JP2009124087A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体基板とのショートを防止した貫通電極を有する半導体装置を製造する手段を提供する。
【解決手段】半導体基板1のおもて面上に形成された層間絶縁膜2と、層間絶縁膜上に形成されたパッド3と、保護膜4の開口部7に上部端子9を形成する。半導体基板の裏面のパッド下の領域に、層間絶縁膜に達する環状溝32を形成する。環状溝内に環状絶縁層33を形成すると共に、半導体基板の裏面に裏面絶縁膜13を形成する。裏面絶縁膜上の環状絶縁層に囲まれた領域に、パッドに達する電極形成穴16を形成する。電極形成穴に導電材料を埋込んでパッドに電気的に接続する貫通電極15を形成する。裏面絶縁膜上に貫通電極に電気的に接続する下部端子を形成する。
【選択図】図2
【解決手段】半導体基板1のおもて面上に形成された層間絶縁膜2と、層間絶縁膜上に形成されたパッド3と、保護膜4の開口部7に上部端子9を形成する。半導体基板の裏面のパッド下の領域に、層間絶縁膜に達する環状溝32を形成する。環状溝内に環状絶縁層33を形成すると共に、半導体基板の裏面に裏面絶縁膜13を形成する。裏面絶縁膜上の環状絶縁層に囲まれた領域に、パッドに達する電極形成穴16を形成する。電極形成穴に導電材料を埋込んでパッドに電気的に接続する貫通電極15を形成する。裏面絶縁膜上に貫通電極に電気的に接続する下部端子を形成する。
【選択図】図2
Description
本発明は、貫通電極を有する半導体装置の製造方法に関する。
近年、貫通電極を有する半導体装置を複数積層して、小型、大容量、高機能の半導体デバイスを形成する技術が開発されている。
半導体装置に貫通電極を形成する方法としては、半導体ウェハにトランジスタ等の半導体素子を形成する前に、貫通電極を形成する方法(Via−First方式)と、半導体素子を形成した後に、貫通電極を形成する方法(Via−last方式)とがあるが、イメージセンサ等の半導体デバイスに適用される半導体装置おいては、Via−last方式による貫通電極の形成方法が用いられている。
半導体装置に貫通電極を形成する方法としては、半導体ウェハにトランジスタ等の半導体素子を形成する前に、貫通電極を形成する方法(Via−First方式)と、半導体素子を形成した後に、貫通電極を形成する方法(Via−last方式)とがあるが、イメージセンサ等の半導体デバイスに適用される半導体装置おいては、Via−last方式による貫通電極の形成方法が用いられている。
このような、Via−last方式により形成した貫通電極を有する半導体装置の一般的な製造方法を、図8ないし図10にPZで示す工程に従って説明する。
PZ1(図8)、半導体基板としてのシリコン(Si)からなるシリコン基板1のおもて面に形成された図示しない半導体素子と、シリコン基板1のおもて面上に形成された酸化シリコン(SiO2)からなる層間絶縁膜2と、層間絶縁膜2上に形成され、図示しない半導体素子の所定の部位と電気的に接続するアルミニウム(Al)、チタン(Ti)銅(Cu)、ニッケル(Ni)、半田等の導電材料から選択された一の導電材料(アルミニウム)からなるパッド3と、層間絶縁膜2上およびパッド3上を覆う保護膜としての窒化シリコン(Si3N4)からなるパッシベーション膜4と有する半導体ウェハ5を準備する。
PZ1(図8)、半導体基板としてのシリコン(Si)からなるシリコン基板1のおもて面に形成された図示しない半導体素子と、シリコン基板1のおもて面上に形成された酸化シリコン(SiO2)からなる層間絶縁膜2と、層間絶縁膜2上に形成され、図示しない半導体素子の所定の部位と電気的に接続するアルミニウム(Al)、チタン(Ti)銅(Cu)、ニッケル(Ni)、半田等の導電材料から選択された一の導電材料(アルミニウム)からなるパッド3と、層間絶縁膜2上およびパッド3上を覆う保護膜としての窒化シリコン(Si3N4)からなるパッシベーション膜4と有する半導体ウェハ5を準備する。
PZ2(図8)、フォトリソグラフィにより、パッシベーション膜4上に、パッド3上の開口部7の形成領域のパッシベーション膜4を露出させたレジストマスク8(不図示)を形成し、これをマスクとして異方性エッチングにより、パッド3に達する開口部7を形成し、前記のレジストマスク8を剥離剤を用いて除去する。
次いで、フォトリソグラフィにより、パッシベーション膜4上に、開口部7を含む上部電極9の形成領域のパッシベーション膜4を露出させた開口を有するレジストマスク8を形成し、電解メッキ法により、導電材料(ニッケル)を開口部7およびレジストマスク8の開口に埋込んで、パッド3に電気的に接続する上部端子9を形成する。
次いで、フォトリソグラフィにより、パッシベーション膜4上に、開口部7を含む上部電極9の形成領域のパッシベーション膜4を露出させた開口を有するレジストマスク8を形成し、電解メッキ法により、導電材料(ニッケル)を開口部7およびレジストマスク8の開口に埋込んで、パッド3に電気的に接続する上部端子9を形成する。
