JP2015122389A - 光電変換装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 光電変換装置における光電変換効率の向上を目的とする。
【解決手段】 光電変換装置11は、下部電極層2と、下部電極層2上に配された金属カルコゲナイドを含む光吸収層3と、光吸収層3の主面上において互いに間隔をあけて帯状に延びるように配された、金属硫化物を含む複数のバッファ層4と、複数のバッファ層4の各々の主面上に配された上部電極層5とを具備する。
【選択図】 図5
【解決手段】 光電変換装置11は、下部電極層2と、下部電極層2上に配された金属カルコゲナイドを含む光吸収層3と、光吸収層3の主面上において互いに間隔をあけて帯状に延びるように配された、金属硫化物を含む複数のバッファ層4と、複数のバッファ層4の各々の主面上に配された上部電極層5とを具備する。
【選択図】 図5
Description
本発明は、金属カルコゲナイドを含む光吸収層に金属硫化物を含むバッファ層が接合された光電変換装置に関する。
太陽光発電等に使用される光電変換装置として、CIGSやCZTS等の金属カルコゲナイドを含む半導体層を光吸収層として用い、これにCdSやZnS、In2S3等の金属硫化物を含むバッファ層をヘテロ接合させたものがある(例えば特許文献1および特許文献2参照)。このような光電変換装置は、複数の光電変換セルが平面的に並設された構成を有する。各光電変換セルは、ガラス等の基板の上に、金属電極等の下部電極層と、金属カルコゲナイドを含む光吸収層と、この光吸収層にヘテロ接合した、金属硫化物を含むバッファ層と、透明電極や金属電極等の上部電極層とが、この順に積層されて構成される。また、複数の光電変換セルは、隣り合う一方の光電変換セルの上部電極層と他方の光電変換セルの下部電極層とが接続導体によって電気的に接続されることで、電気的に直列に接続されている。
光電変換装置には、光電変換効率の向上が常に要求される。特許文献1や特許文献2の光電変換装置では、太陽光が上部電極層側から入射された後、バッファ層を透過して光吸収層に到達し、この光吸収層で正負キャリアが発生する。しかしながら、このバッファ層は金属硫化物を含み、金属硫化物は太陽光に対する吸収率が高く、光吸収層に到達する光が低減される。その結果、光電変換効率をさらに向上させることが困難である。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、光電変換装置における光電変換効率の向上を目的とする。
本発明の一態様に係る光電変換装置は、下部電極層と、該下部電極層上に配された金属カルコゲナイドを含む光吸収層と、該光吸収層の主面上において互いに間隔をあけて帯状に延びるように配された、金属硫化物を含む複数のバッファ層と、該複数のバッファ層の各々の主面上に配された上部電極層とを具備する。
本発明の上記態様によれば、光電変換装置の光電変換効率を高めることができる。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、図面においては同様な構成および機能を有する部分については同一符号が付されており、下記説明では重複説明が省略される。また、図面は模式的に示されたものであり、各図における各種構造のサイズおよび位置関係等は正確に図示されたものではない。
<(1)第1実施形態に係る光電変換装置の構成>
図1は、本発明の第1実施形態に係る光電変換装置の一例を示す斜視図である。図2は、図1の光電変換装置のXY平面図である。図3は、図2の光電変換装置の上部電極層を除いた状態のXY平面図である。図4は、図2の切断面線I−Iにおける光電変換装置の断面図であり、図5は、図2の切断面線II−IIにおける光電変換装置の断面図である。なお、図1から図11には、光電変換セル10の配列方向(図1の図面視左右方向)をX軸方向とする右手系のXYZ座標系が付されている。
