JP6349029B2 - 研磨装置 - Google Patents

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Description

関連出願の相互参照
本出願は、開示全体が参照により本明細書に組み込まれている、中国国家知識産権局に2014年9月19日に出願された中国特許出願第2014104061165号の利益を主張する。
本発明は、研磨装置に関し、より詳細には、光ファイバフェルールアセンブリの端面を研磨する研磨装置に関する。
光ファイバフェルールアセンブリは、概して、フェルールと、フェルールの内孔内へ挿入された光ファイバとを備える。光ファイバは、接着剤によってフェルールの内孔内に固定することができる。フェルールの内孔内に光ファイバを固定した後、所定の光学的性能を実現するには、光ファイバフェルールアセンブリ全体の前端面を精密に研削および研磨する必要がある。
従来技術では、概して、光ファイバフェルールアセンブリの前端面が研磨されるとき、複数の光ファイバフェルールアセンブリがキャリア上に締め付けられて固定される。次いで、押圧機構が押圧ヘッドを押圧して、キャリアを位置決め構成要素に押圧する。従来技術では、キャリアは、概して、円形または正方形に形成されており、押圧ヘッドは、キャリアをその中心部分で押圧する。しかし、概して、中心を押圧することは、円形または正方形のキャリアのみに適合されており、長方形のキャリアには適合されていない。円形または正方形のキャリアと比較すると、長方形のキャリアは、毎度はるかに多くの光ファイバフェルールアセンブリを保持して、研磨効率を改善することができる。既存の研磨装置を改善して長方形のキャリアに適用することを、当業者は期待している。
さらに、光ファイバフェルールアセンブリの端面が研磨機構によって研削されるとき、キャリアの姿勢はわずかに変化する。しかし、従来技術では、押圧ヘッドは、概して、平坦な底部を有し、したがってキャリアの姿勢の変化に適合されておらず、その結果、キャリアにかかる押圧力はキャリアの表面に対して常に垂直であるとは限らず、それによって光ファイバフェルールアセンブリの研磨精度に影響を及ぼす。
さらに、従来技術では、押圧機構は、弾性の緩衝構成要素を備えていない。したがって、キャリアが押圧されるとき、キャリアに作用する押圧力がゼロから所定の値へ突然増大し、キャリアに衝撃を与え、光ファイバフェルールアセンブリの研磨精度に影響を及ぼす可能性がある。
本発明は、前述の欠点の少なくとも1つの面を克服または軽減するためになされたものである。
したがって、本発明の一目的は、様々な形状を有するキャリアに適合することが可能な研磨装置を提供することである。
本発明の別の目的は、キャリアに作用する押圧力が常にキャリアの表面に対して垂直に維持されることを確実にする研磨装置を提供することである。
本発明のさらに別の目的は、キャリアに作用する押圧力がゼロから所定の値へ徐々に増大することを確実にする研磨装置を提供することである。
本発明の一態様によれば、台座と、複数の研磨すべき加工物を保持するように構築されたキャリアと、台座上に取り付けられ、キャリアを設置および位置決めするように構築された1対の位置決め板と、台座上に取り付けられ、位置決め板を昇降させる昇降機構と、台座上に取り付けられ、それぞれキャリアの両端を1対の位置決め板上に押圧するように構築された1対の押圧ヘッドを有する押圧機構と、台座上に取り付けられ、キャリア上に保持された加工物を研磨するように構築された研磨機構とを備え、押圧ヘッドがそれぞれ、キャリアの表面を押圧するように構築された突起を有し、突起は、キャリアの表面に向けて円弧状に突出した断面形状を呈する、研磨装置が提供される。
本発明の例示的な実施形態によれば、円弧状の突起は、半球形または半円筒形に形成される。