PZ3(図8)、剥離剤を用いて上部端子9の形成に用いたレジストマスク8を除去し、シリコン基板1のおもて面側のパッシベーション膜4および上部端子9上に接着剤10を介して支持体11を貼付する。
PZ4(図8)、シリコン基板1のおもて面側に支持体11を貼付したシリコン基板1の裏面を、グラインダにより研削して、シリコン基板1の厚さを所定の厚さ(50μm)に薄板化する。
PZ4(図8)、シリコン基板1のおもて面側に支持体11を貼付したシリコン基板1の裏面を、グラインダにより研削して、シリコン基板1の厚さを所定の厚さ(50μm)に薄板化する。
PZ5(図9)、研削後のシリコン基板1の裏面に、CVD(Chemical Vapor Deposition)法により、絶縁材料(酸化シリコン)からなる裏面絶縁膜13を形成し、フォトリソグラフィにより、裏面絶縁膜13上に、パッド3下の貫通電極15の形成領域の裏面絶縁膜13を露出させたレジストマスク8を形成する。
PZ6(図9)、工程PZ5で形成したレジストマスク8をマスクとして異方性エッチングにより、裏面絶縁膜13およびシリコン基板1をエッチングして、層間絶縁膜2に達する下穴を形成し、同じレジストマスク8をマスクにして、下穴の底部に露出している層間絶縁膜2を、異なるエッチングガスを用いた異方性エッチングによりエッチングして、パッド3に達する電極形成穴16を形成する。
PZ6(図9)、工程PZ5で形成したレジストマスク8をマスクとして異方性エッチングにより、裏面絶縁膜13およびシリコン基板1をエッチングして、層間絶縁膜2に達する下穴を形成し、同じレジストマスク8をマスクにして、下穴の底部に露出している層間絶縁膜2を、異なるエッチングガスを用いた異方性エッチングによりエッチングして、パッド3に達する電極形成穴16を形成する。
PZ7(図9)、プラズマアッシングを用いて、工程PZ5で形成したレジストマスク8を除去し、CVD法により、絶縁材料(酸化シリコン)を電極形成穴16の内面(底面および側面をいう。)および裏面絶縁膜13上に堆積し、電極形成穴16の内面および裏面絶縁膜13上に、電極絶縁膜18を被覆する。
PZ8(図9)、異方性エッチングにより、シリコン基板1の裏面側の全面をエッチングし、裏面絶縁膜13上および電極形成穴16の底面上の電極絶縁膜18を除去して電極形成穴16の側面上に被覆された電極絶縁膜18を残留させる。
PZ8(図9)、異方性エッチングにより、シリコン基板1の裏面側の全面をエッチングし、裏面絶縁膜13上および電極形成穴16の底面上の電極絶縁膜18を除去して電極形成穴16の側面上に被覆された電極絶縁膜18を残留させる。
そして、裏面絶縁膜13上、電極形成穴16の底面であるパッド3上、および電極形成穴16の側面上の電極絶縁膜18上に、スパッタ法により、導電材料(チタン)を堆積してバリアメタル20を形成し、次いでスパッタ法により、導電材料(銅)を堆積してシードメタル21を形成し、電解メッキ法により、シードメタル21上に、導電材料(銅)からなる導電材料層15aを形成する。これにより電極形成穴16の内部に導電材料(銅)が埋込まれる。
PZ9(図10)、CMP(Chemical Mechanical Polishing)法により、裏面絶縁膜13上のバリアメタル20、シードメタル21、導電材料層15aを研磨して除去し、電極形成穴16の内部にパッド3に電気的に接続する貫通電極15を形成する。
その後に、スパッタ法により、導電材料(チタン)を堆積してバリアメタル23を形成し、次いでスパッタ法により、導電材料(銅)を堆積してシードメタル24を形成し、フォトリソグラフィにより、シードメタル24上に、貫通電極15を含む下部電極26の形成領域のシードメタル24を露出させた開口を有するレジストマスク8を形成し、電解メッキ法により、導電材料(ニッケル)をレジストマスク8の開口に埋込んで、貫通電極15に電気的に接続する下部端子26を形成する。
その後に、スパッタ法により、導電材料(チタン)を堆積してバリアメタル23を形成し、次いでスパッタ法により、導電材料(銅)を堆積してシードメタル24を形成し、フォトリソグラフィにより、シードメタル24上に、貫通電極15を含む下部電極26の形成領域のシードメタル24を露出させた開口を有するレジストマスク8を形成し、電解メッキ法により、導電材料(ニッケル)をレジストマスク8の開口に埋込んで、貫通電極15に電気的に接続する下部端子26を形成する。
PZ10(図10)、剥離剤を用いて下部端子26の形成に用いたレジストマスク8を除去し、ウェットエッチングにより、バリアメタル23およびシードメタル24を徐除して、裏面絶縁膜13を露出させる。
PZ11(図10)、その後に、接着剤10を剥離して支持体11を取外し、半導体装置28を製造する。
PZ11(図10)、その後に、接着剤10を剥離して支持体11を取外し、半導体装置28を製造する。
このようにして、一般的な製造方法による貫通電極を有する半導体装置が形成される。
また、貫通電極を形成する場合に、半導体ウェハに半導体素子を形成する前に、半導体基板の貫通電極の形成部位に絶縁リングを形成し、その半導体基板に半導体素子およびその上の配線層を形成した後に、半導体ウェハを個片に分割して半導体素子および絶縁リングが形成された半導体チップを形成し、実装基板への半導体チップの実装後に、半導体チップの裏面を絶縁リングが露出するまで研削し、半導体チップの裏面にシリコン窒化膜、シリコン酸化膜からなる無機絶縁膜を形成し、無機絶縁膜上に、貫通電極の形成領域を開口させたレジストマスクを形成し、ドライエッチングにより、無機絶縁膜と半導体チップの半導体基板とを貫通し、配線層の絶縁層に埋込まれたコンタクトプラグ達する貫通穴を形成し、その貫通穴に電解メッキ法により金属を埋込んで、貫通電極を形成しているものもある(例えば、特許文献1参照。)。
特開2007−180529号公報(主に第10頁段落0034−第11頁段落0038、第3図、第4図、第7図)
また、貫通電極を形成する場合に、半導体ウェハに半導体素子を形成する前に、半導体基板の貫通電極の形成部位に絶縁リングを形成し、その半導体基板に半導体素子およびその上の配線層を形成した後に、半導体ウェハを個片に分割して半導体素子および絶縁リングが形成された半導体チップを形成し、実装基板への半導体チップの実装後に、半導体チップの裏面を絶縁リングが露出するまで研削し、半導体チップの裏面にシリコン窒化膜、シリコン酸化膜からなる無機絶縁膜を形成し、無機絶縁膜上に、貫通電極の形成領域を開口させたレジストマスクを形成し、ドライエッチングにより、無機絶縁膜と半導体チップの半導体基板とを貫通し、配線層の絶縁層に埋込まれたコンタクトプラグ達する貫通穴を形成し、その貫通穴に電解メッキ法により金属を埋込んで、貫通電極を形成しているものもある(例えば、特許文献1参照。)。
しかしながら、上述した一般的な製造方法においては、Via−last方式による貫通電極の形成時に、シリコン基板の裏面に形成した裏面絶縁膜からパッドに達する電極形成穴を形成し、この電極形成穴の内面に電極絶縁膜を被覆した後に、電極形成穴の底面の電極絶縁膜を異方性エッチングで除去し、その後に電解メッキ法により導電材料を埋込んで、貫通電極を形成しているため、電極形成穴の底面の電極絶縁膜を異方性エッチングで除去する際に、電極形成穴の側面上に被覆された電極絶縁膜も除去される場合があり、電極絶縁膜の一部が除去されてしまうと、貫通電極とシリコン基板とがショートして半導体装置の品質を低下させるという問題がある。
また、特許文献1の技術は、Via−First方式の一種であるが、このようなVia−First方式は、他社に半導体素子を形成した半導体ウェハの製造を委託するビジネス形態の場合に、他社に絶縁リングの形成等を依頼する必要があり、他社の了承が得られない限り、実現できないという問題がある。
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、半導体基板とのショートを防止した貫通電極を有する半導体装置の製造を自社内で実現する手段を提供することを目的とする。
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、半導体基板とのショートを防止した貫通電極を有する半導体装置の製造を自社内で実現する手段を提供することを目的とする。
本発明は、上記課題を解決するために、半導体装置の製造方法が、半導体基板と、前記半導体基板のおもて面に形成された半導体素子と、前記半導体基板のおもて面上に形成された層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜上に形成され、前記半導体素子に電気的に接続するパッドと、前記層間絶縁膜上および前記パッド上を覆う保護膜とを有する半導体ウェハを準備する工程と、前記保護膜に前記パッドに達する開口部を形成し、前記開口部に導電材料を埋込んで、前記パッドに電気的に接続する上部端子を形成する工程と、前記半導体基板の裏面の前記パッド下の領域に、前記層間絶縁膜に達する環状溝を形成する工程と、前記環状溝内および前記半導体基板の裏面に絶縁材料を堆積して、前記環状溝内に環状絶縁層を形成すると共に、前記半導体基板の裏面に裏面絶縁膜を形成する工程と、前記裏面絶縁膜上の、前記環状絶縁層に囲まれた領域に、前記パッドに達する電極形成穴を形成する工程と、前記電極形成穴に、導電材料を埋込んで、前記パッドに電気的に接続する貫通電極を形成する工程と、前記裏面絶縁膜上に、前記貫通電極に電気的に接続する下部端子を形成する工程と、を備えることを特徴とする。
これにより、本発明は、貫通電極を、貫通電極から離間した位置に配置された層間絶縁膜に接続する環状絶縁層で囲んで、シリコン基板との間の絶縁性を安定して確保することができ、シリコン基板とのショートを防止した貫通電極を有する半導体装置を、半導体素子が形成された半導体ウェハの納入後に、Via−last方式によって容易かつ安定して行うことができ、貫通電極を有する半導体装置の製造を自社内で容易に実現することができるという効果が得られる。
