JP6232186B2 - 窒化物半導体ウェハのマーキング方法および識別符号付き窒化物半導体ウェハ - Google Patents
窒化物半導体ウェハのマーキング方法および識別符号付き窒化物半導体ウェハ Download PDFInfo
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31 窒化ガリウムウェハ(窒化物半導体ウェハ)
32 識別符号
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- 厚さが250μm以上の窒化物半導体ウェハに、周波数25kHz以上40kHz以下のレーザ光を照射してマーキング深さが20μm以上の識別符号をマーキングし、前記識別符号をマーキングしていない平坦面からの前記識別符号周辺の盛り上がり高さを3μm以下とする
ことを特徴とする窒化物半導体ウェハのマーキング方法。 - 前記レーザ光が、Nd−YAGレーザの基本波もしくは第2高調波である
請求項1記載の窒化物半導体ウェハのマーキング方法。 - 前記窒化物半導体ウェハが、窒化ガリウムウェハである
請求項1または2記載の窒化物半導体ウェハのマーキング方法。 - 前記識別符号を、ライン状もしくはドット状にマーキングする
請求項1〜3いずれかに記載の窒化物半導体ウェハのマーキング方法。 - 厚さが250μm以上の窒化物半導体ウェハに、周波数25kHz以上40kHz以下のレーザ光を照射してマーキング深さが20μm以上の識別符号をマーキングし、前記識別符号をマーキングしていない平坦面からの前記識別符号周辺の盛り上がり高さを3μm以下とする
ことを特徴とする窒化物半導体ウェハの製造方法。
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