JP5696858B2 - マイクロレンズ用感光性樹脂組成物 - Google Patents
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Description
また、液晶ディスプレイ(LCD)、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ装置等のディスプレイ装置の絶縁膜の開発を目的に、インデンとマレイミドとN−置換マレイミドからなるアルカリ可溶性共重合体、1,2−ナフトキノンジアジド化合物、架橋剤を含有する感放射線性樹脂組成物を用いることを特徴とするディスプレイ装置の絶縁膜形成方法が提案されている(特許文献5)。
さらに、多官能(メタ)アクリレートとの相溶性に非常に優れ、また、アルカリ可溶性も良好であり、したがって、このような特徴が要求される各種用途に好適に用いることを目的に、無置換マレイミド由来の単量体構造単位、スチレン類由来の単量体構造単位、(メタ)アクリル酸由来の単量体構造を含有することを特徴とする、マレイミド系共重合体が提案されている(特許文献6)。
しかし、これら従来文献は、マイクロレンズ用感光性樹脂組成物としての用途の提供を目的とするものでなく、かつ、無置換マレイミド構造単位、及びエポキシ基又はブロックイソシアネート基を含む構造単位を有する共重合体のマイクロレンズ用感光性樹脂組成物への適用について具体的な手段及び効果は示唆されていない。
すなわち、第1観点として、
(A)成分、(B)成分及び溶剤を含有するマイクロレンズ用感光性樹脂組成物。
(A)成分:下記式(1)で表されるマレイミド構造単位及び下記式(2)で表される繰り返し構造単位を有する共重合体
(B)成分:感光剤
第2観点として、前記熱架橋性を有する1価の有機基は、エポキシ基又はブロックイソシアネート基を含むことを特徴とする第1観点に記載のマイクロレンズ用感光性樹脂組成物。
第3観点として、前記(A)成分が、さらに、下記式(3)、式(4)及び式(5)で表される繰り返し構造単位3種のうち少なくとも1種を有する共重合体である、第1観点又は第2観点に記載のマイクロレンズ用感光性樹脂組成物。
(前記式(4)中、Yはフェニル基、ナフチル基、アントラセニル基、ビフェニリル基又は炭素原子数1乃至8のアルコキシ基を表す。但し、該フェニル基、該ナフチル基、該アントラセニル基及び該ビフェニリル基は、水素原子の一部又は全てが炭素原子数1乃至10のアルキル基、ハロゲン原子、カルボキシル基、ヒドロキシル基、アミノ基又はニトロ基で置換されていても良い。)
第4観点として、更に(C)成分として架橋剤を含む第1観点乃至第3観点のいずれか一に記載のマイクロレンズ用感光性樹脂組成物。
第5観点として、前記重合体の重量平均分子量が1000乃至50000である、第1観点乃至第4観点のいずれか一に記載のマイクロレンズ用感光性樹脂組成物。
第6観点として、第1観点乃至第5観点のいずれか一に記載のマイクロレンズ用感光性樹脂組成物から得られる硬化膜。
第7観点として、第1観点乃至第5観点のいずれか一に記載のマイクロレンズ用感光性樹脂組成物から作製されるマイクロレンズ。
本発明の最も好適な態様は、以下の[1]〜[3]に示すマイクロレンズ用感光性樹脂組成物である。
[1](A)成分、(B)成分及び溶剤を含有するマイクロレンズ用感光性樹脂組成物。(A)成分:下記式(1)で表されるマレイミド構造単位及び下記式(2)で表される繰り返し構造単位を有し、さらに、下記式(3)で表される繰り返し構造単位を有する共重合体であって、下記式(4)で表される繰り返し構造を含まない共重合体、
(B)成分:感光剤
(前記式(4)中、Yはビフェニリル基又は炭素原子数1乃至8のアルコキシ基を表す。但し、該ビフェニリル基は、水素原子の一部又は全てが炭素原子数1乃至10のアルキル基、ハロゲン原子、カルボキシル基、ヒドロキシル基、アミノ基又はニトロ基で置換されていても良い。)
[2](A)成分、(B)成分及び溶剤を含有するマイクロレンズ用感光性樹脂組成物。(A)成分:下記式(1)で表されるマレイミド構造単位及び下記式(2)で表される繰り返し構造単位を有し、さらに、下記式(3)で表される繰り返し構造単位を有する共重合体であって、下記式(4)で表される繰り返し構造を含まない共重合体、
(B)成分:感光剤
(前記式(4)中、Yはフェニル基、ナフチル基、アントラセニル基、ビフェニリル基又は炭素原子数1乃至8のアルコキシ基を表す。但し、該フェニル基、該ナフチル基、該アントラセニル基及び該ビフェニリル基は、水素原子の一部又は全てが炭素原子数1乃至10のアルキル基、ハロゲン原子、カルボキシル基、ヒドロキシル基、アミノ基又はニトロ基で置換されていても良い。)
