板の主面に対する処理液による処理後に、前記主面上に充填材溶液を充填して充填材層を形成する充填材層形成方法であって、
a)基板の主面上において直立する多数のパターン要素が形成されており、充填材溶液を前記主面の中央部に付与する工程と、
b)前記基板を回転することにより、前記主面の全体に付着する処理液を前記充填材溶液に置換して所定の厚さの溶液層を形成する工程と、
c)前記基板をベークして前記溶液層を固化し、充填材層を形成する工程と、
を備え、
前記a)工程にて付与される前記充填材溶液の粘度、および、前記b)工程における前記基板の回転数が、前記充填材層におけるボイドの発生を抑制する条件に設定されていることを特徴とする充填材層形成方法。 - 請求項8または9に記載の充填材層形成方法であって、
前記充填材溶液が、溶媒として水を含むことを特徴とする充填材層形成方法。 - 請求項8ないし10のいずれかに記載の充填材層形成方法であって、
前記充填材溶液が、表面張力低下剤を含むことを特徴とする充填材層形成方法。 - 請求項11に記載の充填材層形成方法であって、
前記表面張力低下剤がイソプロピルアルコールであることを特徴とする充填材層形成方法。 - 請求項8ないし12のいずれかに記載の充填材層形成方法であって、
前記充填材溶液の粘度が15センチポアズ以下であることを特徴とする充填材層形成方法。 - 請求項8ないし13のいずれかに記載の充填材層形成方法であって、
前記b)工程における前記基板の回転数が、毎分300回以上であることを特徴とする充填材層形成方法。 - 請求項8ないし14のいずれかに記載の充填材層形成方法であって、
前記多数のパターン要素において互いに隣接するパターン要素の先端が、前記主面に沿って伸びるブリッジにより連結されていることを特徴とする充填材層形成方法。
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