JP6038787B2 - 光導波路の製造方法 - Google Patents
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Description
[第1の実施の形態に係る光導波路の構造]
まず、第1の実施の形態に係る光導波路の構造について説明する。図1は、第1の実施の形態に係る光導波路を例示する平面図である。図2は、図1のA−A線に沿う断面図である。図3は、図1のB−B線に沿う断面図である。図1〜図3で、光導波路10は、クラッド部19内に4チャネルのコア部11〜14が並設されたGI(Graded-Index)型の屈折率分布をもつ光導波路(以下、GI型の光導波路とする)を示している。なお、図1〜図3では、一例としてクラッド部19の形状を立方体又は直方体とし、立方体又は直方体の底面の一辺に平行な方向をX方向、立方体又は直方体の底面内でX方向に垂直な方向をY方向、X方向及びY方向に垂直な方向(立方体又は直方体の高さ方向)をZ方向としている(以降の図においても同様)。
次に、第1の実施の形態に係る光導波路の製造方法について説明する。図6〜図10は、第1の実施の形態に係る光導波路の製造工程を例示する図である。
plus E、 vol27、 No.2等に例示されている方法である。
第2の実施の形態では、コア部の一部を傾斜させたスロープ型の光導波路を例示する。図17は、第2の実施の形態に係る光導波路を例示する平面図である。図18は、図17のE−E線に沿う断面図である。図19は、図17のF−F線に沿う断面図である。図17〜図19で、光導波路20は、クラッド部29内に4チャネルのコア部21〜24が並設されたGI型の光導波路である。なお、コア部21〜24及びクラッド部29の材料や断面形状、機能等は、第1の実施の形態のコア部11〜14及びクラッド部19と同様であるため、詳細な説明は省略する。
第3の実施の形態では、コア部同士が立体的に交差する立体交差型の光導波路を例示する。図20は、第3の実施の形態に係る光導波路を例示する平面図である。図21は、図20のG−G線に沿う断面図である。図22は、図20のH−H線に沿う断面図である。図20〜図22で、光導波路30は、クラッド部39内に8チャネルのコア部31〜38が形成されたGI型の光導波路である。なお、コア部31〜38及びクラッド部39の材料や断面形状、機能等は、第1の実施の形態のコア部11〜14及びクラッド部19と同様であるため、詳細な説明は省略する。
実施例1では、表1に示す条件で、クラッド部内に1チャネルのコア部を形成した光導波路を作製した。
実施例2では、表2に示す条件で、クラッド部内に1チャネルのコア部を形成した光導波路を作製した。
実施例1及び2では、図23及び図24に示す方法(インジェクション法)を用いて、コア部の断面形状が円形のGI型の光導波路の作製が可能であることを検証してきた。実施例3では、インジェクション法で光導波路の並列化が可能か否かを検討した。具体的には、図23及び図24に示す工程を繰り返し実行することにより、表3に示す条件で、クラッド部内に4チャネルのコア部を並列に形成した光導波路を作製した。なお、実施例3は、前述の第1の実施の形態に対応するものである。
実施例4では、図23及び図24に示す工程を繰り返し実行することにより、表4に示す条件で、クラッド部内に8チャネルのコア部を並列に形成した光導波路を作製した。
実施例5では、表5に示す条件で、クラッド部内に部分的に傾斜するコア部を形成したスロープ型の光導波路を作製した。なお、実施例5は、前述の第2の実施の形態に対応するものである(但し、作製したコア部は1チャネルのみである)。
実施例6では、表6に示す条件で、クラッド部内でコア部同士が立体的に交差する立体交差型の光導波路を作製した。なお、実施例6は、前述の第3の実施の形態に対応するものである(但し、作製した上側のコア部は1チャネルのみである)。
11、11A、12、12A、13、13A、14、14A、21、21A、22、23、24、31、31A、32、32A、33、33A、34、34A、35、35A、36、37、38 コア部
19、19A、29、29A、39A クラッド部
19B クラッド材料
81 光
91 支持体
92 底板
93 外枠
94 吐出部
95 吐出部本体
96 針状部
97 ポリスポイト
98 紫外線照射装置
99 紫外線
H1、H2、H3、H4、H5 高さ
I1、O1 矢印
L1、L2、L3、L4、L5、L6、L7、L8 長さ
T1、T2 厚さ
Claims (3)
- 未硬化のクラッド部に吐出部先端の針状部を刺入する第1工程と、
前記針状部から未硬化の材料を吐出させながら、前記針状部を前記未硬化のクラッド部内で移動させ、前記未硬化のクラッド部に周囲を被覆された未硬化のコア部を形成する第2工程と、
前記針状部を前記未硬化のクラッド部から抜去する第3工程と、
前記未硬化のクラッド部及び前記未硬化のコア部を硬化させる第4工程と、を有する光導波路の製造方法。 - 前記第3工程と前記第4工程との間で、前記第2工程及び前記第3工程を繰り返し、前記未硬化のクラッド部に周囲を被覆された複数の未硬化のコア部を形成する請求項1記載の光導波路の製造方法。
- 前記複数の未硬化のコア部の少なくとも一部を立体的に交差するように形成する請求項2記載の光導波路の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011142081 | 2011-06-27 | ||
JP2011142081 | 2011-06-27 | ||
PCT/JP2012/064839 WO2013002013A1 (ja) | 2011-06-27 | 2012-06-08 | 光導波路及びその製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016215467A Division JP6345219B2 (ja) | 2011-06-27 | 2016-11-02 | 光導波路の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2013002013A1 JPWO2013002013A1 (ja) | 2015-02-23 |
