JP3773851B2 - 研磨装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、研磨定盤とこの研磨定盤に当接するワークとを相対移動してワークの端面を研磨する装置に関し、特に光コネクタ用光ファイバフェルールの接続端面の研磨処理において好適なものである。
【0002】
【従来の技術】
複数本の光ファイバを相互に突き合わせて接続したり、各種光デバイスに対して光ファイバを接続するために用いられる光コネクタは、通常、光ファイバを一体的に埋設した光ファイバフェルールを有する。従来の光ファイバフェルールは、ジルコニアセラミックスなどの耐摩耗性に優れた低膨張率の材料を円柱状に加工したものであり、光ファイバの先端面が中央部に露出するその接続端面を20mm程度の曲率半径の凸球面に形成している。
【0003】
このような光ファイバフェルールの接続端面を所定曲率の凸球面に加工するため、所定速度で自転および旋回運動する円形の研磨定盤に対し、ホルダブロックに所定間隔で環状に配置された複数の光ファイバフェルールの接続端面を押し付けるようにした研磨装置が用いられている。
【0004】
このような従来の研磨装置の概略構造を図8に示し、そのIX−IX矢視断面構造を図9に示す。すなわち、円盤状をなす研磨定盤1の平滑に形成された表面には、弾性シート2を介して研磨フィルム3が貼り付けられる。研磨定盤1には図示しない定盤駆動装置が連結され、この定盤駆動装置を作動させることにより、研磨定盤1をその回転中心周りに回転させると同時に、これを所定の旋回半径で旋回させることができるようになっている。多角形の板状をなすホルダブロック4の外周部には、光ファイバフェルール5を係止するためのV溝6が所定間隔で形成されており、これらV溝6にそれぞれ装着される光ファイバフェルール5は、固定ねじ7を介してホルダブロック4の外周部に取り付けられる押さえ板8により、ホルダブロック4対して一体的に固定される。ホルダブロック4、研磨定盤1の対向方向に移動可能であり、図示しない付勢手段によって研磨定盤1側に付勢することができるようになっている。
【0005】
光ファイバ9が挿通された光ファイバフェルール5の接続端面5fの研磨に際しては、ホルダブロック4に組み込まれた付勢手段により、各光ファイバフェルール5の接続端面5fを研磨定盤1に貼付された研磨フィルム3に対して所定圧で押し当てて研磨フィルム3を弾性シート2と共に弾性変形させ、この状態にて定盤駆動装置を作動させて研磨定盤1をその回転中心周りに低速にて回転させる一方、これを所定の旋回半径にて旋回運動させる。これにより、研磨定盤1に対して図8中の二点鎖線で示すような相対的な移動軌跡Tを個々の光ファイバフェルール5に与え、その接続端面5fを所定曲率Rの凸球面に研磨加工することができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
図8および図9に示した従来の研磨装置において、個々の光ファイバフェルール5に対する加工条件を一定に保つためには、ホルダブロック4の同一円周上に光ファイバフェルール5を所定間隔で配置する必要がある。このため、大量の光ファイバフェルール5を一度に研磨加工しようとした場合、一度に研磨処理可能な光ファイバフェルール5の数が研磨定盤1およびホルダブロック4の直径に依存することから、研磨装置全体が著しく大型化してしまう不具合が生ずる。
【0007】
また、図8および図9に示した従来の研磨装置においては、複数の光ファイバフェルール5がホルダブロック4に対して所定間隔で環状に配列した状態となっているため、各光ファイバフェルール5の接続端面5fにおける研磨定盤1の内周側と外周側とで、研磨定盤1の周速差に起因した研磨量の相違が発生し、研磨定盤1の外周側に位置する接続端面5fの部分が内周側よりも相対的に多量に研磨される結果、接続端面5fの回転対称軸線が光ファイバフェルール5の軸線に対して傾斜してしまう不具合が生ずる。
【0008】
さらに、ホルダブロック4の同一円周上に複数の光ファイバフェルール5を固定しているため、研磨定盤1に対する光ファイバフェルール5の接続端面5fの移動軌跡Tが研磨定盤1の同一円周上で重なり合ってしまい、研磨フィルム3上に異物などが存在した場合には、研磨作業に伴ってすべての光ファイバフェルール5の接続端面5fが損傷を受けてしまう可能性が非常に高かった。
【0009】
【発明の目的】
本発明の目的は、研磨加工される接続端面の回転対称軸線を光ファイバフェルールの軸線と一致させることができ、しかも研磨定盤の上に異物などが存在しても、同時に研磨加工されるすべての光ファイバフェルールの接続端面が損傷を受けないような研磨装置を提供することにある。
【0010】
