JP6282425B2 - 配線基板の製造方法 - Google Patents
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Description
[第1の実施の形態に係る配線基板の構造]
まず、第1の実施の形態に係る配線基板の構造について説明する。図1は、第1の実施の形態に係る配線基板を例示する図であり、(a)は平面図、(b)は(a)のA−A線に沿う断面図である。図1において、X方向は後述するコア層13の一方の面13aと平行な方向、Y方向はX方向に垂直な方向(紙面奥行き方向)、Z方向はX方向及びY方向に垂直な方向(コア層13の厚さ方向)をそれぞれ示している(他の図においても同様)。なお、配線基板10等において、便宜上、コア層13の一方の面13a側を上側(上面)、コア層13の他方の面13b側を下側(下面)と称する場合がある。
次に、第1の実施の形態に係る配線基板の製造方法について説明する。図2及び図3は、第1の実施の形態に係る配線基板の製造工程を例示する図である。
第2の実施の形態では、第1の実施の形態に係る配線基板の両面に更に絶縁層や配線層を積層した配線基板の例を示す。又、配線基板に半導体チップを搭載した半導体パッケージの例を示す。なお、第2の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。
まず、第2の実施の形態に係る配線基板及び半導体パッケージの構造について説明する。図6は、第2の実施の形態に係る配線基板を例示する断面図である。図6を参照するに、第2の実施の形態に係る配線基板20は、第1の実施の形態に係る配線基板10に、更に、第2絶縁層21、第3配線層22、ソルダーレジスト層23、第3絶縁層24、第4配線層25、及びソルダーレジスト層26が追加された構造を有する。
次に、第2の実施の形態に係る配線基板及び半導体パッケージの製造方法について説明する。図8及び図9は、第2の実施の形態に係る配線基板及び半導体パッケージの製造工程を例示する図である。
第3の実施の形態では、配線基板の両面に半導体チップを搭載した半導体パッケージの例を示す。なお、第3の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。
まず、第3の実施の形態に係る配線基板及び半導体パッケージの構造について説明する。図11は、第3の実施の形態に係る配線基板を例示する断面図である。図11を参照するに、第3の実施の形態に係る配線基板40は、第3絶縁層24が第3絶縁層41及び第4絶縁層42に置換された点が第2の実施の形態に係る配線基板20(図6参照)と相違する。
次に、第3の実施の形態に係る配線基板及び半導体パッケージの製造方法について説明する。図13は、第3の実施の形態に係る配線基板の製造工程を例示する図である。
第1の実施の形態の変形例では、第1の実施の形態に係る配線基板のバリエーションについて例示する。なお、第1の実施の形態の変形例において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。
第3の実施の形態の変形例では、配線基板の両面に半導体チップを搭載した半導体パッケージの他の例を示す。なお、第3の実施の形態の変形例において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。
第4の実施の形態では、第1の実施の形態に係る配線基板において、配線層の形成されていない部分の貫通孔には金属材料を充填しない例を示す。なお、第4の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。
まず、第4の実施の形態に係る配線基板の構造について説明する。図18は、第4の実施の形態に係る配線基板を例示する図であり、(a)は平面図、(b)は(a)のA−A線に沿う断面図である。図18を参照するに、第4の実施の形態に係る配線基板10Cは、第1配線層14及び第2配線層16の形成されていない部分の貫通孔11xには金属材料を充填しない点が、第1の実施の形態に係る配線基板10(図1参照)と相違する。
次に、第4の実施の形態に係る配線基板の製造方法について説明する。図20及び図21は、第4の実施の形態に係る配線基板の製造工程を例示する図である。
第5の実施の形態では、第1の実施の形態に係る配線基板において、線状導体12のコア層13の他方の面13b側に凹部を設ける例を示す。なお、第5の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。
