JP5670169B2 - 光導波路の製造方法 - Google Patents
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Description
図3〜図9は第1実施形態の光導波路の製造方法を示す断面図及び平面図、図10は第1実施形態の光導波路を示す断面図及び平面図である。
図13〜図15は第2実施形態の光導波路の製造方法を示す断面図及び平面図である。前述した第1実施形態では、第1光路用コア層22a及び第2光路用コア層22bの各溝部22x,22yの各傾斜面Sに金属層30を一括して形成して光路変換ミラーMを得ている。第2実施形態では、各コア層を形成した後に、各コア層の溝部の傾斜面に金属層を個別に形成する。
Claims (6)
- 第1クラッド層の上に、第1の光路長を有する第1光路用コア層を形成する工程と、
前記第1光路用コア層の端側に、傾斜面を備えた溝部を形成する工程と、
前記第1クラッド層上の前記第1光路用コア層の横領域に、前記第1の光路長より長い第2の光路長を有する第2光路用コア層を形成する工程と、
前記第2光路用コア層の端側に、前記第1光路用コア層の前記溝部より外側に配置される傾斜面を備えた溝部を形成する工程と、
前記第1光路用コア層及び前記第2光路用コア層の各々の前記傾斜面に光反射性の金属層を部分的に形成して光路変換ミラーを得る工程と、
前記第1光路用コア層及び前記第2光路用コア層を被覆する第2クラッド層を形成する工程とを有することを特徴とする光導波路の製造方法。 - 第1クラッド層の上に、第1の光路長を有する第1光路用コア層を形成する工程と、
前記第1光路用コア層の端側に、傾斜面を備えた溝部を形成する工程と、
前記第1光路用コア層の前記傾斜面に光反射性の金属層を部分的に形成して光路変換ミラーを得る工程と、
前記第1クラッド層上の前記第1光路用コア層の横領域に、前記第1の光路長より長い第2の光路長を有する第2光路用コア層を形成する工程と、
前記第2光路用コア層の端側に、前記第1光路用コア層の前記溝部より外側に配置される傾斜面を備えた溝部を形成する工程と、
前記第2光路用コア層の前記傾斜面に光反射性の金属層を部分的に形成して光路変換ミラーを得る工程と、
前記第1光路用コア層及び前記第2光路用コア層を被覆する第2クラッド層を形成する工程とを有することを特徴とする光導波路の製造方法。 - 前記第1光路用コア層及び前記第2光路用コア層は、感光性樹脂層がフォトリソグラフィによってパターニングされて形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載の光導波路の製造方法。
- 前記第1光路用コア層を形成する工程において、
前記第1光路用コア層と同一層からなり、前記第1光路用コア層と平行に配置される位置合わせ用パターンを同時に形成し、
前記第1光路用コア層に溝部を形成する工程において、
前記第1光路用コア層に形成される溝部に対応する前記位置合わせ用パターンの位置にアライメント用溝部を同時に形成し、
前記第2光路用コア層を形成する工程において、
前記アライメント用溝部を利用して、前記フォトリソグラフィで使用するフォトマスクの位置合わせを行うことを特徴とする請求項3に記載の光導波路の製造方法。 - 前記第1光路用コア層に溝部を形成する工程及び前記第2光路用コア層に溝部を形成する工程において、
切削装置の回転ブレードによって切削することにより前記溝部を形成することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の光導波路の製造方法。 - 前記第1光路用コア層と前記第2光路用コア層とは、交互に並んで配置されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の光導波路の製造方法。
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