JP5432800B2 - 配線基板の製造方法 - Google Patents
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Description
このような半導体集積回路素子を配線基板に搭載する方法として、フリップチップ接続により接続する方法が採用されている。フリップチップ接続とは、配線基板上に設けた半導体素子接続パッドの上面を半導体集積回路素子の電極端子の配置に対応した並びに露出させ、この半導体素子接続パッドの露出する上面と前記半導体集積回路素子の電極端子とを対向させ、これらの間を半田や金等からなる導電バンプを介して電気的に接続する方法である。
図1は、本発明にかかる製造方法により製造される配線基板の例を示す概略断面図であり、半導体素子としてのエリアアレイ型の半導体集積回路素子をフリップチップ接続により搭載する場合を示している。
2:ビルドアップ用の絶縁層
3:絶縁基体
4:コア用の配線導体
4A:ランドパターン
5:ビルドアップ用の配線導体
7:スルーホール
8:エッチングレジスト層
9:ビアホール
11:銅箔
12:両面銅張り板
13:第1のめっき導体層
13a:第1の無電解めっき層
13b:第1の電解めっき層
14:第2のめっき導体層
14a:第2の無電解めっき層
14b:第2の電解めっき層
15:めっきレジスト層
16:第3のめっき導体層
Claims (8)
- 直径が50〜120μmのスルーホールを有する絶縁板の前記スルーホール内壁のみに該スルーホールと同軸の貫通孔を有するように厚みが0.1〜1.0μmの第1の無電解銅めっき層およびその上の厚みが10〜40μmの第1の電解銅めっき層から成る第1のめっき導体層を被着する工程と、前記貫通孔内および前記絶縁板の上下面に、前記貫通孔内を充填するとともに前記絶縁板の上下面において配線導体を形成する第2のめっき導体層を被着する工程と、を有することを特徴とする配線基板の製造方法。
- 前記第1のめっき導体層の被着は、前記絶縁板の上下面および前記スルーホール内壁の全面に該スルーホールと同軸の貫通孔を有するように前記第1の無電解銅めっき層およびその上に前記第1の電解銅めっき層を被着させた後、該第1の無電解銅めっき層および第1の電解銅めっき層における前記上下面に被着した部分を選択的に全面除去することにより行なわれることを特徴とする請求項1記載の配線基板の製造方法。
- 前記第1の無電解銅めっき層および前記第1の電解銅めっき層の選択的除去は、前記貫通孔内をエッチングレジスト層で選択的に被覆した後、該エッチングレジスト層から露出する前記上下面に被着された部分をエッチングすることにより行なわれることを特徴とする請求項2に記載の配線基板の製造方法。
- 前記エッチングレジスト層がポジ型のレジスト材料により形成されることを特徴とする請求項3記載の配線基板の製造方法。
- 前記第2のめっき導体層の形成は、前記貫通孔内壁および前記上下面に第2の無電解銅めっき層を被着させた後、前記上下面における前記第2の無電解銅めっき層上に前記配線導体に対応する開口を有するめっきレジスト層を被着し、次に該めっきレジスト層から露出する前記第2の無電解銅めっき層上に第2の電解銅めっき層を、前記貫通孔内を充填するとともに前記配線導体に対応するパターンに被着させ、しかる後、前記めっきレジスト層を剥離するとともに、前記第2の電解銅めっき層から露出する前記第2の無電解銅めっき層をエッチング除去することにより行なわれることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の配線基板の製造方法。
- 前記スルーホールを有する絶縁板は、絶縁板の両面に銅箔が積層された銅張り積層板にスルーホール用の貫通孔を形成した後、前記銅箔をエッチング除去することにより形成されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の配線基板の製造方法。
- 前記第2のめっき導体層が被着された前記絶縁板の上下面に絶縁樹脂層を被着させるとともに該絶縁樹脂層に前記第2のめっき導体層を底面とするビアホールを形成し、しかる後、該ビアホール内および前記絶縁樹脂層の表面に前記配線導体と接続する上層の配線導体を形成する第3のめっき導体層を被着することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の配線基板の製造方法。
- 前記第3のめっき導体層の形成は、前記ビアホール内および前記絶縁樹脂層の表面に第3の無電解銅めっき層を被着させた後、前記表面における前記第3の無電解銅めっき層上に前記上層の配線導体に対応する開口を有するめっきレジスト層を被着し、次に該めっきレジスト層から露出する前記第3の無電解銅めっき層上に第3の電解銅めっき層を前記上層の配線導体に対応するパターンに被着させ、しかる後、前記めっきレジスト層を剥離するとともに、前記第3の電解銅めっき層から露出する前記第3の無電解銅めっき層をエッチング除去することにより行なわれることを特徴とする請求項7に記載の配線基板の製造方法。
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