JP6066324B2 - 電子装置 - Google Patents

電子装置 Download PDF

Info

Publication number
JP6066324B2
JP6066324B2 JP2013174002A JP2013174002A JP6066324B2 JP 6066324 B2 JP6066324 B2 JP 6066324B2 JP 2013174002 A JP2013174002 A JP 2013174002A JP 2013174002 A JP2013174002 A JP 2013174002A JP 6066324 B2 JP6066324 B2 JP 6066324B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bump
pad
solder
area
stripe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2013174002A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2015041760A (ja
Inventor
克実 石井
克実 石井
山浦 正志
正志 山浦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2013174002A priority Critical patent/JP6066324B2/ja
Priority to TW103128768A priority patent/TWI590404B/zh
Priority to US14/466,021 priority patent/US9524946B2/en
Priority to CN201410418466.3A priority patent/CN104427782B/zh
Publication of JP2015041760A publication Critical patent/JP2015041760A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6066324B2 publication Critical patent/JP6066324B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/10Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L24/14Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of a plurality of bump connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/498Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
    • H01L23/49838Geometry or layout
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/10Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L24/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L24/81Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/1012Auxiliary members for bump connectors, e.g. spacers
    • H01L2224/10152Auxiliary members for bump connectors, e.g. spacers being formed on an item to be connected not being a semiconductor or solid-state body
    • H01L2224/10165Alignment aids
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/1012Auxiliary members for bump connectors, e.g. spacers
    • H01L2224/10152Auxiliary members for bump connectors, e.g. spacers being formed on an item to be connected not being a semiconductor or solid-state body
    • H01L2224/10175Flow barriers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/13005Structure
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/1301Shape
    • H01L2224/13012Shape in top view
    • H01L2224/13014Shape in top view being circular or elliptic
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/13075Plural core members
    • H01L2224/1308Plural core members being stacked
    • H01L2224/13082Two-layer arrangements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/13099Material
    • H01L2224/131Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/13099Material
    • H01L2224/131Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/13138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/13144Gold [Au] as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/13099Material
    • H01L2224/131Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/13138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/13147Copper [Cu] as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/14Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of a plurality of bump connectors
    • H01L2224/1401Structure
    • H01L2224/1403Bump connectors having different sizes, e.g. different diameters, heights or widths
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/14Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of a plurality of bump connectors
    • H01L2224/1405Shape
    • H01L2224/14051Bump connectors having different shapes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/14Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of a plurality of bump connectors
    • H01L2224/141Disposition
    • H01L2224/1412Layout
    • H01L2224/1415Mirror array, i.e. array having only a reflection symmetry, i.e. bilateral symmetry
    • H01L2224/14154Mirror array, i.e. array having only a reflection symmetry, i.e. bilateral symmetry covering only portions of the surface to be connected
    • H01L2224/14155Covering only the peripheral area of the surface to be connected, i.e. peripheral arrangements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/1601Structure
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/1605Shape
    • H01L2224/16057Shape in side view
    • H01L2224/16058Shape in side view being non uniform along the bump connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/16238Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a bonding area protruding from the surface of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/17Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of a plurality of bump connectors
    • H01L2224/1751Function
    • H01L2224/17515Bump connectors having different functions
    • H01L2224/17519Bump connectors having different functions including bump connectors providing primarily thermal dissipation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/81Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
    • H01L2224/8112Aligning
    • H01L2224/81136Aligning involving guiding structures, e.g. spacers or supporting members
    • H01L2224/81138Aligning involving guiding structures, e.g. spacers or supporting members the guiding structures being at least partially left in the finished device
    • H01L2224/8114Guiding structures outside the body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/81Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
    • H01L2224/8119Arrangement of the bump connectors prior to mounting
    • H01L2224/81191Arrangement of the bump connectors prior to mounting wherein the bump connectors are disposed only on the semiconductor or solid-state body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/81Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
    • H01L2224/8138Bonding interfaces outside the semiconductor or solid-state body
    • H01L2224/81385Shape, e.g. interlocking features
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/81Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
    • H01L2224/8138Bonding interfaces outside the semiconductor or solid-state body
    • H01L2224/81399Material
    • H01L2224/814Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/81438Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/81444Gold [Au] as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/10Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L24/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1305Bipolar Junction Transistor [BJT]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/156Material
    • H01L2924/15786Material with a principal constituent of the material being a non metallic, non metalloid inorganic material
    • H01L2924/15787Ceramics, e.g. crystalline carbides, nitrides or oxides
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/04Soldering or other types of metallurgic bonding