JP6038787B2 true JP6038787B2 (ja) | 2016-12-07 |
Family
ID=47423913
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013522566A Active JP6038787B2 (ja) | 2011-06-27 | 2012-06-08 | 光導波路の製造方法 |
JP2016215467A Active JP6345219B2 (ja) | 2011-06-27 | 2016-11-02 | 光導波路の製造方法 |
JP2018043306A Pending JP2018136550A (ja) | 2011-06-27 | 2018-03-09 | 光導波路 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016215467A Active JP6345219B2 (ja) | 2011-06-27 | 2016-11-02 | 光導波路の製造方法 |
JP2018043306A Pending JP2018136550A (ja) | 2011-06-27 | 2018-03-09 | 光導波路 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (3) | JP6038787B2 (ja) |
WO (1) | WO2013002013A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6038787B2 (ja) * | 2011-06-27 | 2016-12-07 | 学校法人慶應義塾 | 光導波路の製造方法 |
CN104955768B (zh) * | 2012-12-28 | 2016-11-09 | 西铁城控股株式会社 | 微流路的制造方法及微流路 |
KR101890899B1 (ko) | 2015-10-21 | 2018-08-22 | 닛산 가가쿠 가부시키가이샤 | 광도파로 형성용 조성물 |
WO2017069259A1 (ja) * | 2015-10-21 | 2017-04-27 | 日産化学工業株式会社 | Gi型光導波路の製造方法 |
JP2018097012A (ja) * | 2016-12-07 | 2018-06-21 | 学校法人慶應義塾 | スポットサイズ変換器、及びその製造方法 |
KR20190105565A (ko) * | 2017-01-27 | 2019-09-17 | 각고호우징 게이오기주크 | Gi형 광도파로의 제조방법 |
TWI808082B (zh) | 2017-04-28 | 2023-07-11 | 日商日產化學工業股份有限公司 | 包含反應性倍半矽氧烷化合物之光波導形成用組成物 |
Family Cites Families (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4375312A (en) * | 1980-08-07 | 1983-03-01 | Hughes Aircraft Company | Graded index waveguide structure and process for forming same |
JPS5778002A (en) * | 1980-11-04 | 1982-05-15 | Toshiba Corp | Optical isolator |
JPH0287102A (ja) * | 1988-09-24 | 1990-03-28 | Matsushita Electric Works Ltd | 光回路板 |
JPH041705A (ja) * | 1990-04-19 | 1992-01-07 | Hitachi Cable Ltd | 光伝送基板の製造方法 |
JPH0467103A (ja) * | 1990-07-07 | 1992-03-03 | Brother Ind Ltd | 光導波路 |
US5317657A (en) * | 1992-07-30 | 1994-05-31 | International Business Machines Corporation | Extrusion of polymer waveguides onto surfaces |
JPH06337320A (ja) * | 1993-05-27 | 1994-12-06 | Agency Of Ind Science & Technol | 光導波路作製法および装置 |
US5534101A (en) * | 1994-03-02 | 1996-07-09 | Telecommunication Research Laboratories | Method and apparatus for making optical components by direct dispensing of curable liquid |
JP3719733B2 (ja) * | 1994-04-18 | 2005-11-24 | 小池 康博 | 屈折率分布型光学樹脂材料及びその製造方法 |
JP3489764B2 (ja) * | 1995-10-13 | 2004-01-26 | 康博 小池 | 屈折率分布型光学樹脂材料 |
JPH09178964A (ja) * | 1995-12-27 | 1997-07-11 | Nhk Spring Co Ltd | 光導波路の分岐構造 |
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JP2001350049A (ja) * | 2000-06-09 | 2001-12-21 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 光導波路の製造方法 |
JP4786858B2 (ja) * | 2000-06-15 | 2011-10-05 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 封入光学素子を提供するための多光子硬化 |
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JP2003131058A (ja) * | 2001-08-09 | 2003-05-08 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 光導波路および光導波路の作製方法。 |
JP3786865B2 (ja) * | 2001-11-29 | 2006-06-14 | 株式会社フジクラ | 光遅延回路およびその製造方法 |
JP3922030B2 (ja) * | 2002-01-21 | 2007-05-30 | 日立電線株式会社 | 屈折率制御型レーザ描画導波路の製造方法 |
JP3883901B2 (ja) * | 2002-04-23 | 2007-02-21 | 三菱電機株式会社 | 光路変換デバイスおよびその製造方法 |
JP2003322743A (ja) * | 2002-05-02 | 2003-11-14 | Hitachi Maxell Ltd | 光導波路およびその製造方法 |
JP2004029613A (ja) * | 2002-06-28 | 2004-01-29 | Nitto Denko Corp | 三次元光導波路 |
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JP3987787B2 (ja) * | 2002-11-25 | 2007-10-10 | 日東電工株式会社 | 三次元ポリイミド光導波路の製造方法 |
JP4200436B2 (ja) * | 2002-12-05 | 2008-12-24 | ソニー株式会社 | 高分子光導波路 |
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JP2005275343A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-10-06 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 光導波路構造付きデバイス及びその製造方法 |
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JP4565082B2 (ja) * | 2004-03-26 | 2010-10-20 | 学校法人慶應義塾 | 透明材料加工方法及び透明材料加工装置 |
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JP5014855B2 (ja) * | 2006-03-28 | 2012-08-29 | 京セラ株式会社 | 光電気集積配線基板およびその製造方法並びに光電気集積配線システム |
EP2015114A4 (en) * | 2006-03-30 | 2013-08-21 | Kyocera Corp | OTPIC TRANSMISSION SUBSTRATE AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF AND OPTOELECTRONIC HYBRID SUBSTRATE |
JP2012198488A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-18 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 光導波路および電子機器 |
JP6038787B2 (ja) * | 2011-06-27 | 2016-12-07 | 学校法人慶應義塾 | 光導波路の製造方法 |
-
2012
- 2012-06-08 JP JP2013522566A patent/JP6038787B2/ja active Active
- 2012-06-08 WO PCT/JP2012/064839 patent/WO2013002013A1/ja active Application Filing
-
2016
- 2016-11-02 JP JP2016215467A patent/JP6345219B2/ja active Active
-
2018
- 2018-03-09 JP JP2018043306A patent/JP2018136550A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017049602A (ja) | 2017-03-09 |
WO2013002013A1 (ja) | 2013-01-03 |
JP6345219B2 (ja) | 2018-06-20 |
JP2018136550A (ja) | 2018-08-30 |
JPWO2013002013A1 (ja) | 2015-02-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150410 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160426 |
|
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |