JP2017102312A - 光導波路及びその製造方法と光導波路装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1クラッド層20と、第1クラッド層20に形成された溝部Gと、溝部Gに埋め込まれたコア層22と、第1クラッド層20及びコア層22の上に形成された第2クラッド層24とを含み、コア層22の一端E1の幅W1及び厚みT1がコア層22の他端E2の幅W2及び厚みT2よりも大きく設定されている。
【選択図】図8
Description
図1〜図7は第1実施形態の光導波路の製造方法を説明するための図、図8は第1実施形態の光導波路を示す図、図9は第1実施形態の光導波路を使用する光導波路装置を示す図である。
図10〜図14は第2実施形態の光導波路を使用する光導波路装置を説明するための図である。前述した第1実施形態では基板10上に光導波路を形成し、光導波路から基板を除去している。第2実施形態では配線基板の上に光導波路が形成される。
Claims (11)
- 第1クラッド層と、
前記第1クラッド層に形成された溝部と、
前記溝部に埋め込まれたコア層と、
前記第1クラッド層及び前記コア層の上に形成された第2クラッド層と
を有し、
前記コア層の一端の幅及び厚みが前記コア層の他端の幅及び厚みよりも大きいことを特徴とする光導波路。 - 前記溝部の底面が傾斜しており、
前記コア層の一端が配置された前記溝部の深さが、前記コア層の他端が配置された前記溝部の深さよりも深いことを特徴とする請求項1に記載の光導波路。 - 前記コア層の上面は水平面となっており、コア層の上の前記第2クラッド層の厚みは同じであることを特徴とする請求項1又は2に記載の光導波路。
- 複数の前記コア層が横方向に並んで配置されていることを特徴とする請求項3に記載の光導波路。
- 第1クラッド層と、
前記第1クラッド層に形成された溝部と、
前記溝部に埋め込まれたコア層と、
前記第1クラッド層及び前記コア層の上に形成された第2クラッド層と
を有し、前記コア層の一端の幅及び厚みが前記コア層の他端の幅及び厚みよりも大きい光導波路と、
前記光導波路のコア層の一端に光結合された第1の光ファイバ又は光素子と、
前記コア層の他端に光結合された第2の光ファイバと
を有することを特徴とする光導波路装置。 - 配線基板と、
前記配線基板の上に形成され、
第1クラッド層と、
前記第1クラッド層に形成された溝部と、
前記溝部に埋め込まれたコア層と、
前記第1クラッド層及び前記コア層の上に形成された第2クラッド層と
を有し、前記コア層の一端の幅及び厚みが前記コア層の他端の幅及び厚みよりも大きい光導波路と、
前記光導波路のコア層の一端に光結合された光路変換ミラーと、
前記配線基板に接続され、前記光路変換ミラーを介して前記コア層の一端に光結合された光素子と、
前記コア層の他端に光結合された光ファイバと
を有することを特徴とする光導波路装置。 - 基板の上に第1クラッド層を形成する工程と、
前記第1クラッド層に、一端の幅及び深さが他端の幅及び深さよりも大きい溝部を形成する工程と、
前記溝部にコア層を埋め込んで形成する工程と、
前記第1クラッド層及び前記コア層の上に第2クラッド層を形成する工程と
を有し、
前記コア層の一端の幅及び厚みが前記コア層の他端の幅及び厚みよりも大きく形成されることを特徴とする光導波路の製造方法。 - 前記溝部を形成する工程は、
一端の幅が他端の幅よりも大きい長手形状の光通過部を備えたマスクと、遮蔽板とを用意し、
前記第1クラッド層の上に前記マスクを配置し、前記マスクの光通過部を前記遮蔽板で遮蔽し、
前記マスクの光通過部の一端から他端に向けて前記遮蔽板を一定の速度で移動させながら、前記遮蔽板から露出する前記光通過部を通して、レーザを前記第1クラッド層に照射することを含むことを特徴とする請求項7に記載の光導波路の製造方法。 - 前記コア層の上面は水平面となって形成され、コア層の上の前記第2クラッド層の厚みは同じであることを特徴とする請求項7又は8に記載の光導波路の製造方法。
- 前記第2クラッド層を形成する工程の後に、
前記基板を除去する工程を有することを特徴とする請求項7乃至9のいずれか一項に記載の光導波路の製造方法。 - 前記基板は、配線基板であることを特徴とする請求項7乃至9のいずれか一項に記載の光導波路の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015236270A JP6730801B2 (ja) | 2015-12-03 | 2015-12-03 | 光導波路の製造方法 |
US15/365,294 US9958607B2 (en) | 2015-12-03 | 2016-11-30 | Light waveguide, method of manufacturing light waveguide, and light waveguide device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015236270A JP6730801B2 (ja) | 2015-12-03 | 2015-12-03 | 光導波路の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017102312A true JP2017102312A (ja) | 2017-06-08 |
JP2017102312A5 JP2017102312A5 (ja) | 2018-11-08 |
JP6730801B2 JP6730801B2 (ja) | 2020-07-29 |
Family
ID=58798977
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015236270A Active JP6730801B2 (ja) | 2015-12-03 | 2015-12-03 | 光導波路の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9958607B2 (ja) |
JP (1) | JP6730801B2 (ja) |
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JP6730801B2 (ja) | 2020-07-29 |
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