[3](A)成分、(B)成分及び溶剤を含有するマイクロレンズ用感光性樹脂組成物。(A)成分:下記式(1)で表されるマレイミド構造単位及び下記式(2)で表される繰り返し構造単位を有し、さらに、下記式(3)で表される繰り返し構造単位を有する共重合体であって、下記式(4)で表される繰り返し構造を含まない共重合体、
(B)成分:感光剤
(前記式(4)中、Yはフェニル基、ナフチル基又はアントラセニル基を表す。但し、該フェニル基、該ナフチル基及び該アントラセニル基は、水素原子の一部又は全てが炭素原子数1乃至10のアルキル基、ハロゲン原子、カルボキシル基、ヒドロキシル基、アミノ基又はニトロ基で置換されていても良い。)
また、本発明のマイクロレンズ用感光性樹脂組成物から形成されたパターンも優れた耐熱性を有することが可能である。
以上より、本発明のマイクロレンズ用感光性樹脂組成物から形成される膜は、その形成工程、又は配線等の周辺装置の形成工程において、高温での加熱処理が行われる場合にマイクロレンズが着色し、レンズ形状が変形する可能性を著しく減少できる。また、マイクロレンズ形成後に電極、配線形成工程が行われる場合には、有機溶剤によるマイクロレンズの変形、剥離といった問題も著しく減少できる。
したがって、本発明のマイクロレンズ用感光性樹脂組成物は、マイクロレンズを形成する材料として好適である。
以下、各成分の詳細を説明する。
本発明のマイクロレンズ用感光性樹脂組成物から溶剤を除いた固形分は通常、1乃至50質量%である。
本発明の(A)成分は、下記式(1)で表されるマレイミド構造単位及び下記式(2)で表される繰り返し構造単位を有する共重合体である。
前記エポキシ基を含む有機基としては、非脂環式構造であっても脂環式構造を含んでいても良い。前記R2を、エポキシ基を含む有機基とした場合の繰り返し構造単位である式(2)の具体的な例としては、当該エポキシ基を含む有機基が、非脂環式構造であれば下記式(6)で表される繰り返し構造単位、脂環式構造であれば下記式(7)で表される繰り返し構造単位が挙げられる。
前記R2を、ブロックイソシアネート基を含む有機基とした場合の繰り返し構造単位である式(2)の具体的な例としては、下記式(8)で表される繰り返し構造単位、及び下記式(9)で表される繰り返し構造単位が挙げられ、ブロック剤の脱離温度の観点から下記式(8)で表される繰り返し構造単位が好ましい。
上記式(4)中、Yはフェニル基、ナフチル基、アントラセニル基、ビフェニリル基又は炭素原子数1乃至8のアルコキシ基を表す。但し、該フェニル基、該ナフチル基、該アントラセニル基及び該ビフェニリル基は、水素原子の一部又は全てが炭素原子数1乃至10のアルキル基、ハロゲン原子、カルボキシル基、ヒドロキシル基、アミノ基又はニトロ基で置換されていても良い。)
本発明の(B)成分である感光剤としては、感光成分として使用できる化合物であれば、特に限定されるものでないが、1,2−ナフトキノンジアジド化合物が好ましい。
前記1,2−ナフトキノンジアジド化合物としては、ヒドロキシル基を有する化合物であって、これらのヒドロキシル基のうち、10乃至100モル%、好ましくは20乃至95モル%が1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル化された化合物を用いることができる。
これらの架橋剤は、単独で又は二種以上を組み合わせて用いることができる。
上記式(13)で表されるオキシラン構造を有する化合物の具体例としては、以下に示す市販品が挙げられるが、これらの例に限定されるわけではない。脂環式エポキシ樹脂としては、例えば、デナコール(登録商標)EX−252(ナガセケムッテクス(株)製)、EPICLON(登録商標)200、同400(以上DIC(株)製)、jER(登録商標)871、同872(以上、三菱化学(株)製)が挙げられる。ビスフェノールA型エポキシ樹脂としては、例えば、jER(登録商標)828、同834、同1001、同1004(以上、三菱化学(株)製)、EPICLON(登録商標)850、同860、同4055(以上、DIC(株)製)が挙げられる。ビスフェノールF型エポキシ樹脂としては、例えば、jER(登録商標)807(三菱化学(株)製)、EPICLON(登録商標)830(DIC(株)製)が挙げられる。フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては、例えば、EPICLON(登録商標)N−740、同N−770、同N−775(以上、DIC(株)製)、jER(登録商標)152、同154(以上、三菱化学(株)製)が挙げられる。クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、例えば、EPICLON(登録商標)N−660、同N−665、同N−670、同N−673、同N−680、同N−695、同N−665−EXP、同N−672−EXP(以上、DIC(株)製)等が挙げられる。グリシジルアミン型エポキシ樹脂としては、例えば、EPICLON(登録商標)430、同430−L(以上、DIC(株)製)、TETRAD(登録商標)−C、TETRAD(登録商標)−X(以上、三菱ガス化学(株)製)、jER(登録商標)604、同630(以上、三菱化学(株)製)、スミエポキシ(登録商標)ELM120、同ELM100、同ELM434、同ELM434HV(以上、住友化学(株)製)、エポトート(登録商標)YH−434、同YH−434L(以上、東都化成(株)製)が挙げられる。
そのような溶剤としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、ピルビン酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、2−ヘプタノン、γ−ブチロラクトンを挙げることができる。
当該界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンオクチルフェノールエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェノールエーテル等のポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシエチレン・ポリオキシプロピレンブロックコポリマー類、ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノパルミテート、ソルビタンモノステアレート、ソルビタンモノオレエート、ソルビタントリオレエート、ソルビタントリステアレート等のソルビタン脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテート、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリオキシエチレンソルビタントリオレエート、ポリオキシエチレンソルビタントリステアレート等のポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル類等のノニオン系界面活性剤、エフトップ(登録商標)EF301、同EF303、同EF352(以上、三菱マテリアル電子化成株式会社(旧(株)ジェムコ)製)、メガファック(登録商標)F171、同F173、同R30(以上、DIC(株)製)、フロラードFC430、同FC431(以上、住友スリーエム(株)製)、アサヒガード(登録商標)AG710、サーフロン(登録商標)S−382、同SC101、同SC102、同SC103、同SC104、同SC105、同SC106(旭硝子(株)製)、FTX−206D、FTX−212D、FTX−218、FTX−220D、FTX−230D、FTX−240D、FTX−212P、FTX−220P、FTX−228P、FTX−240G等フタージェントシリーズ((株)ネオス製)等のフッ素系界面活性剤、オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)製)を挙げることができる。
さらに、これらの現像液に界面活性剤を加えることもできる。
〔下記合成例で得られたポリマーの重量平均分子量の測定〕
装置:日本分光(株)製GPCシステム
カラム:Shodex〔登録商標〕KL−804L及び803L
カラムオーブン:40℃
流量:1ml/分
溶離液:テトラヒドロフラン
<合成例1>
マレイミド15.0g、グリシジルメタクリレート22.0g、N−シクロヘキシルマレイミド23.7g、及び2,2’−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル1.2gをプロピレングリコールモノメチルエーテル144.5gに溶解させた後、この溶液を、プロピレングリコールモノメチルエーテル41.3gを80℃に保持したフラスコ中に3時間かけて滴下した。滴下終了後、12時間反応させた。この反応溶液を室温に冷却後、ジエチルエーテル溶媒に投入してポリマーを再沈殿させ、減圧乾燥して、下記式(14)で表される3種の繰り返し構造単位を有するポリマー(共重合体)を得た。
得られたポリマーの重量平均分子量Mwは4,900(ポリスチレン換算)であった。
マレイミド2.0g、グリシジルメタクリレート5.86g、スチレン4.29g、及び2,2’−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル0.6gをプロピレングリコールモノメチルエーテル29.8gに溶解させた後、この溶液を、プロピレングリコールモノメチルエーテル8.5gを80℃に保持したフラスコ中に3時間かけて滴下した。滴下終了後、12時間反応させた。この反応溶液を室温に冷却後、ジエチルエーテル溶媒に投入してポリマーを再沈殿させ、減圧乾燥して、下記式(15)で表される3種の繰り返し構造単位を有するポリマー(共重合体)を得た。
得られたポリマーの重量平均分子量Mwは6,000(ポリスチレン換算)であった。
マレイミド3.7g、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート(サイクロマー(登録商標)M100(ダイセル化学工業(株)製))7.5g、N−シクロヘキシルマレイミド3.4g、及び2,2’−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル0.3gをプロピレングリコールモノメチルエーテル34.7gに溶解させた後、この溶液を、プロピレングリコールモノメチルエーテル9.9gを100℃に保持したフラスコ中に3時間かけて滴下した。滴下終了後、12時間反応させた。この反応溶液を室温に冷却後、ジエチルエーテル溶媒に投入してポリマーを再沈殿させ、減圧乾燥して、下記式(16)で表される3種の繰り返し構造単位を有するポリマー(共重合体)を得た。
得られたポリマーの重量平均分子量Mwは3,500(ポリスチレン換算)であった。
マレイミド12.0g、グリシジルメタクリレート8.4g、2−ビニルナフタレン17.2g、及び2,2’−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル2.0gをプロピレングリコールモノメチルエーテル92.5gに溶解させた後、この溶液を、プロピレングリコールモノメチルエーテル26.4gを80℃に保持したフラスコ中に3時間かけて滴下した。滴下終了後、12時間反応させた。この反応溶液を室温に冷却後、メタノール溶媒に投入してポリマーを再沈殿させ、減圧乾燥して、下記式(17)で表される3種の繰り返し構造単位を有するポリマー(共重合体)を得た。
得られたポリマーの重量平均分子量Mwは9,500(ポリスチレン換算)であった。
マレイミド10.0g、グリシジルメタクリレート7.0g、4−tert−ブチルスチレン14.9g、及び2,2’−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル1.7gをプロピレングリコールモノメチルエーテル78.4gに溶解させた後、この溶液を、プロピレングリコールモノメチルエーテル22.4gを80℃に保持したフラスコ中に3時間かけて滴下した。滴下終了後、12時間反応させた。この反応溶液を室温に冷却後、純水に投入してポリマーを再沈殿させ、減圧乾燥して、下記式(18)で表される3種の繰り返し構造単位を有するポリマー(共重合体)を得た。
得られたポリマーの重量平均分子量Mwは15,500(ポリスチレン換算)であった。
マレイミド3.0g、2−(O−[1’−メチルプロピリデンアミノ]カルボキシアミノ)エチルメタクリレート(カレンズMOI−BM(登録商標)(昭和電工(株)製)5.6g、N−シクロヘキシルマレイミド4.2g、及び2,2’−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル0.3gをプロピレングリコールモノメチルエーテル30.4gに溶解させた後、この溶液を、プロピレングリコールモノメチルエーテル8.7gを80℃に保持したフラスコ中に3時間かけて滴下した。滴下終了後、12時間反応させた。この反応溶液を室温に冷却後、ジエチルエーテル溶媒に投入してポリマーを再沈殿させ、減圧乾燥して、下記式(19)で表される3種の繰り返し構造単位を有するポリマー(共重合体)を得た。
得られたポリマーの重量平均分子量Mwは5,400(ポリスチレン換算)であった。
<実施例1>