図1は、本発明の第1実施形態に係る光電変換装置の一例を示す斜視図である。図2は、図1の光電変換装置のXY平面図である。図3は、図2の光電変換装置の上部電極層を除いた状態のXY平面図である。図4は、図2の切断面線I−Iにおける光電変換装置の断面図であり、図5は、図2の切断面線II−IIにおける光電変換装置の断面図である。なお、図1から図11には、光電変換セル10の配列方向(図1の図面視左右方向)をX軸方向とする右手系のXYZ座標系が付されている。
光電変換装置11は、基板1の上に複数の光電変換セル10が並設された構成を有している。図1では、図示の都合上、2つの光電変換セル10のみが示されているが、実際の光電変換装置11には、図面のX軸方向、或いは更に図面のY軸方向に、多数の光電変換セル10が平面的に(二次元的に)配列されている。
各光電変換セル10は、下部電極層2、光吸収層3、バッファ層4および上部電極層5を主に備えている。光電変換装置11では、上部電極層5が設けられた側の主面が受光面となっている。また、光電変換装置11には、第1〜3溝部P1,P2,P3といった3種類の溝部が設けられている。
基板1は、複数の光電変換セル10を支持するものであり、例えば、ガラス、セラミックス、樹脂、または金属等の材料で構成されている。具体例として、例えば、基板1として、1〜3mm程度の厚さを有する青板ガラス(ソーダライムガラス)が用いられてもよい。
下部電極層2は、基板1の一主面の上に設けられた導電層であり、例えば、モリブデン(Mo)、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)、タンタル(Ta)、または金(Au)等の金属、あるいはこれらの金属の積層構造体からなる。また、下部電極層2は、0.2〜1μm程度の厚さを有する。
光吸収層3は光を吸収して光電変換を行なう半導体層である。光吸収層3は、下部電極層2の+Z側の主面(一主面とも言う)の上に、例えば、1〜3μm程度の厚さで設けられている。そして、光吸収層3は金属カルコゲナイドを主として含んでいる。なお、金属カルコゲナイドを主として含むとは、金属カルコゲナイドを70mol%以上含んでいるものをいう。
また、金属カルコゲナイドとは、金属元素とカルコゲン元素との化合物である。また、カルコゲン元素とは16族元素(VI−B族元素ともいう)のうちの硫黄(S)、セレン(Se)、テルル(Te)をいう。金属カルコゲナイドとしては、11族元素(I−B族元素ともいう)と13族元素(III−B族元素ともいう)と16族元素との化合物であるI−III−VI族化合物、11族元素と12族元素(II−B族元素ともいう)と14族元素(IV−B族元素ともいう)と16族元素との化合物であるI−II−IV−VI族化合物、または12族元素と16族元素との化合物であるII−VI族化合物等が採用され得る。
I−III−VI族化合物としては、例えば、CuInSe2(二セレン化銅インジウム、
CISともいう)、Cu(In,Ga)Se2(二セレン化銅インジウム・ガリウム、CIGSともいう)、Cu(In,Ga)(Se,S)2(二セレン・イオウ化銅インジウム・ガリウム、CIGSSともいう)が挙げられる。あるいは、光吸収層3は、薄膜の二セレン・イオウ化銅インジウム・ガリウム層を表面層として有する二セレン化銅インジウム・ガリウム等の多元化合物半導体薄膜にて構成されていてもよい。
CISともいう)、Cu(In,Ga)Se2(二セレン化銅インジウム・ガリウム、CIGSともいう)、Cu(In,Ga)(Se,S)2(二セレン・イオウ化銅インジウム・ガリウム、CIGSSともいう)が挙げられる。あるいは、光吸収層3は、薄膜の二セレン・イオウ化銅インジウム・ガリウム層を表面層として有する二セレン化銅インジウム・ガリウム等の多元化合物半導体薄膜にて構成されていてもよい。
I−II−IV−VI族化合物としては、例えば、Cu2ZnSnS4(CZTSともいう)、Cu2ZnSn(S,Se)4(CZTSSeともいう)、およびCu2ZnSnSe4(CZTSeともいう)が挙げられる。また、II−VI族化合物としては、例えば、CdTeが挙げられる。
バッファ層4は、光吸収層3にヘテロ接合した半導体層である。リーク電流が低減される観点から言えば、バッファ層4は、1Ω・cm以上の抵抗率を有するものであってもよい。また、バッファ層4は、光吸収層3の厚さは、例えば5〜200nmに設定される。