本発明の他の目的は、一度に大量の光ファイバフェルールを一括して研磨することが可能であるコンパクトな装置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明による研磨装置は、ベースと、このベースに対して旋回可能に支持された研磨定盤とこの研磨定盤を前記ベースに対して旋回運動させる定盤旋回手段と、前記ベースに対して往復直線移動可能に支持されたスライダと、このスライダを前記ベースに対して往復直線運動させるスライダ駆動手段と、前記スライダの往復直線運動方向と交差する方向に沿って前記研磨定盤を跨ぎ、長手方向両端部が前記スライダに取り付けられて前記研磨定盤と対向するワークホルダと、このワークホルダの長手方向に沿って所定間隔で一直線状に配列するように当該ワークホルダに設けられてワークを着脱可能に支持するワーク装着部とを具え、前記研磨定盤の旋回半径が前記ワークホルダの長手方向に沿った前記ワーク装着部の配列間隔の整数倍から外れていることを特徴とするものである。
【0014】
【発明の実施の形態】
本発明による研磨装置において、ワーク装着部に装着されるワークの先端を研磨定盤に付勢するためのワーク付勢手段をさらに具えることができる。
【0018】
ーク装着部が相互に平行に複数列形成され、各列のワーク装着部がスライダの往復直線運動方向に沿って一直線状に並ばないように、これらの配列方向に沿って相互にずらして配列することが好まし
【0019】
スライダ駆動手段は、回転運動を往復直線運動に変換するカム機構を有することができる。この場合、スライダ駆動手段は、カム機構のバックラッシュを除去するための負荷抵抗体をさらに有することができる。
【0020】
また、ワークの端面が光ファイバフェルールの接続端面であってよい。
【0021】
【実施例】
本発明による研磨装置を接続端面が研磨される光ファイバフェルール対して応用した一実施例について、図1〜図7を参照しながら詳細に説明するが、本発明はこのような実施例のみに限らず、この明細書の特許請求の範囲に記載された本発明の概念に包含されるあらゆる変更や修正が可能であり、従って本発明の精神に帰属する他の任意の技術にも当然応用することができる。
【0022】
本実施例における研磨装置の外観を図1に示し、その内部構造を図2に破断状態で示し、その研磨定盤の旋回機構を分解状態で図3に示す。すなわち、ペデスタル11を介して作業床面12上に設置される矩形の筺体13内には、定盤駆動モータ14とスライダ駆動モータ15とが収容され、これら2つの駆動モータ14,15は筺体13に搭載される矩形の板状をなすベース16に対して上向きの状態で固定されている。
【0023】
ベース16の中央部には、矩形の板状をなす研磨定盤17がそれぞれ固定ねじ18を介してベース16に取り付けられた複数(図示例では4つ)のスラスト軸受19を介して載置され、研磨定盤17はこれらスラスト軸受19によってその上を自由に移動できるようになっている。本実施例では、研磨定盤17の裏面側にスラスト軸受19が当接する硬質の軸受板20を取り付け、スラスト軸受19に対して当接する研磨定盤17の裏面の摩耗に伴うがたつきの発生を抑制している。表面が平滑に仕上げられた研磨定盤17の表面には、弾性変形可能な弾性シート21を介して研磨フィルム22が貼り付けられている。
【0024】
ベース16から突出する定盤駆動モータ14の回転軸23には、駆動歯車24が一体的に嵌着され、この駆動歯車24に対してそれぞれ噛み合う前後一対の同期歯車25は、駆動歯車24を挟んで前後方向(図2中、左右方向)に一直線状に並ぶように、ベース16に植設されたこれらの支持軸26に対し、軸受27を介してそれぞれ回転自在に支持されている。同期歯車25には、これらの支持軸26に対して所定量、例えばrだけ偏心した偏心ピン28がそれぞれ突設され、これら偏心ピン28の先端部は研磨定盤17の裏面側にそれぞれ取り付けられた前後一対の軸受ローラ29を介して研磨定盤17にそれぞれ嵌合されている。これら前後一対の軸受ローラ29の間隔は、同期歯車25の支持軸26の間隔と同一に設定されている。
【0025】
従って、定盤駆動モータ14を作動させると、研磨定盤17はその姿勢を変えることなく、スラスト軸受19上を定盤駆動モータ14の回転軸23と平行な軸線周りに旋回半径をrとする旋回運動を行う。つまり、本実施例では上述した定盤駆動モータ14,駆動歯車24,同期歯車25,偏心ピン28などで本発明の定盤旋回手段を構成したが、これ以外の周知の技術を利用して定盤旋回手段を構成することも当然可能である。
【0026】