合成例1で得られた(A)成分であるポリマー5g、(B)成分である感光剤としてP−200(東洋合成工業(株)製)1.5g、及び界面活性剤としてメガファックR−30(DIC(株)製)0.02gを、プロピレングリコールモノメチルエーテル28.6g及び乳酸エチル13.1gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.20μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して、感光性樹脂組成物を調製した。
(A)成分として合成例2で得られたポリマー5gを用いた以外は上記実施例1と同じ条件で、感光性樹脂組成物を調製した。
(A)成分として合成例3で得られたポリマー5gを用いた以外は上記実施例1と同じ条件で、感光性樹脂組成物を調製した。
(A)成分として合成例6で得られたポリマー5gを用いた以外は上記実施例1と同じ条件で、感光性樹脂組成物を調製した。
合成例1で得られた(A)成分であるポリマー5g、(B)成分である感光剤としてP−200(東洋合成工業(株)製)1.5g、(C)成分である架橋剤としてセロキサイド(登録商標)2021P(ダイセル化学工業(株)製)0.75g、及び界面活性剤としてメガファック(登録商標)R−30(DIC(株)製)0.02gを、プロピレングリコールモノメチルエーテル34.1g及び乳酸エチル14.6gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.20μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して、感光性樹脂組成物を調製した。
(A)成分として合成例4で得られたポリマー5gを用いた以外は、上記実施例5と同じ条件で、感光性樹脂組成物を調製した。
(A)成分として合成例5で得られたポリマー5gを用いた以外は、上記実施例5と同じ条件で、感光性樹脂組成物を調製した。
下記式(20)で表される繰り返し構造単位を有するポリ(4−ビニルフェノール)(シグマアルドリッチジャパン(株)製、重量平均分子量Mw20,000)9g、感光剤としてP−200(東洋合成工業(株)製)2.7g、架橋剤としてCYMEL(登録商標)303(日本サイテックインダストリーズ(株))1.4g、及び界面活性剤としてメガファック(登録商標)R−30(DIC(株)製)0.03gを、プロピレングリコールモノメチルエーテル46.0g及び乳酸エチル19.7gに溶解させ溶液とした。その後、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して感光性樹脂組成物を調製した。
実施例1乃至実施例7及び比較例1で調製した感光性樹脂組成物をそれぞれ、石英基板上にスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレート上において100℃で3分間プリベークした。次いで、紫外線照射装置PLA−501(F)(キャノン(株)製)により、365nmにおける照射量が500mJ/cm2の紫外線を全面照射した(フォトブリーチング)。次いで、ホットプレート上において200℃で5分間ポストベークを行い、膜厚600nmの膜を形成した。この膜を紫外線可視分光光度計UV−2550((株)島津製作所製)を用いて波長400nmの透過率を測定した。さらにこの膜を260℃で5分間加熱した後、波長400nmの透過率を測定した。評価の結果を表1に示す。
実施例1乃至実施例7で調製した感光性樹脂組成物をそれぞれ、シリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレート上において100℃で90秒間プリベークして、膜厚600nmの感光性樹脂膜を形成した。次いで、i線ステッパーNSR−2205i12D(NA=0.63)((株)ニコン製)を用いて、マスクを介して露光した。次いで、ホットプレート上において、100℃で90秒間露光後ベーク(PEB)し、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)水溶液(実施例1乃至実施例5で調製した感光性樹脂組成物を用いた場合は0.4質量%、実施例6、7及び比較例1で調製した感光性樹脂組成物を用いた場合は1.0質量%)で60秒間現像し、超純水で20秒間リンス、乾燥して1.4μm×1.4μmのドットパターンを形成した。さらに、前記i線ステッパーを用いて、500mJ/cm2のi線を全面照射し(フォトブリーチング)、ホットプレート上において本ベーク(まず100℃〜180℃の温度で5分間ベーク、その後180℃〜200℃の温度に昇温して5分間ベーク)を行った。さらに、この膜を260℃で5分間加熱した。走査型電子顕微鏡S−4800((株)日立ハイテクノロジーズ製)を用いて、現像・リンス・乾燥後、上記本ベーク後及び260℃加熱後それぞれのパターンの観察を行った。実施例1乃至実施例7で調製したいずれの感光性樹脂組成物を用いた場合も本ベーク後に半球状のレンズが得られ、その後の260℃ベークによってもレンズ形状が変化しないことを確認した。
実施例1乃至実施例7で調製した感光性樹脂組成物をそれぞれ、シリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレート上において100℃で3分間プリベークした。次いで、紫外線照射装置PLA−501(F)(キャノン(株)製)により、365nmにおける照射量が500mJ/cm2の紫外線を全面照射した(フォトブリーチング)。次いで、ホットプレート上において200℃で5分間ポストベークを行い、膜厚600nmの膜を形成した。これらの膜を、アセトン、N−メチルピロリドン、2−プロパノール、及び2−ヘプタノンに、それぞれ23℃にて10分間浸漬した。実施例1乃至実施例7で調製したいずれの感光性樹脂組成物から形成された膜の場合も、上記各溶剤に浸漬前後での膜厚変化が5%以下であることを確認した。
Claims (8)
- (A)成分、(B)成分及び溶剤を含有するマイクロレンズ用感光性樹脂組成物。
(A)成分:下記式(1)で表されるマレイミド構造単位及び下記式(2)で表される繰り返し構造単位を有し、さらに、下記式(3)で表される繰り返し構造単位を有する共重合体であって、下記式(4)で表される繰り返し構造を含まない共重合体、
(B)成分:感光剤
(前記式(4)中、Yはビフェニリル基又は炭素原子数1乃至8のアルコキシ基を表す。但し、該ビフェニリル基は、水素原子の一部又は全てが炭素原子数1乃至10のアルキル基、ハロゲン原子、カルボキシル基、ヒドロキシル基、アミノ基又はニトロ基で置換されていても良い。) - (A)成分、(B)成分及び溶剤を含有するマイクロレンズ用感光性樹脂組成物。
(A)成分:下記式(1)で表されるマレイミド構造単位及び下記式(2)で表される繰り返し構造単位を有し、さらに、下記式(3)で表される繰り返し構造単位を有する共重合体であって、下記式(4)で表される繰り返し構造を含まない共重合体、
(B)成分:感光剤
基、該フェニル基及び該ベンジル基は、水素原子の一部又は全てがハロゲン原子、カルボキシル基、ヒドロキシル基、アミノ基又はニトロ基で置換されていても良い。)
(前記式(4)中、Yはフェニル基、ナフチル基、アントラセニル基、ビフェニリル基又は炭素原子数1乃至8のアルコキシ基を表す。但し、該フェニル基、該ナフチル基、該アントラセニル基及び該ビフェニリル基は、水素原子の一部又は全てが炭素原子数1乃至10のアルキル基、ハロゲン原子、カルボキシル基、ヒドロキシル基、アミノ基又はニトロ基で置換されていても良い。) - 更に(C)成分として架橋剤を含む請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のマイクロレンズ用感光性樹脂組成物。
- 前記共重合体の重量平均分子量が1000乃至50000である、請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載のマイクロレンズ用感光性樹脂組成物。
- 請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載のマイクロレンズ用感光性樹脂組成物から得られる硬化膜。
- 請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載のマイクロレンズ用感光性樹脂組成物から作製されるマイクロレンズ。
- (A)成分、(B)成分及び溶剤を含有するマイクロレンズ用感光性樹脂組成物。
(A)成分:下記式(1)で表されるマレイミド構造単位及び下記式(2)で表される繰り返し構造単位を有し、さらに、下記式(3)で表される繰り返し構造単位を有する共重合体であって、下記式(4)で表される繰り返し構造を含まない共重合体、
(B)成分:感光剤
(前記式(4)中、Yはフェニル基、ナフチル基又はアントラセニル基を表す。但し、該フェニル基、該ナフチル基及び該アントラセニル基は、水素原子の一部又は全てが炭素原
子数1乃至10のアルキル基、ハロゲン原子、カルボキシル基、ヒドロキシル基、アミノ基又はニトロ基で置換されていても良い。)
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