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)

Description

本発明は、電子装置に関する。
実装基板上にチップを実装する手法として、フリップチップ実装が知られている。フリップチップ実装においては、チップ表面に突起状の端子であるバンプが設けられ、該バンプが実装基板上のパッドに半田接続される。このような実装方法により、チップの外周に端子を設ける場合よりもチップを含む電子装置の面積を小さくしたり、配線のインダクタンスによる損失を低減したりすることができる。
このようなフリップチップ実装において、断面が略円状の一般的なバンプ(以下、「ピラーバンプ」ともいう。)に加えて、断面積がピラーバンプより大きく、断面が略長円状のバンプ(以下、「ストライプバンプ」ともいう。)を用いることにより、バンプを介した放熱性を向上させることが提案されている(例えば、特許文献1)。
国際公開第2005/034237号
図13は、ピラーバンプとストライプバンプとが混在したチップの一例を示す図である。チップ1300には、ピラーバンプ1301(1301a,1301b)及びストライプバンプ1302が設けられている。図14は、チップ1300のX−X’線の断面図である。ストライプバンプ1302は、断面積がピラーバンプ1301より大きいため、図14に示すように、半田1401が溶融した際に、表面張力作用によって盛り上がる半田1401の中央付近の高さが、ピラーバンプ1301の半田1400(1400a,1400b)よりも高くなってしまうことがある。また、ストライプバンプ1302は、放熱目的のために、トラジスタセル上に設けられることがある。この場合、トランジスタセルの厚みによって、チップ1300の表面からのストライプバンプ1302の高さが、ピラーバンプ1301の高さよりも高くなることがある。ストライプバンプ1302の高さが高くなると、バンプに半田を転写する際に、ストライプバンプ1302に転写される半田の高さが、ピラーバンプ1301に転写される半田の高さより高くなることがある。
図15は、チップ1300を実装基板1500に実装した状態の一例を示す図である。実装基板1500には、ピラーバンプ1301a,1301bに対応するパッド1501a,1501bと、ストライプバンプ1302に対応するパッド1502が設けられている。図15に示す例では、ストライプバンプ1302は、半田1401によってパッド1502に良好に接続されているものの、ピラーバンプ1301a,1301bは、パッド1501a,1501bとの接続が不良となっている。このような接続不良は、半田1400a,1400bの高さと、半田1401の高さとの相違により引き起こされる。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、第1のバンプと、第1のバンプより断面積が大きい第2のバンプとを用いてフリップチップ実装を行う電子装置において、バンプとパッドとの接続性を向上させることを目的とする。
本発明の一側面に係る電子装置は、実装部品と、実装部品が実装される被実装部品とを備え、実装部品は、被実装部品と対向する面に、第1のバンプと、当該対向する面方向における断面積が第1のバンプより大きい第2のバンプとを備え、被実装部品は、実装部品と対向する面に、第1のバンプと半田接続される第1のパッドと、第2のバンプと半田接続される第2のパッドとを備え、第2のバンプの断面積に対する第2のパッドの面積の比が、第1のバンプの断面積に対する第1のパッドの面積の比より大きい。
本発明によれば、第1のバンプと、第1のバンプより断面積が大きい第2のバンプとを用いてフリップチップ実装を行う電子装置において、バンプとパッドとの接続性を向上させることが可能となる。
本発明の一実施形態である電子装置の外観の一例を示す図である。 チップにおけるバンプの配置の一例を示す図である。 図2のA−A’線の断面図である。 実装基板におけるパッドの配置の一例を示す図である。 実装基板にチップを実装した状態の一例を説明する図である。 図5のA−A’線の断面図である。 実装状態と実装前状態における半田の外観の一例を示す図である。 推定された実装前状態の半田の形状の一例を示す図である。 実装状態の半田の形状の一例を示す図である。 実装状態の半田を3つの構造に分割した一例を示す図である。 半田の高さに応じたパッド面積の一例を示す図である。 パッドに設けられた位置決め機構の一例を示す図である。 パッドに設けられた位置決め機構の他の一例を示す図である。 パッドに設けられた位置決め機構の他の一例を示す図である。 パッドに設けられた位置決め機構の他の一例を示す図である。 パッドに設けられた位置決め機構の他の一例を示す図である。 パッドの位置を考慮して配置された位置決め機構の一例を示す図である。 ピラーバンプとストライプバンプとが混在したチップの一例を示す図である。 チップのX−X’線の断面図である。 チップを実装基板に実装した状態の一例を示す図である。
以下、図面を参照して本発明の一実施形態について説明する。図1は、本発明の一実施形態である電子装置の外観の一例を示す図である。電子装置100は、実装部品が被実装部品上に実装されて構成されている。図1に示す例では、電子装置100は、実装部品としてチップ101、被実装部品として実装基板102を備え、チップ101と実装基板102の間は封止樹脂103によって封止されている。
