JP5682897B2 - 基板を含む半導体ウェハの一部分内にビアを形成するための方法および基板を含む半導体ウェハの一部分内に形成されるビア構造体 - Google Patents
基板を含む半導体ウェハの一部分内にビアを形成するための方法および基板を含む半導体ウェハの一部分内に形成されるビア構造体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5682897B2 JP5682897B2 JP2012507773A JP2012507773A JP5682897B2 JP 5682897 B2 JP5682897 B2 JP 5682897B2 JP 2012507773 A JP2012507773 A JP 2012507773A JP 2012507773 A JP2012507773 A JP 2012507773A JP 5682897 B2 JP5682897 B2 JP 5682897B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trench
- forming
- substrate
- hole
- semiconductor substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76898—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics formed through a semiconductor substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/481—Internal lead connections, e.g. via connections, feedthrough structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/095—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00 with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials provided in the groups H01L2924/013 - H01L2924/0715
- H01L2924/097—Glass-ceramics, e.g. devitrified glass
- H01L2924/09701—Low temperature co-fired ceramic [LTCC]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Description
Claims (23)
- 半導体基板を含む半導体ウェハの一部分内に基板貫通ビアを形成するための方法であって、
前記半導体基板の表面側に表面層を形成するステップであって、前記表面層は表面接点を含む、前記形成するステップと、
前記半導体基板にトレンチを形成して、第1の部分及び、当該第1の部分の外側にある第2の部分を形成するステップであって、前記トレンチは、前記半導体基板の前記第1の部分を取り囲み、当該半導体基板の前記第2の部分から前記第1の部分を分離するように形成される、前記第1の部分及び第2の部分を形成するステップと、
前記第1の部分内に前記半導体基板を貫通する穴を形成するステップであって、前記穴は前記表面接点下にある、前記形成するステップと、
前記トレンチ及び前記穴の各内部、並びに、前記第1の部分及び前記第2の部分の裏面上に金属層を形成するステップと、
前記トレンチ内の前記金属層をエッチングするステップであって、前記トレンチの底面及び前記トレンチの外側内壁上に形成された前記金属層をエッチングして、前記金属層を電気的に分断する、前記エッチングするステップと、
前記エッチング後に、前記穴及び前記トレンチの内部に誘電体を充填するステップであって、前記誘電体を充填された穴が前記基板貫通ビアを形成し、前記表面接点が前記基板貫通ビアに結合される、前記充填するステップと
を含む前記方法。 - 半導体基板を含む半導体ウェハの一部分内に基板貫通ビアを備えている集積回路を形成するための方法であって、
前記半導体基板の表面側に表面層を形成するステップであって、前記表面層は表面接点を含む、前記形成するステップと、
前記半導体基板にトレンチを形成して、第1の部分及び、当該第1の部分の外側にある第2の部分を形成するステップであって、前記トレンチは、前記半導体基板の前記第1の部分を取り囲み、当該半導体基板の前記第2の部分から前記第1の部分を分離するように形成される、前記第1の部分及び第2の部分を形成するステップと、
前記第1の部分内に前記半導体基板を貫通する穴を形成するステップであって、前記穴は前記表面接点下にある、前記形成するステップと、
前記トレンチ及び前記穴の各内部、並びに、前記第1の部分及び前記第2の部分の裏面上に金属層を形成するステップと、
前記トレンチ内の前記金属層をエッチングするステップであって、前記トレンチの底面及び前記トレンチの外側内壁上に形成された前記金属層をエッチングして、前記金属層を電気的に分断する、前記エッチングするステップと、
前記エッチング後に、前記穴及び前記トレンチの内部に誘電体を充填するステップであって、前記誘電体を充填された穴が前記基板貫通ビアを形成し、前記表面接点が前記基板貫通ビアに結合される、前記充填するステップと
を含む前記方法。 - 前記トレンチを形成すること及び前記穴を形成することが同時に行われる、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記トレンチを形成すること及び前記穴を形成することが、反応性イオン・エッチング、又はウェット・エッチングによって形成される、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記トレンチが前記半導体基板を貫通して前記半導体基板の表面まで伸びる、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記トレンチが前記半導体基板を貫通して前記表面層内まで伸びる、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記金属層を形成するステップが、ライナ及びシード層を形成するステップを含む、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記金属層を形成するステップが、前記ライナ及びシード層を形成した後に、電気めっきを行うステップを含む、請求項7に記載の方法。
- 前記電気めっきが、ダマシーン電気めっきである、請求項8に記載の方法。
- 前記電気めっきが銅を含む、請求項9に記載の方法。
- 前記金属層をエッチングするステップが、
電気エッチングをするステップと、
反応性イオン・エッチングをするステップと
を含む、請求項1〜10のいずれか一項に記載の方法。 - 前記金属層をエッチングするステップが、反応性イオン・エッチングをするステップの後に、
電気エッチングをするステップ
をさらに含む、請求項11に記載の方法。 - 前記金属層をエッチングするステップの前に、
前記穴の内部にある金属層上に保護誘電体を形成するステップと、
前記穴の外側に形成された保護誘電体を除去するステップと
をさらに含む、請求項1〜12のいずれか一項に記載の方法。 - 前記半導体基板の裏面から、前記金属層を除去するステップをさらに含む、請求項1〜13のいずれか一項に記載の方法。
- 前記金属層を除去した後に、
前記半導体基板の裏面側に絶縁層を形成するステップと、
