JP2006203196A - エピタキシャルウェーハの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】単結晶ウェーハ上に単結晶物質から構成される単結晶バッファ層を形成するステップと、前記単結晶バッファ層上にマスク層を形成するステップと、レーザを利用してマスク層に前記単結晶バッファ層の表面が露出される複数のホールを形成するステップと、前記ホールを通じてエッチング液を供給して前記ホールの底に露出された前記単結晶バッファ層部分に所定深さのウェルを形成するステップと、前記マスク層を除去した後、前記単結晶バッファ層を熱処理して前記ウェルによって得られる空洞部を有する多孔性バッファ層を形成するステップと、前記多孔性バッファ層に結晶性物質層をエピタキシャル成長法によって形成するステップと、を含むエピタキシャルウェーハの製造方法である。
【選択図】図3
Description
2 単結晶バッファ層、
2a ウェル、
2a’ 空洞部、
3 マスク層、
3a ホール、
4 多孔性バッファ層、
5 結晶性物質層。
Claims (9)
- 単結晶ウェーハ上に単結晶物質から構成される単結晶バッファ層を形成するステップと、
前記単結晶バッファ層上にマスク層を形成するステップと、
レーザを利用して前記マスク層に前記単結晶バッファ層の表面が露出される複数のホールを形成するステップと、
前記ホールを通じてエッチング液を供給して前記ホールの底に露出された前記単結晶バッファ層部分に所定深さのウェルを形成するステップと、
前記マスク層を除去した後、前記単結晶バッファ層を熱処理して前記ウェルによって得られる空洞部を有する多孔性バッファ層を形成するステップと、
前記多孔性バッファ層上に結晶性物質層をエピタキシャル成長法によって形成するステップと、を含むエピタキシャルウェーハの製造方法。 - 前記結晶性物質層は、3族窒化物半導体から構成されることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 前記単結晶ウェーハは、Si、GaAs、SiC、GaNおよびサファイアからなる群から選ばれるいずれか一種から構成されることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 前記単結晶ウェーハは、サファイアから構成され、前記単結晶バッファ層および結晶性物質層は、GaNから構成されることを特徴とする請求項1〜3のうちいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記マスク層を構成する物質は、前記単結晶バッファ層に比べてエッチング率が低いことを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 前記結晶性物質層は、気相蒸着法を利用して形成することを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 前記気相蒸着法は、HVPE法、MOCVD法、またはMBE法であることを特徴とする請求項6に記載の製造方法。
- 前記熱処理は、850℃以上の温度で行うことを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 前記マスク層は、フォトレジストで形成することを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050005024A KR100682881B1 (ko) | 2005-01-19 | 2005-01-19 | 결정 성장 방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006203196A true JP2006203196A (ja) | 2006-08-03 |
Family
ID=36684486
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006005253A Pending JP2006203196A (ja) | 2005-01-19 | 2006-01-12 | エピタキシャルウェーハの製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7435666B2 (ja) |
JP (1) | JP2006203196A (ja) |
KR (1) | KR100682881B1 (ja) |
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2006
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KR20060084500A (ko) | 2006-07-24 |
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Date | Code | Title | Description |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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