図2は、チップ101におけるバンプの配置の一例を示す図である。また、図3は、図2のA−A’線の断面図である。表面200は、実装基板102と対向する面である。この表面200には、表面200から突出するように複数のバンプが形成されている。具体的には、チップ101には、断面が略円状のバンプ(以下、「ピラーバンプ」という。)210(210a,210b)に加えて、断面が略長円状のバンプ(以下、「ストライプバンプ」という。)211が設けられている。ピラーバンプ210(第1のバンプ)とストライプバンプ211(第2のバンプ)は、幅(図2の上下方向)は略同一であるのに対して、長さ(図2の左右方向)はストライプバンプ211の方が長くなっている。即ち、表面200における断面積は、ピラーバンプ210よりもストライプバンプ211の方が大きくなっている。なお、ストライプバンプ211の断面積がピラーバンプ210の断面積より大きければ、バンプの形状は図2に示すものに限られない。
ピラーバンプ210及びストライプバンプ211は、チップ101内の回路を外部と電気的に接続したり、チップ101で発生した熱を放熱したりするためのものであり、例えば、銅(Cu)や金(Au)などを用いて形成されている。ピラーバンプ210(210a,210b)の先端には、実装基板102上のパッドに接続するための半田300(300a,300b)が形成されている。同様に、ストライプバンプ211の先端にも、半田301が形成されている。
ストライプバンプ211は、例えば、線路が持つインピーダンスを低下させるためや、放熱性を向上させるために用いられる。具体的には、ヘテロ接合バイポーラトランジスタなどのトランジスタセルの上に、放熱用としてストライプバンプ211が設けられることがある。この場合、図3に示すように、トランジスタセルの厚さにより、チップ101の表面200からのストライプバンプ211の高さが、ピラーバンプ210の高さよりも、例えば4〜6μm程度高くなってしまうことがある。そのため、チップ200の表面から半田の先端までの高さが同一となるように、ピラーバンプ210及びストライプバンプ211に半田を転写することとしてもよい。
図4は、実装基板102におけるパッドの配置の一例を示す図である。実装基板102は、例えば、絶縁性基板であるセラミック基板やプリント基板(PCB:Printed Circuit Board)である。表面400は、チップ101と対向する面である。この表面400には、チップ101のバンプと半田接続される複数のパッドが設けられている。具体的には、図4に示すように、チップ101のピラーバンプ210a,210bと半田接続されるパッド410a,410b(第1のパッド)が設けられている。同様に、チップ101のストライプバンプ211と半田接続されるパッド411(第2のパッド)が設けられている。パッド410,411は、例えば、ニッケル(Ni)めっき、パラジウム(Pa)めっき、及び金(Au)めっきが施されたものである。なお、ストライプバンプ211と半田接続されるパッド411は、例えば、接地電位(グランド)に接続される。
図5は、実装基板102にチップ101を実装した状態の一例を説明する図である。図5において、チップ101に設けられたバンプは破線で図示されている。図5に示すように、パッド410,411は、それぞれ、バンプ210,211の断面積よりも大きなサイズとなっている。一例として、ピラーバンプ210の半径を75μm、パッド410の半径を85μmとすることができる。この場合、ピラーバンプ210の断面積に対するパッド410の面積の比は約1.3倍である。これに対して、ストライプバンプ211の断面積に対するパッド411の面積の比は、例えば、2倍程度とすることができる。即ち、ピラーバンプ210の断面積に対するパッド410の面積の比より、ストライプバンプ211の断面積に対するパッド411の面積の比の方が大きくなっている。
図6は、図5のA−A’線の断面図である。前述したように、ストライプバンプ211の断面積に対するパッド411の面積の比が、比較的大きくなっているため、ストライプバンプ211に形成された半田301の塗れ広がりは、ピラーバンプ210に形成された半田300よりも大きくなる。これにより、バンプとパッドの面積の比がピラーバンプ210とストライプバンプ211で同程度の場合と比較して、ストライプバンプ211の沈み込み量が大きくなり、ピラーバンプ210とパッド410の接続性が向上する。
図7〜図11を参照して、ストライプバンプ211が半田接続されるパッド411の大きさを決定するためのシミュレーションの一例を説明する。図7は、チップ101が実装基板102に実装された状態(実装状態)と、実装される前の状態(実装前状態)における、半田300の外観の一例を示す図である。ここでは、一例として、ピラーバンプ210の断面の半径(ピラー半径:r1)を37.5μm、パッド410の半径(パッド半径:r2)を42.5μm、実装状態における半田300の高さ(半田厚:h1)を14μmとする。実装状態において、半田300がパッド410の全面に塗れ広がるとすると、半田300の形状は図7の左側に示すものとなる。この場合における、ピラーバンプの断面積に対するパッド410の面積の比は約1.3である。この条件において、実装状態の半田300(円錐台)の体積を計算すると、70463μm3となる。そして、この体積に基づいて、半田300の実装前状態における高さ(めっき厚:t)を求めると、15.9μmとなる。
図8は、実装前状態の半田300の形状から推定された、実装前状態の半田301の形状の一例を示す図である。なお、シミュレーションを簡単にするために、バンプの単位面積あたりに形成される半田の量が、半田300,301で同一であることとしている。また、半田300,301の短手方向の長さ(幅)は同一(r1×2)としている。また、一例として、ストライプバンプ211の長手方向から両端(r1×2)を除いた長さ(中央長さ:d)を99.5μmとする。半田301の実装前状態の高さ(めっき厚:t)が、半田300と同一であるとすると、実装前状態の半田301は、ストライプバンプ211と接する面の面積(ストライプ面積)が11880μm2、体積が189487μm3となる。
図9は、実装状態の半田301の形状の一例を示す図である。実装状態において、半田301がパッド411の全面に塗れ広がるとすると、半田301の形状は図9に示すものとなる。この形状において、半田301の体積を189487μm3として、パッド411の面積を求める。図10は、実装状態の半田301を3つの構造に分割した一例を示す図である。左右の構造は、それぞれ、上面の半径がr1、下面の半径(パッド半径)がr3の円錐台を半分にしたものとなっている。また、中央の構造は、上面が、横方向の長さがd、奥行き方向の長さがr1×2、下面が、横方向の長さがd、奥行き方向の長さ(パッド幅)がr3×2の角錐台となっている。
図11は、以上の条件のもとで算出された、半田301の高さ(半田厚:h2)に応じたパッド411の面積(パッド面積)を示している。半田301の高さ(半田厚:h2)が半田300の高さ(半田厚:h1)と同一の14μmである場合、パッド411の面積(パッド面積)は15246μm2である。この場合、ストライプバンプ211の断面積(ストライプ面積)に対するパッド411の面積(パッド面積)の比(面積比)は約1.3である。
実際には、前述したように、チップ101の表面200からのストライプバンプ211の高さは、ピラーバンプ210の高さよりも高くなることがある。例えば、この高さの差を4μmであるとすると、その差の分だけ半田301の高さ(半田厚:h2)は低くなる。即ち、本シミュレーションにおいては、半田301の高さ(半田厚:h2)は10μmとなる。この場合、パッド411の面積(パッド面積)は26873μm2であり、面積比は約2.3である。即ち、ピラーバンプ210の断面積に対するパッド410の面積の比より、ストライプバンプ211の断面積に対するパッド411の面積の比の方が大きくなる。
このように、ピラーバンプ210の断面積に対するパッド410の面積の比より、ストライプバンプ211の断面積に対するパッド411の面積の比の方が大きくなるようにパッド411を形成することにより、ストライプバンプ211の沈み込み量が大きくなり、ピラーバンプ210とパッド410の接続性を向上させることが可能となる。
次に、図12A〜図12Fを参照して、ストライプバンプ211の移動をパッド411の所定範囲に制限するための位置決め機構について説明する。
図12Aは、パッド411に設けられた位置決め機構の一例を示す図である。図12Aに示すように、パッド411には、長手方向の側面と平行な位置(所定範囲の周囲)に、位置決め機構1200(1200a,1200b)が設けられている。位置決め機構1200は、例えば、パッド411の表面上にソルダーレジスト(レジスト)により形成される。図12Aの下に示すように、位置決め機構1200によって半田301の流れが図12Aの左右方向において制限されることにより、ストライプバンプ211の移動を、位置決め機構1200a,1200bの間(所定範囲)に制限することが可能となる。なお、位置決め機構1200a,1200bは、半田301を塗れ広がらせるための流路(例えば、図12Aの上下方向)を形成している。これにより、図6に示した例と同様に、ストライプバンプ211の沈み込み量が大きくなり、ピラーバンプ210とパッド410の接続性を向上させることができる。
図12Bは、パッド411に設けられた位置決め機構の他の一例を示す図である。図12Bに示す構成では、図12Aに示した位置決め機構1200bの代わりに、位置決め機構1200c,1200dが設けられている。そして、位置決め機構1200c,1200dの間には、間隙1201(流路)が形成されている。これにより、図12Aの場合と同様に、ストライプバンプ211の移動が、位置決め機構1200a,1200c,1200dの間(所定範囲)に制限される。さらに、図12Bの下に示すように、位置決め機構1200c,1200dの間の間隙1201からも半田301が塗れ広がるため、半田301が塗れ広がる面積を大きくすることができる。