本発明の別の例示的な実施形態によれば、研磨すべき加工物は、光ファイバフェルールアセンブリであり、各光ファイバフェルールアセンブリは、フェルールと、フェルールの内孔内に固定された光ファイバとを備え、キャリア上に複数の位置決めスロットが形成され、光ファイバフェルールアセンブリは、それぞれキャリアの複数の位置決めスロット内に締め付けられて位置決めされ、研磨機構は、光ファイバフェルールアセンブリの端面を研磨するように構築される。
本発明の別の例示的な実施形態によれば、昇降機構は、台座上に対向して取り付けられた1対の垂直支持板と、それぞれ支持板上に設けられた1対の垂直摺動レールと、それぞれ垂直摺動レールと摺動可能に嵌合する1対の摺動ブロックと、1対の摺動ブロックおよび1対の位置決め板を連結して摺動ブロックおよび位置決め板を同時に動かすように構築された連結ビームと、それぞれ摺動ブロックを駆動して垂直摺動レールに沿って上下に動かすように垂直支持板の一方に取り付けられた第1の駆動機構とを備える。
本発明の別の例示的な実施形態によれば、第1の駆動機構は、線形アクチュエータである。
本発明の別の例示的な実施形態によれば、第1の駆動機構は、空気シリンダ、油圧シリンダ、または電気アクチュエータである。
本発明の別の例示的な実施形態によれば、キャリアは、ピンと孔が嵌合するように位置決め板上に位置決めされる。
本発明の別の例示的な実施形態によれば、1対の位置決め板はそれぞれ、上方へ垂直に延出する位置決めピンを有し、キャリアの両端にはそれぞれ、位置決め孔が形成され、位置決め板の位置決めピンは、それぞれキャリアの位置決め孔内へ嵌め込まれる。
本発明の別の例示的な実施形態によれば、位置決めピンおよび位置決め孔は、キャリアの姿勢を変化させることを可能にするように隙間嵌めされる。
本発明の別の例示的な実施形態によれば、位置決め板はそれぞれ、水平延出部分を有し、位置決めピンは、水平延出部分の一端に位置し、キャリアの両端は、それぞれ1対の位置決め板の水平延出部分上に配置される。
本発明の別の例示的な実施形態によれば、研磨機構は、位置決め板の下に設けられた水平支持板と、水平支持板上に配置された研磨フィルムとを備え、研磨フィルムは、水平支持板とともに往復運動して光ファイバフェルールアセンブリの端面を研磨する。
本発明の別の例示的な実施形態によれば、押圧機構は、それぞれ1対の垂直支持板上に取り付けられた1対の第2の駆動機構を備え、1対の第2の駆動機構は、それぞれ1対の押圧ヘッドを駆動して1対の押圧ヘッドをキャリアの表面上に押圧するように構築される。
本発明の別の例示的な実施形態によれば、押圧機構は、弾性の緩衝構成要素をさらに備え、第2の駆動機構は、弾性の緩衝構成要素を押圧し、弾性の緩衝構成要素を通じて押圧ヘッドをキャリアの表面上に押圧し、その結果、キャリアに作用する押圧力は、ゼロから所定の値へ徐々に増大する。
本発明の別の例示的な実施形態によれば、押圧ヘッドはそれぞれ、上部本体部分と、上部本体部分とは別個の下部本体部分とを備え、それぞれ上部本体部分および下部本体部分上に受容溝が形成され、弾性の緩衝構成要素は、受容溝内に受容される。
本発明の別の例示的な実施形態によれば、それぞれ上部本体部分および下部本体部分上に案内孔が形成され、それぞれ上部本体部分の案内孔および下部本体部分の案内孔内へ案内ロッドが挿入され、その結果、弾性の緩衝構成要素の押圧中、上部本体部分は、下部本体部分に対して垂直方向に動くように案内される。
本発明の別の例示的な実施形態によれば、第2の駆動機構の作動端は、それぞれ水平押圧板を備え、押圧ヘッドの上端面は、それぞれ水平押圧板に取り付けられる。
本発明の別の例示的な実施形態によれば、押圧ヘッドは、弾性材料から作られ、その結果、キャリアに作用する押圧力は、ゼロから所定の値へ徐々に増大する。
本発明の別の例示的な実施形態によれば、第2の駆動機構はそれぞれ、線形アクチュエータである。
本発明の別の例示的な実施形態によれば、第2の駆動機構はそれぞれ、空気シリンダ、油圧シリンダ、または電気アクチュエータである。
