JP6198343B2 - ノンシアン系電解金めっき液 - Google Patents

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Description

本発明はノンシアン系の電解金めっき液に関し、特に、バンプ形成に好適な金めっき処理が行えるノンシアン系電解金めっき液及びそれを用いた金めっき方法に関する。
金めっき処理は、その優れた電気的特性から電子、電気部品、音響機器部品等の工業分野において広く利用されている。例えば、半導体の電気素子などの電子部品におけるバンプの形成においては、電気的な接合を確保すべく金めっき処理が多く利用されている。
このような金めっき処理に用いる金めっき液としては、シアン系とノンシアン系の金めっき液が各種提案されている。シアン系金めっき液は、シアン化金塩を金の供給源とするもので、めっき液の安定性が高く、めっき条件の制御が容易であり、めっき液自体が安価なことから従来から多用されている。ところが、近年においては、環境問題等の観点から、ノンシアン系電解金めっき液が多く提案されており、例えば、亜硫酸金ナトリウムなどの亜硫酸金塩を金の供給源としたものが知られている(特許文献1,2参照)。
ところで、近年、製造する電気素子の軽薄短小化が目覚ましく、形成されるバンプ形状も微小なものとなっており、最近では数十μm角のバンプの形成も行われている。そのような微小なバンプを形成する場合、熱処理後のバンプの硬度が重要な要因となる。微小なバンプの場合、バンプ同士や配線回路等とのギャップ間が狭くなり、熱処理によりバンプの硬度が小さいと、バンプよる電気的接続の信頼性が低下するばかりでなく、短絡(ショート)等の不良原因を生じる傾向となる。
そして、熱処理後の金めっき硬度を高くするために、ノンシアン系電解金めっき液に有機化合物を添加することが提案されている(特許文献2参照)が、有機化合物の分解や消耗により液安定性が確保できないという問題点も指摘されている。
特開2008−115449号公報 特開2008−115450号公報
本発明は、このような事情を背景になされたものであり、ノンシアン系の電解金めっき液において、熱処理を行った場合であっても、高いめっき硬度を有した金めっきを処理することのできるノンシアン系電解金めっき液を提供するものである。
本発明者は、従来のノンシアン系電解金めっき液について、様々な添加剤について鋭意研究を行った結果、本発明に係る金めっき液を想到するに至った。
本発明に係るノンシアン系電解金めっき液は、亜硫酸金アルカリ塩又は亜硫酸金アンモニウムからなる金源と、亜硫酸塩及び硫酸塩からなる伝導塩と、を含有するノンシアン系電解金めっき液において、イリジウム、ルテニウム、ロジウムのいずれか1種以上の塩を金属濃度として1〜3000mg/L含有することを特徴とする。本発明によれば、熱処理後において高い硬度を有した金めっき被膜を形成することが可能になるので、微細な金バンプを形成した場合であっても、接合時の圧着力などでバンプ形状の変形、例えば、バンプの潰れなどの変形を効果的に防止できるため、金バンプの信頼性向上を図ることができる。
本発明におけるイリジウム、ルテニウム、ロジウムのいずれか1種以上の塩については、金属濃度として1mg/L未満であると、熱処理後の硬度が低下する傾向となり、3000mg/Lを超えると、イリジウムやルテニウムが溶解しにくくなり、沈殿が発生する傾向となる。このイリジウム、ルテニウムのいずれか、或いは両方を含有させる場合、好ましくは1mg/L〜50mg/Lであり、そして3mg/L〜30mg/L含有させることがより好ましい。
本発明に係るノンシアン系電解金めっき液は、さらに結晶調整剤を含有することが好ましい。結晶調整剤を含有させることで、金めっきの析出を促進させる効果がある。この結晶調整剤は、タリウム、ビスマス、鉛、アンチモンなどを用いることが好ましく、特にタリウムが好適である。
本発明において、金源は金濃度として5〜20g/L、結晶調整剤が1〜50mg/Lであり、電導塩が50〜300g/Lであることが好ましい。金濃度が5g/L未満であると、めっき被膜の結晶が粗くなる傾向となり、20g/Lを超えるとコスト的に不利になる。結晶調整剤が1mg/L未満であると、熱処理後の硬度が低すぎる傾向となり、50mg/Lを超えるとめっき被膜の結晶が粗くなる傾向となる。
本発明におけるノンシアン系電解金めっき液は、電流密度0.2〜2.0A/dm、液温40〜65℃の条件で電解めっきを行うことが好ましい。電流密度が、0.2A/dm未満であると結晶が粗くなる傾向となり、2.0A/dmを超えるとヤケめっきの傾向となる。また、液温度が、40℃未満であると結晶が細かくなりすぎる傾向となり、65℃を超えると結晶が粗くなる傾向となる。実用的には、電流密度0.2〜1.2A/dm、液温50〜60℃とすることが特に望ましい。
本発明に係るノンシアン系電解金めっき液は、ウエハなどの基板上に電解金めっき処理を行い、パターンニングして、金バンプや金配線を形成する場合に、非常に好適なものである。本発明に係るノンシアン系電解金めっき液により形成された金めっき被膜(15μm)は、250℃、2時間の熱処理を施しても、ビッカース硬度70Hv以上の硬さを実現できる。さらに、本発明に係るノンシアン系電解金めっき液により形成された金めっき被膜(15μm)は、300℃、2時間の高温熱処理を施しても、ビッカース硬度70Hv以上の高硬度を実現できる場合がある。
上述した本発明に係るノンシアン系電解金めっき液は、液の安定性を高めるための酸化防止剤や、析出物の平滑性を高めるための平滑化剤、若しくは、めっき液の表面張力を下げるための界面活性剤を適宜添加することも可能である。
本発明に係る金めっき液により金めっき被膜を形成した場合、金めっき被膜中には、0.05wt%以下のイリジウム、ルテニウム、ロジウムが含有される。この被膜中に含有されたイリジウム、ルテニウム、ロジウムが、熱処理を行っても金めっきを硬く維持する作用があるものと推測される。
本発明のノンシアン系電解金めっき液によれば、250℃の熱処理を行っても硬度の高い金めっき被膜を実現できる。
以下、本発明の実施形態について、実施例に基づいて説明する。
第一実施形態:この第一実施形態において、イリジウム(Ir)を含有させたノンシアン系電解金めっき液を検討した結果について説明する。まず、初めにイリジウム濃度を検討した電解金めっき液の各組成を表1に示す。
Figure 0006198343
金源:亜硫酸金ナトリウム(金換算濃度15g/L)
Ir:イリジウム化合物 ヘキサブロモイリジウム酸ナトリウム
電導塩:亜硫酸ナトリウム 50g/L
液温:60 ℃
電流密度:0.8A/dm
比較のために、Irを含まない場合と、本発明におけるIr含有量範囲をはずれた金めっき液を評価した(比較例1−1〜1−3)。各金めっき液の評価については、金めっき被膜の硬度測定、バンプ形成後の表面粗度及び外観観察を行った。
表1に示す各金めっき液を作製し、スパッタリングによりAu薄膜を表面に形成したAuスパッタウェハー基板の表面に、40μm×60μmの大きさの角バンプ(高さ15μm)を形成できるようにパターニングされたレジストを塗布した試験サンプル基板を準備し、各金めっき液にて、電流密度0.8A/dm、液温60℃にして、金めっき処理を行った。
そして、レジストを除去後、角柱状のバンプ表面の硬度及び粗度の測定を行った。その結果を表1に示す。
尚、硬度測定については、窒素雰囲気中、250℃の熱処理温度で2時間の各熱処理を行い、熱処理前後における金めっきのビッカース硬度測定を行った。ビッカース硬度測定は、微小硬度計<(株)フューチュアテック製>を用い、荷重15g、負荷時間15秒とし、5カ所を測定してその平均値を硬度値とした。また、表面粗度Raは、表面粗さ測定器(テンコール:ケーエルエー・テンコール(株)製)を用いて行った。
表1に示す結果より、実施例1−1〜5の金めっき液であれば、熱処理後の硬度が70Hv以上となり、高硬度を維持できることが判明した。また、表面粗度Raについても、バンプの密着特性から要求される実用的な表面粗度400Å〜2000Åの範囲に含まれていた。一方、比較例1−3では、めっき液を作製した際に沈殿が発生し、金めっき処理することができなかった。また、イリジウムを含まない液組成の比較例1−1では、熱処理後の硬度が60.5と低くなり、イリジウムを0.5mg/L含有した液組成の比較例1−2でも、熱処理後の硬度が65.1と低い値となった。
次に、イリジウムと結晶調整剤(タリウム)との関係について検討した結果について説明する。表2には、評価しためっき液組成を示す。また、各金めっき液を用いて形成した金めっき被膜について、硬度及び粗度を測定した。試験サンプル基板、めっき、測定条件は表1で説明したものと同じとした。その硬度及び粗度の結果も表2に示す。
Figure 0006198343
金源:亜硫酸金ナトリウム(金換算濃度15g/L)
Ir:イリジウム化合物 ヘキサブロモイリジウム酸ナトリウム
結晶調整剤:ギ酸タリウム
電導塩:亜硫酸ナトリウム 50g/L
液温:60 ℃
電流密度:0.8A/dm
表2の結果より、結晶調整剤としてタリウムを添加することにより、表面粗さ、硬度に関する特性は、表1で示したタリウムを添加しない金めっき液よりも、同等あるいはやや良好な結果を示すことが判明した。さらに、めっき外観を確認したところ、タリウムを加えていない表1の場合は、めっき表面が粗く、凹凸がある外観を呈しているのに対し、タリウムを添加した表2の場合は、平滑な表面の外観であった。
第二実施形態:この第二実施形態において、ルテニウム(Ru)を含有させたノンシアン系電解金めっき液を検討した結果について説明する。まず、ルテニウム濃度を検討した電解金めっき液の各組成を表3に示す。
Figure 0006198343
金源:亜硫酸金ナトリウム(金換算濃度15g/L)
Ru:塩化ルテニウム
電導塩:亜硫酸ナトリウム 50g/L
液温:55 ℃
電流密度:0.8A/dm
比較のために、Ruを含まない場合と、本発明におけるRu含有量範囲をはずれた金めっき液を評価した。各金めっき液の評価については、金めっき被膜の硬度測定、バンプ形成後の表面粗度測定を行った。各評価方法は、第一実施形態と同様であり、その結果を表3に示す。
表3の結果より、実施例2−1〜3の金めっき液であれば、250℃熱処理後の硬度が70Hv以上となり、高硬度を維持できることが判明した。また、表面粗度Raについても、バンプの密着特性から要求される実用的な表面粗度400Å〜2000Åの範囲に含まれていた。一方、比較例2−1のように、ルテニウムを含まない場合、熱処理後の硬度が60Hvと低くなった。また、ルテニウムが4000mg/Lの場合、めっき液に沈殿が発生し、めっき処理を行うことができなかった。
次に、ルテニウムと結晶調整剤(タリウム)との関係について検討した結果について説明する。表4に、評価しためっき液組成を示す。また、各金めっき液を用いて形成した金めっき被膜について、硬度及び粗度を測定した。試験サンプル基板、めっき、測定条件は第一実施形態で説明したものと同じとした。その硬度及び粗度の結果も表4に示す。
Figure 0006198343
金源:亜硫酸金ナトリウム(金換算濃度15g/L)
Ru:塩化ルテニウム
結晶調整剤:ギ酸タリウム
電導塩:亜硫酸ナトリウム 50g/L
液温:55 ℃
電流密度:0.8A/dm
表4の結果より、結晶調整剤としてタリウムを添加することにより、表面粗さ、硬度に関する特性は、表3で示したタリウムを添加しない金めっき液よりも、同等あるいはやや良好な結果を示すことが判明した。さらに、めっき外観を確認したところ、タリウムを加えていない表3の場合は、めっき表面が粗く、凹凸がある外観を呈しているのに対し、タリウムを添加した表4の場合は、平滑な表面の外観であった。
第三実施形態:この第三実施形態においては、ロジウム(Rh)を含有させたノンシアン系電解金めっき液を検討した結果について説明する。このロジウムの場合は、結晶調整剤(タリウム)の有無についてもあわせて評価した。検討した電解金めっき液の各組成を表5に示す。
Figure 0006198343
金源:亜硫酸金ナトリウム(金換算濃度15g/L)
Rh:硫酸ロジウム
結晶調整剤:ギ酸タリウム
電導塩:亜硫酸ナトリウム 50g/L
液温:60 ℃
電流密度:0.8A/dm
各金めっき液の評価については、金めっき被膜の硬度測定、バンプ形成後の表面粗度測定を行った。各評価方法は、第一実施形態と同様である。その結果を表4に示す。
表5の結果より、ロジウムのみ、ロジウムとタリウムを添加した金めっき液であれば、熱処理後の硬度が70Hv以上となり、高硬度を維持できることが判明した。また、表面粗度Raについても、バンプの密着特性から要求される実用的な表面粗度400Å〜2000Åの範囲に含まれていた。一方、ロジウムを含まない場合、熱処理後の硬度が70Hvより低く値となった。さらに、めっき外観を確認したところ、タリウムを加えていない実施例3−1の場合は、めっき表面が粗く、凹凸がある外観を呈しているのに対し、タリウムを添加した実施例3−2の場合は、実施例3−1よりも平滑な表面の外観であった。
第四実施形態:この第四実施形態において、イリジウム(Ir)を含有させたノンシアン系電解金めっき液により形成した金バンプについて、300℃の高温熱処理を行った場合について説明する。金バンプを形成した電解金めっき液は次の通りである。尚、金バンプの形成、硬度、表面粗度の測定は、第一実施形態と同様である。
金源:亜硫酸金ナトリウム(金換算濃度15g/L)
Ir:イリジウム化合物 ヘキサブロモイリジウム酸ナトリウム
(イリジウム濃度10mg/L)
結晶調整剤:ギ酸タリウム(タリウム濃度15mg/L)
電導塩:亜硫酸ナトリウム 50g/L
液温:55 ℃
電流密度:0.8A/dm
形成した金バンプについて、熱処理前と300℃、2時間の高温熱処理後との硬度を測定した。熱処理前は117.3Hvで熱処理後は97.5Hvであった。
本発明によれば、ノンシアン系電解金めっき液により、熱処理を行っても高い硬度を維持できる金めっき被膜を形成できるので、電気素子等に好適なバンプを形成することができる。

Claims (6)

  1. 亜硫酸金アルカリ塩又は亜硫酸金アンモニウムからなる金源と、亜硫酸塩及び硫酸塩からなる伝導塩と、を含有するノンシアン系電解金めっき液において、
    イリジウム、ルテニウム、ロジウムのいずれか1種以上の塩を金属濃度として1〜3000mg/L含有することを特徴とするノンシアン系電解金めっき液。
  2. 結晶調整剤をさらに含む請求項1記載のノンシアン系電解金めっき液。
  3. 結晶調整剤は、タリウムである、請求項2記載のノンシアン系電解金めっき液。
  4. 金源は金濃度として5〜20g/Lであり、結晶調整剤が1〜50mg/Lであり、電導塩が50〜300g/Lである請求項2または請求項3に記載のノンシアン系電解金めっき液。
  5. 請求項1〜請求項4いずれかに記載のノンシアン系電解金めっき液を用いてパターンニングされたウエハ上に電解金めっきをする金バンプまたは金配線の形成方法。
  6. 請求項5に記載の金バンプまたは金配線の形成方法を用いて製造された電子部品。
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101643333B1 (ko) * 2015-06-11 2016-07-27 엘비세미콘 주식회사 범프 구조체의 제조방법
CN110770371A (zh) 2017-05-23 2020-02-07 萨克森爱德美塔尔有限责任公司 贵金属盐制剂、其生产方法及用于电镀的用途
EP3763851A4 (en) * 2018-03-07 2021-12-15 Sumitomo Electric Industries, Ltd. CLADDING LAYER AND CLADDED ELEMENT
JP6474536B1 (ja) * 2018-03-15 2019-02-27 日本エレクトロプレイテイング・エンジニヤース株式会社 電解ロジウムめっき液
CN110894618A (zh) * 2019-10-10 2020-03-20 深圳市金质金银珠宝检验研究中心有限公司 一种环境友好型表面改性电铸金溶液及其制备方法
CN110699720A (zh) * 2019-10-30 2020-01-17 深圳市金百泰珠宝实业有限公司 黄金电铸液、黄金电铸液制备方法及电铸方法
CN111411376A (zh) * 2020-03-09 2020-07-14 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 无氰亚硫酸盐体系电镀金液及电镀方法
CN112730731B (zh) * 2020-12-01 2021-12-07 成都四威高科技产业园有限公司 一种亚硫酸盐镀金液的维护方法
CN115029750A (zh) * 2022-04-18 2022-09-09 福建中科光芯光电科技有限公司 一种半导体材料电镀金工艺方法
CN114717618B (zh) * 2022-04-26 2023-01-31 深圳市联合蓝海黄金材料科技股份有限公司 无氰电镀金浴及其应用、半导体镀金件及其制备方法
JP7219847B1 (ja) 2022-09-26 2023-02-08 Eeja株式会社 金電気めっき液および金電気めっき方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5823478B2 (ja) * 1979-06-28 1983-05-16 日本電鍍工業株式会社 硬質金合金被膜の製造方法
DE3021665A1 (de) * 1980-06-10 1981-12-17 Degussa Ag, 6000 Frankfurt Stark saures goldlegierungsbad
JP2006322037A (ja) * 2005-05-18 2006-11-30 Electroplating Eng Of Japan Co 金めっき液
WO2006135079A1 (ja) * 2005-06-16 2006-12-21 N.E. Chemcat Corporation 無電解金めっき液
JP4713290B2 (ja) * 2005-09-30 2011-06-29 エヌ・イーケムキャット株式会社 金バンプ又は金配線の形成方法
JP4713289B2 (ja) * 2005-09-30 2011-06-29 エヌ・イーケムキャット株式会社 バンプ形成用非シアン系電解金めっき浴
JP4925792B2 (ja) 2006-11-07 2012-05-09 メタローテクノロジーズジャパン株式会社 バンプ形成用非シアン系電解金めっき浴
JP4881129B2 (ja) * 2006-11-07 2012-02-22 メタローテクノロジーズジャパン株式会社 金バンプ又は金配線形成用非シアン系電解金めっき浴

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