前記絶縁層内に裏面接点を形成するステップであって、前記裏面接点は前記穴下にある、前記形成するステップと、
前記絶縁層上又は前記絶縁層内部にパッドを形成するステップと
を含む、請求項14に記載の方法。 - 前記パッドが金属を含み、導電性である、請求項15に記載の方法。
- 前記パッドが、前記基板貫通ビアの前記誘電体に結合された裏面接点に結合される、請求項15又は16に記載の方法。
- 前記表面層が、前記表面接点を取り囲む絶縁体を備えている、請求項1〜17のいずれか一項に記載の方法。
- 前記トレンチが環状の形状を有し、前記穴が円柱の形を有する、請求項1〜18のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第1の部分が円筒状の壁の形を有する、請求項19に記載の方法。
- 前記第1の部分は、前記誘電体を充填されたトレンチによって、前記第2の部分から電気的に分離される、請求項1〜20のいずれか一項に記載の方法。
- 前記表面層が、配線、デバイス、又は回路を含む、請求項1〜21のいずれか一項に記載の方法。
- 前記配線、デバイス若しくは回路、又はその一部が、前記表面層内に存在する、請求項22に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/432,243 | 2009-04-29 | ||
US12/432,243 US8263492B2 (en) | 2009-04-29 | 2009-04-29 | Through substrate vias |
PCT/EP2010/055867 WO2010125164A1 (en) | 2009-04-29 | 2010-04-29 | Through substrate vias |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012525696A JP2012525696A (ja) | 2012-10-22 |
JP5682897B2 true JP5682897B2 (ja) | 2015-03-11 |
Family
ID=42227740
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012507773A Expired - Fee Related JP5682897B2 (ja) | 2009-04-29 | 2010-04-29 | 基板を含む半導体ウェハの一部分内にビアを形成するための方法および基板を含む半導体ウェハの一部分内に形成されるビア構造体 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8263492B2 (ja) |
EP (1) | EP2436031B1 (ja) |
JP (1) | JP5682897B2 (ja) |
CN (1) | CN102301465B (ja) |
WO (1) | WO2010125164A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8263492B2 (en) * | 2009-04-29 | 2012-09-11 | International Business Machines Corporation | Through substrate vias |
FR2953992B1 (fr) * | 2009-12-15 | 2012-05-18 | Commissariat Energie Atomique | Realisation de structures d'interconnexions tsv formees d'un contour isolant et d'une zone conductrice situee dans le contour et disjointe du contour |
JP5600427B2 (ja) * | 2009-12-25 | 2014-10-01 | 株式会社フジクラ | 貫通配線基板の材料基板 |
KR20120052734A (ko) * | 2010-11-16 | 2012-05-24 | 삼성전자주식회사 | 반도체 칩 및 반도체 칩의 형성 방법 |
US8654541B2 (en) | 2011-03-24 | 2014-02-18 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Three-dimensional power electronics packages |
US9257525B2 (en) | 2011-05-13 | 2016-02-09 | Intersil Americas LLC | Systems and methods for forming isolated devices in a handle wafer |
KR101934864B1 (ko) * | 2012-05-30 | 2019-03-18 | 삼성전자주식회사 | 관통 실리콘 비아 구조물 및 그 제조 방법, 이를 포함하는 이미지 센서 및 그 제조 방법 |
US8932956B2 (en) | 2012-12-04 | 2015-01-13 | International Business Machines Corporation | Far back end of the line stack encapsulation |
US9070741B2 (en) | 2012-12-17 | 2015-06-30 | Infineon Technologies Austria Ag | Method of manufacturing a semiconductor device and a semiconductor workpiece |
US8668835B1 (en) | 2013-01-23 | 2014-03-11 | Lam Research Corporation | Method of etching self-aligned vias and trenches in a multi-layer film stack |
US8906810B2 (en) | 2013-05-07 | 2014-12-09 | Lam Research Corporation | Pulsed dielectric etch process for in-situ metal hard mask shape control to enable void-free metallization |
TWI560758B (en) * | 2014-10-20 | 2016-12-01 | Niko Semiconductor Co Ltd | Manufacturing method of wafer level chip scale package structure |
CN108062181B (zh) | 2018-01-02 | 2021-08-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | 基板及其制作方法、电子设备 |
JP2019145737A (ja) * | 2018-02-23 | 2019-08-29 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
CN114078954B (zh) * | 2018-08-03 | 2024-04-05 | 长江存储科技有限责任公司 | 存储器结构及其形成方法 |