また、バッファ層4は金属硫化物を含んでいる。金属硫化物としては、ZnSのような12族元素の硫化物またはIn2S3のような13族元素の硫化物等が挙げられる。これらの金属硫化物は金属水酸化物や金属酸化物等との混晶化合物であってもよい。
バッファ層4は、図3〜図5に示されるように、光吸収層3の主面上に複数設けられており、これらが互いに間隔をあけて帯状に延びている。なお、図3はバッファ層4の配置を確認しやすいように上部電極層5を除いている。複数のバッファ層4は完全に分離されている必要はなく、一部で互いに繋がっていてもよい。
このような構成により、光電変換装置11に対して上部電極層5側から入射した光は、バッファ層4が配されていない部位から光吸収層3に良好に進行することと成る。その結果、光吸収率の高いバッファ層4による光損失を低減することができ、光電変換効率を高めることができる。
光吸収層3への光入射率の向上と光吸収層3で生じたキャリアの取り出し効率の向上とをともに高めるという観点からは、光吸収層3を平面視したときに、複数のバッファ層4によって覆われている光吸収層3の主面の総面積は、光吸収層3の光電変換に寄与する部位の主面の総面積に対して0.5〜0.95倍であってもよい。
上部電極層5は、バッファ層4の上に設けられており、光吸収層3において光電変換によって生じたキャリアを介して良好に取り出すための電極として機能する。上部電極層5は、バッファ層5よりも電気抵抗率の低い部材から成る。このような上部電極層5は、図4〜図5に示されるように、透明導電膜5aと集電電極5bとを具備していてもよい。なお、これに限定されず、上部電極層5は、透明導電膜5aのみ、あるいは集電電極5bのみの場合もあり得る。
透明導電膜5aは、禁制帯幅が広く且つ透明で低抵抗の材料を主に含んでいる。このような材料としては、例えば、ZnO、In2O3およびSnO2等の金属酸化物半導体等が採用され得る。これらの金属酸化物半導体には、Al、B、Ga、InおよびF等のう
ちの何れかの元素が含まれても良い。このような元素が含まれた金属酸化物半導体の具体例としては、例えば、AZO(Aluminum Zinc Oxide)、GZO(Gallium Zinc Oxide)
、IZO(Indium Zinc Oxide)、ITO(Indium Tin Oxide)、FTO(Fluorine tin Oxide)等がある。
ちの何れかの元素が含まれても良い。このような元素が含まれた金属酸化物半導体の具体例としては、例えば、AZO(Aluminum Zinc Oxide)、GZO(Gallium Zinc Oxide)
、IZO(Indium Zinc Oxide)、ITO(Indium Tin Oxide)、FTO(Fluorine tin Oxide)等がある。
透明導電膜5aは、例えば0.05〜3.0μmの厚さを有するように形成される。ここで、光吸収層3から電荷が良好に取り出される観点から言えば、透明導電膜5aは、1Ω・cm未満の抵抗率と、50Ω/□以下のシート抵抗とを有するものであってもよい。
また、集電電極5bは、透明導電膜5aよりも電気抵抗率の低い材料からなり、上部電極層5全体の導電率を高めるためのものである。集電電極5bが設けられれば、透明導電膜5aの薄層化が可能となる。集電電極5bは、例えば、銀(Ag)やアルミニウム(Al)、銅)(Cu)等の金属を含む。
上部電極層5によって集電された電荷は、第2溝部P2に設けられた接続導体6を通じて、隣の光電変換セル10に伝達される。接続導体6は、例えば、図4に示されるように集電電極5bのY軸方向への延在部分によって構成されている。これにより、光電変換装置11においては、隣り合う光電変換セル10の一方の下部電極層2と、他方の集電電極5bとが、第2溝部P2に設けられた接続導体6を介して電気的に直列に接続されている。なお、接続導体6は、これに限定されず、透明導電膜5aの延在部分によって構成されていてもよい。
集電電極5は、良好な導電性が確保されつつ、光吸収層3への光の入射量を左右する受光面積の低下が最小限にとどめられるように、50〜400μmの幅を有するものとすることができる。
<(2)第1実施形態に係る光電変換装置の製造方法>