図12Cは、パッド411に設けられた位置決め機構の他の一例を示す図である。図12Cに示す構成では、図12Bに示した位置決め機構1200aの代わりに、位置決め機構1200e,1200fが設けられている。そして、位置決め機構1200e,1200fの間には、間隙1202(流路)が形成されている。これにより、図12Aの場合と同様に、ストライプバンプ211の移動が、位置決め機構1200c〜1200fの間(所定範囲)に制限される。さらに、図12Cの下に示すように、位置決め機構1200c,1200dの間の間隙1201に加えて、位置決め機構1200e,1200fの間の間隙1202からも半田301が塗れ広がることにより、半田301が塗れ広がる面積を大きくすることができる。
図12Dは、パッド411に設けられた位置決め機構の他の一例を示す図である。図12Dに示す構成では、パッド411の外周に沿った位置(所定範囲の周囲)に、複数の位置決め機構1200g〜1200nが設けられている。複数の位置決め機構1200g〜1200nのうち、位置決め機構1200g〜1200jは、図12Cに示した位置決め機構1200c〜1200fと同様に、ストライプバンプ211の移動を、図12Dの左右方向において制限することができる。さらに、図12Dに示す構成では、位置決め機構1200k〜1200nにより、ストライプバンプ211の移動を、図12Dの上下方向においても制限することができる。
図12Eは、パッド411に設けられた位置決め機構の他の一例を示す図である。図12Eに示すように、パッド411の外周(所定範囲の周囲)に、位置決め機構1210a〜1210hが設けられている。位置決め機構1210は、パッド411の外周に形成された開口部(スリット)である。位置決め機構1210a〜1210fは、図12Dに示した位置決め機構1200g〜1200jと同様に、ストライプバンプ211の移動を、図12Eの左右方向において制限することができる。さらに、位置決め機構1210g,1210hは、図12Dに示した位置決め機構1200k〜1200nと同様に、ストライプバンプ211の移動を、図12Eの上下方向においても制限することができる。
図12Fは、パッド410の位置を考慮して配置された位置決め機構の一例を示す図である。図12Fに示すように、パッド410とパッド411が近接して配置されている場合において、パッド411におけるパッド410に近接する側に位置決め機構1200を設けることができる。このように、パッド411におけるパッド410に近接する側に位置決め機構1200を設けることにより、半田301がパッド411を超えてパッド410まで塗れ広がってしまうことを防ぐことができる。図12Eに示した位置決め機構1210を設ける場合についても同様である。
以上、本実施形態について説明した。本実施形態によれば、ピラーバンプ210の断面積に対するパッド410の面積の比より、ストライプバンプ211の断面積に対するパッド411の面積の比の方が大きくなっている。これにより、ストライプバンプ211に形成された半田301の塗れ広がりは、ピラーバンプ210に形成された半田300よりも大きくなる。従って、バンプとパッドの面積の比がピラーバンプ210とストライプバンプ211で同程度の場合と比較して、ストライプバンプ211の沈み込み量が大きくなり、ピラーバンプ210とパッド410の接続性を向上させることが可能となる。なお、パッド411の面積は、例えば、図7〜図11に示したようなシミュレーションによって算出することができる。
また、図12A〜図12Fに例示したように、パッド411上に位置決め機構を設けることにより、バンプ211の移動をパッド411の所定範囲に制限することができる。従って、バンプ211とパッド411との接続性を向上させることが可能となる。
また、図12A〜図12Eに例示したように、対向する2つの辺に沿って位置決め機構を設けることにより、パッド411の移動を、2つの辺に囲まれた範囲(所定範囲)に制限することができる。
さらに、図12B〜図12Eに例示したように、対向する2つの辺の少なくとも一方の側に半田301の流路を形成することにより、半田301が塗れ広がる面積を大きくすることができる。
また、図12Fに例示したように、パッド411におけるパッド410に近接する側に位置決め機構を設けることにより、半田301がパッド411を超えてパッド410まで塗れ広がってしまうことを防ぐことができる。
なお、本実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更/改良され得るととともに、本発明にはその等価物も含まれる。
例えば、本実施形態では、実装部品をチップ101、被実装部品を実装基板102として説明したが、実装部品及び被実装部品の組み合わせはこれに限られず、フリップチップ接続可能なものであれば任意の部品を用いることができる。例えば、フリップチップ接続の一形態であるチップオンチップ接続に適用することもできる。即ち、実装部品及び被実装部品がともにチップであってもよい。
また、例えば、本実施形態では、断面積が小さい方のバンプをピラーバンプ、断面積が大きい方のバンプをストライプバンプとしたが、バンプの形状はこれに限られず、任意の形状とすることができる。
100 電子装置
101,1300 チップ
102,1500 実装基板
103 封止樹脂
200 表面
210,1301 バンプ(ピラーバンプ)
211,1302 バンプ(ストライプバンプ)
300,301,1400,1401 半田
400 表面
410,411,1501,1502 パッド
1200 位置決め機構(ソルダーレジスト)
1210 位置決め機構(開口部)

