JP4511291B2 - 光接続装置の製造法及びその光接続装置 - Google Patents
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R&D Review of Toyota CRDL, Vol.37,No.1,pp.43-50,2001)
6…45度ミラー、7…紫外線硬化樹脂、B…感光性媒質、30…コアパターン、
30a…空隙、フォトマスク8、9…基板、フォトマスク基板C、
10…自己形成光導波路。
Claims (6)
- 光配線層と電気配線層からなる光電気混在基板において、前記光配線層は並列状の複数層とし、該光配線層の光導波路の光軸に垂直方向に前記光電気混在基板に対してホールを形成し、該ホール内には前記光軸を90度に折り曲げる45度ミラーと、前記ホール上部には前記光配線層の光導波路の光軸が該45度ミラーによって90度折り曲げられて前記光電気混在基板の上面に至る位置のコアパターンを空隙として除去したフォトマスク基板とをそれぞれ配置し、該フォトマスク基板と前記45度ミラーとの間に感光性媒質を充填した後に特定の光を照射して前記感光性媒質内に連続的な自己形成光導波路を形成し、該自己形成光導波路は垂直部と前記45度ミラーを反射して90度折り曲がる水平部とを有し、該水平部端は前記光導波路のそれぞれに接続し、その後、前記フォトマスク基板を除去することを特徴とする光接続装置の製造法。
- 請求項1において、前記感光性媒質は、前記フォトマスク基板とともに除去することを特徴とする光接続装置の製造法。
- 請求項1又は2において、前記フォトマスク基板がホールアレイを設けた光を通さない基板であることを特徴とする光接続装置の製造法。
- 光配線層と電気配線層からなる光電気混在基板において、前記光配線層は並列状の複数層とし、該光配線層の光導波路の光軸に垂直方向に前記光電気混在基板の光配線層に対してホールを形成し、該ホール内には前記光軸を90度に折り曲げる45度ミラーと、前記ホール上部には前記光配線層の光導波路の光軸が該45度ミラーによって90度折り曲げられて前記光電気混在基板の光配線層の上面に至る位置のコアパターンに相当する位置にビアホールを穿孔した電気配線層を配置し、該電気配線層と前記45度ミラーとの間に感光性媒質を充填した後にビアホールを介して特定の光を照射して前記感光性媒質内に連続的な自己形成光導波路を形成し、該自己形成光導波路は垂直部と前記45度ミラーを反射して90度折り曲がる水平部とを有し、該水平部端は前記光導波路のそれぞれに接続することを特徴とする光接続装置の製造法。
- 請求項1,2,3又は4において、前記感光性媒質が紫外線硬化樹脂としてなり、且つ特定の光を紫外光としてなることを特徴とする光接続装置の製造法。
- 請求項1,2,3,4又は5において、前記光配線層の光導波路を樹脂にて構成することを特徴とする光接続装置の製造法。
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