CN109860098B (zh) * | 2019-01-07 | 2021-04-13 | 中国科学院微电子研究所 | 一种soi器件结构及其制备方法 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6835898B2 (en) * | 1993-11-16 | 2004-12-28 | Formfactor, Inc. | Electrical contact structures formed by configuring a flexible wire to have a springable shape and overcoating the wire with at least one layer of a resilient conductive material, methods of mounting the contact structures to electronic components, and applications for employing the contact structures |
US6239485B1 (en) * | 1998-11-13 | 2001-05-29 | Fujitsu Limited | Reduced cross-talk noise high density signal interposer with power and ground wrap |
US6322903B1 (en) * | 1999-12-06 | 2001-11-27 | Tru-Si Technologies, Inc. | Package of integrated circuits and vertical integration |
US6498381B2 (en) * | 2001-02-22 | 2002-12-24 | Tru-Si Technologies, Inc. | Semiconductor structures having multiple conductive layers in an opening, and methods for fabricating same |
DE10205026C1 (de) | 2002-02-07 | 2003-05-28 | Bosch Gmbh Robert | Halbleitersubstrat mit einem elektrisch isolierten Bereich, insbesondere zur Vertikalintegration |
US7298030B2 (en) * | 2003-09-26 | 2007-11-20 | Tessera, Inc. | Structure and method of making sealed capped chips |
US7049170B2 (en) * | 2003-12-17 | 2006-05-23 | Tru-Si Technologies, Inc. | Integrated circuits and packaging substrates with cavities, and attachment methods including insertion of protruding contact pads into cavities |
US7060601B2 (en) * | 2003-12-17 | 2006-06-13 | Tru-Si Technologies, Inc. | Packaging substrates for integrated circuits and soldering methods |
JP4439976B2 (ja) * | 2004-03-31 | 2010-03-24 | Necエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
US8105941B2 (en) * | 2005-05-18 | 2012-01-31 | Kolo Technologies, Inc. | Through-wafer interconnection |
US7317256B2 (en) * | 2005-06-01 | 2008-01-08 | Intel Corporation | Electronic packaging including die with through silicon via |
US7215032B2 (en) * | 2005-06-14 | 2007-05-08 | Cubic Wafer, Inc. | Triaxial through-chip connection |
US7488680B2 (en) * | 2005-08-30 | 2009-02-10 | International Business Machines Corporation | Conductive through via process for electronic device carriers |
US7633167B2 (en) * | 2005-09-29 | 2009-12-15 | Nec Electronics Corporation | Semiconductor device and method for manufacturing same |
US7989915B2 (en) * | 2006-07-11 | 2011-08-02 | Teledyne Licensing, Llc | Vertical electrical device |
US20080079150A1 (en) * | 2006-09-28 | 2008-04-03 | Juergen Simon | Die arrangement and method for producing a die arrangement |
US7863189B2 (en) * | 2007-01-05 | 2011-01-04 | International Business Machines Corporation | Methods for fabricating silicon carriers with conductive through-vias with low stress and low defect density |
JP5563186B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2014-07-30 | ピーエスフォー ルクスコ エスエイアールエル | 半導体装置及びその製造方法 |
KR101341586B1 (ko) * | 2007-08-30 | 2013-12-16 | 삼성전자주식회사 | 반도체 집적 회로 장치 및 이의 제조 방법 |
WO2009050207A1 (en) | 2007-10-15 | 2009-04-23 | Interuniversitair Microelectronica Centrum Vzw | Method for producing electrical interconnects and devices made thereof |
JP2009124087A (ja) * | 2007-11-19 | 2009-06-04 | Oki Semiconductor Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2009181981A (ja) * | 2008-01-29 | 2009-08-13 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
US8263492B2 (en) | 2009-04-29 | 2012-09-11 | International Business Machines Corporation | Through substrate vias |
-
2009
- 2009-04-29 US US12/432,243 patent/US8263492B2/en active Active
-
2010
- 2010-04-29 EP EP10716541.7A patent/EP2436031B1/en not_active Not-in-force
- 2010-04-29 JP JP2012507773A patent/JP5682897B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-04-29 CN CN201080005862.3A patent/CN102301465B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-04-29 WO PCT/EP2010/055867 patent/WO2010125164A1/en active Application Filing
-
2012
- 2012-05-10 US US13/468,609 patent/US8796138B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2436031B1 (en) | 2013-09-25 |
US20120217651A1 (en) | 2012-08-30 |
JP2012525696A (ja) | 2012-10-22 |
CN102301465B (zh) | 2014-12-24 |
WO2010125164A1 (en) | 2010-11-04 |
US8796138B2 (en) | 2014-08-05 |
CN102301465A (zh) | 2011-12-28 |
US20100276786A1 (en) | 2010-11-04 |
US8263492B2 (en) | 2012-09-11 |
EP2436031A1 (en) | 2012-04-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5682897B2 (ja) | 基板を含む半導体ウェハの一部分内にビアを形成するための方法および基板を含む半導体ウェハの一部分内に形成されるビア構造体 | |
JP5670306B2 (ja) | 浅いトレンチ分離および基板貫通ビアの集積回路設計への統合 | |
TWI473247B (zh) | 具有高q晶圓背面電容之半導體積體電路裝置 | |
US9275933B2 (en) | Semiconductor device | |
US20130264676A1 (en) | Semiconductor package with through silicon via interconnect and method for fabricating the same | |
US20130015504A1 (en) | Tsv structure and method for forming the same | |
KR20120002499A (ko) | 스트레스 완화 메커니즘을 갖는 관통 홀 비아들을 포함하는 반도체 디바이스 | |
KR20130053338A (ko) | Tsv 구조를 구비한 집적회로 소자 | |
KR20200007391A (ko) | 반도체 장치 및 그 제조 방법 | |
US20130140688A1 (en) | Through Silicon Via and Method of Manufacturing the Same | |
US8822336B2 (en) | Through-silicon via forming method | |
TWI571988B (zh) | 具有矽貫穿電極的晶片以及其形成方法 | |
US9012324B2 (en) | Through silicon via process | |
US9478464B2 (en) | Method for manufacturing through-hole silicon via | |
TWI518861B (zh) | 矽穿孔結構及其製法 | |
TWI575688B (zh) | 直通矽晶穿孔製程 | |
US20240038695A1 (en) | Via formed in a wafer using a front-side and a back-side process | |
CN107644836A (zh) | 用于三维存储器的晶圆三维集成引线工艺及其结构 | |
JP2011151138A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US20180308794A1 (en) | Semiconductor device | |
TWI531027B (zh) | 穿矽導通體之製法及結構 | |
TWI447881B (zh) | 矽貫通電極結構及其製法 | |
TWI521665B (zh) | 矽貫穿電極以及其形成方法 | |
KR20120120776A (ko) | 관통실리콘비아를 구비한 반도체 패키지 및 그 제조 방법 | |
TW201324726A (zh) | 穿矽電極及其製作方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130116 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140225 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140313 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20140313 |
|
RD12 | Notification of acceptance of power of sub attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7432 Effective date: 20140313 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20140314 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141106 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141107 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20141107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20141208 |
|
RD14 | Notification of resignation of power of sub attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7434 Effective date: 20141208 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150106 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5682897 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |