JP6018370B2 - 無重力下形状を推定するための方法及び装置 - Google Patents
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Description
(I) 複数本の高さ可調ピン110上に可撓性物体を支持する工程、
(II) 可調ピン110の高さを、
(A) それぞれのピン110において可撓性物体140の荷重112を測定する工程、及び
(B) 測定された荷重に基づいてピン110の高さ114を調節する工程、
を反復することによって、調節する工程、
(III) 反復回数、測定された荷重、及び/またはピン高の変化が1つ以上の所定の規準を満たしたときに、工程(II)の反復を終止する工程、
(IV) 工程(III)後にピン110から可撓性物体140を取り外さずに、いずれの2本のピン110の最小間隔よりも微細な空間分解能を有する測定システム200を用いて、可撓性物体の形状を測定する工程、及び
(V) ピン上に支持された平坦物体について計算された形状を工程(IV)の測定された形状から減算する工程、ここで平坦物体は可撓性物体140と同じ寸法及び機械的特性を有し、得られる差が可撓性物体140の推定無重力下形状である、
を含む方法が開示される。
(I) 複数本の高さ可調ピン110上に可撓性物体140の第1の表面を支持する工程、
(II) 可調ピン110の高さ114を、
(A) それぞれのピン110において可撓性物体140の荷重112を測定する工程、及び
(B) 測定された荷重に基づいてピン110の高さ114を調節する工程、
を反復することによって、調節する工程、
(III) 反復回数、測定された荷重、及び/またはピン高の変化が1つ以上の所定の規準を満たしたときに、工程(II)の反復を終止する工程、
(IV) 工程(III)後にピン110から可撓性物体140を取り外さずに、いずれの2本のピン110の最小間隔よりも微細な空間分解能を有する測定システム200を用いて、可撓性物体の形状を測定する工程、
(V) 複数本の高さ可調ピン110上に可撓性物体140の第2の表面を支持する工程、
(VI) 可調ピン110の高さ114を、
(A) それぞれのピン110において可撓性物体140の荷重112を測定する工程、及び
(B) 測定された荷重に基づいてピン110の高さ114を調節する工程、
を反復することによって、調節する工程、
(VII) 反復回数、測定された荷重、及び/またはピン高の変化が1つ以上の所定の規準を満たしたときに、工程(VI)の反復を終止する工程、
(VIII)工程(VII)後にピン110から可撓性物体140を取り外さずに、いずれの2本のピン110の最小間隔よりも微細な空間分解能を有する測定システム200を用いて、可撓性物体の形状を測定する工程、
(IX) 可撓性物体140上の物理的位置に基づいて、工程(IV)及び(VIII)の測定データのアライメントをとる工程、及び
(X) 可撓性物体140の推定無重力下形状を計算するために工程(IX)のアライメントがとられたデータを用いる工程、
を含む方法が開示される。
(I) 複数本の高さ可調ピン110上に可撓性物体140を支持する工程、
(II) 可調ピン110の高さ114を、
(A) それぞれのピン110において可撓性物体140の荷重112を測定する工程、及び
(B) 測定された荷重に基づいてピン110の高さ114を調節する工程、
を反復することによって、調節する工程、及び
(III) 反復回数、測定された荷重、及び/またはピン高の変化が1つ以上の所定の規準を満たしたときに、工程(II)の反復を終止する工程、
を含み、
(i) ピン110の高さ114が可撓性物体140の推定無重力下形状であり、
(ii) 最小二乗法最小化手順が工程(II)(A)の荷重測定値を工程(II)(B)の高さ調節値に変換するために用いられる、
方法が開示される。
1.0 寸法及び機械的特性が既知のシートについての予備計算;
1.1 例えば有限要素法解析を用いる、シートのオーバーハングを考慮した目標荷重の予備計算;一般に、解析では、シートが正しい寸法を有し、一様な厚さ及び一様な機械的特性を有し、オーバーハングが全ての辺で同じである(シートの公称位置のある)ようにピン上におかれると仮定され、望ましければ、これらの仮定の1つ以上は緩めることができる、例えば、予備計算される目標荷重はピン上のシートの実際の配置に基づいて測定されることになるそれぞれのシートについて計算することができる;
1.2 例えば有限要素法解析を用いて、測定されることになる、公称の寸法及び機械的特性と公称のピン上位置を有する完璧に平坦なシートのサグパターンを予備計算する;
1.3 第kピンの荷重の変化,ΔWkを第jピンの高さの変化,Δhjと結び付ける順行列,Ekjを予備計算する;
1.4 目標荷重誤差の二乗和を最小にするであろう最も滑らかなピン移動量,Δhjの組合せを推定する、最小二乗法最小化を用いて逆行列,Gkj −1を予備計算する;
2.0 ピン荷重の目標値との差が所定の大きさになるまで、及び/またはピン高の最大変化がある所定の大きさ(例えばガラス基板に対しては1μm)より小さくなるまで、及び/または所定の回数の反復が完了するまで、ピン高の計算を反復する;
2.1 それぞれの反復iにおいて、hj(i):
3.0 ピン間隔より微細な空間スケールでシート形状に対する測定データを得るために第2のゲージでシートの形状をスキャンする;
3.1 ステップ3.0のゲージ測定値から、推定形状を得るためにステップ1.2から計算されたサグパターンを差し引く;
を用いて推定することができる。
4.0 A面及びB面についてステップ2.0,2.1及び3.0を(ただしステップ3.1は除いて)実施する;
4.1 B面形状が点毎にA面形状に一致するようにB面のアライメントをとった後、A面形状をB面形状と;
4.1.1 平均‘SHAPE(形状)’を(A+B)/2と定義する;
4.1.2 平均‘ESTIMATED SAG(推定サグ)’を(A−B)/2と定義する;
4.1.3 平均‘RESIDUAL(残差)’を[(A−B)/2−(ステップ2.1によるサグ計算値)]と定義する。残差は:
1/2{(A面サグ計算値)−(B面サグ計算値)}
と同じであることに注意されたい;
4.1.4 SIGMA=標準偏差(RESIDUAL),及び
RANGE_RESIDUAL=|最大−最小|(RESIDUAL),及び
RANGE_SHAPE=|最大−最小|(SHAPE)
を計算する;
4.1.5 したがって信号対雑音比(SNR)尺度は:
SNR = RANGE_SHAPE/RANGE_RESIDUAL
である、
にしたがって、比較する。
alingned_SAGB(x,y) = -measured_SAGB(-x,y)
と表すことができる。シートのA面とB面の間の、例えば、BONのx軸に平行な軸に関する裏返し、シートの平行移動と組み合わせた裏返し、等の、他の関係に対して対応する式を得ることができる。
本実施例は、第2のゲージを用いるピン間隔より高い分解能でのスキャンの実施の有用性を説明し、ピン間のサグを考慮するための測定データの調整の価値も説明する。本実施例において、測定データは理論サグ値を差し引くことで調整される。
本実施例は、ピン間サグを補正するための。理論サグ手法への代替手法を説明する。
本実施例は、3本のピンを固定しておき、N−3本のピンにかかる目標荷重を達成するために行列を「逆転」する従来方法に比較して、目標荷重を達成するためにピン項を最適化するための最小二乗法最小化手順を用いると有利であることを示す。
(I) 複数本の高さ可調ピン上に可撓性物体を支持する工程、
(II) 可調ピンの高さを、
(A) それぞれのピンにおいて可撓性物体の荷重を測定する工程、及び
(B) 測定された荷重に基づいてピンの高さを調節する工程、
を反復することによって、調節する工程、
(III) 反復回数、測定された荷重、及び/またはピン高の変化が1つ以上の所定の規準を満たしたときに、工程(II)の反復を終止する工程、
(IV) 工程(III)後にピンから可撓性物体を取り外さずに、いずれの2本のピンの最小間隔よりも微細な空間分解能を有する測定システムを用いて、可撓性物体の形状を測定する工程、及び
(V) ピン上に支持された平坦物体について計算された形状を工程(IV)の測定された形状から差し引く工程、平坦物体は可撓性物体と同じ寸法及び機械的特性を有し、得られる差が可撓性物体の推定無重力下形状である、
を含む方法。
(a) 可撓性物体を裏返して、裏返された可撓性物体に工程(I)〜(V)を実施する工程、及び
(b) 元の向き及び裏返しの向きに対して推定された可撓性物体の無重力下形状を比較する工程、
を含むC1の方法。
(I) 複数本の高さ可調ピン上に可撓性物体の第1の表面を支持する工程、
(II) 可調ピンの高さを、
(A) それぞれのピンにおいて可撓性物体の荷重を測定する工程、及び
(B) 測定された荷重に基づいてピンの高さを調節する工程、
を反復することによって、調節する工程、
(III) 反復回数、測定された荷重、及び/またはピン高の変化が1つ以上の所定の規準を満たしたときに、工程(II)の反復を終止する工程、
(IV) 工程(III)後にピンから可撓性物体を取り外さずに、いずれの2本のピンの最小間隔よりも微細な空間分解能を有する測定システムを用いて、可撓性物体の形状を測定する工程、
(V) 複数本の高さ可調ピン上に可撓性物体の第2の表面を支持する工程、
(VI) 可調ピンの高さを、
(A) それぞれのピンにおいて可撓性物体の荷重を測定する工程、及び
(B) 測定された荷重に基づいてピンの高さを調節する工程、
を反復することによって、調節する工程、
(VII) 反復回数、測定された荷重、及び/またはピン高の変化が1つ以上の所定の規準を満たしたときに、工程(VI)の反復を終止する工程、
(VIII)工程(VII)後にピンから可撓性物体を取り外さずに、いずれの2本のピンの最小間隔よりも微細な空間分解能を有する測定システムを用いて、可撓性物体の形状を測定する工程、
(IX) 可撓性物体上の物理的位置に基づいて、工程(IV)及び(VIII)の測定データのアライメントをとる工程、及び
(X) 可撓性物体の推定無重力下形状を計算するために工程(IX)のアライメントがとられたデータを用いる工程、
を含む方法。
(I) 複数本の高さ可調ピン上に可撓性物体を支持する工程、
(II) 可調ピンの高さを、
(A) それぞれのピンにおいて可撓性物体の荷重を測定する工程、及び
(B) 測定された荷重に基づいてピンの高さを調節する工程、
を反復することによって、調節する工程、及び
(III) 反復回数、測定された荷重、及び/またはピン高の変化が1つ以上の所定の規準を満たしたときに、工程(II)の反復を終止する工程、
を含み、
(i) ピンの高さが可撓性物体の推定無重力下形状であり、
(ii) 最小二乗法最小化手順が工程(II)(A)の荷重測定値を工程(II)(B)の高さ調節値に変換するために用いられる、
方法。
(a) 可撓性物体を裏返して、裏返された可撓性物体に工程(I)〜(III)を実施する工程、及び
(b) 元の向き及び裏返しの向きに対して推定された可撓性物体の無重力下形状を比較する工程、
を含むC14の方法。
82 コントローラ
100 BON測定システム(BONゲージ)
110 ピン
112 ロードセル
114 高さ調節器
116 回路
120 ゲージ基盤
130 プロセッサ
132 測定値信号
134 調節値信号
140 可撓性物体(ガラス基板)
200 第2の測定システム(第2のゲージ)
Claims (7)
- 可撓性物体の推定無重力下形状を得るための方法において、
(I) 複数本の高さ可調ピン上に前記可撓性物体を支持する工程、
(II) 前記可調ピンの高さを、
(A) 前記ピンのそれぞれにおいて前記可撓性物体の荷重を測定する工程、及び
(B) 前記測定された荷重に基づいて前記ピンの高さを調節する工程、
を反復することによって、調節する工程、
(III) 前記反復の回数、前記測定された荷重、及び/または前記可調ピンの高さの変化が1つ以上の所定の規準を満たしたときに、前記工程(II)の前記反復を終止する工程、
(IV) 前記工程(III)後に前記ピンから前記可撓性物体を取り外さずに、いずれの2本のピンの最小間隔よりも微細な空間分解能を有する測定システムを用いて前記可撓性物体の形状を測定する工程、
(V) 前記ピン上に支持された平坦物体について計算されたサグパターンを前記工程(IV)の前記測定された形状から差し引く工程、ここで前記平坦物体は前記可撓性物体と同じ寸法及び機械的特性を有し、かつ完璧に平坦な無重力下形状を有する物体であって、当該工程(V)において得られる差が前記可撓性物体の推定無重力下形状である、
(VI) 裏返しの前後において前記可撓性物体の各部分が異なるピンで支持されるように前記可撓性物体を裏返して、前記裏返された可撓性物体に前記工程(I)〜(V)を実施する工程、及び
(VII) 元の向き及び裏返しの向きに対して推定された前記可撓性物体の無重力下形状を比較する工程、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記工程(II)が最小二乗法最小化手順を用いて実施され、
前記最小二乗法最小化手順が、(i)前記ピンの高さを強制的に変化させてピン荷重の誤差をゼロにする項と、(ii)3つの概固定点の選択を可能にする項とを含む関数を、最小にするように行われ、
前記工程(II) (B)において、前記可撓性物体を支持する全てのピンの高さが調節されることを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 微細な空間分解能を有する前記測定システムが、光学システムであることを特徴とする請求項1または2に記載の方法。
- 前記可撓性物体がガラスシートであることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の方法。
- 可撓性物体の推定無重力下形状を得るための方法において、
(I) 複数本の高さ可調ピン上に前記可撓性物体を支持する工程、
(II) 前記可調ピンの高さを、
(A) 前記ピンのそれぞれにおいて前記可撓性物体の荷重を測定する工程、及び
(B) 前記測定された荷重に基づいて前記ピンの高さを調節する工程、
を反復することによって、調節する工程、及び
(III) 前記反復の回数、前記測定された荷重、及び/または前記可調ピンの高さの変化が1つ以上の所定の規準を満たしたときに、前記工程(II)の前記反復を終止する工程、
を含み、
(i) 前記ピンの高さが前記可撓性物体の推定無重力下形状であり、
(ii) 最小二乗法最小化手順が前記工程(II)(A)の前記荷重測定値を前記工程(II)(B)の前記ピン高調節値に変換するために用いられ、前記最小二乗法最小化手順が、(ii-i)前記ピンの高さを強制的に変化させてピン荷重の誤差をゼロにする項と、(ii-ii)3つの概固定点の選択を可能にする項とを含む関数を、最小にするように行われ、
(iii)前記工程(II) (B)において、前記可撓性物体を支持する全てのピンの高さが調節される、
ことを特徴とする方法。 - (a) 前記可撓性物体を裏返して、前記裏返された可撓性物体に前記工程(I)〜(III)を実施する工程、及び
(b) 元の向き及び裏返しの向きに対して推定された前記可撓性物体の無重力下形状を比較する工程、
をさらに含むことを特徴とする請求項5に記載の方法。 - 請求項5に記載の工程(II)及び(III)を実施するためのコンピュータ読出可能なコードが記憶されたコンピュータ読出可能記憶媒体。
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