JP5728064B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
示装置及びその作製方法に関する。
て薄膜トランジスタを構成する技術が注目されている。薄膜トランジスタはICや電気光
学装置のような電子デバイスに広く応用され、特に画像表示装置のスイッチング素子とし
て開発が急がれている。
たは多結晶半導体膜を用いた薄膜トランジスタ等が用いられている。多結晶半導体膜の形
成方法としては、パルス発振のエキシマレーザビームを光学系により線状に加工して、非
晶質半導体膜に対し線状ビームを走査させながら照射して結晶化する技術が知られている
。
に比べて移動度が2桁以上高く、表示装置の画素部とその周辺の駆動回路を同一基板上に
一体形成できるという利点を有している。しかし、非晶質半導体膜を用いた場合に比べて
、半導体膜の結晶化のために工程が複雑化するため、その分歩留まりが低減し、コストが
高まるという問題がある。
、微結晶半導体を用いた薄膜トランジスタが用いられている(特許文献1、特許文献2及
び特許文献3参照。)。
コン膜を成膜した後、その上面に金属膜を形成し、当該金属膜にダイオードレーザを照射
して、非晶質シリコン膜を微結晶シリコン膜に改質するものが知られている(例えば、非
特許文献1参照。)。この方法によれば、非晶質シリコン膜上に形成した金属膜は、ダイ
オードレーザの光エネルギーを熱エネルギーに変換するためのものであり、薄膜トランジ
スタの完成のためにはその後除去されるべきものであった。すなわち、金属膜からの伝導
加熱によってのみ非晶質半導体膜が加熱され、微結晶半導体膜を形成する方法である。
ル形成領域の結晶粒が酸化されると、結晶粒の表面に酸化膜が形成されてしまい、薄膜ト
ランジスタの電気特性が低下するという問題がある。また、微結晶半導体膜はアモルファ
スシリコン膜と比較して移動度が高いため、オン電流の増加と共にオフ電流も増加するお
それがある。
の電気特性を向上させることを課題の一とする。又は、トランジスタ及び当該トランジス
タを具備する表示装置の信頼性を向上させることを課題の一とする。
ート絶縁膜上に設けられ微結晶半導体を有する第1の半導体層と、第1の半導体層上に設
けられ非晶質半導体を有する第2の半導体層と、第2の半導体層上に設けられたソース領
域及びドレイン領域とを有し、第1の半導体層は第2の半導体層より結晶性が高く、第2
の半導体層は、ソース領域とドレイン領域の間に、ソース領域及びドレイン領域と異なる
導電型の不純物領域を有している。
領域の間に凹部を有する構成とすることができる。
イン領域の端部の下方にも形成されている構成とすることができる。
膜厚より薄い構成とすることができる。
p型である構成とすることができる。
晶質半導体が非晶質シリコンである構成とすることができる。
ト絶縁膜を形成し、ゲート絶縁膜上に、微結晶半導体を有する第1の半導体層と、非晶質
半導体を有する第2の半導体層と、一導電型を付与する不純物が添加された第3の半導体
層とを順に積層させて形成し、第3の半導体層上に導電膜を形成し、導電膜上にマスクを
選択的に形成し、マスクを用いて、導電膜と第3の半導体層をエッチングすることによっ
て、ソース電極及びドレイン電極とソース領域及びドレイン領域を形成し、マスクを用い
て、ソース領域及びドレイン領域と異なる導電型の不純物元素を導入することによって、
ソース領域とドレイン領域の間の第2の半導体層に不純物領域を形成する。
ト絶縁膜を形成し、ゲート絶縁膜上に、微結晶半導体を有する第1の半導体層と、非晶質
半導体を有する第2の半導体層と、一導電型を付与する不純物が添加された第3の半導体
層とを順に積層させて形成し、第3の半導体層上に導電膜を形成し、導電膜上にマスクを
選択的に形成し、マスクを用いて、導電膜と第3の半導体層をエッチングすることによっ
て、ソース電極及びドレイン電極とソース領域及びドレイン領域を形成し、ソース電極及
びドレイン電極の端部を選択的にエッチングすることによって、ソース領域及びドレイン
領域の端部の表面を露出させ、ソース電極及びドレイン電極をマスクとして、ソース領域
及びドレイン領域と異なる導電型の不純物元素を導入することによって、ソース領域及び
ドレイン領域の間の第2の半導体層に不純物領域を形成する。
層より薄く形成する。
不純物元素としてp型の不純物元素を用いる。
液晶表示装置は液晶素子を含む。発光素子は、電流または電圧によって輝度が制御される
素子をその範疇に含んでおり、具体的には無機EL(Electro Luminesc
ence)素子、有機EL素子等が含まれる。
を含むIC等を実装した状態にあるモジュールとを含む。
させることができる。また、トランジスタ及び当該トランジスタを具備する表示装置の信
頼性を向上させることができる。
様で実施することが可能であり、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形
態および詳細を変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本実施の形
態の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、実施の形態を説明するための全
図において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を付し、その繰り返し
の説明は省略する。
本実施の形態では、表示装置に用いられるボトムゲート型の薄膜トランジスタ(TFT)
に関して図面を参照して説明する。図1は、画素の一部における薄膜トランジスタと薄膜
トランジスタに電気的に接続された画素電極の断面図と上面図であり、図1(A)は、図
1(B)におけるA−Bの断面に対応している。
01と、ゲート電極101上にゲート絶縁膜102を介して設けられ微結晶半導体を有す
る第1の半導体層103と、第1の半導体層103上に設けられ非晶質半導体を有する第
2の半導体層104と、第2の半導体層104の一部に設けられた不純物領域109と、
第2の半導体層104上に形成されたソース領域105a及びドレイン領域105bと、
ソース電極106a及びドレイン電極106bとを有している(図1(A)、(B)参照
)。ソース領域105aにはソース電極106aが接して設けられ、ドレイン領域105
bにはドレイン電極106bが接して設けられている。また、画素電極108が絶縁膜1
07を介してドレイン電極106bと電気的に接続されている。
04においてソース領域105aとドレイン領域105bの間に凹部(窪み)が設けられ
ている。
04より結晶性が高く、第1の半導体層103は薄膜トランジスタ110のチャネル形成
領域として機能し、第2の半導体層104はバッファー層として機能する。バッファー層
として機能する第2の半導体層104は、チャネル形成領域として機能する第1の半導体
層103の酸化を防止する役割を果たす。なお、結晶性とは、結晶中の原子配列の規則性
の度合いを表現するもので、一般的に結晶性が良好である(「結晶性が高い」又は「結晶
性が改善されている」ともいう。)半導体層を用いてトランジスタを作製すると、その電
気的特性は良好なものとなる。
設け、第2の半導体層104を非晶質半導体(例えば、非晶質シリコン)で設ける。微結
晶半導体は微結晶で構成されているため、非晶質半導体と比較して抵抗が低い。このため
、薄膜トランジスタ110がオン(On)の状態では、キャリアが主に第1の半導体層1
03を介してソース領域105aからドレイン領域105bに移動する。
導体層103の酸化を抑制し、薄膜トランジスタ110の電気特性の低下を防止すること
ができる。また、薄膜トランジスタの耐圧を向上させ、寄生容量を低減することができる
。バッファー層として機能する第2の半導体層104は真性の半導体で設けてもよいが、
ソース領域105a及びドレイン領域105bと同一の導電型を示す非晶質半導体(例え
ば、非晶質シリコン)で設けてもよい。この場合、薄膜トランジスタ110のオン電流の
特性を向上することができる。例えば、薄膜トランジスタ110がnチャネル型である場
合には、第2の半導体層104として弱いn型の導電型を示す非晶質半導体で設けること
ができる。
ドレイン領域105bの間に位置する領域に設けられ、ソース領域105a及びドレイン
領域105bと異なる導電型の不純物元素が導入されている。従って、薄膜トランジスタ
110がnチャネル型である場合には不純物領域109はp型を付与する不純物元素が導
入され、薄膜トランジスタ110がpチャネル型である場合には不純物領域109はn型
を付与する不純物元素が導入されている。
るオフ電流(リーク電流)を効果的に低減することができる。この理由は以下の通りであ
る。
間において、ゲート電極101に印加される電位により生じる電界の影響により、キャリ
アが第2の半導体層104の上面側を通ることでリーク電流が生じる。従って、リーク電
流が流れやすい部分にソース領域105a及びドレイン領域105bと異なる導電型の不
純物領域109を設け、不純物領域109をキャリアの移動の障害となる領域として機能
させることによって、リーク電流を低減することができる。
する第2の半導体層104の深さ方向において、少なくとも上面側に設けられた構成(図
1(A)参照)とすることが好ましい。より好ましくは、第2の半導体層104の深さ方
向において全域に不純物領域109が設けられている構成(図10参照)とする。
電型の不純物元素が含まれた構成であってもよい。第1の半導体層103に不純物元素を
導入することによって、薄膜トランジスタ110のしきい値を制御することができる。
05b間において、上述したようにキャリアが第1の半導体層103を介してソース領域
105aからドレイン領域105bに移動するため、不純物領域109はトランジスタの
オン電流に及ぼす影響は小さい。このように、ゲート電極側から結晶性の高い第1の半導
体層と結晶性の低い第2の半導体層を積層して形成し、リーク電流の経路となり得る第2
の半導体層にキャリアの移動の障害となる領域として機能する不純物領域を設け、オン電
流を第1の半導体層を介して流すことによって薄膜トランジスタの電気特性を向上(オン
電流を下げずに、リーク電流の低減)させることができる。
気特性の低下、薄膜トランジスタの寄生容量の増大、高電圧を印加した際の薄膜トランジ
スタの劣化を抑制しつつ、チャネル形成領域となる第1の半導体層103の薄膜化が可能
となる。
薄く形成した場合には、半導体膜の酸化に伴うトランジスタの電気特性の低減、薄膜トラ
ンジスタの寄生容量(ゲート電極とソース電極又はドレイン電極間)の増大、高電圧を印
加した際の薄膜トランジスタの劣化(耐圧)が問題となる。
半導体膜の酸化や寄生容量や耐圧の問題を抑制することができる。一方で、ソース領域1
05aとドレイン領域105bの間に位置する第2の半導体層104に不純物領域109
を設けることによって、薄膜トランジスタ110のリーク電流を低減することが可能とな
る。
110を完全空乏型とすることによって、高速動作、低消費電力が可能となる。
09が設けられた第2の半導体層104をバッファー層として設けることによって、電気
特性が高く信頼性の高い薄膜トランジスタを有する表示装置を作製することができる。
ソース電極とし、画素電極に接続される方をドレイン領域及びドレイン電極として説明を
行っているが、薄膜トランジスタ110に印加する電位に応じてソース領域とドレイン領
域、ソース電極とドレイン電極が入れ替わる場合がある。
る。
本実施の形態では、上記実施の形態1で示した表示装置に用いられるボトムゲート型の薄
膜トランジスタの作製方法に関して図面を参照して説明する。以下の説明では、nチャネ
ル型の薄膜トランジスタについて説明する。
ノシリケートガラスなど、フュージョン法やフロート法で作製される無アルカリガラス基
板、セラミック基板の他、本作製工程の処理温度に耐えうる耐熱性を有するプラスチック
基板等を用いることができる。また、ステンレス合金などの金属基板の表面に絶縁膜を設
けた基板を適用しても良い。基板100がマザーガラスの場合、基板の大きさは、第1世
代(例えば、320mm×400mm)、第2世代(例えば、400mm×500mm)
、第3世代(例えば、550mm×650mm)、第4世代(例えば、680mm×88
0mm、または730mm×920mm)、第5世代(例えば、1000mm×1200
mmまたは1100mm×1300mm)、第6世代(例えば、1500mm×1800
mm)、第7世代(例えば、1900mm×2200mm)、第8世代(例えば、216
0mm×2460mm)、第9世代(例えば、2400mm×2800mm)、第10世
代(例えば、2850mm×3050mm)等を用いることができる。
ウムなどの金属またはその合金を用いて形成する。ゲート電極101は、スパッタリング
法や真空蒸着法で基板100上に導電膜を形成し、当該導電膜上にフォトリソグラフィ技
術またはインクジェット法によりマスクを形成し、当該マスクを用いて導電膜をエッチン
グすることで、形成することができる。また、銀、金、銅などの導電性ナノペーストを用
いてインクジェット法により吐出し焼成して、ゲート電極101を形成することもできる
。なお、ゲート電極101と基板100の密着性向上させるバリアメタルとして、上記金
属の窒化物膜を、基板100及びゲート電極101の間に設けてもよい。ここでは、フォ
トマスクを用いて形成したレジストマスクを用いて基板100上に形成された導電膜をエ
ッチングしてゲート電極101を形成する。
め端部がテーパー状になるように加工することが望ましい。また、ゲート電極101の形
成と同時にゲート電極に接続する配線も同時に形成することができる。
層103、バッファー層として機能する第2の半導体層104、一導電型を付与する不純
物が添加された第3の半導体層105を順に形成する(図2(B)参照)。
することが好ましい。さらには、ゲート絶縁膜102、第1の半導体層103、第2の半
導体層104、及び一導電型を付与する不純物が添加された第3の半導体層105を連続
的に形成することが好ましい。ゲート絶縁膜102、第1の半導体層103、及び第2の
半導体層104を大気に触れさせることなく連続成膜することで、大気成分や大気中に浮
遊する汚染不純物元素に汚染されることなく各積層界面を形成することができるので、薄
膜トランジスタ特性のばらつきを低減することができる。
膜、酸化窒化珪素膜、または窒化酸化珪素膜で形成することができる。ここでは、ゲート
絶縁膜102として、酸化珪素膜または酸化窒化珪素膜と、窒化珪素膜または窒化酸化珪
素膜との順に積層して形成する形態を示す。なお、ゲート絶縁膜を2層とせず、基板側か
ら窒化珪素膜または窒化酸化珪素膜と、酸化珪素膜または酸化窒化珪素膜と、窒化珪素膜
または窒化酸化珪素膜との順に3層積層して形成することができる。また、ゲート絶縁膜
を、酸化珪素膜、窒化珪素膜、酸化窒化珪素膜、または窒化酸化珪素膜の単層で形成する
ことができる。更には、周波数が1GHz以上のマイクロ波プラズマCVD装置を用いて
ゲート絶縁膜を形成することが好ましい。マイクロ波プラズマCVD装置で形成した酸化
窒化珪素膜、窒化酸化珪素膜は、耐圧が高く、後に形成される薄膜トランジスタの信頼性
を高めることができる。
あって、濃度範囲として酸素が55〜65原子%、窒素が1〜20原子%、Siが25〜
35原子%、水素が0.1〜10原子%の範囲で含まれるものをいう。また、窒化酸化珪
素膜とは、その組成として、酸素よりも窒素の含有量が多いものであって、濃度範囲とし
て酸素が15〜30原子%、窒素が20〜35原子%、Siが25〜35原子%、水素が
15〜25原子%の範囲で含まれるものをいう。
含む)の中間的な構造の半導体を含む膜である。この半導体は、自由エネルギー的に安定
な第3の状態を有する半導体であって、短距離秩序を持ち格子歪みを有する結晶質なもの
であり、その粒径を0.5〜20nmとして非単結晶半導体中に分散させて存在せしめる
ことが可能である。微結晶半導体の代表例である微結晶シリコンは、そのラマンスペクト
ルが単結晶シリコンを示す520.6cm−1よりも低周波数側に、シフトしている。即
ち、481cm−1以上520.6cm−1以下の間に微結晶シリコンのラマンスペクト
ルのピークがある。また、未結合手(ダングリングボンド)を終端するため水素またはハ
ロゲンを少なくとも1原子%またはそれ以上含ませている。さらに、ヘリウム、アルゴン
、クリプトン、ネオンなどの希ガス元素を含ませて格子歪みをさらに助長させることで、
安定性が増し良好な微結晶半導体が得られる。
(代表的には60MHz))の高周波プラズマCVD法、または周波数が1GHz以上の
マイクロ波プラズマCVD法により形成することができる。代表的には、SiH4、Si
2H6などの水素化珪素を水素で希釈して形成することができる。また、水素化珪素及び
水素に加え、ヘリウム、アルゴン、クリプトン、ネオンから選ばれた一種または複数種の
希ガス元素で希釈して微結晶半導体を形成することができる。これらのときの水素化珪素
に対して水素の流量比を5倍以上200倍以下、好ましくは50倍以上150倍以下、更
に好ましくは100倍とする。なお、水素化珪素の代わりに、SiH2Cl2、SiHC
l3、SiCl4、SiF4等を用いることができる。
弱いn型の導電型を示すので、薄膜トランジスタのチャネル形成領域として機能する微結
晶半導体に対しては、p型を付与する不純物元素を、成膜と同時に、或いは成膜後に添加
することで、しきい値制御をすることが可能となる。p型を付与する不純物元素としては
、代表的にはボロンであり、B2H6、BF3などの不純物気体を1ppm〜1000p
pm、好ましくは1〜100ppmの割合で水素化珪素に混入させると良い。そしてボロ
ンの濃度を、例えば1×1014〜6×1016atoms/cm3とすると良い。
cm−3以下、窒素及び炭素の濃度それぞれを5×1018cm−3以下、好ましくは1
×1018cm−3以下とすることが好ましい。酸素、窒素、及び炭素が微結晶半導体に
混入する濃度を低減することで、微結晶半導体がn型になることを防止することができる
。
nm以下で形成する。第1の半導体層103は、後に形成される薄膜トランジスタのチャ
ネル形成領域として機能する。第1の半導体層103の厚さを上記の範囲内とすることで
、後に形成される薄膜トランジスタは、完全空乏型とすることができる。
度の1/10〜1/100と遅いため、膜厚を薄くすることでスループットを向上させる
ことができる。
。このため、微結晶半導体を用いた薄膜トランジスタは、電流電圧特性を示す曲線の立ち
上がり部分の傾きが急峻となり、スイッチング素子としての応答性が優れ、高速動作が可
能となる。また、薄膜トランジスタのチャネル形成領域に微結晶半導体を用いることで、
薄膜トランジスタの閾値の変動を抑制することが可能である。このため、電気特性のばら
つきの少ない液晶表示装置を作製することができる。
ッチングとして、チャネル形成量領域が微結晶半導体で形成される薄膜トランジスタを用
いることで、チャネル形成領域の面積、即ち薄膜トランジスタの面積を縮小することが可
能である。このため、一画素あたりに占める薄膜トランジスタの面積が小さくなり、画素
の開口率を高めることが可能である。この結果、解像度の高い装置を作製することができ
る。
化珪素を用いて、プラズマCVD法により形成することができる。また、上記水素化珪素
に、ヘリウム、アルゴン、クリプトン、ネオンから選ばれた一種または複数種の希ガス元
素で希釈して非晶質半導体を形成することができる。水素化珪素の流量の1倍以上20倍
以下、好ましくは1倍以上10倍以下、更に好ましくは1倍以上5倍以下の流量の水素を
用いて、水素を含む非晶質半導体を形成することができる。また、上記水素化珪素と窒素
またはアンモニアとを用いることで、窒素を含む非晶質半導体を形成することができる。
また、上記水素化珪素と、フッ素、塩素、臭素、またはヨウ素を含む気体(F2、Cl2
、Br2、I2、HF、HCl、HBr、HI等)を用いることで、フッ素、塩素、臭素
、またはヨウ素を含む非晶質半導体を形成することができる。なお、水素化珪素の代わり
に、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、SiF4等を用いることができる。
でスパッタリングして非晶質半導体を形成することができる。このとき、アンモニア、窒
素、またはN2Oを雰囲気中に含ませることにより、窒素を含む非晶質半導体を形成する
ことができる。また、雰囲気中にフッ素、塩素、臭素、またはヨウ素を含む気体(F2、
Cl2、Br2、I2、HF、HCl、HBr、HI等)を含ませることにより、フッ素
、塩素、臭素、またはヨウ素を含む非晶質半導体を形成することができる。
たはスパッタリング法により非晶質半導体を形成した後、非晶質半導体の表面を水素プラ
ズマ、窒素プラズマ、またはハロゲンプラズマで処理して、非晶質半導体の表面を水素化
、窒素化、またはハロゲン化してもよい。または、非晶質半導体の表面を、ヘリウムプラ
ズマ、ネオンプラズマ、アルゴンプラズマ、クリプトンプラズマ等で処理してもよい。
のため、周波数が数十MHz〜数百MHzの高周波プラズマCVD法、またはマイクロ波
プラズマCVD法で形成する場合は、結晶粒を含まない非晶質半導体となるように、成膜
条件を制御することが好ましい。また、第2の半導体層104は、n型の導電型を示す非
晶質半導体(例えば、非晶質シリコン膜)で形成してもよい。
部エッチングされる場合があるが、そのときに、第2の半導体層104の一部が残存する
厚さで形成することが好ましい。代表的には、100nm以上500nm以下、好ましく
は200nm以上300nm以下の厚さで形成することが好ましい。薄膜トランジスタに
高い電圧(例えば15V程度)を印加する表示装置、代表的には液晶表示装置において、
バッファー層として機能する第2の半導体層104の膜厚を上記範囲に示すように厚く形
成すると、耐圧が高くなり、薄膜トランジスタに高い電圧が印加されても、薄膜トランジ
スタが劣化することを回避することができる。また、第2の半導体層104を厚く形成す
ることにより、ソース領域及びドレイン領域と第1の半導体層103との距離が長くなり
オフ電流を低減することができる。第2の半導体層104を上記の膜厚の範囲で形成する
ことにより、第2の半導体層104は第1の半導体層103より厚く形成される。
非晶質半導体を形成することで、第2の半導体層104に含まれる結晶粒の表面の自然酸
化を防止することが可能である。特に、非晶質半導体と微結晶粒が接する領域では、結晶
格子の歪に由来し、亀裂が入りやすい。この亀裂が酸素に触れると結晶粒は酸化され、酸
化珪素が形成される。しかしながら、第1の半導体層103の表面にバッファー層として
機能する第2の半導体層104を形成することで、第1の半導体層103に含まれる微結
晶粒の酸化を防ぐことができる。また、バッファー層を形成することで、後にソース領域
及びドレイン領域を形成する際に発生するエッチング残渣が微結晶半導体に混入すること
を防ぐことができる。
しくはハロゲンを含む非晶質半導体で形成する。非晶質半導体のエネルギーギャップは微
結晶半導体に比べて大きく(非晶質半導体のエネルギーギャップは1.6〜1.8eV、
微結晶半導体のエネルギーギャップは1.1〜1.5eV)、抵抗が高く、移動度が低く
なる。このため、後に形成される薄膜トランジスタにおいて、ソース領域及びドレイン領
域と、第1の半導体層103との間に形成される第2の半導体層104は高抵抗領域とし
て機能し、第1の半導体層103を構成する微結晶半導体がチャネル形成領域として機能
する。
ランジスタを形成する場合には、代表的な不純物元素としてリンを添加すれば良く、水素
化珪素にPH3などの不純物気体を加えれば良い。また、pチャネル型の薄膜トランジス
タを形成する場合には、代表的な不純物元素としてボロンを添加すれば良く、水素化珪素
にB2H6などの不純物気体を加えれば良い。一導電型を付与する不純物が添加された第
3の半導体層105は、微結晶半導体、または非晶質半導体で形成することができる。一
導電型を付与する不純物が添加された第3の半導体層105は2nm以上50nm以下の
厚さで形成する。一導電型を付与する不純物が添加された半導体膜の膜厚を、薄くするこ
とでスループットを向上させることができる。
105を連続成膜することが可能なマイクロ波プラズマCVD装置について、図9を用い
て示す。図9はマイクロ波プラズマCVD装置の上断面を示す模式図であり、共通室11
20の周りに、ロード室1110、アンロード室1115、反応室(1)〜反応室(4)
1111〜1114を備えた構成となっている。共通室1200と各室の間にはゲートバ
ルブ1122〜1127が備えられ、各室で行われる処理が、相互に干渉しないように構
成されている。基板1130はロード室1110、アンロード室1115のカセット11
28、1129に装填され、共通室1120の搬送手段1121により反応室(1)〜反
応室(4)1111〜1114へ運ばれる。この装置では、堆積膜種ごとに反応室をあて
がうことが可能であり、複数の異なる被膜を大気に触れさせることなく連続して形成する
ことができる。
03、第2の半導体層104、及び一導電型を付与する不純物が添加された第3の半導体
層105を積層形成する。この場合は、原料ガスの切り替えにより異なる種類の膜を連続
的に複数積層することができる。この場合、ゲート絶縁膜を形成した後、反応室内にシラ
ン等の水素化珪素を導入し、残留酸素及び水素化珪素を反応させて、反応物を反応室外に
排出することで、反応室内の残留酸素濃度を低減させることができる。この結果、微結晶
半導体に含まれる酸素の濃度を低減することができる。また、微結晶半導体に含まれる結
晶粒の酸化を防止することができる。
び第2の半導体層104を形成し、反応室(2)及び反応室(4)で一導電型を付与する
不純物が添加された第3の半導体層105を形成する。一導電型を付与する不純物が添加
された第3の半導体層105のみ単独で成膜することにより、チャンバに残存する一導電
型を付与する不純物が他の膜に混入することを防ぐことができる。
ト絶縁膜102、第1の半導体層103、第2の半導体層104及び一導電型を付与する
不純物が添加された第3の半導体層105を成膜することができるため、量産性を高める
ことができる。また、ある反応室がメンテナンスやクリーニングを行っていても、残りの
反応室において成膜処理が可能となり、成膜のタクトを向上させることができる。また、
大気成分や大気中に浮遊する汚染不純物元素に汚染されることなく各積層界面を形成する
ことができるので、薄膜トランジスタ特性のばらつきを低減することができる。
3を構成する微結晶半導体及び第2の半導体層104を形成し、反応室(3)で一導電型
を付与する不純物が添加された第3の半導体層105を形成することができる。また、ゲ
ート絶縁膜102を酸化珪素膜または酸化窒化珪素膜と、窒化珪素膜または窒化酸化珪素
膜の積層構造で形成する場合、反応室を5つ設け、反応室(1)で、酸化珪素膜または酸
化窒化珪素膜を形成し、反応室(2)で、窒化珪素膜または窒化酸化珪素膜を形成し、反
応室(3)で、第1の半導体層103を構成する微結晶半導体を形成し、反応室(4)で
第2の半導体層104を形成し、反応室(5)で、一導電型を付与する不純物が添加され
た第3の半導体層105を形成してもよい。また、微結晶半導体は成膜速度が遅いため、
複数の反応室で微結晶半導体を成膜してもよい。例えば、反応室(1)でゲート絶縁膜1
02を形成し、反応室(2)及び(3)で第1の半導体層103を構成する微結晶半導体
を形成し、反応室(4)で第2の半導体層104を形成し、反応室(5)で一導電型を付
与する不純物が添加された第3の半導体層105を形成してもよい。このように、複数の
反応室で同時に第1の半導体層103を構成する微結晶半導体を成膜することでスループ
ットを向上させることができる。このとき、各反応室の内壁を成膜する種類の膜でコーテ
ィングすることが好ましい。
膜または一種類の膜を成膜することが可能であり、且つ大気に曝すことなく連続して形成
することができるため、前に成膜した膜の残留物や大気に浮遊する不純物元素に汚染され
ることなく、各積層界面を形成することができる。
に設けられているが、一つとしてもよい。また、マイクロ波プラズマCVD装置に予備室
を設けてもよい。予備室で基板を予備加熱することで、各反応室において成膜までの加熱
時間を短縮することが可能であるため、スループットを向上させることができる。
部から供給するガスを選択すれば良い。
方法を一例としてあげる。
でクリーニングする。なお、フッ素ラジカルは、反応室の外側に設けられたプラズマ発生
器に、フッ化炭素、フッ化窒素、またはフッ素を導入し、解離し、フッ素ラジカルを反応
室に導入することで、反応室内をクリーニングすることができる。
室内の残留フッ素と水素を反応させて、残留フッ素の濃度を低減することができる。この
ため、後に反応室の内壁に成膜する保護膜へのフッ素の混入量を減らすことが可能であり
、保護膜の厚さを薄くすることが可能である。
処理容器内の圧力を1〜200Pa、好ましくは1〜100Paとし、プラズマ着火用ガ
スとして、ヘリウム、アルゴン、キセノン、クリプトン等の希ガスのいずれか一種以上の
ガスを導入する。さらには、希ガスのいずれか一種及び水素を導入する。特に、プラズマ
着火用ガスとしてヘリウム、更にはヘリウムと水素の混合ガスを用いることが好ましい。
準安定状態があるので、放電中においては約4eVでイオン化が可能である。このため、
放電開始電圧が低く、また放電を維持しやすい。よって、プラズマを均一に維持すること
が可能であると共に、省電力化が可能である。
スのいずれか一種以上及び酸素ガスを導入してもよい。希ガスと共に、酸素ガスを処理容
器内に導入することで、プラズマの着火を容易とすることができる。
00W、好ましくは4000〜6000Wとしてプラズマを発生させる。次に、ガス管か
ら原料ガスを処理容器内に導入する。具体的には、原料ガスとして、一酸化二窒素、希ガ
ス、及びシランを導入することで、処理容器の内壁、ガス管、誘電体板、及び支持台表面
上に保護膜として酸化窒化珪素膜を形成する。このときの水素化珪素の流量を50〜30
0sccm、一酸化二窒素の流量を500〜6000sccmとし、保護膜の膜厚を50
0〜2000nmとする。
をオフにした後、処理容器内の支持台上に基板を導入する。
化珪素膜を堆積させる。
力を低下し、マイクロ波発生装置の電源をオフにする。
火用ガスとして、ヘリウム、アルゴン、キセノン、クリプトン等の希ガスのいずれか一種
以上と、原料ガスであるシラン、一酸化二窒素、及びアンモニアを導入する。なお、原料
ガスとして、アンモニアの代わりに窒素を導入しても良い。次に、マイクロ波発生装置の
電源をオンにし、マイクロ波発生装置の出力は500〜6000W、好ましくは4000
〜6000Wとしてプラズマを発生させる。次に、ガス管から原料ガスを処理容器内に導
入し、基板の酸化窒化珪素膜上にゲート絶縁膜102の一部として窒化酸化珪素膜を形成
する。次に、原料ガスの供給を停止し、処理容器内の圧力を低下し、マイクロ波発生装置
の電源をオフにして、成膜プロセスを終了する。
及び窒化酸化珪素膜を連続的に成膜することで、上層側の窒化酸化珪素膜中に酸化珪素等
の不純物の混入を低減することができる。電源装置としてマイクロ波を発生させることが
可能な電源装置を用いたマイクロ波プラズマCVD法により上記膜を形成することで、プ
ラズマ密度が高くなり耐圧の高い膜を形成することができ、当該膜をゲート絶縁膜として
用いると、トランジスタの閾値のばらつきを低減することができる。また、BT特性を向
上させることができる。また、静電気に対する耐性が高まり、高い電圧が印加されても破
壊しにくいトランジスタを作製することができる。また、経時破壊の少ないトランジスタ
を作製することができる。また、ホットキャリアダメージの少ないトランジスタを作製す
ることができる。
が単層の場合、上記保護膜の形成方法及び酸化窒化珪素膜の形成方法を用いる。特に、シ
ランに対する一酸化二窒素の流量比を100倍以上300倍以下、好ましくは150倍以
上250倍以下とすると、耐圧の高い酸化窒化珪素膜を形成することができる。
導体を連続的に成膜する成膜処理方法について示す。まず、上記ゲート絶縁膜と同様によ
り、反応室内をクリーニングする。次に、処理容器内に保護膜として珪素膜を堆積する。
ここでは、処理容器内の圧力を1〜200Pa、好ましくは1〜100Paとし、プラズ
マ着火用ガスとして、ヘリウム、アルゴン、キセノン、クリプトン等の希ガスのいずれか
一種以上を導入する。なお、希ガスと共に水素を導入してもよい。
00W、好ましくは4000〜6000Wとしてプラズマを発生させる。次に、ガス管か
ら原料ガスを処理容器内に導入する。原料ガスとして、具体的には、水素化珪素ガス、及
び水素ガスを導入することで、処理容器の内壁、ガス管、誘電体板、及び支持台表面上に
保護膜として微結晶珪素膜を形成する。また、水素化珪素ガス及び水素ガスに加え、ヘリ
ウム、アルゴン、クリプトン、ネオンから選ばれた一種または複数種の希ガス元素で希釈
して微結晶半導体を形成することができる。これらのときの水素化珪素に対して水素の流
量比を5倍以上200倍以下、好ましくは50倍以上150倍以下、更に好ましくは10
0倍とする。また、このときの保護膜の膜厚を500〜2000nmとする。なお、マイ
クロ波発生装置の電源をオンにする前に、処理容器内に上記希ガスの他、水素化珪素ガス
及び水素ガスを導入してもよい。また、微結晶半導体の形成を100〜200℃(代表的
には150℃)で行うことが好ましい。
ンから選ばれた一種または複数種の希ガス元素で希釈して、保護膜として非晶質半導体を
形成することができる。
をオフにした後、処理容器内の支持台上に基板を導入する。
導体層103を構成する微結晶半導体を形成する前に水素プラズマ処理することにより、
ゲート絶縁膜102及び微結晶半導体の界面における格子歪を低減することが可能であり
、ゲート絶縁膜102及び微結晶半導体の界面特性を向上させることができる。このため
、後に形成される薄膜トランジスタの電気特性を向上させることができる。
体または微結晶半導体をも水素プラズマ処理することにより、保護膜がエッチングされて
ゲート絶縁膜102の表面に微少量の半導体が堆積する。当該半導体が結晶成長の核とな
り、当該核によって、微結晶半導体が堆積する。この結果、ゲート絶縁膜102及び微結
晶半導体の界面における格子歪を低減することが可能であり、ゲート絶縁膜102及び微
結晶半導体の界面特性を向上させることができる。このため、後に形成される薄膜トラン
ジスタの電気特性を向上させることができる。
させる。微結晶半導体の膜厚を0nmより厚く50nm以下、好ましくは0nmより厚く
20nm以下とする。
の圧力を低下し、マイクロ波発生装置の電源をオフにして、微結晶半導体成膜プロセスを
終了する。
量を微結晶半導体の成膜条件より大幅に低減する。代表的には、水素化珪素の流量の1倍
以上20倍以下、好ましくは1倍以上10倍以下、更に好ましくは1倍以上5倍以下の流
量の水素ガスを導入する。または、水素ガスを処理容器内に導入せず、水素化珪素ガスを
導入する。このように水素化珪素に対する水素の流量を低減することにより、第2の半導
体層104として非晶質半導体の成膜速度を向上させることができる。または、水素化珪
素ガスに加え、ヘリウム、アルゴン、クリプトン、ネオンから選ばれた一種または複数種
の希ガス元素で希釈する。次に、マイクロ波発生装置の電源をオンにし、マイクロ波発生
装置の出力は500〜6000W、好ましくは4000〜6000Wとしてプラズマを発
生させて、非晶質半導体を形成することができる。非晶質半導体の成膜速度は微結晶半導
体に比べて高いため、処理容器内の圧力を低く設定することができる。このときの非晶質
半導体の膜厚を100〜400nmとする。
の圧力を低下し、マイクロ波発生装置の電源をオフにして、非晶質半導体の成膜プロセス
を終了する。
る非晶質半導体をプラズマの着火したまま形成してもよい。具体的には微結晶半導体を形
成する原料ガスである水素化珪素に対する水素の流量比を徐々に低減させて微結晶半導体
及び非晶質半導体を積層する。このような手法により微結晶半導体及び非晶質半導体の界
面に不純物が堆積せず、歪の少ない界面を形成することが可能であり、後に形成される薄
膜トランジスタの電気特性を向上させることができる。
度が高く、原料ガスから多くのラジカルが形成され、基板1130へ供給されるため、基
板でのラジカルの表面反応が促進され、微結晶シリコンの成膜速度を高めることができる
。更に、複数のマイクロ波発生装置、及び複数の誘電体板で構成されるマイクロ波プラズ
マCVD装置は、安定した大面積のプラズマを生成することができる。このため、大面積
基板上においても、膜質の均一性を高めた膜を成膜することが可能であると共に、量産性
を高めることができる。
ない界面を形成することが可能である。
2000nmの保護膜が形成されている場合は、上記クリーニング処理及び保護膜形成処
理を省くことができる。
形成し、当該マスク121を用いて第1の半導体層103、第2の半導体層104及び一
導電型を付与する不純物が添加された第3の半導体層105をエッチングして分離する(
図2(C)参照)。この後、マスク121を除去する(図5(B)参照)。
膜106を形成し、当該導電膜106上にマスク122を形成する(図2(D)参照)。
モリブデンなどの耐熱性向上元素若しくはヒロック防止元素が添加されたアルミニウム合
金の単層または積層で形成することが好ましい。また、第3の半導体層105と接する側
の膜を、チタン、タンタル、モリブデン、タングステン、またはこれらの元素の窒化物で
形成し、その上にアルミニウムまたはアルミニウム合金を形成した積層構造としても良い
。更には、アルミニウムまたはアルミニウム合金の上面及び下面を、チタン、タンタル、
モリブデン、タングステン、またはこれらの元素の窒化物で挟んだ積層構造としてもよい
。例えば、導電膜106として、モリブデン膜とアルミニウム膜とモリブデン膜を順に3
層積層した構造とすることができる。また、導電膜106として、チタン膜とアルミニウ
ム膜とチタン膜を順に3層積層した構造とすることができる。
、金、銅などの導電性ナノペーストを用いてスクリーン印刷法、インクジェット法等を用
いて吐出し焼成して形成しても良い。
104及び第3の半導体層105をパターニングした後に導電膜106を形成する場合を
示しているが、図2(C)の工程を省略し、第1の半導体層103、第2の半導体層10
4、第3の半導体層105及び導電膜106を連続して順に積層させた後にマスク122
を形成してもよい。この場合、マスク121を形成しなくてよいため、工程を簡略化する
ことができる。
電極106a及びドレイン電極106bを形成する(図3(A)、図5(C)参照)。
5及びバッファー層として機能する第2の半導体層104をエッチングして、ソース領域
105a及びドレイン領域105bを形成する(図3(B)、図6(A)参照)。なお、
バッファー層として機能する第2の半導体層104は一部のみがエッチングされたもので
あり、第1の半導体層103の表面を覆っている。ここでは、ソース領域105aとドレ
イン領域105bの間に位置する第2の半導体層104の表面に凹部が形成される。また
、このとき、ソース領域105a及びドレイン領域105bの端部とソース電極106a
及びドレイン電極106bの端部はほぼ一致している。
体層104に不純物領域109を形成する(図3(C)、図6(B)参照)。
不純物元素を用いる。ここでは、p型の不純物元素を導入する。p型の不純物元素として
は、ボロン(B)やアルミニウム(Al)やガリウム(Ga)等を用いることができる。
ここでは、ボロン(B)を1×1016〜1×1020/cm3の濃度で含まれるように
第2の半導体層104に導入し、p型を示す不純物領域109を形成する。
くは第2の半導体層104の深さ方向において全面に導入する。なお、不純物元素を第2
の半導体層104の下方の第1の半導体層103に導入することにより、薄膜トランジス
タのしきい値を制御してもよい。
)参照)。
ドレイン電極106bの端部が選択的にエッチングされる。その結果、ソース電極106
a及びドレイン電極106bの端部と、ソース領域105a及びドレイン領域105bの
端部はそれぞれ一致せずずれており、ソース電極106a及びドレイン電極106bの端
部の外側に、ソース領域105a及びドレイン領域105bの端部が形成される。
レイン電極106bは、それぞれソース配線またはドレイン配線としても機能する。
106bの端部がそれぞれ一致せずずれた形状となることで、ソース電極106aとドレ
イン電極106bとの端部の距離が離れるため、ソース電極106aとドレイン電極10
6b間のリーク電流やショートを防止することができる。また、ソース領域105aとソ
ース電極106aの端部、ドレイン領域105bとドレイン電極106bの端部がそれぞ
れ一致せずずれた形状となることで、ソース電極106a及びドレイン電極106b、ソ
ース領域105a及びドレイン領域105bの端部に電界が集中せず、ゲート電極101
と、ソース電極106a及びドレイン電極106bとの間でのリーク電流を防止すること
ができる。このため、信頼性が高く、且つ耐圧の高い薄膜トランジスタを作製することが
できる。
。
形成されており、当該凹部以外の領域がソース領域105a及びドレイン領域105bで
覆われる。即ち、第2の半導体層104に形成される凹部123により、ソース領域10
5a及びドレイン領域105bのリークパスが大きくなるため、ソース領域105a及び
ドレイン領域105bの間でのリーク電流を低減することができる。また、第2の半導体
層104の一部をエッチングすることにより凹部123を形成するため、ソース領域10
5a及びドレイン領域105bの形成工程において発生するエッチング残渣を除去するこ
とができるため、残渣によるソース領域105a及びドレイン領域105bにリーク電流
(寄生チャネル)が発生することを回避することができる。
ン領域105bとの間に、バッファー層が形成されている。また、微結晶半導体の表面が
バッファー層で覆われている。高抵抗で形成されたバッファー層は、微結晶半導体と、ソ
ース領域105a及びドレイン領域105bとの間にも形成されているため、薄膜トラン
ジスタにリーク電流が発生することを低減することができると共に、高い電圧の印加によ
る劣化を低減することができる。また、微結晶半導体の表面に水素で表面が終端された非
晶質半導体がバッファー層として形成されているため、微結晶半導体の酸化を防止するこ
とが可能であると共に、ソース領域105a及びドレイン領域105bの形成工程に発生
するエッチング残渣が微結晶半導体に混入することを防ぐことができる。
せずずれた形状となることで、ソース電極及びドレイン電極の端部の距離が離れるため、
ソース電極及びドレイン電極間のリーク電流やショートを防止することができる。
物元素を導入して不純物領域109を形成する例を示したが、不純物元素を導入するタイ
ミングはこれに限定されない。例えば、導電膜106を分離しソース電極106a及びド
レイン電極106bを形成した後(図3(A))に、マスク122を用いて第3の半導体
層105を介して不純物元素の導入を行ってもよい。
(A))に、マスク122を用いて不純物元素の導入を行ってもよい。
))、マスク122を除去した後に、ソース電極106a及びドレイン電極106bをマ
スクとして不純物元素の導入を行ってもよい(図8(A)参照)。この場合、ソース領域
105a及びドレイン領域105bの端部の下方に位置する第2の半導体層104にも不
純物領域109を形成することができる(図8(B)参照)。
領域105b、第2の半導体層104及びゲート絶縁膜102等の上に絶縁膜107を形
成する(図4(B)参照)。絶縁膜107は、ゲート絶縁膜102と同様に形成すること
ができる。なお、絶縁膜107は、大気中に浮遊する有機物や金属物、水蒸気などの汚染
不純物の侵入を防ぐためのものであり、緻密な膜が好ましい。
ン電極106bに接する画素電極108を形成する(図4(C)、図7(B)参照)。
インジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、酸化チタンを含むインジウ
ム錫酸化物、インジウム錫酸化物(以下、ITOと示す。)、インジウム亜鉛酸化物、酸
化珪素を添加したインジウム錫酸化物などの透光性を有する導電性材料を用いることがで
きる。
成物を用いて形成することができる。導電性組成物を用いて形成した画素電極は、シート
抵抗が10000Ω/□以下、波長550nmにおける透光率が70%以上であることが
好ましい。シート抵抗は、より低いことが好ましい。また、導電性組成物に含まれる導電
性高分子の抵抗率が0.1Ω・cm以下であることが好ましい。
ば、ポリアニリンまたはその誘導体、ポリピロールまたはその誘導体、ポリチオフェンま
たはその誘導体、若しくはこれらの2種以上の共重合体などがあげられる。
できる。
能である。また、チャネル形成領域として機能する第1の半導体層103を微結晶半導体
で構成することにより1〜20cm2/V・secの電界効果移動度を得ることができる
。従って、本実施の形態では、薄膜トランジスタ110を画素部の画素のスイッチング用
素子として適用する例を示したが、これに限られず走査線(ゲート線)側の駆動回路等を
形成する素子として利用することができる。
る。
本実施の形態では、上記実施の形態と異なる薄膜トランジスタを有する表示装置に関して
図18を参照して説明する。
半導体層104とソース領域105a間に設けられた低濃度の不純物元素を含む半導体層
140aと、第2の半導体層104とドレイン領域105b間に設けられた低濃度の不純
物元素を含む半導体層140bを有している(図18参照)。半導体層140a、140
bを設けることによって、第2の半導体層104とソース領域105a間又は第2の半導
体層104とドレイン領域105b間における電界集中を緩和することができる。
4をi層で設け、LDD領域として機能しうる半導体層140a、140bをソース領域
105a及びドレイン領域105bより弱いn型の導電型を示す非晶質半導体(例えば、
非晶質半導体膜)で設ければよい。また、薄膜トランジスタがpチャネル型である場合に
は、第2の半導体層104をi層で設け、LDD領域として機能しうる半導体層140a
、140bをソース領域105a及びドレイン領域105bより弱いp型の導電型を示す
非晶質半導体(例えば、非晶質半導体膜)で設ければよい。
る。
本実施の形態では、上記実施の形態と異なる薄膜トランジスタを有する表示装置に関して
図面を参照して説明する。具体的には、上記実施の形態では、チャネルエッチ型の薄膜ト
ランジスタを示したが、保護層160を設けた構成(チャネル保護型)としてもよい(図
15参照)。
の形態1で示したように、チャネル形成領域として機能する第1の半導体層103上に不
純物領域109が設けられた第2の半導体層104をバッファー層として設けることによ
って、電気特性が高く、信頼性の高い薄膜トランジスタを有する表示装置を作製すること
ができる。
して簡単に説明する。
膜102、微結晶半導体を有する第1の半導体層103、非晶質半導体を有する第2の半
導体層104を積層して形成する。続いて、第2の半導体層104上に保護層160を選
択的に形成する(図16(A)参照)。
用いることができる。感光性または非感光性の有機材料(有機樹脂材料)(ポリイミド、
アクリル、ポリアミド、ポリイミドアミド、レジスト、ベンゾシクロブテンなど)、もし
くは複数種からなる膜、またはこれらの膜の積層などを用いることができる。また、シロ
キサンを用いてもよい。作製法としては、プラズマCVD法や熱CVD法などの気相成長
法やスパッタリング法を用いることができる。また、湿式法である、スピンコート法など
の塗布法、液滴吐出法や、印刷法(スクリーン印刷やオフセット印刷などパターンが形成
される方法)を用いることもできる。保護層160は成膜後にエッチングにより形状を加
工して形成してもよいし、液滴吐出法などによって選択的に形成してもよい。
21を用いて第1の半導体層103、第2の半導体層104をエッチングして分離する(
図16(B)参照)。この後、マスク121を除去する。
る不純物が添加された第3の半導体層105及び導電膜106を順に積層して形成する(
図16(C)参照)。
層105及び導電膜106をエッチングして分離することにより、ソース領域105a及
びドレイン領域105b、ソース電極106a及びドレイン電極106bを形成する(図
17(A)参照)。このとき、保護層160の存在により第2の半導体層104はエッチ
ングされない。
体層104に不純物領域109を形成する(図17(B)参照)。ここでは、不純物元素
を、保護層160を介して第2の半導体層104に導入する。
ンジスタを具備する表示装置を形成することができる(図17(C)参照)。
能である。
本実施の形態では、上記実施の形態で示した薄膜トランジスタを有する表示装置の一形態
として液晶表示パネルに関して図11を参照して説明する。図11(A)は、第1の基板
4001上に形成された薄膜トランジスタ4010及び液晶素子4013を第2の基板4
006との間にシール材4005によって封止したパネルの上面図であり、図11(B)
は、図11(A)のC−Dにおける断面を示している。
2と走査線駆動回路4004を囲むようにして、シール材4005が設けられている。ま
た、画素部4002と走査線駆動回路4004の上に第2の基板4006が設けられてい
る。そのため、画素部4002と走査線駆動回路4004は、第1の基板4001とシー
ル材4005と第2の基板4006によって、液晶4008と共に封止されている。
域に、多結晶半導体膜で形成された薄膜トランジスタ4009を具備する信号線駆動回路
4003が実装されている。なお、本実施の形態では、多結晶半導体膜を用いた薄膜トラ
ンジスタ4009を有する信号線駆動回路4003を、第1の基板4001に貼り合わせ
る例について説明するが、単結晶半導体を用いたトランジスタで信号線駆動回路4003
を形成し、貼り合わせるようにしても良い。
トランジスタを複数有しており、図11(B)では、画素部4002に含まれる薄膜トラ
ンジスタ4010を例示している。薄膜トランジスタ4010は、上記実施の形態1、2
で示した薄膜トランジスタに相当する。また、走査線駆動回路4004を構成するトラン
ジスタを薄膜トランジスタ4010と同様の構成で設けることができる。
て液晶素子4013を構成する対向電極4031は、第2の基板4006上に形成されて
いる。画素電極4030と対向電極4031と液晶4008とが重なっている部分が、液
晶素子4013に相当する。
テンレス)、セラミックス、プラスチックを用いることができる。プラスチックとしては
、FRP(Fiberglass−Reinforced Plastics)板、PV
F(ポリビニルフルオライド)フィルム、ポリエステルフィルム、またはアクリル樹脂フ
ィルムを用いることができる。また、アルミニウムホイルをPVFフィルムやポリエステ
ルフィルムで挟んだ構造のシートを用いることもできる。
セルギャップ)を制御するために設けられている。なお、球状のスペーサ4035の代わ
りに絶縁膜を選択的にエッチングすることで得られるスペーサを用いていても良い。
4002に与えられる各種信号及び電位は、引き回し配線4014、4015を介して、
FPC4018から供給されている。
ている。また、引き回し配線4014、4015は、薄膜トランジスタ4010のソース
電極及びドレイン電極と同じ導電膜で形成されている。
気的に接続されている。
更にカラーフィルタや遮蔽膜を有していても良い。
ている例を示しているが、この構成に限定されない。走査線駆動回路を別途形成して実装
しても良いし、信号線駆動回路の一部または走査線駆動回路の一部のみを別途形成して実
装しても良い。
VA(Vertical Alignment)型又は横電界方式の液晶表示装置とする
ことができる。
VA方式は、電圧が印加されていないときにパネル面に対して液晶分子が垂直方向を向く
方式である。本実施の形態では、特に画素(ピクセル)をいくつかの領域(サブピクセル
)に分け、それぞれ別の方向に分子を倒すよう工夫されている。これをマルチドメイン化
あるいはマルチドメイン設計という。
階調表現する方式である。この方式によれば、視野角を約180度にまで広げることがで
きる。
る。
本実施の形態では、上記実施の形態で示した薄膜トランジスタを有する発光装置の一形態
として発光表示パネルに関して図12を参照して説明する。図12(A)は、第1の基板
4001上に形成された薄膜トランジスタ4010及び発光素子4011を第2の基板4
006との間にシール材4005によって封止したパネルの上面図であり、図12(B)
は、図12(A)のE−Fにおける断面を示している。
トロルミネッセンスを利用する発光素子は、発光材料が有機化合物であるか、無機化合物
であるかによって区別され、一般的に、前者は有機EL素子、後者は無機EL素子と呼ば
れている。
2と走査線駆動回路4004を囲むようにして、シール材4005が設けられている。ま
た、画素部4002と走査線駆動回路4004の上に第2の基板4006が設けられてい
る。そのため、画素部4002と走査線駆動回路4004と、第1の基板4001とシー
ル材4005と第2の基板4006によって、充填材4007と共に密封されている。
域に、多結晶半導体膜で形成された薄膜トランジスタ4009を具備する信号線駆動回路
4003が実装されている。なお、本実施の形態では、多結晶半導体膜を用いた薄膜トラ
ンジスタ4009を有する信号線駆動回路4003を、第1の基板4001に貼り合わせ
る例について説明するが、単結晶半導体を用いたトランジスタで信号線駆動回路を形成し
、貼り合わせるようにしても良い。
トランジスタを複数有しており、図12(B)では、画素部4002に含まれる薄膜トラ
ンジスタ4010を例示している。薄膜トランジスタ4010は、上記実施の形態1、2
で示した薄膜トランジスタに相当する。また、走査線駆動回路4004を構成するトラン
ジスタを薄膜トランジスタ4010と同様の構成で設けることができる。
極またはドレイン電極と電気的に接続されている。発光素子4011の構成は、発光素子
4011から取り出す光の方向や、薄膜トランジスタ4010の極性などに合わせて、適
宜変えることができる。なお、発光素子4011は画素電極4017、EL層、透明導電
膜4012で構成される。
4002に与えられる各種信号及び電位は、図12(B)に示す断面図では図示されてい
ないが、引き回し配線4014及び4015を介して、FPC4018から供給されてい
る。
と同じ導電膜から形成されている。また、引き回し配線4014、4015は、薄膜トラ
ンジスタ4010のソース電極及びドレイン電極と同じ導電膜から形成されている。
気的に接続されている。
る。本実施の形態では、第2の基板4006側から光を取り出すため、第2の基板400
6は、ガラス板、プラスチック板、ポリエステルフィルムまたはアクリルフィルムのよう
な透光性を有する材料で形成する。
脂または熱硬化樹脂を用いることができ、PVC(ポリビニルクロライド)、アクリル、
ポリイミド、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、PVB(ポリビニルブチラル)またはEV
A(エチレンビニルアセテート)を用いることができる。
位相差板(λ/4板、λ/2板)、カラーフィルタなどの光学フィルムを適宜設けてもよ
い。また、偏光板又は円偏光板に反射防止膜を設けてもよい。例えば、表面の凹凸により
反射光を拡散し、映り込みを低減できるアンチグレア処理を施すことができる。
ている例を示しているが、本実施の形態はこの構成に限定されない。走査線駆動回路を別
途形成して実装しても良いし、信号線駆動回路の一部または走査線駆動回路の一部のみを
別途形成して実装しても良い。
る。
本発明により得られる表示装置等は、アクティブマトリクス型表示装置モジュールに用い
ることができる。即ち、それらを表示部に組み込んだ電子機器全てに本発明を実施できる
。
トディスプレイ(ゴーグル型ディスプレイ)、カーナビゲーション、プロジェクタ、カー
ステレオ、パーソナルコンピュータ、携帯情報端末(モバイルコンピュータ、携帯電話ま
たは電子書籍等)などが挙げられる。それらの一例を図13に示す。
、筐体に組みこんで、テレビジョン装置を完成させることができる。FPCまで取り付け
られた表示パネルのことを表示モジュールとも呼ぶ。表示モジュールにより主画面200
3が形成され、その他付属設備としてスピーカー部2009、操作スイッチなどが備えら
れている。このように、テレビジョン装置を完成させることができる。
組みこまれ、受信機2005により一般のテレビ放送の受信をはじめ、モデム2004を
介して有線又は無線による通信ネットワークに接続することにより一方向(送信者から受
信者)又は双方向(送信者と受信者間、又は受信者間同士)の情報通信をすることもでき
る。テレビジョン装置の操作は、筐体に組みこまれたスイッチ又は別体のリモコン操作機
2006により行うことが可能であり、このリモコン装置にも出力する情報を表示する表
示部2007が設けられていても良い。
ネルで形成し、チャネルや音量などを表示する構成が付加されていても良い。この構成に
おいて、主画面2003を視野角の優れた発光表示パネルで形成し、サブ画面2008を
低消費電力で表示可能な液晶表示パネルで形成しても良い。また、低消費電力化を優先さ
せるためには、主画面2003を液晶表示パネルで形成し、サブ画面2008を発光表示
パネルで形成し、サブ画面2008は点滅可能とする構成としても良い。
部921が形成されている。信号線駆動回路922と走査線駆動回路923は、表示パネ
ルにCOG方式により実装されていても良い。
のうち、映像信号を増幅する映像信号増幅回路925と、そこから出力される信号を赤、
緑、青の各色に対応した色信号に変換する映像信号処理回路926と、その映像信号をド
ライバICの入力仕様に変換するためのコントロール回路927などを有している。コン
トロール回路927は、走査線側と信号線側にそれぞれ信号が出力する。デジタル駆動す
る場合には、信号線側に信号分割回路928を設け、入力デジタル信号をm個に分割して
供給する構成としても良い。
その出力は音声信号処理回路930を経てスピーカー933に供給される。制御回路93
1は受信局(受信周波数)や音量の制御情報を入力部932から受け、チューナ924や
音声信号処理回路930に信号を送出する。
め、鉄道の駅や空港などにおける情報表示盤や、街頭における広告表示盤など大面積の表
示媒体としても様々な用途に適用することができる。
示部2302、操作部2303などを含んで構成されている。表示部2302においては
、上記実施の形態で説明した表示装置を適用することで、量産性を高めることができる。
含んでいる。表示部2402に、上記実施の形態に示す表示装置を適用することにより、
量産性を高めることができる。
、支柱2504、台2505、電源2506を含む。本発明の発光装置を照明部2501
に用いることにより作製される。なお、照明器具には天井固定型の照明器具または壁掛け
型の照明器具なども含まれる。上記実施の形態に示す表示装置を適用することにより、量
産性を高めることができ、安価な卓上照明器具を提供することができる。
の電流−電圧特性を比較する計算を行った結果を説明する。
)に示し、比較例の薄膜トランジスタの構造のモデル図(比較例)を図19(B)に示す
。
成されるゲート電極901と、膜圧300nmの窒化珪素膜から構成されるゲート絶縁膜
902と、膜厚10nmの微結晶シリコン膜から構成される第1の半導体層903と、膜
厚150nmのアモルファスシリコン膜から構成される第2の半導体層904と、不純物
が導入されたアモルファスシリコン膜から構成されるソース領域905a及びドレイン領
域905bと、ソース電極906a及びドレイン電極906bとを有する。また、第2の
半導体層904は、ソース領域905aとドレイン領域905b間に窪みを形成し、当該
窪みにおける第2の半導体層904の膜厚が100nmとなっている。
領域905b間に不純物領域907を有している。つまり、図19(A)は図19(B)
の構造に不純物領域907が追加された構造となっている。
μmとし、不純物領域907の深さ方向の幅(第2の半導体層904の上面から不純物領
域907が形成される深さ(dt))を複数設定(30nm、50nm、70nm、90
nm)して計算を行った。また、不純物領域907には、5×1017/cm3の濃度の
ボロンが含まれるものとした。
ト「atlas」を用いてそれぞれ計算を行った。
に設定した。
0E21[/cm3eV])、ドナータイプ欠陥準位(テール状分布)の価電子帯端にお
ける状態密度(ntd=4.0E20[/cm3eV])、アクセプタタイプ欠陥準位(
テール状分布)状態密度の減衰係数(wta=0.025[eV])、ドナータイプ欠陥
準位(テール状分布)状態密度の減衰係数(wtd=0.05[eV])、アクセプタタ
イプ欠陥準位(バンプ状分布)のピーク位置における状態密度(nga=5.0E17[
/cm3eV])、ドナータイプ欠陥準位(バンプ状分布)のピーク位置における状態密
度(ngd=5.0E17[/cm3eV])、アクセプタタイプ欠陥準位(バンプ状分
布)のピーク位置(ega=0.28[eV])、ドナータイプ欠陥準位(バンプ状分布
)のピーク位置(egd=0.79[eV])、アクセプタタイプ欠陥準位(バンプ状分
布)状態密度の減衰係数(wga=0.1[eV])、ドナータイプ欠陥準位(バンプ状
分布)状態密度の減衰係数(wgd=0.2[eV])、アクセプタ準位の裾野における
電子の捕獲断面積(sigtae=3.0E−15cm2)、アクセプタ準位の裾野にお
けるホールの捕獲断面積(sigtah=3.0E−13cm2)、ドナー準位の裾野に
おける電子の捕獲断面積(sigtde=3.0E−13cm2)、ドナー準位の裾野に
おけるホールの捕獲断面積(sigtdh=3.0E−15cm2)、アクセプタのガウ
シアン分布における電子の捕獲断面積(siggae=3.0E−15cm2)、アクセ
プタのガウシアン分布におけるホールの捕獲断面積(siggah=3.0E−13cm
2)、ドナーのガウシアン分布における電子の捕獲断面積(siggde=3.0E−1
3cm2)、ドナーのガウシアン分布におけるホールの捕獲断面積(siggdh=3.
0E−15cm2)とした。
に設定した。なお、微結晶シリコン膜の欠陥密度をアモルファスシリコン膜の10分の1
とした。
0E21[/cm3eV])、ドナータイプ欠陥準位(テール状分布)の価電子帯端にお
ける状態密度(ntd=4.0E19[/cm3eV])、アクセプタタイプ欠陥準位(
バンプ状分布)のピーク位置における状態密度(nga=9.0E17[/cm3eV]
)、ドナータイプ欠陥準位(バンプ状分布)のピーク位置における状態密度(ngd=5
.0E17[/cm3eV])とする。その他のパラメータは、アモルファスシリコン膜
のパラメータと同じとした。
=1Vとした。なお、図20において、縦軸はソース−ドレイン間の電流(Ids[A/
μm])、横軸はゲート−ソース間の電位差(Vgs[V])を示している。
30nm、50nm、70nm、90nm)にかかわらず、比較例(不純物領域907を
設けない構造)に比べてオフ電流が低減することが確認された。また、不純物領域907
の深さ(dt)が深くなるにつれて、しきい値がプラス方向にシフトすることが確認され
たが、例えば、しきい値から+5V印加した場合のオン電流は比較例と同等になることが
確認された。
図19(B))と比較してオフ電流を低減させることができる。
101 ゲート電極
102 ゲート絶縁膜
103 半導体層
104 半導体層
105 半導体層
106 導電膜
107 絶縁膜
108 画素電極
109 不純物領域
110 薄膜トランジスタ
121 マスク
122 マスク
140a 半導体層
140b 半導体層
160 保護層
180 処理容器
182 ガス供給部
184 マイクロ波発生装置
200 プラズマ
900 基板
901 ゲート電極
902 ゲート絶縁膜
903 半導体層
904 半導体層
905a ソース領域
905b ドレイン領域
906a ソース電極
906b ドレイン電極
907 不純物領域
921 画素部
922 信号線駆動回路
923 走査線駆動回路
924 チューナ
925 映像信号増幅回路
926 映像信号処理回路
927 コントロール回路
928 信号分割回路
929 音声信号増幅回路
930 音声信号処理回路
931 制御回路
932 入力部
933 スピーカー
105a ソース領域
105b ドレイン領域
106a ソース電極
106b ドレイン電極
1110 ロード室
1115 アンロード室
1120 共通室
1121 搬送手段
1122 ゲートバルブ
1128 カセット
1130 基板
1200 共通室
2001 筐体
2002 表示用パネル
2003 主画面
2004 モデム
2005 受信機
2006 リモコン操作機
2007 表示部
2008 サブ画面
2009 スピーカー部
2301 携帯電話機
2302 表示部
2303 操作部
2401 本体
2402 表示部
2501 照明部
2502 傘
2503 可変アーム
2504 支柱
2505 台
2506 電源
4001 基板
4002 画素部
4003 信号線駆動回路
4004 走査線駆動回路
4005 シール材
4006 基板
4007 充填材
4008 液晶
4009 薄膜トランジスタ
4010 薄膜トランジスタ
4011 発光素子
4012 透明導電膜
4013 液晶素子
4014 配線
4016 接続端子
4017 画素電極
4018 FPC
4019 異方性導電膜
4030 画素電極
4031 対向電極
4035 スペーサ
4041 薄膜トランジスタ
Claims (3)
- ゲート電極と、
前記ゲート電極上のゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上の、微結晶半導体を有する第1の半導体層と、
前記第1の半導体層上の、非晶質半導体を有する第2の半導体層と、
前記第2の半導体層上の、ソース領域及びドレイン領域と、
前記ソース領域上のソース電極と、
前記ドレイン領域上のドレイン電極と、を有し、
前記第2の半導体層上で前記ドレイン領域の端部と向き合う前記ソース領域の端部と、前記第2の半導体層上で前記ドレイン電極の端部と向き合う前記ソース電極の端部とは揃っておらず、
前記第2の半導体層上で前記ソース領域の端部と向き合う前記ドレイン領域の端部と、前記第2の半導体層上で前記ソース電極の端部と向き合う前記ドレイン電極の端部とは揃っておらず、
前記第2の半導体層は、前記ソース領域と前記ドレイン領域との間に、不純物領域を有し、
前記不純物領域と、前記ソース領域及び前記ドレイン領域とは、異なる導電型であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1において、
前記第1の半導体層は、前記第2の半導体層より薄いことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1または請求項2において、
前記第2の半導体層は、前記ソース領域と前記ドレイン領域との間に、凹部を有することを特徴とする半導体装置。
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