図2中のIV−IV矢視断面構造を図4に示す。すなわち、研磨定盤17を挟んでベース16の左右両側には、前後方向に沿って延在する案内レール30が敷設されており、これら左右一対の案内レール30には、当該案内レール30の長手方向に沿って移動自在に摺接する左右一対のスライダ31がそれぞれ保持されている。これらスライダ31の後端部は、研磨定盤17を跨ぐ連結板32の左右両端部がそれぞれボルト33を介して固定されている。この連結板32の裏面には、左右方向(図4中、左右方向)に沿って延在する案内溝34が形成されている。ベース16から突出するスライダ駆動モータ15の回転軸35には、円形のピン支持板36が嵌着され、止めねじ37を介して回転軸35に一体的に固定されている。このピン支持板36には、スライダ駆動モータ15の回転軸35に対して所定量、例えばsだけ偏心した偏心ピン38が突設され、この偏心ピン38の先端部は上述した案内溝34に軸受ローラ39を介して係合して本発明のカム機構を案内溝34と共に構成している。
【0027】
従って、スライダ駆動モータ15を作動させると、ピン支持板36の回転に伴ってその偏心ピン38に係合する連結板32が案内レール30に沿って前後に2sのストロークで往復動することとなる。つまり、本実施例では上述したスライダ駆動モータ15,案内溝34,ピン支持板36,偏心ピン38などで本発明のスライダ駆動手段を構成したが、これ以外の周知の技術を利用してスライダ駆動手段を構成することも当然可能である。
【0028】
なお、案内溝34と偏心ピン38が嵌着された軸受ローラ39との間の遊びによって、連結板32の往復動端でのがたつきが生ずるため、本実施例ではピン支持板36の外周面に当接してその回転を抑制するメカニカルシールリング40を本発明の負荷抵抗体としてベース16に形成された環状溝41内に収容しており、これによって上述した連結板32のがたつきを抑制している。しかしながら、このようなメカニカルシールリング40に限らず、任意の負荷抵抗体をスライダ駆動モータ15から連結板32に至る動力伝達経路の途中に組み込むことが可能である。
【0029】
連結板32と共に左右両端部がスライダ31にねじ止めされた板状のブラケット42には、左右一対のトグルクランプ43が固定されており、このトグルクランプ43のクランプアーム44の先端部には、研磨定盤17と対向するワークホルダ45の左右両端部がそれぞれ連結されている。トグルクランプ43のロックレバー46を図に示すクランプ状態に起こした場合、ワークホルダ45に取り付けられた光ファイバフェルール47の接続端面48(図6参照)が後述するワーク付勢手段による付勢力によって研磨定盤17の研磨フィルム22に対し適切な押圧力でそれぞれ押し当てられるようになっている。逆に、トグルクランプ43のロックレバー46を倒してアンクランプ状態にした場合、研磨定盤17からワークホルダ45が引き離され、ワークホルダ45に対する光ファイバフェルール47の着脱時に光ファイバフェルール47の接続端面48を研磨フィルム22に当接させることなく、容易かつ安全に着脱作業を行うことができる。
【0030】
本実施例におけるワークホルダ45の部分を抽出拡大して図5に示し、そのVI−VI矢視断面形状を図6に示す。すなわち、ワークホルダ45の下面にはその長手方向(図5中、上下方向)に沿って所定間隔pで配列するフェルール装着孔49を形成したフェルール取り付け板50がボルト51を介して一体的に固定されている。光ファイバフェルール47がそれぞれ着脱可能に嵌合される本発明のワーク装着部としてのフェルール装着孔49は、本実施例では相互に平行に前後2列に形成され、一方の列のフェルール装着孔49の配列間隔pは、他方の列のフェルール装着孔49の配列間隔pに対し、これらの配列方向に沿って1/2ピッチ、すなわちp/2だけずらして配列されている。
【0031】
本実施例では、研磨定盤17の旋回半径rがフェルール装着孔49の配列間隔pの整数倍とならないように、すなわちr≠np(ただしnは整数)となるように、偏心ピン28の偏心量rおよびフェルール装着孔49の配列間隔pが設定されている。例えば、本実施例における研磨装置を用いて24本の光ファイバフェルール47の接続端面48を研磨した場合、研磨定盤17に対するこれらの中心の移動軌跡を図7に模式的に示すように、研磨作業中に研磨定盤17に対して光ファイバフェルール47の接続端面48の移動軌跡が完全に重なり合わないようにすることができ、研磨定盤17の上に異物などが存在しても、同時に研磨加工されるすべての光ファイバフェルール47の接続端面48が損傷を受けるような不具合を回避することができる。
【0032】