図6〜図9は、上記の第1実施形態に係る光電変換装置11の製造途中の様子をそれぞれ模式的に示す断面図である。なお、図6〜図9で示される各断面図は、図5で示された断面に対応する部分の製造途中の様子を示す。
図6〜図9は、上記の第1実施形態に係る光電変換装置11の製造途中の様子をそれぞれ模式的に示す断面図である。なお、図6〜図9で示される各断面図は、図5で示された断面に対応する部分の製造途中の様子を示す。
まず、洗浄された基板1の略全面にMo等からなる下部電極層2を成膜する。下部電極層2は、スパッタリング法または蒸着法等の公知の薄膜形成方法によって形成することができる。そして、下部電極層2の上面のうちのY方向に沿った直線状の形成対象位置からその直下の基板1の上面にかけて、第1溝部P1を形成する。第1溝部P1は、例えば、YAGレーザー等によるレーザー光を走査しつつ形成対象位置に照射することで溝加工を行なう、スクライブ加工によって形成することができる。
第1溝部P1を形成した後、下部電極層2の上に、光吸収層3を形成する。光吸収層3は、スパッタリング法、蒸着法などのいわゆる真空プロセスによって形成可能であるほか、いわゆる塗布法あるいは印刷法と称されるプロセスによって形成することもできる。塗布法あるいは印刷法と称されるプロセスは、光吸収層3の構成元素の錯体溶液等を下部電極層2の上に塗布し、その後、乾燥・熱処理を行うプロセスである。図6は、光吸収層3を形成した後の状態を示す図である。
光吸収層3を形成した後、光吸収層3の上に所望のパターン形状のレジスト層Rを形成する。レジスト層Rとしては光硬化性樹脂等を用いることができる。図7は、レジスト層Rを形成した後の状態を示す図である。
次に、光吸収層3のレジスト層Rに覆われていない部位上にバッファ層4を形成する。
バッファ層4は、例えば、化学溶液析出法(CBD法)で作製することができる。CBD法を用いる場合、バッファ層4を構成する化合物の原料を含むCBD溶液を用意する。具体的には、塩化インジウム等のインジウム化合物と、チオアセトアミドやチオ尿素等の硫黄化合物とを溶解した水溶液を、塩酸等でpHを2.1〜2.5に調製することによってCBD溶液とすることができる。
バッファ層4は、例えば、化学溶液析出法(CBD法)で作製することができる。CBD法を用いる場合、バッファ層4を構成する化合物の原料を含むCBD溶液を用意する。具体的には、塩化インジウム等のインジウム化合物と、チオアセトアミドやチオ尿素等の硫黄化合物とを溶解した水溶液を、塩酸等でpHを2.1〜2.5に調製することによってCBD溶液とすることができる。
バッファ層4を形成した後、バッファ層4の上に、透明導電膜5aを形成する。透明導電膜5aは、例えば、Alが含まれた酸化亜鉛(AZO)やSnが含まれた酸化インジウム(ITO)等を主成分とする透明導電膜であり、スパッタリング法、蒸着法、または化学的気相成長(CVD)法等で形成することができる。図8は、バッファ層4および透明導電膜5aを形成した後の状態を示す図である。
透明導電膜5aを形成した後、レジスト層Rを除去する。図9は、レジスト層Rを除去した後の状態を示す図である。
レジスト層Rを除去した後、集電電極5bおよび接続導体6を形成する。集電電極5bおよび接続導体6については、例えば、Ag等の金属粉が樹脂バインダー等に分散している導電性を有するペースト(導電ペーストとも言う)を、所望のパターンを描くように印刷し、これを固化することで形成できる。
集電電極5bおよび接続導体6を形成した後、上部電極層5の上面のうちの直線状の形成対象位置からその直下の下部電極層2の上面にかけて、第3溝部P3を形成する。第3溝部P3は、第2溝部P2と同様に、メカニカルスクライビングによって形成することができる。このようにして、第3溝部P3の形成によって、図1〜図5で示された光電変換装置11を製作したことになる。
<(3)第2実施形態に係る光電変換装置の構成>
なお、本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良などが可能である。
なお、本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良などが可能である。
