JP6224532B2 - 光電変換装置 - Google Patents
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Description
大幅に減少して、透明な導電層の電子とCIGS層の正孔とが再結合することを十分に抑制できなくなるおそれがある。
本発明の第1実施形態に係る光電変換装置1について、図1〜図2を参照しながら説明する。光電変換装置1は、基板3上に複数の光電変換セル2が並べられて互いに電気的に直列接続されている構造である。光電変換セル2は、下部電極層4、光吸収層5、バッファ層8および上部電極層9を主に備えている。なお、バッファ層8は、第1バッファ層6および第2バッファ層7がこの順に積層された構成を有している。また、図1〜図2においては図示の都合上、複数の光電変換セル2のうち隣接する2つの光電変換セル2a、2bのみを示しているが、実際は図面におけるX方向およびY方向に複数の光電変換セル2が配置されている。
方向(X方向)において順に第1下部電極層4a、第2下部電極層4bおよび第3下部電極層4cという。
方向において順に第1積層部10aおよび第2積層部10bという。第1積層部10aは、第1下部電極層4a上から基板3上を経て第2下部電極層4b上にかけて設けられている。第2積層部10bは、第2下部電極層4b上から基板3上を経て第3下部電極層4c上にかけて設けられている。また、第1積層部10aを構成する上部電極層9を、第1上部電極層9aという。同様に、第2積層部10bを構成する上部電極層9を、第2上部電極層9bという。
素(III−B族元素ともいう)と16族元素(VI−B族元素ともいう)との化合物である
。I−III−VI族化合物としては、例えばCuInSe2(二セレン化銅インジウム、C
ISともいう)、Cu(In,Ga)Se2(二セレン化銅インジウム・ガリウム、CIGSともいう)、Cu(In,Ga)(Se,S)2(二セレン・イオウ化銅インジウム・ガリウム、CIGSSともいう)が挙げられる。あるいは、光吸収層5は、薄膜の二セレン・イオウ化銅インジウム・ガリウム層を表面層として有する二セレン化銅インジウム・ガリウム等によって構成されていてもよい。
換が生じる。なお、第1バッファ層6であるZn(S,O)層は、酸素欠損によって生じた酸素空孔がドナーとして働くことで、n型の導電型を有する。そして、第1バッファ層6をn型の導電型を有する半導体として良好に機能させる観点からは、第1バッファ層6は、30〜65質量%の硫化亜鉛および70〜35質量%の酸化亜鉛の混合物からなる層であるのがよい。さらに、第1バッファ層6の平均の伝導担体(キャリア)濃度が1×1018/m3以上であるのが好ましい。また、第1バッファ層6の平均のキャリア濃度は
、例えば走査型静電容量顕微鏡(SCM)を用いてキャリア濃度に応じた第1バッファ層6の静電容量の変化を測定することで算出することができる。
できる。そして、光電変換装置1の製造工程を簡略化する観点からは、第1バッファ層6から連続的に第2バッファ層7を形成できるように、第2バッファ層7の形成方法には第1バッファ層6と同じ形成方法を用いることが望ましい。
の形成対象位置からその直下の基板3の上面にかけて、分離溝部P1を形成する。分離溝部P1は、YAGレーザー等のレーザー光(波長1064nm)を走査しつつ形成対象位置に照射することで溝加工を行なう、レーザースクライブ加工法によって形成することが好ましい。
本発明の第2実施形態に係る光電変換装置について説明する。
本発明の第3実施形態に係る光電変換装置について説明する。
本発明の第1実施形態に係る光電変換装置について、以下のようにして評価した。
太陽光の照射を行なった。その際、試料基板の下部電極層と透明な導電層との間で電流−電圧測定を行なった。これにより測定された電流−電圧特性から開放電圧、短絡電流、曲線因子、光電変換効率を算出した。第2バッファ層としてZnO層を用いた試料基板では、ZnO層の厚みによる各パラメーターの大きな違いは確認できなかった。一方、第2バッファ層としてZnS層を用いた試料基板では、ZnS層の厚みが1nmの試料基板が各パラメーターの値が最も良いことが確認できた。また、ZnS層およびZnO層の厚みに関係なく、第2バッファ層としてZnS層を用いた全ての試料基板は、第2バッファ層としてZnO層を用いた全ての試料基板に比べて、開放電圧を除く短絡電流、曲線因子、光電変換効率の特性において高い値が確認できた。一例として、第2バッファ層として厚みが30nmのZnO層を用いた試料基板(試料No.1)および第2バッファ層として厚みが2nmのZnS層を用いた試料基板(試料No.2)の各パラメーターを表1に示す。
5、5a、5b、5c:光吸収層
6、6a、6b、6c:第1バッファ層
7、7a、7b、7c:第2バッファ層
9、9a、9b、9c:透明な導電層
Claims (4)
- カルコパイライト系化合物半導体を含む光吸収層と、
該光吸収層上に設けられた第1バッファ層と、
該第1バッファ層上に設けられた第2バッファ層と、
該第2バッファ層上に設けられた透明な導電層とを具備しており、
前記第1バッファ層は、硫化亜鉛および酸化亜鉛の混合物からなる層であり、
前記第2バッファ層は、硫化亜鉛からなる層であることを特徴とする光電変換装置。 - 前記第1バッファ層は、30〜65質量%の硫化亜鉛および70〜35質量%の酸化亜鉛の混合物からなる層であることを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
- 前記第1バッファ層のうち前記第2バッファ層側の主面近傍において、亜鉛に対する硫黄のモル比が亜鉛に対する酸素のモル比よりも大きい請求項1または2に記載の光電変換装置。
- 前記第1バッファ層において、亜鉛に対する硫黄のモル比が前記光吸収層側の主面から前記第2バッファ層側の主面に向かって増加しているとともに、亜鉛に対する酸素のモル比が前記光吸収層側の主面から前記第2バッファ層側の主面に向かって減少している請求項1ないし3のいずれかに記載の光電変換装置。
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