フェルール取り付け板50を前後に挟むように延在する一対の板ばね取り付け板52の左右両端部は、フェルール装着孔49の配列方向に沿って延在する枢支ピン53を介してワークホルダ45にそれぞれ回動自在にピン止めされている。板ばね取り付け板52の左右両端部には、フェルール取り付け板50に対して板ばね取り付け板52を図6の実線で示すロック位置に固定するための操作ねじ54が装着され、この操作ねじ54がねじ込まれるフェルール取り付け板50から操作ねじ54を外すことにより、板ばね取り付け板52を図6の二点鎖線で示す退避位置に回動させることができるようになっている。板ばね取り付け板52には、先端側が櫛歯状をなし、フェルール装着孔49に差し込まれた光ファイバフェルール47のフランジ部55にそれぞれ係止してこれらを下向きに付勢し得る板ばね56の基端部が押さえ板57を介してそれぞれ複数本のボルト58により固定されている。つまり、上述した板ばね取り付け板52,板ばね56,押さえ板57などが研磨定盤17に対して光ファイバフェルール47の接続端面48を相対的に付勢する本発明のワーク付勢手段として機能している。
【0033】
従って、フェルール取り付け板50のフェルール装着孔49に対して光ファイバフェルール47の着脱作業を行う際には、板ばね取り付け板52を退避位置に回動させることにより、板ばね56の先端部がフェルール装着孔49の直上から退避される結果、フェルール装着孔49に対する光ファイバフェルール47の着脱作業を容易に行うことができる。
【0034】
なお、上述したトグルクランプ43のロックレバー46をクランプ状態に起こした場合、光ファイバフェルール47の接続端面48が研磨定盤17の研磨フィルム22に当接して板ばね56のばね力に抗して押し上げられ、フランジ部55がフェルール取り付け板50から浮き上がった状態となるように、トグルクランプ43によるワークホルダ45のクランプ位置が設定されている。
【0035】
【発明の効果】
本発明の研磨装置によると、ワークを着脱可能に支持するワーク装着部が長手方向に沿って所定間隔で一直線状に配列するように設けられたワークホルダを研磨定盤と対向状態でスライダに取り付け、定盤旋回手段によって研磨定盤をベースに対して旋回運動させる一方、スライダ駆動手段によってスライダをベースに対して往復直線運動させ、さらに研磨定盤の旋回半径をワークホルダの長手方向に沿ったワーク装着部の配列間隔の整数倍から外れるようにしたので、一度に大量のワークの端面を一括して研磨することができる。また、ワークの端面全域に亙って加工条件が均一化され、研磨加工される端面を正確に仕上げることができる。さらに研磨定盤に対してワークの端面の移動軌跡が重なり合わないようにすることができ、研磨定盤の上に異物などが存在しても、同時に研磨加工されるすべてのワークの端面が損傷を受けるような不具合を回避することができる
【0041】
ワーク装着部に装着されるワークの先端を研磨定盤に付勢するワーク付勢手段をさらに具えた場合には、ワークの端面をより正確に研磨することができる。
【0043】
ワーク装着部を相互に平行に複数列形成し、各列のワーク装着部がスライダの往復直線運動方向に沿って一直線状に並ばないように、各列のワーク装着部をこれらの配列方向に沿って相互にずらして配列した場合には、さらに大量のワークの端面を一括して研磨することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による研磨装置を光ファイバフェルールの接続端面の研磨用に応用した一実施例の外観を表す斜視図である。
【図2】図1に示した実施例における研磨装置の内部構造を一部破断状態で表す断面図である。
【図3】図1に示した実施例における研磨定盤の旋回機構を分解状態で表す斜視図である。
【図4】図2中のIV−IV矢視断面図である。
【図5】図1に示した実施例におけるワークホルダの部分の平面図である。
【図6】図5中のVI−VI矢視断面の拡大図である。
【図7】図1に示した実施例における研磨定盤に対する光ファイバ接続端面の中心の移動軌跡を模式的に表す概念図である。
【図8】光ファイバフェルールの接続端面を研磨するための従来の研磨装置の平面図であり、その一部を破断状態で表している。
【図9】図8中のIX−IX矢視断面の拡大図である。
【符号の説明】
11 ペデスタル
12 作業床面
13 筺体
14 定盤駆動モータ
15 スライダ駆動モータ
16 ベース
17 研磨定盤
18 固定ねじ
19 スラスト軸受
20 軸受板
21 弾性シート
22 研磨フィルム
23 回転軸
24 駆動歯車
25 同期歯車
26 支持軸
27 軸受
28 偏心ピン
29 軸受ローラ
30 案内レール
31 スライダ
32 連結板
33 ボルト
34 案内溝
35 回転軸
36 ピン支持板
37 止めねじ
38 偏心ピン
39 軸受ローラ
40 メカニカルシールリング
41 環状溝
42 ブラケット
43 トグルクランプ
44 クランプアーム
45 ワークホルダ
46 ロックレバー
47 光ファイバフェルール
48 接続端面
49 フェルール装着孔
50 フェルール取り付け板
51 ボルト
52 板ばね取り付け板
53 枢支ピン
54 操作ねじ
55 フランジ部
56 板ばね
57 押さえ板
58 ボルト
r,s 偏心量
p 配列間隔

Claims (5)

