JP7280031B2 - 光導波路搭載基板、光通信装置及び光導波路搭載基板の製造方法 - Google Patents
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Description
まず、第1の実施形態について説明する。第1の実施形態は、光導波路搭載基板に関する。
まず、光導波路搭載基板の構造について説明する。図1は、第1の実施形態に係る光導波路搭載基板の構造を示す平面図である。図2は、第1の実施形態に係る光導波路搭載基板の構造を示す断面図である。図2は、図1中のI-I線に沿った断面図に相当する。図3は、図2中の開口部25近傍の部分拡大断面図である。
次に、第1の実施形態に係る光導波路搭載基板100の製造方法について説明する。この製造方法では、光導波路102を含む支持体付光導波路105と、配線基板103とを個別に準備し、接着層104を介して支持体付光導波路105を配線基板103上に搭載し、支持体付光導波路105の支持体を除去する。
次に、第2の実施形態について説明する。第2の実施形態は、光導波路搭載基板を備えた光通信装置に関する。図15は、第2の実施形態に係る光通信装置を示す断面図である。
21 第1のクラッド層
22 コア層
23 第2のクラッド層
25、26、28、255、256、265、266 開口部
27、251m、261m 金属膜
39 外部接続端子
100 光導波路搭載基板
102 光導波路
103 配線基板
104 接着層
105 支持体付光導波路
110 発光素子
160 光学系
170 光ファイバ
251、261 第1の傾斜面
252、262 第2の傾斜面
253、263 第3の傾斜面
254、264 第4の傾斜面
Claims (6)
- 配線基板と、
前記配線基板上に接着層を介して搭載された光導波路と、
を有し、
前記光導波路は、
第1のクラッド層と、
前記第1のクラッド層の前記配線基板側の面に形成されたコア層と、
前記コア層の周囲を覆うように前記第1のクラッド層の前記配線基板側の面に形成された第2のクラッド層と、
前記第2のクラッド層側が開口され、前記第2のクラッド層及び前記コア層を貫通し、
前記第1のクラッド層側が閉鎖された開口部と、
前記開口部内で前記コア層の端面に設けられた金属膜と、
を有し、
前記第2のクラッド層が前記接着層を介して前記配線基板と対向し、
前記コア層の前記端面は、前記金属膜の前記コア層と接する面が、前記配線基板とは反対側を向く方向に傾斜しており、
前記開口部内に前記接着層の一部が充填されており、
前記開口部は、
前記コア層の前記端面を含み、開口側から閉鎖側に至る第1傾斜面と、
前記第1傾斜面とは反対側で、前記開口側から前記閉鎖側に至る第2傾斜面と、
を備え、
前記コア層の長手方向における前記開口部の前記開口側の長さWと、前記第2のクラッド層の前記配線基板側の面と前記第1傾斜面とのなす角θ1と、前記コア層の厚さT2と、前記第2のクラッド層の前記コア層より前記配線基板側の部分の厚さT3との間に、T2+T3<W×tanθ1の関係が成り立ち、
前記第1のクラッド層の厚さをT1としたとき、W×tanθ1<T1+T2+T3の関係が成り立ち、
前記角θ1と前記第2のクラッド層の前記配線基板側の前記面と前記第2傾斜面とのなす角θ2との間の差の絶対値は14±1deg以下であり、
前記角θ 1 は前記第1傾斜面の前記第2傾斜面側の角の大きさであり、
前記角θ 2 は前記第2傾斜面の前記第1傾斜面側の角とは反対側の角の大きさであることを特徴とする光導波路搭載基板。 - 前記角θ1が45deg±5degであることを特徴とする請求項1に記載の光導波路搭載基板。
- 前記開口部内で前記金属膜が形成されている部分は、前記第1傾斜面の平面視で前記開口部の開口端と重なり合う範囲内にあることを特徴とする請求項1又は2に記載の光導波路搭載基板。
- 前記第1のクラッド層、前記コア層及び前記第2のクラッド層は、ポリマーから構成されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光導波路搭載基板。
- 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光導波路搭載基板と、
前記光導波路に光を出射する発光素子若しくは前記光導波路から出た光を入射する受光素子又はこれらの両方と、
を有することを特徴とする光通信装置。 - 支持体上に第1のクラッド層を形成する工程と、
前記第1のクラッド層の前記支持体とは反対側の面にコア層を形成する工程と、
前記コア層の周囲を覆うように前記第1のクラッド層の前記支持体とは反対側の面に第2のクラッド層を形成する工程と、
前記第2のクラッド層側からレーザ光を照射することにより、前記第2のクラッド層側が開口され、前記第2のクラッド層及び前記コア層を貫通し、前記第1のクラッド層側が閉鎖された開口部を形成する工程と、
前記開口部内で前記コア層の端面に金属膜を設ける工程と、
接着層を介して前記第2のクラッド層を配線基板に貼り付けながら、前記開口部に前記接着層の一部を充填する工程と、
を有し、
前記コア層の前記端面は、前記金属膜の前記コア層と接する面が、前記配線基板とは反対側を向く方向に傾斜し、
前記開口部は、
前記コア層の前記端面を含み、開口側から閉鎖側に至る第1傾斜面と、
前記第1傾斜面とは反対側で、前記開口側から前記閉鎖側に至る第2傾斜面と、
を備え、
前記コア層の長手方向における前記開口部の前記開口側の長さWと、前記第2のクラッド層の前記配線基板側の面と前記第1傾斜面とのなす角θ1と、前記コア層の厚さT2と、前記第2のクラッド層の前記コア層より前記配線基板側の部分の厚さT3との間に、T2+T3<W×tanθ1の関係が成り立ち、
前記第1のクラッド層の厚さをT1としたとき、W×tanθ1<T1+T2+T3の関係が成り立ち、
前記角θ1と前記第2のクラッド層の前記配線基板側の前記面と前記第2傾斜面とのなす角θ2との間の差の絶対値は14±1deg以下であり、
前記角θ 1 は前記第1傾斜面の前記第2傾斜面側の角の大きさであり、
前記角θ 2 は前記第2傾斜面の前記第1傾斜面側の角とは反対側の角の大きさであることを特徴とする光導波路搭載基板の製造方法。
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