Claims (8)

  1. 実装部品と、前記実装部品が実装される被実装部品とを備える電子装置であって、
    前記実装部品は、
    前記被実装部品と対向する面に、当該面の面内方向における断面が円状である第1のバンプと、前記面内方向における断面積が前記第1のバンプより大きく、前記面内方向における断面が長円状である第2のバンプとを備え、
    前記被実装部品は、
    前記実装部品と対向する面に、前記第1のバンプと半田接続される第1のパッドと、前記第2のバンプと半田接続される第2のパッドとを備え、
    前記面内方向における前記第2のバンプの断面積に対する前記第2のパッドの面積の比が、前記面内方向における前記第1のバンプの断面積に対する前記第1のパッドの面積の比より大きい、
    電子装置。
  2. 請求項1に記載の電子装置であって、
    前記被実装部品は実装基板であり、
    前記第2のバンプは、前記実装部品において発生する熱を前記実装基板に放熱するために設けられている、
    電子装置。
  3. 請求項1または2に記載の電子装置であって、
    前記第2のパッドは、前記第2のバンプの移動を前記第2のパッド内の第1の領域に制限するとともに前記第1の領域の外への半田の流路を形成する位置決め機構を有する、
    電子装置。
  4. 請求項3に記載の電子装置であって、
    前記位置決め機構は、前記第2のパッドの前記第1の領域の周囲に設けられたレジストである、
    電子装置。
  5. 請求項3に記載の電子装置であって、
    前記位置決め機構は、前記第2のパッドの前記第1の領域の周囲に設けられた開口部である、
    電子装置。
  6. 請求項3〜5の何れか一項に記載の電子装置であって、
    前記第1の領域は、長手方向及び短手方向を有し、
    前記位置決め機構は、少なくとも、前記第1の領域の長手方向において対向する2つの辺に沿って設けられている、
    電子装置。
  7. 請求項6に記載の電子装置であって、
    前記位置決め機構は、前記2つの辺の少なくとも一方の側に前記流路を形成する、
    電子装置。
  8. 請求項3〜7の何れか一項に記載の電子装置であって、
    前記位置決め機構は、少なくとも、前記第2のパッドにおける前記第1のパッドに近接する側に設けられている、
    電子装置。
JP2013174002A 2013-08-23 2013-08-23 電子装置 Active JP6066324B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013174002A JP6066324B2 (ja) 2013-08-23 2013-08-23 電子装置
TW103128768A TWI590404B (zh) 2013-08-23 2014-08-21 電子裝置
US14/466,021 US9524946B2 (en) 2013-08-23 2014-08-22 Electronic device
CN201410418466.3A CN104427782B (zh) 2013-08-23 2014-08-22 电子装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013174002A JP6066324B2 (ja) 2013-08-23 2013-08-23 電子装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015041760A JP2015041760A (ja) 2015-03-02
JP6066324B2 true JP6066324B2 (ja) 2017-01-25