以下に、図面を参照して本発明による半導体装置の製造方法の実施例について説明する。
図1、図2、図3は実施例1の半導体装置の製造方法を示す説明図、図4は実施例1の貫通電極の断面を示す説明図である。
なお、上記一般的な製造方法で説明した部分と同様の部分は、同一の符号を付してその説明を省略する。
本実施例の半導体装置30は、図3(P11)に示すように、シリコン基板1に形成された貫通電極15が、その周囲に離間して形成された層間絶縁膜2に達する環状溝32に、絶縁材料を埋込んで形成された層間絶縁膜2に接続する環状絶縁層33に囲われた状態(図4参照)で形成されている。
なお、上記一般的な製造方法で説明した部分と同様の部分は、同一の符号を付してその説明を省略する。
本実施例の半導体装置30は、図3(P11)に示すように、シリコン基板1に形成された貫通電極15が、その周囲に離間して形成された層間絶縁膜2に達する環状溝32に、絶縁材料を埋込んで形成された層間絶縁膜2に接続する環状絶縁層33に囲われた状態(図4参照)で形成されている。
本実施例の貫通電極15は、図4に示すように、8角柱状に形成され、その周囲をシリコン基板1を形成しているシリコン層1aを介して、8角形状の環状に形成された環状絶縁層33に囲われており、この環状絶縁層33により、シリコン基板1と貫通電極15とが絶縁分離されている。
以下に、図1ないし図3にPで示す工程に従って、本実施例の半導体装置の製造方法について説明する。
以下に、図1ないし図3にPで示す工程に従って、本実施例の半導体装置の製造方法について説明する。
本実施例の工程P1(図1)〜工程P4(図1)の作動は、上記一般的な製造方法の工程PZ1(図8)〜工程PZ4(図8)の作動と同様であるので、その説明を省略する。
P5(図2)、研削後のシリコン基板1の裏面に、フォトリソグラフィにより、パッド3下の環状溝32の形成領域のシリコン基板1の裏面を露出させたレジストマスク8を形成し、これをマスクとして異方性エッチングにより、シリコン基板1をエッチングして、層間絶縁膜2に達する環状溝32を形成する。
P5(図2)、研削後のシリコン基板1の裏面に、フォトリソグラフィにより、パッド3下の環状溝32の形成領域のシリコン基板1の裏面を露出させたレジストマスク8を形成し、これをマスクとして異方性エッチングにより、シリコン基板1をエッチングして、層間絶縁膜2に達する環状溝32を形成する。
P6(図2)、プラズマアッシングを用いて、工程P5で形成したレジストマスク8を除去し、CVD法により、環状溝32およびシリコン基板1の裏面に絶縁材料(酸化シリコン)堆積して、環状溝32内に絶縁材料を埋込んだ環状絶縁層33を形成すると共に、シリコン基板1の裏面上に裏面絶縁膜13を形成する。
P7(図2)、フォトリソグラフィにより、裏面絶縁膜13上に、パッド3下の環状絶縁層33に囲まれた貫通電極15の形成領域の裏面絶縁膜13を露出させたレジストマスク8を形成し、これをマスクとして異方性エッチングにより、裏面絶縁膜13およびシリコン基板1をエッチングして、層間絶縁膜2に達する下穴を形成し、同じレジストマスク8をマスクにして、下穴の底部に露出している層間絶縁膜2を、異なるエッチングガスを用いた異方性エッチングによりエッチングして、パッド3に達する電極形成穴16を形成する。
P7(図2)、フォトリソグラフィにより、裏面絶縁膜13上に、パッド3下の環状絶縁層33に囲まれた貫通電極15の形成領域の裏面絶縁膜13を露出させたレジストマスク8を形成し、これをマスクとして異方性エッチングにより、裏面絶縁膜13およびシリコン基板1をエッチングして、層間絶縁膜2に達する下穴を形成し、同じレジストマスク8をマスクにして、下穴の底部に露出している層間絶縁膜2を、異なるエッチングガスを用いた異方性エッチングによりエッチングして、パッド3に達する電極形成穴16を形成する。
P8(図2)、次いで、裏面絶縁膜13上、電極形成穴16の底面であるパッド3上、および電極形成穴16の側面上に、スパッタ法により、導電材料(チタン)を堆積してバリアメタル20を形成し、次いでスパッタ法により、導電材料(銅)を堆積してシードメタル21を形成し、電解メッキ法により、シードメタル21上に、導電材料(銅)からなる導電材料層15aを形成する。これにより、電極形成穴16の内部に導電材料(銅)が埋込まれる。
P9(図3)、CMP法により、裏面絶縁膜13上のバリアメタル20、シードメタル21、導電材料層15aを研磨して除去し、電極形成穴16の内部にパッド3に電気的に接続する貫通電極15を形成する。
その後に、上記工程PZ9と同様にしてバリアメタル23およびシードメタル24を形成し、電解メッキ法により、貫通電極15に電気的に接続する、導電材料(ニッケル)からなる下部端子26を形成する。
その後に、上記工程PZ9と同様にしてバリアメタル23およびシードメタル24を形成し、電解メッキ法により、貫通電極15に電気的に接続する、導電材料(ニッケル)からなる下部端子26を形成する。
その後の工程P10(図3)、工程P11(図3)の作動は、上記一般的な製造方法の工程PZ10(図10)、工程PZ11(図10)の作動と同様であるので、その説明を省略する。
このようにして、本実施例の環状絶縁層33に周囲を囲まれた貫通電極15を有する半導体装置30が形成される。
このようにして、本実施例の環状絶縁層33に周囲を囲まれた貫通電極15を有する半導体装置30が形成される。
上記のように、本実施例のVia−last方式により形成された貫通電極15は、その周囲を、貫通電極15から離間した位置に配置された層間絶縁膜2に接続する環状絶縁層33で囲まれているので、貫通電極15とシリコン基板1との間の絶縁性を安定して確保することができ、貫通電極15のシリコン基板1とのショートを防止して半導体装置30の品質を向上させることができると共に、Via−last方式における製造プロセスの安定性を向上させることができる。
また、半導体ウェハ5への半導体素子の形成を他社に委託する場合に、貫通電極15や環状絶縁層33の形成等を依頼する必要がなくなり、他社からの半導体素子を形成した半導体ウェハ5の納入後に、自社内でのVia−last方式による環状絶縁層33に囲まれた貫通電極15の形成を容易かつ安定して行うことができ、貫通電極15を有する半導体装置30の製造を自社内で容易に実現することができる。
更に、環状溝32に絶縁材料を埋込む工程P6において、環状絶縁層33の形成と同時に裏面絶縁膜13を形成し、その後にパッド3に達する電極形成穴16を形成するので、一般的な製造方法の工程PZ7における電極絶縁膜18の形成や、工程PZ8における電極形成穴16の底面の電極絶縁膜18の異方性エッチングによる除去工程を省略することができ、Via−last方式により貫通電極15を形成する半導体装置30の製造方法の簡素化を図ることができる。
このことは、特許文献1に記載された絶縁リングに囲まれた貫通電極の製造工程における無機絶縁膜の形成工程を省略できることを示しており、特許文献1の貫通電極を有する半導体装置の製造工程に較べて、貫通電極15を有する半導体装置30の製造方法の簡素化を図ることができる。
以上説明したように、本実施例では、シリコン基板のおもて面に形成された半導体素子と、シリコン基板のおもて面上に形成された層間絶縁膜と、層間絶縁膜上に形成されたパッドと、層間絶縁膜上およびパッド上を覆うパッシベーション膜とを有する半導体ウェハを準備し、そのパッシベーション膜にパッドに達する開口部を形成してパッドに電気的に接続する上部端子を形成し、シリコン基板の裏面を研削してシリコン基板の厚さを薄板化した後に、シリコン基板の裏面のパッド下の領域に層間絶縁膜に達する環状溝を形成し、この環状溝内およびシリコン基板の裏面に絶縁材料を堆積して、環状溝内に環状絶縁層を形成すると共に、シリコン基板の裏面に裏面絶縁膜を形成し、裏面絶縁膜上の、環状絶縁層に囲まれた領域に形成されたパッドに達する電極形成穴に、導電材料を埋込んでパッドに電気的に接続する貫通電極を形成し、その貫通電極に電気的に接続する下部端子を形成するようにしたことによって、貫通電極を、貫通電極から離間した位置に配置された層間絶縁膜に接続する環状絶縁層で囲んで、シリコン基板との間の絶縁性を安定して確保することができ、シリコン基板とのショートを防止した貫通電極を有する半導体装置を、半導体素子が形成された半導体ウェハの納入後に、Via−last方式によって容易かつ安定して行うことができ、貫通電極を有する半導体装置の製造を自社内で容易に実現することができる。
以上説明したように、本実施例では、シリコン基板のおもて面に形成された半導体素子と、シリコン基板のおもて面上に形成された層間絶縁膜と、層間絶縁膜上に形成されたパッドと、層間絶縁膜上およびパッド上を覆うパッシベーション膜とを有する半導体ウェハを準備し、そのパッシベーション膜にパッドに達する開口部を形成してパッドに電気的に接続する上部端子を形成し、シリコン基板の裏面を研削してシリコン基板の厚さを薄板化した後に、シリコン基板の裏面のパッド下の領域に層間絶縁膜に達する環状溝を形成し、この環状溝内およびシリコン基板の裏面に絶縁材料を堆積して、環状溝内に環状絶縁層を形成すると共に、シリコン基板の裏面に裏面絶縁膜を形成し、裏面絶縁膜上の、環状絶縁層に囲まれた領域に形成されたパッドに達する電極形成穴に、導電材料を埋込んでパッドに電気的に接続する貫通電極を形成し、その貫通電極に電気的に接続する下部端子を形成するようにしたことによって、貫通電極を、貫通電極から離間した位置に配置された層間絶縁膜に接続する環状絶縁層で囲んで、シリコン基板との間の絶縁性を安定して確保することができ、シリコン基板とのショートを防止した貫通電極を有する半導体装置を、半導体素子が形成された半導体ウェハの納入後に、Via−last方式によって容易かつ安定して行うことができ、貫通電極を有する半導体装置の製造を自社内で容易に実現することができる。
図5、図6、図7は実施例2の半導体装置の製造方法を示す説明図である。