まず、第5の実施の形態に係る配線基板の構造について説明する。図22は、第5の実施の形態に係る配線基板を例示する断面図である。第5の実施の形態に係る配線基板を例示する平面図は図1(a)と同様であるため図示を省略しており、図22(a)は図1(b)に対応する断面を図示している。なお、図22(a)では、第1配線層14及び第2配線層16の形成されていない部分の貫通孔11x及び線状導体12を簡略化して図示しているが、実際には、図22(b)に示すように、多数の貫通孔11x及び線状導体12が存在している。
次に、第5の実施の形態に係る配線基板の製造方法について説明する。図23は、第5の実施の形態に係る配線基板の製造工程を例示する図である。
第5の実施の形態の変形例1では、第1の実施の形態に係る配線基板において、線状導体12のコア層13の他方の面13b側に凹部を設ける他の例を示す。なお、第5の実施の形態の変形例1において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。
第5の実施の形態の変形例2では、第5の実施の形態の変形例1とは異なる方法で、第2配線層16を形成すると同時に線状導体12に凹部を設ける例を示す。なお、第5の実施の形態の変形例2において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。
第5の実施の形態の変形例3では、第1の実施の形態に係る配線基板において、線状導体12のコア層13の一方の面13a及び他方の面13b側に凹部を設ける例を示す。なお、第5の実施の形態の変形例3において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。
まず、第5の実施の形態の変形例3に係る配線基板の構造について説明する。図25は、第5の実施の形態の変形例3に係る配線基板を例示する断面図である。第5の実施の形態の変形例3に係る配線基板を例示する平面図は図1(a)と同様であるため図示を省略しており、図25は図1(b)に対応する断面を図示している。なお、図25では、第1配線層14及び第2配線層16の形成されていない部分の貫通孔11x及び線状導体12を簡略化して図示しているが、実際には、図22(b)と同様に、多数の貫通孔11x及び線状導体12が存在している。
次に、第5の実施の形態の変形例3に係る配線基板の製造方法について説明する。図26は、第5の実施の形態の変形例3に係る配線基板の製造工程を例示する図である。
11 板状体
11x 貫通孔
12 線状導体
12x、12y 凹部
13 コア層
13a コア層の一方の面
13b コア層の他方の面
14、14A、14B 第1配線層
14a、14d、16a、16d 信号配線
14b、14c、16b、16c ベタ配線
15 第1絶縁層
16、16A、16B 第2配線層
21 第2絶縁層
21x、24x、42x ビアホール
22 第3配線層
23、26 ソルダーレジスト層
23x、26x、150x 開口部
24、41 第3絶縁層
25 第4配線層
30、50、50A 半導体パッケージ
31、51 バンプ
32、52 半導体チップ
33 外部接続端子
42 第4絶縁層
140 金属層
P 間隔
φ 直径
Claims (2)
- アルミニウム酸化物からなる板状体、及び前記板状体を厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を充填する複数の線状導体を備えたコア層を作製する工程と、
前記コア層の一方の面に第1配線層の形成領域を露出する開口部を有するレジスト層を形成する工程と、
前記レジスト層を含めた前記コア層の一方の面の全体を覆う金属層を形成する工程と、
前記線状導体の前記板状体の他方の面側の端面を前記板状体の他方の面に対して窪んだ位置にする工程と、
前記金属層及び前記金属層と電気的に接続された前記線状導体を給電経路とする電解めっき法により、前記コア層の他方の面の前記開口部と平面視において重複する位置に第2配線層を形成する工程と、
前記レジスト層の上面が露出するまで前記金属層を研磨し、前記金属層から前記第1配線層を形成すると共に、前記レジスト層から第1絶縁層を形成する工程と、を有し、
前記第1絶縁層は、前記コア層の一方の面の前記第1配線層が形成されていない領域に、前記第1配線層と同一層厚となるように形成され、
前記窪んだ位置にする工程では、前記線状導体の前記板状体の他方の面側の端面と前記貫通孔の内壁面により、前記板状体の他方の面に凹部が形成され、
前記第2配線層を形成する工程では、前記第2配線層の一部は、前記凹部内に形成される配線基板の製造方法。 - 前記第1配線層及び前記第1絶縁層の各々の上面を覆う第2絶縁層を形成する工程と、
前記第2絶縁層の上面に、前記第2絶縁層に形成された貫通孔を介して前記第1配線層と電気的に接続された第3配線層を形成する工程と、を有し、
前記第2絶縁層の層厚は、前記第1配線層の層厚以下となるように形成される請求項1記載の配線基板の製造方法。
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