本発明の別の例示的な実施形態によれば、垂直摺動レール、摺動ブロック、および第1の駆動機構は、それぞれ垂直支持板の外側面上に取り付けられ、第2の駆動機構は、それぞれ垂直支持板の内側面上に取り付けられる。
本発明の別の例示的な実施形態によれば、キャリアは、長方形のプロファイルを有する。
本発明の研磨装置の様々な実施形態では、1対の押圧ヘッドが、キャリアをキャリアの両端でそれぞれ1対の位置決め板に押圧する。押圧ヘッドはそれぞれ、キャリアの表面上に直接押圧される円弧状の突起を有し、したがって、キャリアに作用する押圧力は、常にキャリアの表面に対して垂直に維持される。さらに、本発明の一実施形態では、押圧機構は、ばね緩衝部材をさらに備え、したがって、キャリアに作用する押圧力が、ゼロから所定の値へ突然増大することを防止して、キャリアに衝撃を与えるという不都合を回避することができる。
本発明の上記その他の特徴は、添付の図面を参照して本発明の例示的な実施形態について詳細に説明することによって、より明らかになるであろう。
本発明の例示的な実施形態による研磨装置の例示的な斜視図である。 図1の研磨装置の部分断面図である。 ばねが押圧されずに解放状態で維持されている、本発明の別の例示的な実施形態による研磨装置の押圧ヘッドの例示的な構造図である。 ばねが完全に押圧されている、図3に示す押圧ヘッドの例示的な構造図である。
以下、本開示の例示的な実施形態について、添付の図面を参照して詳細に説明する。同じ参照番号は同様の要素を指す。しかし、本開示は、多くの異なる形態で実施することができ、本明細書に記載する実施形態に限定されると解釈されるべきではなく、これらの実施形態は、本開示を完璧かつ完全にし、本開示の概念を当業者に完全に伝えるために提供される。
以下の詳細な記載では、説明の目的のため、開示する実施形態の完璧な理解を提供するために、多数の特有の詳細について述べる。しかし、これらの特有の詳細がなくても1つまたは複数の実施形態を実行することができることが明らかであろう。他の例では、図面を簡略化するために、よく知られている構造およびデバイスを概略的に示す。
本発明の一般概念によれば、台座と、複数の研磨すべき加工物を保持するように構築されたキャリアと、台座上に取り付けられ、キャリアを設置および位置決めするように構築された1対の位置決め板と、台座上に取り付けられ、位置決め板を昇降させる昇降機構と、台座上に取り付けられ、それぞれキャリアの両端を1対の位置決め板に押圧するように構築された1対の押圧ヘッドを有する押圧機構と、台座上に取り付けられ、キャリア上に保持された加工物を研磨するように構築された研磨機構とを備え、押圧ヘッドがそれぞれ、キャリアの表面を押圧するように構築された突起を有し、突起は、キャリアの表面に向けて円弧状に突出した断面形状を呈する、研磨装置が提供される。
図1は、本発明の例示的な実施形態による研磨装置の例示的な斜視図を示し、図2は、図1の研磨装置の部分横断面図を示す。
図1および図2に示すように、本発明の例示的な実施形態では、研磨装置は主に、台座10、キャリア400、昇降機構、押圧機構、および研磨機構を備える。
図示の実施形態では、図1および図2に示すように、昇降機構は、台座10上に取り付けられており、キャリア400を設置および位置決めする1対の位置決め板115を有する。キャリア400は、研磨すべき加工物50を保持するように構築される。
図2に示すように、本発明の例示的な実施形態では、研磨すべき加工物は、光ファイバフェルールアセンブリとすることができる。図2に示すように、光ファイバフェルールアセンブリはそれぞれ、フェルール501と、フェルール501の内孔内に固定された光ファイバ502とを備える。研磨機構は、台座10上に取り付けられており、キャリア400上に取り付けられた光ファイバフェルールアセンブリの端面を研磨するように構築される。
図示しないが、本発明の一実施形態では、キャリア400内に複数の位置決めスロットが形成され、それぞれ複数の光ファイバフェルールアセンブリは、キャリア400の複数の位置決めスロット内に締め付けられて位置決めされる。
