JP5850232B2 - 防振アクチュエータ、及びそれを備えたレンズユニット、カメラ、及びそれらの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は防振アクチュエータに関し、特に、像振れ防止用レンズを移動させることにより像振れ防止制御を実行する、係止機構を備えた防振アクチュエータ、及びそれを備えたレンズユニット、カメラ、及びそれらの製造方法に関する。

特開平１０−２６０４４５号公報（特許文献１）には、「振れ補正装置」が記載されている。この振れ補正装置は、像ぶれを防止するための像振れ防止用レンズを係止する固定手段（係止機構）を備えている。この振れ補正装置では、像ぶれ補正を行わない非像振れ防止制御時には、固定手段を像振れ防止用レンズのレンズ枠に係合させ、像振れ防止用レンズを所定の位置に係止している。固定手段は、像振れ防止用レンズのレンズ枠を取り囲むように配置されたリング状の部材であり、レンズ枠を係止する際に回転され、固定手段の内周面とレンズ枠に設けられた突起が係合することにより、レンズ枠が機械的に係止される。

ここで、レンズ枠が機械的に係止された状態においても、機械的な係止では避けることができない「緩み」（所謂「ガタ」）が必要であり、一般に、係止状態においても、レンズ枠等の可動部は数十μｍのオーダーで移動することができる。しかしながら、一般に像振れ防止制御時において、像振れ防止用レンズは数μｍ程度の分解能で位置が制御されるものであり、係止状態における「緩み」によるレンズ枠等の移動は、撮像される画質に大きな影響を及ぼすことになる。従って、振れ補正装置（防振アクチュエータ）では、係止状態におけるレンズ枠等の可動部の「緩み」による移動量を、極力小さくする必要がある。

一方、係止機構を有する防振アクチュエータにおいては、一般に、像振れ防止制御を開始する際、まず、レンズ枠等の可動部に駆動力を作用させて、可動部を所定の初期位置に保持し、その後、係止機構による可動部の係止を解除する。即ち、可動部に駆動力を作用させて位置を保持する前に可動部の係止を解除すると、可動部が重力により落下して、像振れ防止用レンズが大きく移動され、ファインダーに形成される画像が大きく乱れることになる。このため、防振アクチュエータにおいては、一般に、可動部に駆動力を作用させ、可動部を初期位置に保持した直後に係止が解除される。

特開平１０−２６０４４５号公報

しかしながら、係止時における可動部の「緩み」を減少させると、非像振れ防止制御状態から像振れ防止制御に移行する際に、ファインダーに形成される画像が大きく乱れてしまう場合があるという新たな問題を、本願発明者は見出した。即ち、像振れ防止制御の開始時においては、可動部が係止機構により係止された状態で可動部に駆動力が作用され、可動部は所定の初期位置に移動するように制御される。ここで、可動部が移動される初期位置が、係止状態にある可動部の可動範囲内（係止状態における「緩み」の範囲内）である場合には、可動部は正常に初期位置に移動され、円滑に像振れ防止制御に移行することができる。

しかしながら、初期位置が、係止状態にある可動部の可動範囲から外れている場合には、可動部が係止機構と機械的に接触する位置まで移動された後も、可動部は依然として初期位置まで到達することができず、可動部には初期位置まで移動させるべく制御力が作用し続ける。従って、この状態においては、可動部は、制御力により係止機構の当接部に押し付けられた状態で保持される。可動部が係止機構の当接部に押し付けられた状態において係止が解除されると、係止機構の当接部が可動部から突然離れるので、可動部は制御力により初期位置を通り過ぎて大きく移動されてしまう。即ち、初期位置へ到達させるために制御力が加えられていた可動部は、係止機構による係止が解除されることにより、目標としていた初期位置を大きくオーバーシュートして通り越してしまう。このため、像振れ防止制御の開始時において、ファインダーに形成される画像が大きく乱れることになる。

このような問題は、非像振れ防止制御時における画質を改善するために、係止状態における可動部の「緩み」を小さく設計した場合において、特に発生しやすくなる。即ち、係止状態にある可動部の可動範囲は、種々の機械的な寸法精度等の影響を受ける。一方、可動部を移動させる初期位置は、電気的に位置が制御されるものであり、初期位置の位置決め精度は、制御に使用される位置センサ、増幅器等のばらつきの影響を受ける。このため、係止状態における可動部の「緩み」を小さく設計した場合には、制御により位置決めされる初期位置を、係止状態における可動部の可動範囲の中に、確実に収めることが困難になる。本発明は、このような新たに生じた技術課題を解決するためになされたものである。

このように、本発明は、係止状態における「緩み」を小さく設計した場合においても、円滑に像振れ防止制御に移行することができる防振アクチュエータ、及びそれを備えたレンズユニット、カメラ、及びそれらの製造方法を提供することを目的としている。

上述した課題を解決するために、本発明は、像振れ防止用レンズを移動させることにより像振れ防止制御を実行する、係止機構を備えた防振アクチュエータであって、固定部と、像振れ防止用レンズが取り付けられた可動部と、この可動部を、固定部に対して移動可能に支持する可動部支持手段と、固定部と可動部の間に駆動力を作用させ、固定部に対して可動部を駆動する駆動手段と、像振れ防止制御時においては可動部と干渉せず、非像振れ防止制御時においては、可動部が移動し得る範囲を所定の係止時可動範囲内に制限することにより、可動部を機械的に係止する可動部係止機構と、像振れ防止制御の開始時において可動部を移動させる可動部初期位置が記憶されている記憶部と、像振れ防止制御の開始時において、駆動手段を制御して、可動部を可動部初期位置に移動させると共に、可動部係止機構による係止を解除する制御部と、を有し、記憶部は、予め調整を行うことにより決定された、係止時可動範囲内における可動部の所定の位置を、可動部初期位置として記憶していることを特徴としている。

このように構成された本発明においては、像振れ防止用レンズが取り付けられた可動部が、可動部支持手段により固定部に対して移動可能に支持される。駆動手段は、固定部と可動部の間に駆動力を作用させ、固定部に対して可動部を駆動する。可動部係止機構は、像振れ防止制御時においては可動部と干渉せず、非像振れ防止制御時においては、可動部が移動し得る範囲を所定の係止時可動範囲内に制限することにより、可動部を機械的に係止する。制御部は、像振れ防止制御の開始時において、駆動手段を制御して、記憶部に記憶されている可動部初期位置に可動部を移動させると共に、可動部係止機構による係止を解除する。記憶部に記憶されている可動部初期位置は、予め調整を行うことにより、係止時可動範囲内における所定の位置として決定されている。

このように構成された本発明によれば、像振れ防止制御の開始時において、可動部は、予め調整を行うことにより決定された係止時可動範囲内の可動部初期位置に移動される。このため、像振れ防止制御の開始時において、係止状態では可動部を移動させることができない位置を目標位置として、可動部が制御されるのを防止することができ、これに伴う不具合を回避することができる。これにより、本発明によれば、係止状態における「緩み」を小さく設計した場合においても、円滑に像振れ防止制御に移行することができる。

本発明において、好ましくは、可動部係止機構は、可動部と当接することにより可動部が移動し得る範囲を係止時可動範囲内に制限する複数の当接部を有し、可動部初期位置は、可動部と、各当接部が接触しない位置に決定されている。

このように構成された本発明によれば、可動部初期位置が、可動部と可動部係止機構の当接部が接触しない位置に決定されているので、係止状態において可動部初期位置に移動された可動部と、当接部との間で力を及ぼし合うことがなく、係止状態が解除された際に、制御力により可動部が大きく移動されるのを防止することができる。

また、本発明は、レンズユニットであって、レンズ鏡筒と、このレンズ鏡筒の内部に配置された撮像用レンズと、本発明の防振アクチュエータと、を有することを特徴としている。

さらに、本発明は、カメラであって、カメラ本体と、このカメラ本体に取り付けられた本発明のレンズユニットと、を有することを特徴としている。

また、本発明は、像振れ防止制御を実行する防振アクチュエータを備えたレンズユニットの製造方法であって、撮像用レンズ及び防振アクチュエータをレンズ鏡筒の内部に配置する段階と、防振アクチュエータの可動部係止機構を、係止状態にする係止段階と、防振アクチュエータを調整する調整段階と、を有し、この調整段階が、防振アクチュエータの可動部を、係止状態において第１の方向に駆動し、可動部が第１の方向に移動可能な範囲を測定する第１方向測定段階と、防振アクチュエータの可動部を、係止状態において、第１の方向とは異なる第２の方向に駆動し、可動部が第２の方向に移動可能な範囲を測定する第２方向測定段階と、防振アクチュエータが像振れ防止制御を開始する際の、可動部の可動部初期位置を、第１の方向における移動可能な範囲内且つ第２の方向における移動可能な範囲内に決定し、記憶部に記憶させる記憶段階と、を備えることを特徴とするレンズユニットの製造方法。

このように構成された本発明においては、撮像用レンズ及び防振アクチュエータがレンズ鏡筒の内部に配置され、レンズユニットが組み立てられる。次いで、防振アクチュエータの可動部係止機構が係止状態にされ、この状態において、防振アクチュエータの調整が行われる。防振アクチュエータの調整においては、まず、可動部が第１の方向に駆動され、可動部が第１の方向に移動可能な範囲が測定され、次いで、第１の方向とは異なる第２の方向に可動部が駆動され、第２の方向に移動可能な範囲が測定される。さらに、可動部初期位置が、第１の方向における移動可能な範囲内且つ第２の方向における移動可能な範囲内に決定され、この可動部初期位置が記憶部に記憶される。

このように構成された本発明によれば、可動部初期位置が第１、第２の方向における移動可能な範囲内に決定されので、係止状態において可動部が移動することができない位置に可動部初期位置が設定されることがない。このため、像振れ防止制御の開始時において、係止状態では可動部を移動させることができない位置を目標位置として、可動部が制御されるのを防止することができ、これに伴う不具合を回避することができる。これにより、本発明によれば、係止状態における「緩み」を小さく設計した場合においても、円滑に像振れ防止制御に移行することができるレンズユニットを製造することができる。また、このように構成された本発明によれば、可動部係止機構の種々の部品の寸法精度、位置決め精度等の影響を受ける可動部の係止時可動範囲を、レンズユニットが組み立てられた状態で測定することができるので、正確に可動部初期位置を決定することができる。

本発明において、好ましくは、調整段階が、第１方向測定段階の後に、防振アクチュエータの可動部を第１の方向に移動可能な範囲の略中央に移動させる段階を、さらに有し、第２の方向は第１の方向に略直交する方向であり、記憶段階において、可動部初期位置が、第１の方向における移動可能な範囲の略中央且つ第２の方向における移動可能な範囲の略中央に決定される。

このように構成された本発明によれば、可動部初期位置が、第１、第２の方向における移動可能な範囲の略中央に決定されるので、可動部初期位置を、可動部が可動部係止機構に最も接触しにくい位置に決定することができる。これにより、経年変化等により係止時可動範囲が変化した場合においても、可動部と可動部係止機構の接触を確実に防止することができる。

本発明において、好ましくは、調整段階が、可動部が並進移動のみ可能な状態に制御された状態で実行される。
このように構成された本発明においては、調整段階において、可動部の回転が規制されているので、係止時可動範囲の測定時において、可動部が常に同じ姿勢で可動部係止機構に当接し、係止時可動範囲を正確に測定することができる。

また、本発明は、像振れ防止用レンズを移動させることにより像振れ防止制御を実行する、係止機構を備えた防振アクチュエータの製造方法であって、固定部、像振れ防止用レンズが取り付けられた可動部、及びこの可動部を係止する可動部係止機構を組み付ける段階と、可動部係止機構を、係止状態にする係止段階と、可動部を、係止状態において第１の方向に駆動し、可動部が第１の方向に移動可能な範囲を測定する第１方向測定段階と、可動部を、係止状態において、第１の方向とは異なる第２の方向に駆動し、可動部が第２の方向に移動可能な範囲を測定する第２方向測定段階と、防振アクチュエータが像振れ防止制御を開始する際の、可動部の可動部初期位置を、第１の方向における移動可能な範囲内且つ第２の方向における移動可能な範囲内に決定し、記憶部に記憶させる記憶段階と、を有することを特徴としている。

本発明の防振アクチュエータ、及びそれを備えたレンズユニット、カメラ、及びそれらの製造方法によれば、係止状態における「緩み」を小さく設計した場合においても、円滑に像振れ防止制御に移行することができる。

本発明の第１実施形態によるカメラの断面図である。 本発明の第１実施形態のカメラに備えられた防振アクチュエータの側面断面図である。 防振アクチュエータの可動部を示す正面図である。 防振アクチュエータの可動部を取り外して示す固定部の正面図である。 防振アクチュエータの分解斜視図である。 可動部の係止用アームと、これを駆動するアーム駆動板を示す斜視図である。 防振アクチュエータの係止機構を模式的に示す図である。 レンズユニットの製造手順を示すフローチャートである。 本発明の第１実施形態におけるレンズユニットの調整手順を説明する図である。 本発明の第１実施形態におけるレンズユニットの調整手順を説明する図である。 本発明の第１実施形態におけるレンズユニットの調整手順を説明する図である。 本発明の第１実施形態におけるレンズユニットの調整手順を説明する図である。 本発明の第１実施形態におけるレンズユニットの調整手順を説明する図である。 本発明の第１実施形態におけるレンズユニットの調整手順を説明する図である。 本発明の第１実施形態におけるレンズユニットの調整手順を説明する図である。 本発明の第１実施形態におけるレンズユニットの調整手順を説明する図である。 本発明の第２実施形態によるカメラに内蔵されている防振アクチュエータの可動部を示す正面図である。 防振アクチュエータの可動部の係止が解除された状態を示す図である。 防振アクチュエータの可動部の係止状態を示す図である。

次に、添付図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。
まず、図１乃至図７を参照して、本発明の第１実施形態によるカメラを説明する。図１は本発明の第１実施形態によるカメラの断面図である。
図１に示すように、本実施形態のカメラ１は、レンズユニット２と、カメラ本体４と、を有する。レンズユニット２は、レンズ鏡筒６と、このレンズ鏡筒の中に配置された複数の撮像用レンズ８と、像振れ防止用レンズ１６を所定の平面内で移動させる防振アクチュエータ１０と、レンズ鏡筒６の振動を検出する振動検出手段であるジャイロ３４と、を有する。

本発明の第１実施形態のカメラ１は、ジャイロ３４によって振動を検出し、検出された振動に基づいて防振アクチュエータ１０を作動させて像振れ防止用レンズ１６を移動させ、カメラ本体４内の撮像素子Ｃに合焦される画像を安定化させている。本実施形態においては、ジャイロ３４として、圧電振動ジャイロを使用している。なお、本実施形態においては、像振れ防止用レンズ１６は、１枚のレンズによって構成されているが、画像を安定させるためのレンズは、複数枚のレンズ群であっても良い。本明細書において、像振れ防止用レンズとは、画像を安定させるための１枚のレンズ及びレンズ群を含むものとする。

レンズユニット２は、カメラ本体４に取り付けられ、入射した光を撮像素子Ｃに結像させるように構成されている。
概ね円筒形のレンズ鏡筒６は、内部に複数の撮像用レンズ８を保持しており、一部の撮像用レンズ８を移動させることによりピント調整を可能としている。

次に、図２乃至図７を参照して、防振アクチュエータ１０を説明する。図２は、本発明の第１実施形態のカメラに備えられた防振アクチュエータの側面断面図である。図３は防振アクチュエータ１０の可動部を示す正面図であり、図４は防振アクチュエータ１０の可動部を取り外して示す固定部の正面図である。なお、図２は、防振アクチュエータ１０を図３のII−II線に沿って破断した状態を示す断面図である。図５は防振アクチュエータ１０の分解斜視図である。図６は可動部の係止用アームと、これを駆動するアーム駆動板を示す斜視図である。図７は防振アクチュエータ１０の係止機構を模式的に示す図である。

図２乃至図５に示すように、防振アクチュエータ１０は、レンズ鏡筒６内に固定された固定部である固定板１２と、この固定板１２に対して並進移動及び回転移動可能に支持された可動部である移動枠１４と、この移動枠１４を支持する可動部支持手段である３つのスチールボール１８と、を有する。さらに、防振アクチュエータ１０は、固定板１２に取り付けられた第１駆動用コイル２０ａ、第２駆動用コイル２０ｂ、及び第３駆動用コイル２０ｃと、移動枠１４の、各駆動用コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃに夫々対応する位置に取り付けられた第１駆動用磁石２２ａ、第２駆動用磁石２２ｂ、及び第３駆動用磁石２２ｃと、各駆動用コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃの内側に夫々配置された第１、第２、第３位置検出素子である第１磁気センサ２４ａ、第２磁気センサ２４ｂ、第３磁気センサ２４ｃと、を有する。

また、防振アクチュエータ１０は、各駆動用磁石の磁力によって移動枠１４を固定板１２に吸着させるために、固定板１２の裏側に取り付けられた吸着用ヨーク２６を有する。なお、第１駆動用コイル２０ａ、第２駆動用コイル２０ｂ、第３駆動用コイル２０ｃ、及びこれらに対応する位置に夫々取り付けられた第１駆動用磁石２２ａ、第２駆動用磁石２２ｂ、第３駆動用磁石２２ｃは、移動枠１４を固定板１２に対して駆動する第１、第２、第３駆動手段を夫々構成する。

さらに、図１に示すように、防振アクチュエータ１０は、ジャイロ３４によって検出された振動と、第１、第２、第３磁気センサ２４ａ、２４ｂ、２４ｃによって検出された移動枠１４の位置情報に基づいて、第１、第２、第３駆動用コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃに流す電流を制御する制御部であるコントローラ３６を有する。また、防振アクチュエータ１０は、像振れ防止制御の開始時に移動枠１４を移動させる可動部初期位置を記憶させるための記憶部３６ａを有する。

防振アクチュエータ１０は、移動枠１４を、レンズ鏡筒６に固定された固定板１２に対して撮像素子面Ｃに平行な平面内で並進移動させ、これにより移動枠１４に取り付けられた像振れ防止用レンズ１６を移動させてレンズ鏡筒６が振動しても撮像素子面Ｃに結像される像が乱れることがないように駆動される。

図２及び図４に示すように、固定板１２は概ねドーナツ板状の形状を有し、その上に第１、第２、第３駆動用コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃが配置されている。図４に示すように、これら３つの駆動用コイルは、その中心が、レンズユニット２の光軸を中心とする円周上にそれぞれ配置されている。本実施形態においては、第１駆動用コイル２０ａは光軸の鉛直下方に配置され、第２駆動用コイル２０ｂは光軸に対して水平方向に配置され、駆動用コイル２０ｃは、第１駆動用コイル２０ａ及び第２駆動用コイル２０ｂから夫々中心角１３５゜隔てた位置に配置されている。従って、第１駆動用コイル２０ａと第２駆動用コイル２０ｂの間は中心角９０゜、第２駆動用コイル２０ｂと第３駆動用コイル２０ｃの間は中心角１３５゜、駆動用コイル２０ｃと２０ａの間は中心角１３５゜隔てられていることになる。

第１、第２、第３駆動用コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃは、夫々、その巻線が角の丸い矩形状に巻かれている。第１、第２駆動用コイル２０ａ、２０ｂは、概ね矩形状であり、その長辺を横切る中心線が、Ｙ軸、Ｘ軸と夫々一致するように配置されている。即ち、第１、第２駆動用コイル２０ａ、２０ｂは、像振れ防止用レンズの光軸Ａを中心とする円の接線方向の長さが、半径方向の長さよりも長く、その長辺が接線方向に向けられている。また、第３駆動用コイル２０ｃは、第１、第２駆動用コイルよりも小型の概ね長方形状であり、その短辺を横切る中心線が、光軸Ａを中心とする円の半径方向に向くように配置されている。

図２及び図３に示すように、移動枠１４は概ねドーナツ板状の形状を有し、中央の開口には、像振れ防止用レンズ１６が取り付けられている。また、移動枠１４の中央開口の周囲には、像振れ防止用レンズ１６を取り囲むように、円筒状の周囲壁部１４ａが形成されている。この周囲壁部１４ａの外周面の４箇所には、周囲壁部１４ａを切り欠くことにより形成された係止用当接面１４ｂが形成されている。係止用当接面１４ｂは、周囲壁部１４ａの外周面に等間隔に凹部を形成することにより構成された平面である。係止用当接面１４ｂの詳細については後述する。

また、移動枠１４上の円周の、第１、第２、第３駆動用コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃに対応する位置には、第１、第２、第３駆動用磁石２２ａ、２２ｂ、２２ｃが夫々配置されている。第１、第２駆動用磁石２２ａ、２２ｂは、概ね長方形状であり、その長辺を横切る中心線が、Ｙ軸、Ｘ軸と夫々一致するように配置されている。また、第１、第２駆動用磁石２２ａ、２２ｂは、その短辺を横切る中心線が着磁境界線Ｃとなるように着磁されている。第３駆動用コイル２０ｃは、第１、第２駆動用磁石よりも小型の概ね長方形状であり、その長辺を横切る中心線が、円周の半径方向と一致するように配置されている。また、第３駆動用磁石２２ｃは、その長辺を横切る中心線が着磁境界線Ｃとなるように着磁されている。即ち、第１、第２駆動用磁石２２ａ、２２ｂは着磁境界線Ｃが光軸Ａを中心とする円の接線方向に向くように、第３駆動用磁石２２ｃは着磁境界線Ｃが円の半径方向に向くように夫々配置されている。

図２に示すように、第１駆動用磁石２２ａの着磁境界線Ｃは、長方形の第１駆動用磁石２２ａの各短辺の中点を通るように位置すると共に、第１駆動用磁石２２ａの厚さ方向にも極性が変化している。本実施形態においては、図２における左下の角がＳ極、右下がＮ極、左上がＮ極、右上がＳ極になっている。また、第２駆動用磁石２２ｂも同様に着磁されており、移動枠１４への取り付け方向が９０゜回転されている（図３）。なお、本明細書において、着磁境界線Ｃとは、駆動用磁石の両端を夫々Ｓ極、Ｎ極としたとき、その中間のＳ極からＮ極に極性が変化する点を連ねた線を言うものとする。

このように着磁されていることにより、第１、第２駆動用磁石２２ａ、２２ｂは、主に長方形の第１、第２駆動用コイル２０ａ、２０ｂの長辺の部分に磁気を及ぼす。これにより、第１駆動用コイル２０ａに電流が流れると、第１駆動用磁石２２ａとの間にＹ軸に沿った鉛直方向の駆動力が発生し、第２駆動用コイル２０ｂに電流が流れると、第２駆動用磁石２２ｂとの間にＸ軸に沿った水平方向の駆動力が発生する。

即ち、第１駆動用コイル２０ａ及び第１駆動用磁石２２ａにより構成される第１駆動手段による駆動力の作用線は、像振れ防止用レンズ１６の概ね半径方向に向けられ、第２駆動用コイル２０ｂ及び第２駆動用磁石２２ｂにより構成される第２駆動手段による駆動力の作用線は、第１駆動手段による駆動力の作用線とほぼ直交すると共に、像振れ防止用レンズ１６の概ね半径方向に向けられる。

一方、図３に示すように、第３駆動用磁石２２ｃは、着磁境界線Ｃが光軸Ａを中心とする円の半径方向に向くように配置されている。第３駆動用コイル２０ｃの半径方向に向けられた部分に第３駆動用磁石２２ｃの磁気が及ぼされると、第３駆動用コイル２０ｃに電流が流れたとき駆動力が発生する。この駆動力は、第３駆動用磁石２２ｃとの間に光軸Ａを中心とする円の接線方向に作用する。第３駆動手段を構成する第３駆動用コイル２０ｃ及び第３駆動用磁石２２ｃは、第１、第２駆動用コイル及び第１、第２駆動用磁石よりも小型に構成されているため、駆動用コイルに同一の電流が流れた場合に第３駆動手段が発生する駆動力は、第１、第２駆動手段が発生する駆動力よりも小さくなる。

また、本実施形態においては、防振アクチュエータ１０の可動部分（移動枠１４、像振れ防止用レンズ１６、及び各駆動用磁石）の重心はほぼ光軸Ａ上に位置するため、光軸Ａを中心とする円の半径方向に向けられた第１駆動手段の駆動力により、移動枠１４は鉛直方向にほぼ正確に並進移動される。同様に、第２駆動手段の駆動力により、移動枠１４は水平方向にほぼ正確に並進移動される。第３駆動手段は、移動枠１４の並進移動に伴って生じる僅かな回転移動を抑制するように設けられているため、第３駆動手段が発生する必要のある駆動力は、第１、第２駆動手段よりも小さなものである。

図２及び図４に示すように、各駆動用コイルの内側には、第１磁気センサ２４ａ、第２磁気センサ２４ｂ、第３磁気センサ２４ｃが夫々配置されている。第１、第２、第３磁気センサ２４ａ、２４ｂ、２４ｃは、第１、第２、第３駆動手段が発生する駆動力の作用線に平行な方向の、固定板１２に対する移動枠１４の位置を測定するように構成されている。また、各磁気センサは、移動枠１４が中立位置にあるとき、その感度中心点Ｓが、各駆動用磁石２２の磁気的中立軸線Ｃ上に位置するように配置されている。本実施形態においては、磁気センサとしてホール素子を使用している。

磁気センサからの出力信号は、磁気センサの感度中心点Ｓが駆動用磁石の着磁境界線Ｃ上に位置する場合には０であり、駆動用磁石が移動し、磁気センサ感度中心点Ｓが駆動用磁石の着磁境界線Ｃ上から外れると、磁気センサの出力信号が変化する。駆動用磁石の移動量が微小である、防振アクチュエータ１０の通常の作動中においては、駆動用磁石の着磁境界線Ｃに直交する方向の移動距離にほぼ比例した信号が出力される。

このため、第１磁気センサ２４ａは移動枠１４のＹ軸方向の並進移動量にほぼ比例した信号を出力し、第２磁気センサ２４ｂは移動枠１４のＸ軸方向の並進移動量にほぼ比例した信号を出力する。また、第３磁気センサ２４ｃは移動枠１４の移動の、回転移動成分を多く含む信号を出力する。これら第１、第２、第３磁気センサ２４ａ、２４ｂ、２４ｃによって検出された信号に基づいて、移動枠１４が固定枠１２に対して並進移動及び回転移動した位置を特定することができる。

図２及び図４に示すように、３つのスチールボール１８は、固定枠１２と移動枠１４の間に挟持され、光軸Ａを中心とする円の円周上に夫々、中心角１２０゜の間隔を隔てて配置されている。固定枠１２には、各スチールボール１８に対応する位置に凹部３０が形成されている。また、移動枠１４には、各スチールボール１８に対応する位置に凹部３１が形成されている。各スチールボール１８は、これらの凹部３０、３１の中に配置され、脱落が防止される。また、後述するように、移動枠１４は駆動用磁石により固定板１２に吸着されるので、各スチールボール１８は固定板１２と移動枠１４の間に挟持される。これにより、移動枠１４は固定板１２に平行な平面上に支持され、各スチールボール１８が挟持されながら転がることによって、移動枠１４の固定板１２に対する任意の方向の並進運動及び回転運動が許容される。

図２に示すように、吸着用ヨーク２６は概ね長方形板状であり、固定板１２の、各駆動用コイルの裏側に夫々取り付けられている。各駆動用磁石がこれらの各吸着用ヨーク２６に及ぼす磁力により、移動枠１４は固定板１２に吸着される。

次に、図５乃至図７を参照して、防振アクチュエータ１０の可動部係止機構を説明する。
図５乃至図７に示すように、防振アクチュエータ１０の可動部係止機構は、アーム支持板４０と、このアーム支持板４０に回動可能に取り付けられた４本の係止用アーム４２と、これらの係止用アーム４２を駆動するためのアーム駆動板４４と、このアーム駆動板４４を回転駆動するための駆動モータ４６と、この駆動モータ４６を支持するためのモータ支持板４８と、を有する。

アーム支持板４０は、レンズ鏡筒６内に固定されたドーナツ板状の部材である。アーム支持板４０は、その中央の開口部を通して、移動枠１４の周囲壁部１４ａが突出するように配置されている。また、アーム支持板４０には、光軸Ａを中心とする円周上に配置された４つのアーム軸受４０ａが形成されている。これらのアーム軸受４０ａが、各係止用アーム４２のアーム軸４２ａを回動可能に受け入れることにより、４本の係止用アーム４２はアーム支持板４０によって回動可能に支持される。

係止用アーム４２は、アーム支持板４０と平行に延びる細長いアーム本体部４２ｂと、このアーム本体部４２ｂの一方の端部からアーム支持板４０に向けて延びるアーム軸４２ａと、アーム本体部４２ｂのもう一方の端部から、アーム軸４２ａとは反対の方向に延びるカムフォロワ突起４２ｃと、アーム本体部４２ｂの中間部に形成された可動部係止機構の当接部であるアーム当接部４２ｄと、を有する。

アーム軸４２ａは、アーム本体部４２ｂの一方の端部から、アーム支持板４０に向けて光軸Ａ方向に延びる円柱状の部分であり、アーム支持板４０のアーム軸受４０ａに回動可能に受け入れられる。これにより、係止用アーム４２は、アーム支持板４０と平行な平面内（光軸Ａと直交する平面内）で、アーム軸受４０ａを中心に回動可能に支持される。一方、アーム支持板４０の中央開口部からは、像振れ防止用レンズ１６を取り囲むように形成された移動枠１４の周囲壁部１４ａが突出しているので、４つの係止用アーム４２は、像振れ防止用レンズ１６及び周囲壁部１４ａの周囲に配置されることになる。

カムフォロワ突起４２ｃは、アーム本体部４２ｂの、アーム軸４２ａとは反対側の端部に形成され、アーム本体部４２ｂから、光軸Ａ方向に、アーム軸４２ａとは反対の方向に延びる円柱状の部分である。なお、カムフォロワ突起４２ｃはアーム駆動板４４に設けられたカム溝４４ａに受け入れられ、カムフォロワ突起４２ｃがカム溝４４ａに沿って移動されることにより、係止用アーム４２が回動される。

アーム当接部４２ｄは、アーム本体部４２ｂの、中間部分に形成されている。図７に示すように、アーム当接部４２ｄは、アーム支持板４０と平行な平面内で、光軸Ａを中心とする円の半径方向内方に突出している。アーム当接部４２ｄは、移動枠１４の係止状態において、移動枠１４に設けられている係止用当接面１４ｂと当接することにより、移動枠１４が移動し得る範囲を所定の係止時可動範囲内に制限するように構成されている。厳密には、移動枠１４は、各アーム当接部４２ｄによって「緩み」をもって係止されているので、各係止用アーム４２が図７に示すように係止位置に移動された状態にあっても、係止時可動範囲内において、微少距離移動することができる。

図６に示すように、アーム駆動板４４は、アーム支持板４０と平行に配置されたドーナツ板状の部材である。また、アーム駆動板４４は、レンズ鏡筒６内で光軸Ａを中心に回動可能に支持されている。アーム駆動板４４の、アーム支持板４０と対向する面には、４本のカム溝４４ａが形成されている。各カム溝４４ａは、各係止用アーム４２のカムフォロワ突起４２ｃを受け入れるように構成されている。

各カム溝４４ａは、光軸Ａを中心とする円の概ね円周方向に延びる細長い溝であり、各カム溝４４ａの一方の端部は光軸Ａを中心とする円の半径方向内方に位置し、他方の端部は半径方向外方に位置している。このため、各カム溝４４ａが各カムフォロワ突起４２ｃを受け入れた状態でアーム駆動板４４が回動されることにより、各係止用アーム４２はアーム軸４２ａを中心に回動される。即ち、カムフォロワ突起４２ｃがカム溝４４ａの半径方向内方に位置する部分に受け入れられている時は、カムフォロワ突起４２ｃ及びアーム当接部４２ｄは半径方向内方に位置し、移動枠１４は係止状態となる。また、アーム駆動板４４が回動され、カムフォロワ突起４２ｃがカム溝４４ａの半径方向外方に位置する部分に受け入れられた状態になると、カムフォロワ突起４２ｃ及びアーム当接部４２ｄは半径方向外方に移動され、移動枠１４の係止が解除される。

さらに、アーム駆動板４４外周の一部には、鋸歯状の歯４４ｂが形成されている。この歯４４ｂが駆動モータ４６の出力軸に取り付けられた歯車４６ａと噛み合うことにより、アーム駆動板４４は駆動モータ４６により回転駆動される。

モータ支持板４８は、レンズ鏡筒６内に固定されたドーナツ板状の部材であり、駆動モータ４６の出力軸に取り付けられた歯車４６ａが、アーム駆動板４４に設けられた歯４４ｂと噛み合うように、駆動モータ４６を所定の位置に支持している。

次に、図８乃至図１６を参照して、本発明の第１実施形態による防振アクチュエータ１０の製造方法、及びそれを備えたレンズユニット２の製造方法を説明する。図８は、本実施形態によるレンズユニット２の製造手順を示すフローチャートである。図９乃至図１６は、本実施形態によるレンズユニット２の調整手順を説明するための図であり、像振れ防止用レンズ１６の位置を模式的に示している。

まず、図８のステップＳ１においては、防振アクチュエータ１０が組み立てられる。即ち、第１、第２、第３駆動用コイル、第１、第２、第３磁気センサ等が取り付けられた固定板１２に、第１、第２、第３駆動用磁石等が取り付けられた移動枠１４を組み付ける。この際、固定板１０と移動枠１４の間に挟持されるように、これらの部材の間に３つのスチールボール１８を配置する。次に、アーム支持板４０とアーム駆動板４４の間に４本の係止用アーム４２を配置し、更に、駆動モータ４６が取り付けられたモータ支持板４８を取り付けることにより、可動部係止機構を組み立てる。組み立てられた可動部係止機構を、固定板１２に取り付けることにより、防振アクチュエータ１０が組み立てられる。
ステップＳ２においては、撮像用レンズ８、防振アクチュエータ１０等をレンズ鏡筒６の内部に配置することにより、レンズユニット２が組み立てられる。

次に、ステップＳ３乃至Ｓ１１においては、防振アクチュエータ１０が調整される。
まず、ステップＳ３においては、防振アクチュエータ１０の移動枠１４が重力により移動されないように、組み立てられたレンズユニット２を水平に配置する。この状態においては、可動部係止機構による係止が行われていないため、図９に示すように、移動枠１４は、その可動端まで移動することができ、移動枠１４に取り付けられた像振れ防止用レンズ１６は、概ね図中の破線で示す範囲で移動することができる。一方、図１０に示すように、係止状態においては、移動枠１４は各係止用アーム４２により係止されるが、この状態においても若干の「緩み」（ガタ）があり、像振れ防止用レンズ１６は、概ね図１０に破線で示す係止時可動範囲Ｒ内で移動することができる。なお、図１０においては、係止時可動範囲Ｒは説明のために大きく描かれており、実際には、係止時可動範囲Ｒ内での移動量は最大でも数十μｍのオーダーである。

次に、ステップＳ４においては、移動枠１４を、並進移動のみ可能な状態に制御する。具体的には、Ｙ軸方向、Ｘ軸方向（図４）の駆動力を夫々発生させるための第１駆動用コイル２０ａ、第２駆動用コイル２０ｂには通電せず、第１磁気センサ２４ａにより第１駆動用磁石２２ａのＹ軸方向の位置を検出し、第２磁気センサ２４ｂにより第２駆動用磁石２２ｂのＸ軸方向の位置を検出する状態とする。ここで、第１、第２磁気センサによって夫々検出された位置を夫々ｙ、ｘとする。この状態において、第３磁気センサ２４ｃによって検出される第３駆動用磁石２２ｃのＶ軸方向（図４）の変位ｖが、

となるように、第３駆動用コイル２０ｃに電流を流し、第３駆動用コイル２０ｃと第３駆動用磁石２２ｃの間に駆動力を発生させる。

これにより、移動枠１４は、光軸Ａの周りの回転が規制され、並進運動のみ可能な状態となる。即ち、移動枠１４が並進移動されている状態においては、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｖ軸方向の変位には、常に数式（１）の関係が成り立っている。従って、検出された変位ｘ、ｙに対して、変位ｖを数式（１）の関係を満たすように制御することにより、移動枠１４の回転が規制され、移動枠１４は並進移動のみが許容される。移動枠１４をこのように制御することにより、図１１に示すように回転されていた移動枠１４が、図１２に示すように移動枠１４の回転角が０に規制され、移動枠１４は、この回転位置を保持したまま並進移動可能な状態にされる。

ステップＳ５においては、ステップＳ４における制御を維持したまま、可動部係止機構を係止状態にする。即ち、各係止用アーム４２を半径方向内方に移動させる。これにより、非係止状態において係止時可動範囲Ｒの外に位置していた移動枠１４は、何れかの係止用アーム４２に押され、移動枠１４は回転位置を維持しながら、係止時可動範囲Ｒ内に並進移動される。この状態においては、図１３に示すように、像振れ防止用レンズ１６は係止時可動範囲Ｒの端部に位置する。以後の防振アクチュエータ１０の調整は、可動部係止機構を係止状態にしたままで行われる。

次に、ステップＳ６においては、ステップＳ４における制御を維持したまま、第２駆動用コイル２０ｂに微弱な電流が流される。この電流は、各磁気センサによって検出された位置をフィードバックすることにより決定されるものではなく、予め設定された一定の電流である。この電流により、図１４に示すように、移動枠１４は回転位置を維持したまま第１の方向であるＸ軸方向に並進移動され、移動枠１４の係止用当接面１４ｂが係止用アーム４２のアーム当接部４２ｄに当接した状態で停止する。第２磁気センサ２４ｂは、この状態における第２駆動用磁石２２ｂのＸ軸方向の位置ｘ１を測定し、この位置ｘ１は記憶部３６ａに記憶される。

次に、第２駆動用コイル２０ｂには、逆方向の微弱な電流が流される。この電流により、移動枠１４はＸ軸方向に、反対方向に並進移動され、移動枠１４は、当接していた係止用アーム４２とは反対側の係止用アーム４２に当接した状態で停止する。第２磁気センサ２４ｂは、この状態における第２駆動用磁石２２ｂのＸ軸方向の位置ｘ２を測定し、この位置ｘ２は記憶部３６ａに記憶される。このように、ステップＳ６においては、移動枠１４がＸ軸方向に移動可能な範囲が測定される。

ステップＳ７においては、位置ｘ１と位置ｘ２の中央の位置ｘ０が、コントローラ３６により計算され、計算された位置ｘ０は記憶部３６ａに記憶される。
次に、ステップＳ８においては、まず、移動枠１４の回転位置を規制すると同時に、移動枠１４のＸ軸方向の位置を、ステップＳ７において計算された位置ｘ０に規制する。即ち、第３駆動用コイル２０ｃに対しては、第３磁気センサ２４ｃによって検出されるＶ軸方向の位置が、数式（１）で計算される変位ｖとなるように電流が制御され、第２駆動用コイル２０ｂに対しては、第２磁気センサ２４ｂによって検出されるＸ軸方向の位置が位置ｘ０となるように電流が制御される。上記のように、この位置ｘ０は移動枠１４のＸ軸方向の可動範囲の中央の位置である。これにより、移動枠１４は、Ｘ軸方向の位置が可動範囲の中央の位置ｘ０に固定された状態で、並進移動されるようになる。

さらに、ステップＳ８において、第１駆動用コイル２０ａに微弱な電流が流される。この電流は、各磁気センサによって検出された位置をフィードバックすることにより決定されるものではなく、予め設定された一定の電流である。この電流により、図１５に示すように、移動枠１４は回転位置及びＸ軸方向の位置ｘ０を維持したまま、Ｘ軸方向と直交する第２の方向であるＹ軸方向に並進移動され、移動枠１４の係止用当接面１４ｂが係止用アーム４２のアーム当接部４２ｄに当接した状態で停止する。第１磁気センサ２４ａは、この状態における第１駆動用磁石２２ａのＹ軸方向の位置ｙ１を測定し、この位置ｙ１は記憶部３６ａに記憶される。

次に、第１駆動用コイル２０ａには、逆方向の微弱な電流が流される。この電流により、移動枠１４はＹ軸方向に、反対方向に並進移動され、移動枠１４は、当接していた係止用アーム４２とは反対側の係止用アーム４２に当接した状態で停止する。第１磁気センサ２４ａは、この状態における第１駆動用磁石２２ａのＹ軸方向の位置ｙ２を測定し、この位置ｙ２は記憶部３６ａに記憶される。このように、ステップＳ８においては、移動枠１４がＹ軸方向に移動可能な範囲が測定される。

ステップＳ９においては、位置ｙ１と位置ｙ２の中央の位置ｙ０が、コントローラ３６により計算され、計算された位置ｙ０は記憶部３６ａに記憶される。
次に、ステップＳ１０においては、移動枠１４の回転位置を規制すると同時に、移動枠１４のＹ軸方向の位置を、ステップＳ９において計算された位置ｙ０に規制する。なお、ステップＳ１０においては、移動枠１４のＸ軸方向の位置に対する制御は解除される。さらに、ステップＳ１０においては、ステップＳ６と同様に、第２駆動用コイル２０ｂに微弱な電流が流される。上記のように、位置ｙ０は移動枠１４のＹ軸方向の可動範囲の中央の位置である。これにより、移動枠１４は回転位置及びＹ軸方向の可動範囲の中央の位置ｙ０を維持したままＸ軸方向に並進移動され、移動枠１４の係止用当接面１４ｂが係止用アーム４２のアーム当接部４２ｄに当接した状態で停止する。第２磁気センサ２４ｂは、この状態における第２駆動用磁石２２ｂのＸ軸方向の位置ｘ１を新たに測定し、この位置ｘ１は記憶部３６ａに記憶される。

さらに、第２駆動用コイル２０ｂには逆方向の微弱な電流が流され、移動枠１４はＸ軸方向に、反対方向に並進移動され、移動枠１４は、反対側の係止用アーム４２に当接した状態で停止する。第２磁気センサ２４ｂは、この状態における第２駆動用磁石２２ｂのＸ軸方向の位置ｘ２を新たに測定し、この位置ｘ２は記憶部３６ａに記憶される。このように、ステップＳ１０においては、移動枠１４がＸ軸方向に移動可能な範囲が再び測定される。

ステップＳ１１においては、新たに測定された位置ｘ１と位置ｘ２の中央の位置ｘ０が、コントローラ３６により新たに計算され、計算された位置ｘ０は記憶部３６ａに記憶される。このようにして計算された位置ｘ０、及びステップＳ９において計算された位置ｙ０は、記憶部３６ａの電気消去可能プログラマブル読出し専用メモリー（ＥＥＰＲＯＭ）に、可動部初期位置として記憶され、レンズユニット２の実使用時における制御に利用される。このように、可動部初期位置は、Ｘ軸方向における移動可能な範囲内且つＹ軸方向における移動可能な範囲内の位置に決定される。また、このようにして求められた位置（ｘ０、ｙ０）は、図１６に示すように、数十μｍのオーダーの移動のみ許容される係止時可動範囲Ｒ内におけるほぼ中心に位置する。移動枠１４は、この可動部初期位置である位置（ｘ０、ｙ０）に移動されると、係止状態においても、各係止用アーム４２のアーム当接部４２ｄと、移動枠１４の各係止用当接面１４ｂとの間には、微少な隙間が存在する状態となる。

なお、防振アクチュエータ１０の調整において、ステップＳ８乃至Ｓ１１の工程を複数回繰り返し、最終的に計算された位置（ｘ０、ｙ０）を可動部初期位置とすることもできる。或いは、ステップＳ１０及びＳ１１の工程を省略することもできる。

また、上述した実施形態においては、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の可動範囲夫々の中央の位置（ｘ０、ｙ０）を可動部初期位置としていたが、各方向の可能範囲内であれば、任意の位置に可動部初期位置を設定することができる。各方向の可能範囲内に可動部初期位置を設定することにより、移動枠１４が可動部初期位置に移動された際の、移動枠１４と係止用アーム４２（可動部係止機構の当接部）との接触を回避することができる。

次に、図１を参照して、本発明の第１実施形態によるカメラ１の作用を説明する。まず、カメラ１の手ブレ防止機能の起動スイッチ（図示せず）をＯＮにすることにより、レンズユニット２に備えられた防振アクチュエータ１０が作動される。レンズユニット２に取り付けられたジャイロ３４は、所定周波数帯域の振動を時々刻々検出し、コントローラ３６に内蔵された演算回路（図示せず）に出力する。ジャイロ３４は角速度の信号を演算回路に出力し、演算回路は、入力された角速度信号を時間で積分して、振れ角度を算出し、これに所定の修正信号を加えてレンズ位置指令信号を生成する。演算回路によって時系列で出力されるレンズ位置指令信号によって指令される位置に追従するように像振れ防止用レンズ１６を移動させることにより、カメラ本体４のフィルム面Ｆに合焦される像が安定化される。

コントローラ３６は、各磁気センサの検出信号と、各方向のレンズ位置指令信号の差に応じた電流を各駆動用コイルに流す。各駆動用コイルに電流が流れると電流に比例した磁界が発生する。この磁界により第１、第２、第３駆動用磁石２２ａ、２２ｂ、２２ｃに対応して配置された第１、第２、第３駆動用コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃは夫々駆動力を受け、移動枠１４が移動される。移動枠１４が駆動力によって移動され、各駆動用コイルがレンズ位置指令信号により指定された位置に到達すると、駆動力は０になる。また、外乱、又は、レンズ位置指令信号の変化等により、移動枠１４がレンズ位置指令信号により指定された位置から外れると、再び各駆動用コイルに電流が流され、移動枠１４はレンズ位置指令信号により指定された位置に戻される。

以上の作用が時々刻々繰り返されることにより、移動枠１４に取り付けられた像振れ防止用レンズ１６が、レンズ位置指令信号に追従するように移動される。これにより、カメラ本体４の撮像素子面Ｃに合焦される像が安定化される。

次に、カメラ１の手ブレ防止機能の起動スイッチ（図示せず）がＯＦＦにされると、コントローラ３６は移動枠１４を可動部係止位置に位置決めし、係止する。即ち、コントローラ３６は、駆動モータ４６に信号を送り、歯車４６ａを回転させる。歯車４６ａが回転されると、アーム駆動板４４が図６における時計回りに回転される。アーム駆動板４４が時計回りに回転されると、カム溝４４ａの半径方向外方の部分に受け入れられていたカムフォロワ突起４２ｃが、カム溝４４ａの半径方向内方の部分に受け入れられるようになり、これにより係止用アーム４２がアーム係止位置に回動され、カムフォロワ突起４２ｃ及びアーム当接部４２ｄが半径方向内方に移動される。図７に示すように、アーム当接部４２ｄが半径方向内方に移動されると、像振れ防止用レンズ１６（移動枠１４）が移動し得る範囲が、係止時可動範囲Ｒに制限され、移動枠１４が係止される。

ここで、移動枠１４が係止された状態においては、各駆動用コイルに対する通電が停止される。また、移動枠１４は係止時可動範囲Ｒ内で僅かに移動することができるものの、像振れ防止用レンズ１６の光軸は他の撮像用レンズ８の光軸と概ね一致した状態となる。

次に、カメラ１の手ブレ防止機能の起動スイッチ（図示せず）がＯＮにされると、コントローラ３６は各駆動用コイルに電流を流し、移動枠１４を記憶部３６ａに記憶されている可動部初期位置（ｘ０、ｙ０）に移動させる。上記のように、この可動部初期位置（ｘ０、ｙ０）は、レンズユニット２の製造時において予め調整され、記憶部３６ａに記憶させておいた位置である。この可動部初期位置（ｘ０、ｙ０）に移動枠１４が移動されると、非常に狭い係止時可動範囲Ｒの中で、移動枠１４は何れの係止用アーム４２とも接触しない状態となる。

次いで、コントローラ３６は駆動モータ４６に信号を送り、歯車４６ａを回転させ、アーム駆動板４４を図６における反時計回りに回転させる。アーム駆動板４４が反時計回りに回転されると、カム溝４４ａの半径方向内方の部分に受け入れられていたカムフォロワ突起４２ｃが、カム溝４４ａの半径方向外方の部分に受け入れられるようになり、これにより係止用アーム４２が回動され、カムフォロワ突起４２ｃ及びアーム当接部４２ｄが半径方向外方に移動される。アーム当接部４２ｄが半径方向外方に移動されると、各アーム当接部４２ｄは対向する係止用当接面１４ｂから離れ、移動枠１４の係止が解除される。即ち、移動枠１４は非係止状態となる。

この際、各駆動用コイルには通電されており、移動枠１４は可動部初期位置（ｘ０、ｙ０）に位置するように制御されているので、係止が解除された際に移動枠１４が重力により落下することはない。また、係止状態が解除される直前において、移動枠１４は、何れの係止用アーム４２とも接触しない状態に制御されているので、係止が解除された際に、駆動力により移動枠１４が大きく移動されることはなく、円滑に像振れ防止制御に移行することができる。即ち、係止状態が解除される直前に、移動枠１４が何れかの係止用アーム４２と接触する位置に制御されている場合には、移動枠１４は、駆動力により係止用アーム４２のアーム当接部４２ｄに押し付けられた状態となっている。この状態において、係止が解除されると、移動枠１４に作用する駆動力と拮抗していたアーム当接部４２ｄからの反力が急に作用しなくなるので、移動枠１４は目標としていた位置を通り過ぎて大きく移動され、ファインダーに形成される像が大きく乱れてしまう。本実施形態のカメラによれば、このような不具合を回避することができる。

なお、係止状態において移動枠１４が移動することができる係止時可動範囲Ｒは非常に狭い領域であり、この係止時可動範囲Ｒは可動部係止機構を構成する各部品の寸法精度等の影響を受ける。一方、像振れ防止制御の開始時において移動枠１４を移動させる初期位置の位置決め精度は、各駆動用磁石、各磁気センサ等の寸法精度、位置精度、個体差等の影響を受ける。従って、本実施形態によるレンズユニット２の製造方法のような、製造時における調整を行っていない場合には、係止状態において移動枠１４が各係止用アーム４２と接触しない位置に移動枠１４を位置決めすることは極めて困難である。このような位置決めは、非像振れ防止制御時における画質を向上させるために、係止時可動範囲Ｒが狭く設計されている場合には特に困難になる。

さらに、本実施形態のレンズユニット２においては、可動部初期位置（ｘ０、ｙ０）が係止時可動範囲Ｒの略中央に調整されているので、経年変化等により、係止時可動範囲Ｒが変化した場合においても、移動枠１４と各係止用アーム４２の接触を確実に防止することができる。

本発明の第１実施形態の防振アクチュエータ１０によれば、像振れ防止制御の開始時において、移動枠１４は、予め調整を行うことにより決定された係止時可動範囲Ｒ内の可動部初期位置（ｘ０、ｙ０）に移動される（図１６）。このため、像振れ防止制御の開始時において、係止状態では移動枠１４を移動させることができない位置を目標位置として、移動枠１４が制御されるのを防止することができ、これに伴う不具合を回避することができる。これにより、本実施形態の防振アクチュエータ１０によれば、係止状態における「緩み」を小さく設計した場合においても、円滑に像振れ防止制御に移行することができる。

また、本実施形態の防振アクチュエータ１０によれば、可動部初期位置（ｘ０、ｙ０）が、移動枠１４と係止用アーム４２のアーム当接部４２ｄ（可動部係止機構の当接部）が接触しない位置に決定されているので、係止状態において可動部初期位置（ｘ０、ｙ０）に移動された移動枠１４と、アーム当接部４２ｄとの間で力を及ぼし合うことがなく、係止状態が解除された際に、制御力により移動枠１４の位置が大きくオーバーシュートして行き過ぎるのを防止することができる。

本発明の第１実施形態によるレンズユニットの製造方法によれば、可動部初期位置が、実際に測定されたＸ軸、Ｙ軸方向における移動可能な範囲内（ｘ１〜ｘ２、ｙ１〜ｙ２）に決定されので、係止状態において移動枠１４が移動することができない位置に可動部初期位置（ｘ０、ｙ０）が設定されることがない。このため、像振れ防止制御の開始時において、係止状態では移動枠１４を移動させることができない位置を目標位置として、移動枠１４が制御されるのを防止することができ、これに伴う不具合を回避することができる。また、本実施形態の製造方法によれば、可動部係止機構の種々の部品（アーム支持板４０、係止用アーム４２、アーム駆動板４４）の寸法精度、位置決め精度等の影響を受ける可動部の係止時可動範囲Ｒを、レンズユニット２が組み立てられた状態で測定することができるので、正確に可動部初期位置を決定することができる。

本実施形態のレンズユニットの製造方法によれば、可動部初期位置が、Ｘ軸、Ｙ軸方向における移動可能な範囲（ｘ１〜ｘ２、ｙ１〜ｙ２）の中央（ｘ０、ｙ０）に決定されるので、可動部初期位置を、移動枠１４が係止用アーム４２（可動部係止機構）に最も接触しにくい位置に決定することができる。これにより、経年変化等により係止時可動範囲Ｒが変化した場合においても、移動枠１４と係止用アーム４２の接触を確実に防止することができる。

また、本実施形態のレンズユニットの製造方法によれば、調整段階において、可動部の回転が規制されている（図８、ステップＳ４）ので、係止時可動範囲Ｒの測定時（図８、ステップＳ６、Ｓ８、Ｓ１０）において、移動枠１４が常に同じ姿勢で係止用アーム４２のアーム当接部４２ｄに当接し、係止時可動範囲を正確に測定することができる。

次に、図１７乃至図１９を参照して、本発明の第２実施形態によるカメラを説明する。本実施形態によるカメラは、内蔵されている防振アクチュエータの構成、特に、可動部係止機構の構成が上述した第１実施形態とは異なっている。従って、ここでは、本実施形態の、第１実施形態とは異なる点のみを説明し、同様の構成、作用、効果については説明を省略する。

図１７は、本発明の第２実施形態によるカメラに内蔵されている防振アクチュエータの可動部を示す正面図である。図１８は、防振アクチュエータの可動部の係止が解除された状態を示す図である。図１９は、防振アクチュエータの可動部の係止状態を示す図である。

図１７に示すように、本実施形態における防振アクチュエータの可動部である移動枠１１４には、その中央部に像振れ防止用レンズ１１６が取り付けられている。また、移動枠１１４には、像振れ防止用レンズ１１６の周囲に、３つの駆動用コイル１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃが取り付けられている。本実施形態においては、移動枠１１４に３つの駆動用コイルが取り付けられる一方、これらに夫々向かい合う３つの駆動用磁石（図示せず）は固定板（図示せず）側に取り付けられている。このように、駆動用コイルと駆動用磁石の取り付けが反対になったことを除き、各駆動用コイル及び駆動用磁石の構成、配置、機能は第１実施形態と同様である。また、各駆動用コイル１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃの内側には、第１磁気センサ１２４ａ、第２磁気センサ１２４ｂ、第３磁気センサ１２４ｃが夫々配置されている。これらの磁気センサにより、固定板（図示せず）に対する移動枠１１４の位置が検出される。

さらに、移動枠１１４には、像振れ防止用レンズ１１６を取り囲むように、円筒状の周囲壁部１１４ａが形成されている。この周囲壁部１１４ａの外周面には、半径方向外方に突出するように４つの突起１１４ｂが設けられている。これらの突起１１４ｂは、周囲壁部１１４ａの外周面に等間隔に設けられ、それらの先端部が係止用当接面として機能する。

図１８に示すように、周囲壁部１１４ａの外側には、周囲壁部１１４ａを取り囲むように、係止用リング１４４が配置されている。この係止用リング１４４は、概ねドーナツ板状の部材であり、レンズ鏡筒（図示せず）の内部に、光軸を中心に回動可能に配置されている。この係止用リング１４４の外縁の一部には、歯１４４ａが形成されている。また、この歯１４４ａは、駆動モータ（図示せず）によって駆動される歯車１４６と係合されている。駆動モータを作動させることにより、係止用リング１４４は、図１８に示す係止解除位置から、図１９に示す係止位置へ回動される。これらの係止用リング１４４、歯車１４６、及び駆動モータ（図示せず）は、可動部係止機構を構成する。

さらに、係止用リング１４４の中央には、概ね円形の開口部１４４ｂが設けられており、この開口部１４４ｂの中に移動枠１１４の周囲壁部１１４ａが挿入されている。また、開口部１４４ｂには、周囲壁部１１４ａに設けられた４つの突起１１４ｂと向かい合う位置に、凹部１４４ｃが夫々設けられている。これらの凹部１４４ｃが設けられていることにより、係止用リング１４４が係止解除位置にある場合（像振れ防止制御時）には、係止用リング１４４が移動枠１１４と干渉することはない。

図１９に示すように、駆動モータ（図示せず）が作動され、係止用リング１４４が係止位置に回動されると、係止用リング１４４の各凹部１４４ｃは夫々移動され、移動枠１１４の各突起１１４ｂと向かい合わない状態になる。これにより、各突起１１４ｂと開口部１４４ｂの縁部は近接するようになり、移動枠１１４の移動し得る範囲が所定の係止時可動範囲内に制限され、移動枠１１４が係止される。図１９に示す係止状態において、移動枠１１４の各突起１１４ｂと向かい合う係止用リング１４４の内周面の部分は、夫々、可動部係止機構の当接部１４４ｄとして機能する。

また、本実施形態のレンズユニットの製造工程は、図８に示した第１実施形態におけるフローチャートと同様である。なお、本実施形態においては、図８のステップＳ５において、駆動モータ（図示せず）が作動され、係止用リング１４４が図１８に示す係止解除位置から、図１９に示す係止位置に回動されることにより、移動枠１１４が係止状態にされる。この際、移動枠１１４に対しては、その回転を規制する制御（図８のステップＳ４）が行われているため、移動枠１１４が係止用リング１４４と共に回動されてしまうことはない。

また、本実施形態においては、図８のステップＳ６乃至Ｓ１１における調整手順も第１実施形態と全く同様である。即ち、これらのステップでは、図１９に示す係止状態において、移動枠１１４をＸ軸方向、Ｙ軸方向に夫々移動させ、係止時可動範囲のほぼ中心である可動部初期位置（ｘ０、ｙ０）を計算し、その値が記憶部（図示せず）に記憶される。
本発明の第２実施形態の防振アクチュエータによれば、少ない部品点数で可動部係止機構を構成することができる。

以上、本発明の好ましい実施形態を説明したが、上述した実施形態に種々の変更を加えることができる。特に、上述した実施形態では、本発明をデジタルカメラに適用していたが、本発明は、フィルムカメラ、ビデオカメラ等、静止画又は動画撮像用の任意のカメラに適用することができる。また、本発明を、これらのカメラのカメラ本体と共に使用されるレンズユニットに適用することもできる。

また、上述した実施形態においては、移動枠１４は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の駆動力を発生させるための第１、第２駆動用コイル、及び光軸を中心とする円の接線方向の駆動力を発生させるための第３駆動用コイルにより駆動されていたが、駆動手段の配置は、適宜変更することができる。例えば、光軸を中心とする円の接線方向の駆動力を発生させるための３つの駆動用コイルを等間隔に配置したタイプの駆動手段や、円の半径方向の駆動力を発生させるための３つの駆動用コイルを等間隔に配置したタイプの駆動手段を備えた防振アクチュエータに、本発明を適用することもできる。

１ 本発明の実施形態のカメラ
２ レンズユニット
４ カメラ本体
６ レンズ鏡筒
８ 撮像用レンズ
１０ 防振アクチュエータ
１２ 固定板（固定部）
１４ 移動枠（可動部）
１４ａ 周囲壁部
１４ｂ 係止用当接面
１６ 像振れ防止用レンズ
１８ スチールボール（可動部支持手段）
２０ａ 第１駆動用コイル
２０ｂ 第２駆動用コイル
２０ｃ 第３駆動用コイル
２２ａ 第１駆動用磁石
２２ｂ 第２駆動用磁石
２２ｃ 第３駆動用磁石
２４ａ 第１磁気センサ（第１位置検出素子）
２４ｂ 第２磁気センサ（第２位置検出素子）
２４ｃ 第３磁気センサ（第３位置検出素子）
２６ 吸着用ヨーク
３０ 凹部
３１ 凹部
３４ ジャイロ
３６ コントローラ（制御部）
３６ａ 記憶部
４０ アーム支持板
４０ａ アーム軸受
４２ 係止用アーム
４２ａ アーム軸
４２ｂ アーム本体部
４２ｃ カムフォロワ突起
４２ｄ アーム当接部（当接部）
４４ アーム駆動板
４４ａ カム溝
４４ｂ 歯
４６ 駆動モータ
４６ａ 歯車
４８ モータ支持板
１１４ 移動枠（可動部）
１１４ａ 周囲壁部
１１４ｂ 突起
１１６ 像振れ防止用レンズ
１４４ 係止用リング
１４４ａ 歯
１４４ｂ 開口部
１４４ｃ 凹部
１４４ｄ 当接部
１４６ 歯車

Claims (4)

1. 像振れ防止制御を実行する防振アクチュエータを備えたレンズユニットの製造方法であって、
   撮像用レンズ及び防振アクチュエータをレンズ鏡筒の内部に配置する段階と、
   上記防振アクチュエータの可動部係止機構を、係止状態にする係止段階と、
   上記防振アクチュエータを調整する調整段階と、を有し、
   この調整段階が、
   上記防振アクチュエータの可動部を、上記係止状態において第１の方向に駆動し、上記可動部が上記第１の方向に移動可能な範囲を測定する第１方向測定段階と、
   上記防振アクチュエータの可動部を、上記係止状態において、上記第１の方向とは異なる第２の方向に駆動し、上記可動部が上記第２の方向に移動可能な範囲を測定する第２方向測定段階と、
   上記防振アクチュエータが像振れ防止制御を開始する際の、上記可動部の可動部初期位置を、上記第１の方向における移動可能な範囲内且つ上記第２の方向における移動可能な範囲内に決定し、記憶部に記憶させる記憶段階と、
   を備えることを特徴とするレンズユニットの製造方法。
2. 上記調整段階が、第１方向測定段階の後に、上記防振アクチュエータの可動部を上記第１の方向に移動可能な範囲の略中央に移動させる段階を、さらに有し、上記第２の方向は上記第１の方向に略直交する方向であり、上記記憶段階において、上記可動部初期位置が、上記第１の方向における移動可能な範囲の略中央且つ上記第２の方向における移動可能な範囲の略中央に決定される請求項１記載のレンズユニットの製造方法。
3. 上記調整段階が、上記可動部が並進移動のみ可能な状態に制御された状態で実行される請求項１又は２に記載のレンズユニットの製造方法。
4. 像振れ防止用レンズを移動させることにより像振れ防止制御を実行する、係止機構を備えた防振アクチュエータの製造方法であって、
   固定部、上記像振れ防止用レンズが取り付けられた可動部、及びこの可動部を係止する可動部係止機構を組み付ける段階と、
   上記可動部係止機構を、係止状態にする係止段階と、
   上記可動部を、上記係止状態において第１の方向に駆動し、上記可動部が上記第１の方向に移動可能な範囲を測定する第１方向測定段階と、
   上記可動部を、上記係止状態において、上記第１の方向とは異なる第２の方向に駆動し、上記可動部が上記第２の方向に移動可能な範囲を測定する第２方向測定段階と、
   上記防振アクチュエータが像振れ防止制御を開始する際の、上記可動部の可動部初期位置を、上記第１の方向における移動可能な範囲内且つ上記第２の方向における移動可能な範囲内に決定し、記憶部に記憶させる記憶段階と、
   を有することを特徴とする防振アクチュエータの製造方法。

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