Family

ID=52479645

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013174002A Active JP6066324B2 (ja) 2013-08-23 2013-08-23 電子装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9524946B2 (ja)
JP (1) JP6066324B2 (ja)
CN (1) CN104427782B (ja)
TW (1) TWI590404B (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI681524B (zh) * 2017-01-27 2020-01-01 日商村田製作所股份有限公司 半導體晶片
JP6963448B2 (ja) 2017-09-13 2021-11-10 太陽誘電株式会社 電子部品
CN108347822B (zh) * 2018-01-31 2020-03-10 维沃移动通信有限公司 一种电路板、终端设备及电路板的制造方法
JPWO2020017582A1 (ja) 2018-07-20 2021-06-24 株式会社村田製作所 モジュール
WO2020022352A1 (ja) 2018-07-27 2020-01-30 株式会社村田製作所 セラミック積層基板、モジュールおよびセラミック積層基板の製造方法
JP2020061406A (ja) 2018-10-05 2020-04-16 株式会社村田製作所 半導体装置
JP2021170582A (ja) 2020-04-15 2021-10-28 株式会社村田製作所 増幅モジュール
JP2022011066A (ja) * 2020-06-29 2022-01-17 日本電気株式会社 量子デバイス

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11111771A (ja) * 1997-10-07 1999-04-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 配線基板の接続方法、キャリア基板および配線基板
US7576436B2 (en) * 2002-12-13 2009-08-18 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Structure of wafer level package with area bump
JP4010244B2 (ja) * 2002-12-20 2007-11-21 ヤマハ株式会社 表面実装型パッケージ
JP2005101031A (ja) * 2003-09-22 2005-04-14 Rohm Co Ltd 半導体集積回路装置、及び電子機器
US7462942B2 (en) * 2003-10-09 2008-12-09 Advanpack Solutions Pte Ltd Die pillar structures and a method of their formation
US8067837B2 (en) * 2004-09-20 2011-11-29 Megica Corporation Metallization structure over passivation layer for IC chip
TWI282159B (en) 2005-12-20 2007-06-01 Internat Semiconductor Technol Thermally enhanced thin flip-chip package
US9941240B2 (en) * 2013-07-03 2018-04-10 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. Semiconductor chip scale package and manufacturing method thereof

Also Published As

Publication number Publication date
TWI590404B (zh) 2017-07-01
CN104427782A (zh) 2015-03-18
CN104427782B (zh) 2017-08-11
US20150054178A1 (en) 2015-02-26
US9524946B2 (en) 2016-12-20
TW201508888A (zh) 2015-03-01
JP2015041760A (ja) 2015-03-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6066324B2 (ja) 電子装置
JP2011142185A (ja) 半導体装置
KR20150047168A (ko) 반도체 패키지
JP2017168586A (ja) 半導体装置
JP5290215B2 (ja) 半導体装置、半導体パッケージ、インタポーザ、及びインタポーザの製造方法
JP2009043793A (ja) 半導体装置、およびその半導体装置の製造方法
JP2007027404A (ja) 半導体装置
TWI566352B (zh) 封裝基板及封裝件
TWI770287B (zh) 半導體裝置
KR102025460B1 (ko) 반도체 디바이스
JP5150578B2 (ja) 半導体装置及びその製造方法
KR100671808B1 (ko) 반도체 장치
JP2013125765A (ja) 半導体装置
JP4503611B2 (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP2020136624A (ja) 半導体装置
US20240030107A1 (en) Semiconductor device and mounting structure thereof
JP2014120501A (ja) 半導体装置及び半導体装置の製造方法
JP2007189084A (ja) 半導体装置
JP2009130074A (ja) 半導体装置
JP4712426B2 (ja) 半導体装置
JP2007027403A (ja) 半導体装置
KR101871553B1 (ko) 반도체 디바이스
JP2010245180A (ja) 半導体装置及びパッケージ基板
JP6254807B2 (ja) 半導体装置および電子機器
JP5390494B2 (ja) 半導体装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150216

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20150824

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150826

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20151020

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160523

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160624

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20161202

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20161215

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6066324

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150