なお、上記一般的な製造方法で説明した部分および実施例1と同様の部分は、同一の符号を付してその説明を省略する。
本実施例の半導体装置40は、図7(PA11)に示すように、シリコン基板1に形成された貫通電極15が、その周囲に離間して形成されたパッド3に達する環状溝42に、絶縁材料を埋込んで形成された層間絶縁膜2に接続する環状絶縁層43に囲われた状態で形成されており、上記実施例1と同様に、この環状絶縁層43によりシリコン基板1と貫通電極15とが絶縁分離されている。
なお、上記一般的な製造方法で説明した部分および実施例1と同様の部分は、同一の符号を付してその説明を省略する。
本実施例の半導体装置40は、図7(PA11)に示すように、シリコン基板1に形成された貫通電極15が、その周囲に離間して形成されたパッド3に達する環状溝42に、絶縁材料を埋込んで形成された層間絶縁膜2に接続する環状絶縁層43に囲われた状態で形成されており、上記実施例1と同様に、この環状絶縁層43によりシリコン基板1と貫通電極15とが絶縁分離されている。
以下に、図5ないし図7にPAで示す工程に従って、本実施例の半導体装置の製造方法について説明する。
本実施例の工程PA1(図5)〜工程PA4(図5)の作動は、上記一般的な製造方法の工程PZ1(図8)〜工程PZ4(図8)の作動と同様であるので、その説明を省略する。
本実施例の工程PA1(図5)〜工程PA4(図5)の作動は、上記一般的な製造方法の工程PZ1(図8)〜工程PZ4(図8)の作動と同様であるので、その説明を省略する。
PA5(図6)、研削後のシリコン基板1の裏面に、CVD法により、絶縁材料(酸化シリコン)からなる裏面絶縁膜13を形成し、フォトリソグラフィにより、裏面絶縁膜13上に、パッド3下の環状溝42の形成領域および環状溝42に囲まれた電極形成穴16の形成領域の裏面絶縁膜13を露出させたレジストマスク8を形成する。
PA6(図6)、工程PA5で形成したレジストマスク8をマスクとして、異方性エッチングにより、裏面絶縁膜13およびシリコン基板1をエッチングして、層間絶縁膜2に達する環状溝42の下穴および電極形成穴16の下穴を形成し、同じレジストマスク8をマスクにして、環状溝42および電極形成穴16の下穴の底部に露出している層間絶縁膜2を、異なるエッチングガスを用いた異方性エッチングによりエッチングして、パッド3に達する環状溝42および電極形成穴16を同時に形成する。
PA6(図6)、工程PA5で形成したレジストマスク8をマスクとして、異方性エッチングにより、裏面絶縁膜13およびシリコン基板1をエッチングして、層間絶縁膜2に達する環状溝42の下穴および電極形成穴16の下穴を形成し、同じレジストマスク8をマスクにして、環状溝42および電極形成穴16の下穴の底部に露出している層間絶縁膜2を、異なるエッチングガスを用いた異方性エッチングによりエッチングして、パッド3に達する環状溝42および電極形成穴16を同時に形成する。
PA7(図6)、プラズマアッシングを用いて、工程PA5で形成したレジストマスク8を除去し、CVD法により、絶縁材料(酸化シリコン)を環状溝42、電極形成穴16の内面および裏面絶縁膜13上に堆積し、環状溝42内に絶縁材料を埋込んだ層間絶縁膜2に接続する環状絶縁層43を形成すると共に、電極形成穴16の内面および裏面絶縁膜13上に、絶縁膜45を被覆する。
PA8(図6)、異方性エッチングにより、シリコン基板1の裏面側の全面をエッチングし、裏面絶縁膜13上および電極形成穴16の底面上の絶縁膜45を除去する。
このとき、電極形成穴16の側面上に被覆された絶縁膜45を残留させる必要はなく、その一部または全部が除去されてもよい。
そして、裏面絶縁膜13上、電極形成穴16の底面であるパッド3上、および電極形成穴16の側面上の絶縁膜45上に、スパッタ法により、導電材料(チタン)を堆積してバリアメタル20を形成し、次いでスパッタ法により、導電材料(銅)を堆積してシードメタル21を形成し、電解メッキ法により、シードメタル21上に、導電材料(銅)からなる導電材料層15aを形成する。これにより電極形成穴16の内部に導電材料(銅)が埋込まれる。
このとき、電極形成穴16の側面上に被覆された絶縁膜45を残留させる必要はなく、その一部または全部が除去されてもよい。
そして、裏面絶縁膜13上、電極形成穴16の底面であるパッド3上、および電極形成穴16の側面上の絶縁膜45上に、スパッタ法により、導電材料(チタン)を堆積してバリアメタル20を形成し、次いでスパッタ法により、導電材料(銅)を堆積してシードメタル21を形成し、電解メッキ法により、シードメタル21上に、導電材料(銅)からなる導電材料層15aを形成する。これにより電極形成穴16の内部に導電材料(銅)が埋込まれる。
PA9(図7)、CMP法により、裏面絶縁膜13上のバリアメタル20、シードメタル21、導電材料層15aを研磨して除去し、電極形成穴16の内部にパッド3に電気的に接続する貫通電極15を形成する。
その後に、上記工程PZ9と同様にしてバリアメタル23およびシードメタル24を形成し、電解メッキ法により、貫通電極15に電気的に接続する、導電材料(ニッケル)からなる下部端子26を形成する。
その後に、上記工程PZ9と同様にしてバリアメタル23およびシードメタル24を形成し、電解メッキ法により、貫通電極15に電気的に接続する、導電材料(ニッケル)からなる下部端子26を形成する。
その後の工程PA10(図7)、工程PA11(図7)の作動は、上記一般的な製造方法の工程PZ10(図10)、工程PZ11(図10)の作動と同様であるので、その説明を省略する。
このようにして、本実施例の環状絶縁層43に周囲を囲まれた貫通電極15を有する半導体装置40が形成される。
このようにして、本実施例の環状絶縁層43に周囲を囲まれた貫通電極15を有する半導体装置40が形成される。
上記のように、本実施例のVia−last方式により形成された貫通電極15は、その周囲を、貫通電極15から離間した位置に配置された層間絶縁膜2に接続する環状絶縁層43で囲まれているので、貫通電極15とシリコン基板1との間の絶縁性を安定して確保することができ、貫通電極15のシリコン基板1とのショートを防止して半導体装置40の品質を向上させることができると共に、Via−last方式における製造プロセスの安定性を向上させることができる。
また、半導体ウェハ5への半導体素子の形成を他社に委託する場合に、貫通電極15や環状絶縁層43の形成等を依頼する必要がなくなり、他社からの半導体素子を形成した半導体ウェハ5の納入後に、自社内でのVia−last方式による環状絶縁層43に囲まれた貫通電極15の形成を容易かつ安定して行うことができ、貫通電極15を有する半導体装置40の製造を自社内で容易に実現することができる。
更に、環状溝42と電極形成穴16とを同時に形成するので、一般的な製造方法と同じ製造ラインを用いて、Via−last方式により貫通電極15を形成する半導体装置40を製造することができると共に、環状溝42と電極形成穴16を形成するためのレジストマスク8を同時に形成することができ、環状溝42を形成するためのレジストマスク8と電極形成穴16を形成するためのレジストマスク8とマスク合せが不要になり、半導体装置40の小型化を図ることができる。
このことは、特許文献1に記載された絶縁リングに囲まれた貫通電極の製造工程における電極形成穴の形成工程におけるレジストマスクの位置ずれを防止できることを示しており、特許文献1の貫通電極を有する半導体装置に較べて、貫通電極15を有する半導体装置40の小型化を図ることができる。
以上説明したように、本実施例では、シリコン基板のおもて面に形成された半導体素子と、シリコン基板のおもて面上に形成された層間絶縁膜と、層間絶縁膜上に形成されたパッドと、層間絶縁膜上およびパッド上を覆うパッシベーション膜とを有する半導体ウェハを準備し、そのパッシベーション膜にパッドに達する開口部を形成してパッドに電気的に接続する上部端子を形成し、シリコン基板の裏面を研削してシリコン基板の厚さを薄板化した後に、半導体基板の裏面に絶縁材料からなる裏面絶縁膜を形成し、その裏面絶縁膜のパッド下の領域に、パッドに達する環状溝と、環状溝に囲まれた領域にパッドに達する電極形成穴とを同時に形成し、その環状溝内および電極形成穴内に絶縁材料を堆積して、環状溝内に層間絶縁膜に接続する環状絶縁層を形成すると共に、電極形成穴の内面を絶縁膜で被覆し、電極形成穴の底面の絶縁膜を除去してパッドを露出させた後に、この電極形成穴に、導電材料を埋込んでパッドに電気的に接続する貫通電極を形成し、その貫通電極に電気的に接続する下部端子を形成するようにしたことによって、貫通電極を、貫通電極から離間した位置に配置された層間絶縁膜に接続する環状絶縁層で囲んで、シリコン基板との間の絶縁性を安定して確保することができ、シリコン基板とのショートを防止した貫通電極を有する半導体装置を、半導体素子が形成された半導体ウェハの納入後に、Via−last方式によって容易かつ安定して行うことができ、貫通電極を有する半導体装置の製造を自社内で容易に実現することができる。
以上説明したように、本実施例では、シリコン基板のおもて面に形成された半導体素子と、シリコン基板のおもて面上に形成された層間絶縁膜と、層間絶縁膜上に形成されたパッドと、層間絶縁膜上およびパッド上を覆うパッシベーション膜とを有する半導体ウェハを準備し、そのパッシベーション膜にパッドに達する開口部を形成してパッドに電気的に接続する上部端子を形成し、シリコン基板の裏面を研削してシリコン基板の厚さを薄板化した後に、半導体基板の裏面に絶縁材料からなる裏面絶縁膜を形成し、その裏面絶縁膜のパッド下の領域に、パッドに達する環状溝と、環状溝に囲まれた領域にパッドに達する電極形成穴とを同時に形成し、その環状溝内および電極形成穴内に絶縁材料を堆積して、環状溝内に層間絶縁膜に接続する環状絶縁層を形成すると共に、電極形成穴の内面を絶縁膜で被覆し、電極形成穴の底面の絶縁膜を除去してパッドを露出させた後に、この電極形成穴に、導電材料を埋込んでパッドに電気的に接続する貫通電極を形成し、その貫通電極に電気的に接続する下部端子を形成するようにしたことによって、貫通電極を、貫通電極から離間した位置に配置された層間絶縁膜に接続する環状絶縁層で囲んで、シリコン基板との間の絶縁性を安定して確保することができ、シリコン基板とのショートを防止した貫通電極を有する半導体装置を、半導体素子が形成された半導体ウェハの納入後に、Via−last方式によって容易かつ安定して行うことができ、貫通電極を有する半導体装置の製造を自社内で容易に実現することができる。
なお、上記各実施例においては、環状絶縁層は、貫通電極の周囲に1つ設けるとして説明したが、貫通電極と同芯状に複数形成するようにしてもよい。
また、上記各実施例においては、貫通電極および環状絶縁層の断面形状は8角形状として説明したが、円形状や楕円形状、四角形状等であってもよい。
また、上記各実施例においては、貫通電極および環状絶縁層の断面形状は8角形状として説明したが、円形状や楕円形状、四角形状等であってもよい。
1 シリコン基板
1a シリコン層
2 層間絶縁膜
3 パッド
4 パッシベーション膜
5 半導体ウェハ
7 開口部
8 レジストマスク
9 上部端子
10 接着剤
11 支持体
13 裏面絶縁膜
15 貫通電極
15a 導電材料層
16 電極形成穴
18 電極絶縁膜
20、23 バリアメタル
21、24 シードメタル
26 下部電極
28、30、40 半導体装置
32、42 環状溝
33、43 環状絶縁層
45 絶縁膜
1a シリコン層
2 層間絶縁膜
3 パッド
4 パッシベーション膜
5 半導体ウェハ
7 開口部
8 レジストマスク
9 上部端子
10 接着剤
11 支持体
13 裏面絶縁膜
15 貫通電極
15a 導電材料層
16 電極形成穴
18 電極絶縁膜
20、23 バリアメタル
21、24 シードメタル
26 下部電極
28、30、40 半導体装置
32、42 環状溝
33、43 環状絶縁層
45 絶縁膜
Claims (3)
- 半導体基板と、前記半導体基板のおもて面に形成された半導体素子と、前記半導体基板のおもて面上に形成された層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜上に形成され、前記半導体素子に電気的に接続するパッドと、前記層間絶縁膜上および前記パッド上を覆う保護膜とを有する半導体ウェハを準備する工程と、
前記保護膜に前記パッドに達する開口部を形成し、前記開口部に導電材料を埋込んで、前記パッドに電気的に接続する上部端子を形成する工程と、
前記半導体基板の裏面の前記パッド下の領域に、前記層間絶縁膜に達する環状溝を形成する工程と、
前記環状溝内および前記半導体基板の裏面に絶縁材料を堆積して、前記環状溝内に環状絶縁層を形成すると共に、前記半導体基板の裏面に裏面絶縁膜を形成する工程と、
前記裏面絶縁膜上の、前記環状絶縁層に囲まれた領域に、前記パッドに達する電極形成穴を形成する工程と、
前記電極形成穴に、導電材料を埋込んで、前記パッドに電気的に接続する貫通電極を形成する工程と、
前記裏面絶縁膜上に、前記貫通電極に電気的に接続する下部端子を形成する工程と、を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体基板と、前記半導体基板のおもて面に形成された半導体素子と、前記半導体基板のおもて面上に形成された層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜上に形成され、前記半導体素子に電気的に接続するパッドと、前記層間絶縁膜上および前記パッド上を覆う保護膜とを有する半導体ウェハを準備する工程と、
前記保護膜に前記パッドに達する開口部を形成し、前記開口部に導電材料を埋込んで、前記パッドに電気的に接続する上部端子を形成する工程と、
前記半導体基板の裏面に絶縁材料からなる裏面絶縁膜を形成する工程と、
前記裏面絶縁膜の前記パッド下の領域に、前記パッドに達する環状溝と、前記環状溝に囲まれた領域に、前記パッドに達する電極形成穴とを同時に形成する工程と、
前記環状溝内および前記電極形成穴内に絶縁材料を堆積して、前記環状溝内に環状絶縁層を形成すると共に、前記電極形成穴の内面を絶縁膜で被覆する工程と、
前記電極形成穴の底面の絶縁膜を除去して、前記パッドを露出させる工程と、
前記電極形成穴に、導電材料を埋込んで、前記パッドに電気的に接続する貫通電極を形成する工程と、
前記裏面絶縁膜上に、前記貫通電極に電気的に接続する下部端子を形成する工程と、を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1または請求項2において、
前記環状絶縁層が、同芯状に複数形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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