本発明の一実施形態では、押圧機構は、台座10上に取り付けられており、キャリア400の両端をそれぞれ1対の位置決め板115に押圧するように構築された1対の押圧ヘッド310、320を有する。
本発明の例示的な実施形態では、押圧ヘッド310、320はそれぞれ、キャリア400の表面に直接接触してキャリア400の表面を直接押圧する円弧状の突起310a、320aを有する。円弧状の突起310a、320aはそれぞれ、半球形または半円筒形に形成することができる。
図1および図2に示すように、図示の実施形態では、昇降機構は、台座10上に対向して取り付けられた1対の垂直支持板110、120と、それぞれ支持板110、120上に設けられた1対の垂直摺動レール111と、それぞれ垂直摺動レール111と摺動可能に嵌合する1対の摺動ブロック112と、1対の摺動ブロック112および1対の位置決め板115を連結して摺動ブロック112および位置決め板115を同時に動かすように構築された連結ビーム114と、それぞれ摺動ブロック112を駆動して垂直摺動レール111に沿って上下に動かすように垂直支持板110、120の一方に取り付けられた第1の駆動機構130とを備える。
本発明の一実施形態では、図1に示すように、摺動ブロック112は、連結板113によって連結ビーム114に連結される。
本発明の例示的な実施形態では、第1の駆動機構130は、線形アクチュエータ、たとえば空気シリンダ、油圧シリンダ、または電気アクチュエータを構成することができる。
図2に示すように、本発明の例示的な実施形態では、キャリア400は、ピンと孔が嵌合するように位置決め板115上に位置決めされる。
図示の実施形態では、図2に示すように、1対の位置決め板115はそれぞれ、上方へ垂直に延出する位置決めピン115aを備え、キャリア400の両端にはそれぞれ、位置決め孔400aが形成される。さらに、位置決め板115の位置決めピン115aは、キャリア400のそれぞれの位置決め孔400a内へ嵌め込まれる。
本発明の例示的な実施形態では、位置決めピン115aと位置決め孔400aとの間にわずかな間隙が位置する。このようにして、光ファイバフェルールアセンブリの端面が研削されるとき、キャリア400の姿勢がわずかに変化する。キャリア400の姿勢の変化に適合するために、本発明の図示の実施形態では、押圧ヘッド310、320の円弧状の突起310a、320aがそれぞれ半球形または半円筒形に形成される。このようにして、キャリア400に作用する押圧力は、常にキャリア400の表面に対して垂直である。
図2を引き続き参照すると、図示の実施形態では、位置決め板115はそれぞれ、水平延出部分115bを有し、位置決めピン115aは、水平延出部分115bの一端に位置し、キャリア400の両端は、それぞれ1対の位置決め板115の水平延出部分115b上に配置される。
図1および図2に示すように、本発明の一実施形態では、研磨機構は、位置決め板115の下に設けられた水平支持板20と、水平支持板20上に配置された研磨フィルム(図示せず)とを備え、研磨フィルムは、水平支持板20とともに往復運動して光ファイバフェルールアセンブリの端面を研磨する。研磨フィルムを交換する必要があるとき、第1の駆動機構130は、1対の摺動ブロック112を1対の位置決め板115とともに上方へ動かし、1対の位置決め板115上に取り付けられたキャリア400を持ち上げ、それによってキャリア400の下の研磨フィルムを交換する。研磨フィルムを交換した後、第1の駆動機構130は、1対の摺動ブロック112を1対の位置決め板115とともに下方へ動かし、所定の位置に到達するまで、1対の位置決め板115上に取り付けられたキャリア400を下げる。
図1および図2に示すように、本発明の例示的な実施形態では、押圧機構は、1対の第2の駆動機構210、220を備え、第2の駆動機構210、220は、1対の垂直支持板110、120上に取り付けられており、それぞれ1対の押圧ヘッド310、320を駆動して1対の押圧ヘッド310、320をキャリア400の表面に押圧するように構築される。
図1および図2に示す実施形態では、第2の駆動機構210、220の作動端は、それぞれ水平押圧板230を備える。押圧ヘッド310、320の上端面は、それぞれ水平押圧板230に取り付けられる。
キャリア400に作用する押圧力がゼロから所定の値へ徐々に平滑に増大することを確実にするために、本発明の例示的な実施形態では、押圧ヘッド310、320は、弾性材料から作られる。このようにして、押圧ヘッド310、320は、下方へ押圧されるとき、徐々に弾性的に変形し、その結果、キャリア400に作用する押圧力は、キャリア400に衝撃を与えるのではなく、ゼロから所定の値へ徐々に平滑に増大する。
本発明の例示的な実施形態では、第2の駆動機構210、220はそれぞれ、線形アクチュエータ、たとえば空気シリンダ、油圧シリンダ、または電気アクチュエータを構成することができる。
図3は、本発明の別の例示的な実施形態による研磨装置の押圧ヘッド310’または320’の例示的な構造図であり、ばね(弾性の緩衝構成要素240)は押圧されずに解放状態で維持されており、図4は、図3に示す押圧ヘッド310’または320’の例示的な構造図であり、ばね(弾性の緩衝構成要素240)は完全に押圧されている。
本発明の例示的な実施形態では、図3および図4に示すように、押圧機構はまた、弾性の緩衝構成要素240を備える。第2の駆動機構210、220は、弾性の緩衝構成要素240を押圧し、それによって押圧ヘッド310’、320’をキャリア400の表面に押圧し、その結果、キャリア400に作用する押圧力は、ゼロから所定の値へ徐々に増大する。
図3および図4に示すように、図示の実施形態では、押圧ヘッド310’および320’はそれぞれ、上部本体部分311と、上部本体部分311から分離された下部本体部分312とを備える。それぞれ上部本体部分311および下部本体部分312上に受容溝が形成され、弾性の緩衝構成要素240は、受容内に受け取られる。
図3および図4に示すように、図示の実施形態では、それぞれ上部本体部分311および下部本体部分312内に案内孔が形成され、それぞれ案内孔内へ案内ロッド250が挿入され、その結果、弾性の緩衝構成要素240の押圧中、上部本体部分310は、下部本体部分320に対して垂直方向に動くように案内される。
図3および図4に示すように、図示の実施形態では、押圧ヘッド310’または320’の下部本体部分312には、キャリア400の表面に直接接触してキャリア400の表面を直接押圧する円弧状の突起312aが形成される。
図3および図4に示すように、本発明の例示的な実施形態では、円弧状の突起312aは、半球形または半円筒形に形成することができる。
図1に示すように、本発明の例示的な実施形態では、垂直摺動レール111、摺動ブロック112、および第1の駆動機構130は、それぞれ垂直支持板110、120の外側に取り付けられる。第2の駆動機構210、220は、それぞれ垂直支持板110、120の内側に取り付けられる。
本発明の例示的な実施形態では、図1に示すように、キャリア400は、実質的な長方形のプロファイルまたは任意の他の適切なプロファイルを有する。
上記の実施形態はすべて例示的な実施形態であることを、当業者には理解されたい。たとえば、構造上または原理上矛盾することなく、当業者であれば、上記の実施形態に多くの修正を加えることができ、異なる実施形態で記載する様々な特徴を互いに自由に組み合わせることができる。
本開示について、添付の図面を参照して説明したが、添付の図面に開示する実施形態は、本発明の好ましい実施形態について例示的に説明することが意図され、本開示に対する限定として解釈されるべきでない。
本開示の一般概念のいくつかの実施形態について図示および説明したが、本開示の原理および精神から逸脱することなく、様々な変更または修正をこれらの実施形態に加えることができ、本開示の範囲は、特許請求の範囲およびその均等物において定義されることが、当業者には理解されよう。