例えば、図10の光電変換装置201に示されるように、光吸収層23は、複数のバッファ層4の各々が配されている部位の近傍部23bがn型であり、残部23aがp型であってもよい。このような構成であれば、光電変換によって生じた正負のキャリアの分離をさらに良好に行なうことができ、光電変換効率がさらに高くなる。
このような光電変換装置201は以下のようにして作製できる。まず、p型の光吸収層23を作製し、この上に図8と同様に所望のパターンのレジスト層Rを形成する。その後、光吸収層23のレジスト層Rに覆われていない部位に不純物元素をドープする。これによって不純物がドープされた近傍部23bはn型となり、不純物がドープされていない残部23aはp型が維持される。そして、この後の工程は図8〜図9に示される工程と同様である。
<(4)第3実施形態に係る光電変換装置の構成>
また、本発明の他の変形例として、図11の光電変換装置301の構成であってもよい。図11において、光吸収層33は、その主面に、互いに間隔をあけて帯状に延びる複数の窪み部を有しており、この窪み部の内部にバッファ層34が配されている。そして、バッファ層34上に上部電極層5が配されている。このような構成であれば、バッファ層34と光吸収層33との接触面積が大きくなり、光電変換効率をより向上できる。
また、本発明の他の変形例として、図11の光電変換装置301の構成であってもよい。図11において、光吸収層33は、その主面に、互いに間隔をあけて帯状に延びる複数の窪み部を有しており、この窪み部の内部にバッファ層34が配されている。そして、バッファ層34上に上部電極層5が配されている。このような構成であれば、バッファ層34と光吸収層33との接触面積が大きくなり、光電変換効率をより向上できる。
このような光電変換装置301は以下のようにして作製できる。まず、光吸収層33を
作製し、この上に図8と同様に所望のパターンのレジスト層Rを形成する。その後、光吸収層33のレジスト層Rに覆われていない部位をエッチング液やブラスト加工等によって除去して窪み部を形成する。次に、この窪み部内にバッファ層34を形成した後、バッファ層34上に上部電極層5を形成すればよい。
作製し、この上に図8と同様に所望のパターンのレジスト層Rを形成する。その後、光吸収層33のレジスト層Rに覆われていない部位をエッチング液やブラスト加工等によって除去して窪み部を形成する。次に、この窪み部内にバッファ層34を形成した後、バッファ層34上に上部電極層5を形成すればよい。
1:基板
2:下部電極層
3、23、33:光吸収層
4、34:バッファ層
5:上部電極層
5a:透明導電膜
5b:集電電極
6:接続導体
10、200、300:光電変換セル
11、201、301:光電変換装置
2:下部電極層
3、23、33:光吸収層
4、34:バッファ層
5:上部電極層
5a:透明導電膜
5b:集電電極
6:接続導体
10、200、300:光電変換セル
11、201、301:光電変換装置
Claims (5)
- 下部電極層と、
該下部電極層上に配された金属カルコゲナイドを含む光吸収層と、
該光吸収層の主面上において互いに間隔をあけて帯状に延びるように配された、金属硫化物を含む複数のバッファ層と、
該複数のバッファ層の各々の主面上に配された上部電極層と
を具備する光電変換装置。 - 前記光吸収層は、前記複数のバッファ層の各々が配されている部位の近傍部がn型であり残部がp型である、請求項1に記載の光電変換装置。
- 前記光吸収層の主面は、互いに間隔をあけて帯状に延びる複数の窪み部を有しており、この窪み部の内部に前記バッファ層が配されている、請求項1に記載の光電変換装置。
- 前記光吸収層は前記金属カルコゲナイドとしてI−III−VI族化合物またはI−II−VI
−VI族化合物を含み、前記バッファ層は前記金属硫化物として12族元素の硫化物または13族元素の硫化物を含んでいる、請求項1乃至3のいずれかに記載の光電変換装置。 - 前記上部電極層は金属を含む集電電極を具備している、請求項1乃至4のいずれかに記載の光電変換装置。
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