JP6246724B2 - X線装置、及び構造物の製造方法 - Google Patents
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Description
第1実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係るX線装置1の一例を示す概略構成図である。
第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第3実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第4実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第5実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
第6実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第7実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第8実施形態について、図15から図20を参照して説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
図16は、本実施形態のX線源2Hを示すY−Z平面図である。
図17は、本実施形態のX線源2Hを示すX−Y平面図である。
図18は、本実施形態のX線源2Hを示す図であって、保持装置400のY−Z断面を示す図である。
図19は、本実施形態の保持装置400を示す図である。
図20は、本実施形態のターゲット装置600を示す断面図である。言いかえると、図20は、X線源2Hを図16の矢印Dと逆向きに見た図である。
第1ハウジング15Haの表面には、ノッチ部111が対向して2つ形成されている。第1ハウジング15Haは、部分151を備えている。部分151は、ノッチ部111の一方側に、外周がノッチ部111の側面112と固定されている。
X線射出装置100には、電力が供給される。また、X線射出装置100には、供給接続部300を通じて冷却液等の供給物が供給される。
ターゲット装置600は、ターゲット13Hと、ケーシング18Cと、を備えている。ターゲット13Hは、第1実施形態のターゲット13の一例を示したものであり、ケーシング18Cは、第1実施形態のケーシング18の一例を示したものである。ターゲット13H及びケーシング18Cについては、後段において詳述する。
X線源2Hは、保持装置400を介して、支持機構500に固定されている。
保持装置400は、マウントフレーム201と、補償装置211と、部材250と、保持部材230と、を備えている。
マウントフレーム201は、後述するサポートアーム270を介して、支持機構500に固定されている。
固定部211aは、マウントフレーム201に固定されている。
可動部211bは、第1ハウジング15Haの部分151に固定されている。可動部211bは、スライド部211dに沿ってX線射出装置100の長手方向に移動可能に設けられている。
第1クランプ231は、一方のサポートアーム233に接合され、第2クランプ232は、他方のサポートアーム233に接合されている。
第1クランプ231は、ブッシュ234を備えている。ブッシュ234は、たとえば、アイオライトを材料とするような潤滑ブッシュである。
ターゲット装置600は、前述したように、ターゲット13Hと、ケーシング18Cと、を備えている。
ターゲット13Hは、図20に示すように、中央部13Hbと、中央部13Hbの両側に配置された端部13Ha,13Hcと、を備えている。
中央部13Hbおよび端部13Ha,13Hcは、一体かつ一様に構成されている。中央部13Hbおよび端部13Ha,13Hcは、X線に適合する材料から作られている。
端部13Haは、第2クランプ232によって固定されている。端部13Hcは、第1クランプ231に設けられたブッシュ234の穴部に嵌合されている。端部13Hcは、ブッシュ234の穴部によって径方向の動きが抑制されると共に、ターゲット13Hの長手方向(X軸方向)に移動可能となっている。すなわち、ターゲット13Hは、保持部材230によって、Z軸方向およびY軸方向の移動が制限されると共に、長手方向(X軸方向)に移動可能となるように保持されている。
ターゲット13Hは、ケーシング18Cの内部に配置され、ターゲットブッシュ143に挿入されている。
Y軸エレベータ260は、Y軸スライド機構261と、Y軸送りネジ262と、ギヤボックス264と、クランクハンドル265と、を備えている。
また、ターゲット13Hの端部13Ha,13Hcそれぞれが、中央部13Hbを形成する合金又は材料に対して相違する合金又は完全に相違する材料から形成されていてもよい。
Claims (19)
- 電子の衝突又は電子の透過によりX線を発生する、第1、第2端部を有するターゲットと、
前記ターゲットに電子を放出するフィラメントと、
前記フィラメントを内部に有するハウジングと、
前記第1端部と前記第2端部との間にハウジングが配置されるように、前記ハウジングの外側に配置される前記ターゲットの前記第1、第2端部を、前記ハウジングの外側で保持する第1保持部材と、
前記ハウジングを保持する第2保持部材と、を備え、
前記第2保持部材は、前記ハウジングを可動に保持するX線装置。 - 前記第1保持部材及び前記第2保持部材を支持する支持部材を備える請求項1に記載のX線装置。
- 前記ターゲットからの前記X線が照射される物体を保持するステージ装置と、
前記物体を通過した前記X線の少なくとも一部を検出する検出装置と、を備え、
前記支持部材は、前記ステージ装置及び前記検出装置を支持する請求項2に記載のX線装置。 - 前記ターゲットからの前記X線が照射される物体を保持するステージ装置と、
前記物体を通過した前記X線の少なくとも一部を検出する検出装置と、
前記支持部材を移動する第1駆動装置と、
前記支持部材の移動と同期して、前記検出装置を移動する第2駆動装置と、を備える請求項2に記載のX線装置。 - 前記X線が前記物体に照射される期間の少なくとも一部において、
前記ステージ装置は、前記物体を回転させる請求項3又は4に記載のX線装置。 - 前記ターゲットは棒状である、請求項1〜5のいずれか一項に記載のX線装置。
- 前記フィラメントからの電子の伝搬する方向と交差する方向に、前記棒状のターゲットの長手方向が配置される、請求項6に記載のX線装置。
- 前記第1保持部材は、第1端部保持部材と第2端部保持部材とを有し、前記第1端部を前記第1端部保持部材が保持し、前記第2端部を前記第2端部保持部材が保持する、請求項1〜7のいずれか一項に記載のX線装置。
- 構造物の形状に関する設計情報を作成する設計工程と、
前記設計情報に基づいて前記構造物を作成する成形工程と、
作成された前記構造物の形状を請求項1〜8のいずれか一項に記載のX線装置を用いて計測する測定工程と、
前記測定工程で取得した形状情報と前記設計情報とを比較する検査工程と、を含む構造物の製造方法。 - 前記検査工程の比較結果に基づいて実行され、前記構造物の再加工を実施するリペア工程を含む請求項9に記載の構造物の製造方法。
- 前記リペア工程は、前記成形工程を再実行する工程である請求項10に記載の構造物の製造方法。
- 前記測定工程は、前記構造物の外形の寸法を計測することを含む請求項9〜11のいずれか一項に記載の構造物の製造方法。
- 電子の衝突によりX線を発生し、第1、第2端部を有するターゲットと、
前記ターゲットに電子を放出するフィラメントと、
前記フィラメントを内部に有するハウジングと、
前記フィラメントからの電子を前記ターゲットに導く導電子部材の電子の伝搬方向と平行に延在し、前記第1端部と前記第2端部との間にハウジングが配置されるように、前記ハウジングの外側から前記第1、第2端部を保持する第1保持部材と、
前記導電子部材の電子の伝搬方向と直交し、かつ前記ハウジングの外側から、前記第1保持部材を保持する第2保持部材を備え、
前記第2保持部材と前記ハウジングとは接触するX線装置。 - 前記第2保持部材は、円環状に形成された接触面を備える請求項13に記載のX線装置。
- 前記第1保持部材と接合し、前記ハウジングを可動に保持する第3保持部材を備える請求項13又は請求項14に記載のX線装置。
- 前記第3保持部材は、前記ハウジングの重量に応じた加重で前記ハウジングを支持する請求項15に記載のX線装置。
- 前記ターゲットは棒状である、請求項13〜16のいずれか一項に記載のX線装置。
- 前記フィラメントからの電子の伝搬する方向と交差する方向に、前記棒状のターゲットの長手方向が配置される、請求項17に記載のX線装置。
- 前記第1保持部材は、第1端部保持部材と第2端部保持部材とを有し、前記第1端部を前記第1端部保持部材が保持し、前記第2端部を前記第2端部保持部材が保持する、請求項13〜18のいずれか一項に記載のX線装置。
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