JP2005033132A - GaN基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明に係るGaN基板の製造方法は、GaN単結晶基板12上に、非晶質状態のAlxGa1-xN(0≦x<1)からなる中間層14を形成する中間層形成ステップと、中間層14が形成されたGaN単結晶基板12を加熱して中間層14に熱処理を施し、中間層14を構成する非晶質状態のAlxGa1-xNを単結晶化する中間層熱処理ステップと、熱処理が施された中間層14上に、GaNエピタキシャル層16を成長させるエピタキシャル層形成ステップとを有するため、このGaN基板の製造方法によれば、表面16aが平坦化され、且つ結晶欠陥が低減されたGaN基板が得られる。
【選択図】 図1
Description
Claims (7)
- GaN単結晶基板上に、非晶質状態のAlxGa1-xN(0≦x<1)からなる中間層を形成する中間層形成ステップと、
前記中間層が形成された前記GaN単結晶基板を加熱して前記中間層に熱処理を施し、前記中間層を構成する前記非晶質状態のAlxGa1-xNを単結晶化する中間層熱処理ステップと、
前記熱処理が施された前記中間層上に、GaNエピタキシャル層を成長させるエピタキシャル層形成ステップと
を有するGaN基板の製造方法。 - 前記中間層形成ステップの際の基板温度が400℃以上600℃以下である、請求項1に記載のGaN基板の製造方法。
- 前記中間層熱処理ステップの際の基板温度が900℃以上1150℃以下である、請求項1又は2に記載のGaN基板の製造方法。
- 前記中間層熱処理ステップにおいて、前記中間層に施す熱処理の時間が10分以上30分以下である、請求項1〜3のいずれか一項に記載のGaN基板の製造方法。
- 前記エピタキシャル層形成ステップの際の基板温度が1000℃以上1200℃以下である、請求項1〜4のいずれか一項に記載のGaN基板の製造方法。
- 前記中間層形成ステップの際にSiをドーピングして前記中間層をn型にする、請求項1〜5のいずれか一項に記載のGaN基板の製造方法。
- 前記中間層の層厚が20nm以上200nm以下である、請求項1〜6のいずれか一項に記載のGaN基板の製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2006279021A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-10-12 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 縦型窒化ガリウム半導体装置およびエピタキシャル基板 |
US7872285B2 (en) | 2005-03-04 | 2011-01-18 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Vertical gallium nitride semiconductor device and epitaxial substrate |
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