  1. ベースと、
    このベースに対して旋回可能に支持された研磨定盤と、
    この研磨定盤を前記ベースに対して旋回運動させる定盤旋回手段と、
    前記ベースに対して往復直線移動可能に支持されたスライダと、
    このスライダを前記ベースに対して往復直線運動させるスライダ駆動手段と、
    前記スライダの往復直線運動方向と交差する方向に沿って前記研磨定盤を跨ぎ、長手方向両端部が前記スライダに取り付けられて前記研磨定盤と対向するワークホルダと、
    このワークホルダの長手方向に沿って所定間隔で一直線状に配列するように当該ワークホルダに設けられてワークを着脱可能に支持するワーク装着部と
    を具え、前記研磨定盤の旋回半径が前記ワークホルダの長手方向に沿った前記ワーク装着部の配列間隔の整数倍から外れていることを特徴とする研磨装置。
  2. ワーク装着部に装着されるワークの先端を研磨定盤に付勢するワーク付勢手段をさらに具えたことを特徴とする請求項に記載の研磨装置。
  3. ワーク装着部が相互に平行に複数列形成され、各列のワーク装着部は、スライダの往復直線運動方向に沿って一直線状に並ばないように、これらの配列方向に沿って相互にずらして配列されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の研磨装置。
  4. スライダ駆動手段は、回転運動を往復直線運動に変換するカム機構を有することを特徴とする請求項から請求項の何れかに記載の研磨装置。
  5. ワークの端面が光ファイバフェルールの接続端面であることを特徴とする請求項から請求項の何れかに記載の研磨装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9211627B2 (en) 2011-02-16 2015-12-15 Ntt Advanced Technology Corporation Polishing apparatus
CN108602170A (zh) * 2015-11-20 2018-09-28 Ntt前进技术株式会社 光纤连接器端面的多阶段一并研磨方法及研磨膜

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4223008B2 (ja) 2005-01-18 2009-02-12 株式会社精工技研 光ファイバ付きフェルール端面研磨機用研磨治具
WO2011092744A1 (ja) * 2010-01-29 2011-08-04 エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社 光ファイバー研磨装置
WO2011092745A1 (ja) * 2010-01-29 2011-08-04 エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社 等速往復直線運動装置および光ファイバー研磨装置
CN105437041A (zh) * 2014-08-18 2016-03-30 泰科电子(上海)有限公司 抛光设备
CN104972389A (zh) * 2015-07-10 2015-10-14 成都市宏山科技有限公司 一种易操作的光纤端头研磨装置
CN107855914A (zh) * 2017-12-05 2018-03-30 无锡汇欧陶瓷有限公司 一种瓷砖加工用抛光装置
CN115781458B (zh) * 2022-12-22 2023-10-10 江苏蔚联精密科技有限公司 一种具有自适应调整功能的cnc双工位同步治具

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9211627B2 (en) 2011-02-16 2015-12-15 Ntt Advanced Technology Corporation Polishing apparatus
CN108602170A (zh) * 2015-11-20 2018-09-28 Ntt前进技术株式会社 光纤连接器端面的多阶段一并研磨方法及研磨膜
CN108602170B (zh) * 2015-11-20 2020-07-07 Ntt前进技术株式会社 工件端面的多阶段一并研磨方法及研磨膜
US10981256B2 (en) 2015-11-20 2021-04-20 Ntt Advanced Technology Corporation Multi-stage batch polishing method for end surface of optical fiber connector, and polishing film

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