本明細書では、「備える」または「有する」という用語は、他の要素またはステップを除外しないと理解され、「a」または「an」という用語は、複数の要素またはステップを除外しないと理解されたい。加えて、特許請求の範囲内のあらゆる参照番号は、本開示の範囲の限定として理解されるべきでない。

Claims (21)

  1. 台座(10)と、
    複数の研磨すべき加工物を保持するように構築されたキャリア(400)と、
    前記台座(10)上に取り付けられ、前記キャリア(400)を設置および位置決めするように構築された1対の位置決め板(115)と、
    前記台座(10)上に取り付けられ、前記位置決め板(115)を昇降させる昇降機構と、
    前記台座(10)上に取り付けられ、それぞれ前記キャリア(400)の両端を前記1対の位置決め板(115)に押圧するように構築された1対の押圧ヘッド(310、320)を有する押圧機構と、
    前記台座(10)上に取り付けられ、前記キャリア(400)上に保持された前記加工物を研磨するように構築された研磨機構とを備え、
    前記押圧ヘッド(310、320)はそれぞれ、前記キャリア(400)の表面を押圧するように構築され突起(310a、320a)を有し、
    前記突起は、前記キャリア(400)の前記表面に向けて円弧状に突出した断面形状を呈する、
    研磨装置。
  2. 前記円弧状の突起(310a、320a)は、半球形または半円筒形に形成される、
    請求項1に記載の研磨装置。
  3. 前記研磨すべき加工物は、光ファイバフェルールアセンブリであり、各光ファイバフェルールアセンブリは、フェルール(501)と、前記フェルール(501)の内孔内に固定された光ファイバ(502)とを備え、
    前記キャリア(400)上に複数の位置決めスロットが形成され、前記光ファイバフェルールアセンブリは、それぞれ前記キャリア(400)の複数の位置決めスロット内に締め付けられて位置決めされ、
    前記研磨機構は、前記光ファイバフェルールアセンブリの端面を研磨するように構築される、
    請求項1に記載の研磨装置。
  4. 前記昇降機構は、
    前記台座(10)上に対向して取り付けられた1対の垂直支持板(110、120)と、
    それぞれ前記支持板(110、120)上に設けられた1対の垂直摺動レール(111)と、
    それぞれ前記垂直摺動レール(111)と摺動可能に嵌合する1対の摺動ブロック(112)と、
    前記1対の摺動ブロック(112)および前記1対の位置決め板(115)を連結して前記摺動ブロック(112)および前記位置決め板(115)を同時に動かすように構築された連結ビーム(114)と、
    それぞれ前記摺動ブロック(112)を駆動して前記垂直摺動レール(111)に沿って上下に動かすように前記垂直支持板(110、120)の一方に取り付けられた第1の駆動機構(130)とを備える、
    請求項3に記載の研磨装置。
  5. 前記第1の駆動機構(130)は、線形アクチュエータを構成する、
    請求項4に記載の研磨装置。
  6. 前記第1の駆動機構(130)は、空気シリンダ、油圧シリンダ、または電気アクチュエータを構成する、
    請求項5に記載の研磨装置。
  7. 前記キャリア(400)は、ピンと孔が嵌合するように前記位置決め板(115)上に位置決めされる、
    請求項4に記載の研磨装置。
  8. 前記1対の位置決め板(115)はそれぞれ、上方へ垂直に延出する位置決めピン(115a)を有し、
    前記キャリア(400)の両端にはそれぞれ、位置決め孔(400a)が形成され、
    前記位置決め板(115)の前記位置決めピン(115a)は、それぞれ前記キャリア(400)の前記位置決め孔(400a)内へ嵌め込まれる、
    請求項7に記載の研磨装置。
  9. 前記位置決めピン(115a)および前記位置決め孔(400a)は、前記キャリアの姿勢を変化させることを可能にするように隙間嵌めされる、
    請求項8に記載の研磨装置。
  10. 前記位置決め板(115)はそれぞれ、水平延出部分(115b)を有し、前記位置決めピン(115a)は、前記水平延出部分(115b)の一端に位置し、
    前記キャリア(400)の両端は、それぞれ前記1対の位置決め板(115)の前記水平延出部分(115b)上に配置される、
    請求項8に記載の研磨装置。
  11. 前記研磨機構は、前記位置決め板(115)の下に設けられた水平支持板(20)と、前記水平支持板(20)上に配置された研磨フィルムとを備え、
    前記研磨フィルムは、前記水平支持板(20)とともに往復運動して前記光ファイバフェルールアセンブリの前記端面を研磨するように構築される、
    請求項9に記載の研磨装置。
  12. 前記押圧機構は、それぞれ前記1対の垂直支持板(110、120)上に取り付けられた1対の第2の駆動機構(210、220)を備え、
    前記1対の第2の駆動機構(210、220)は、それぞれ前記1対の押圧ヘッド(310、320)を駆動して前記1対の押圧ヘッド(310、320)を前記キャリア(400)の前記表面に押圧するように構築される、
    請求項1に記載の研磨装置。
  13. 前記押圧機構は、弾性の緩衝構成要素(240)をさらに備え、前記第2の駆動機構(210、220)は、前記弾性の緩衝構成要素(240)を押圧し、前記弾性の緩衝構成要素(240)を通じて前記押圧ヘッド(310’、320’)を前記キャリア(400)の前記表面に押圧し、その結果、前記キャリア(400)に作用する押圧力は、ゼロから所定の値へ徐々に増大する、
    請求項12に記載の研磨装置。
  14. 前記押圧ヘッド(310’、320’)はそれぞれ、上部本体部分(311)と、前記上部本体部分(311)とは別個の下部本体部分(312)とを備え、
    それぞれ前記上部本体部分(311)および前記下部本体部分(312)上に受容溝が形成され、前記弾性の緩衝構成要素(240)は、前記受容溝内に受容される、
    請求項13に記載の研磨装置。
  15. それぞれ前記上部本体部分(311)および前記下部本体部分(312)内に案内孔が形成され、
    それぞれ案内孔内へ案内ロッド(250)が挿入され、その結果、前記弾性の緩衝構成要素(240)の押圧中、前記上部本体部分(310)は、前記下部本体部分(320)に対して垂直方向に動くように案内される、
    請求項14に記載の研磨装置。
  16. 前記第2の駆動機構(210、220)の作動端は、それぞれ水平押圧板(230)を備え、
    前記押圧ヘッド(310、320)の上端面は、それぞれ前記水平押圧板(230)に取り付けられる、
    請求項12に記載の研磨装置。
  17. 前記押圧ヘッド(310、320)は、弾性材料から作られ、その結果、前記キャリア(400)に作用する押圧力は、ゼロから所定の値へ徐々に増大する、
    請求項16に記載の研磨装置。
  18. 前記第2の駆動機構(210、220)はそれぞれ、線形アクチュエータを構成する、
    請求項12に記載の研磨装置。
  19. 前記第2の駆動機構(210、220)はそれぞれ、空気シリンダ、油圧シリンダ、または電気アクチュエータを構成する、
    請求項18に記載の研磨装置。
  20. 前記垂直摺動レール(111)、前記摺動ブロック(112)、および前記第1の駆動機構(130)は、それぞれ前記垂直支持板(110、120)の外側に取り付けられ、
    前記第2の駆動機構(210、220)は、それぞれ前記垂直支持板(110、120)の内側に取り付けられる、
    請求項12に記載の研磨装置。
  21. 前記キャリア(400)は、長方形のプロファイルを有する、
    請求項1に記載の研磨装置。
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