JP3880602B2 - 半導体装置の製造方法、半導体装置 - Google Patents
半導体装置の製造方法、半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3880602B2 JP3880602B2 JP2005040556A JP2005040556A JP3880602B2 JP 3880602 B2 JP3880602 B2 JP 3880602B2 JP 2005040556 A JP2005040556 A JP 2005040556A JP 2005040556 A JP2005040556 A JP 2005040556A JP 3880602 B2 JP3880602 B2 JP 3880602B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- hole
- support
- conductor
- insulating film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 56
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 215
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 75
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 42
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 33
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 32
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 32
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 17
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 14
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 13
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 7
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 59
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 16
- 230000008569 process Effects 0.000 description 15
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 13
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 12
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 11
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 9
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 7
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 7
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 1
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005429 filling process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000000414 obstructive effect Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76898—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics formed through a semiconductor substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/481—Internal lead connections, e.g. via connections, feedthrough structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
- H01L25/065—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L25/0657—Stacked arrangements of devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/50—Multistep manufacturing processes of assemblies consisting of devices, each device being of a type provided for in group H01L27/00 or H01L29/00
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/13—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/13001—Core members of the bump connector
- H01L2224/13005—Structure
- H01L2224/13009—Bump connector integrally formed with a via connection of the semiconductor or solid-state body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16135—Disposition the bump connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
- H01L2224/16145—Disposition the bump connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
- H01L2224/16146—Disposition the bump connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked the bump connector connecting to a via connection in the semiconductor or solid-state body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
- H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
- H01L2225/06513—Bump or bump-like direct electrical connections between devices, e.g. flip-chip connection, solder bumps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2225/00—Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
- H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
- H01L2225/06541—Conductive via connections through the device, e.g. vertical interconnects, through silicon via [TSV]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15311—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
まず、基板50の表面側に回路素子部51を形成し、図7(a)に示す構造を得る。次に、基板50の表面側にフォトレジストを塗布してフォトレジスト層を形成し、この層をパターニングすることにより、開口部52aを有するマスク層52を形成する。次に、マスク層52を用いて回路素子部51及びシリコンウエハで構成された基板50を反応性イオンエッチング(RIE)等によりエッチングして、基板表面から100μm弱の非貫通孔53を形成し、図7(b)に示す構造を得る。次に、非貫通孔53の内壁面に絶縁膜54を形成し、図7(c)に示す構造を得る。次に、電解めっきの陰極となるシード層55を絶縁膜上に形成し、これを陰極として非貫通孔53の内部を金属56で埋めて、図7(d)に示す構造を得る。次に、金属56を化学的機械的研磨(CMP)により非貫通孔53以外の余分な金属を除去し、図7(e)に示す構造を得る。次に、基板50の回路素子部51側に支持体58を両面テープ等からなる接着層57を介して貼り合わせた後、基板50の裏面を研削して、非貫通孔53に充填された金属56を基板裏面側に露出させて、図7(f)に示す構造を得る。次に、基板50の裏面を選択的にエッチングし、図7(g)に示す構造を得る。次に、化学蒸着法(CVD)により、基板50の裏面にSiNやSiO2等の絶縁膜59を堆積し、図7(h)に示す構造を得る。次に、CMP法を用いて貫通電極の金属56を露出させるように絶縁膜59を取り除き、図7(i)に示す構造を得る。次に、支持基板58及び接着層57を取り除き、図7(j)に構造を得る。
以上の工程により、貫通電極を有する半導体装置を製造することができる。
本発明の第1実施形態の半導体装置の製造方法は、(1)第1支持体を基板表面側に取り付ける工程と、(2)基板をその裏面側から薄化する工程と、(3)第1支持体を基板から取り外す工程と、(4)開口部を有する第2支持体を基板裏面側に取り付ける工程と、(5)基板表面に第1絶縁膜を形成する工程と、(6)第2支持体の開口部に繋がる貫通孔を基板に形成する工程と、(7)第2絶縁膜を基板の貫通孔内部に形成する工程と、(8)基板の貫通孔内部に導電体を充填する工程を備えることを特徴とする。
これらの工程は、必ずしも記載された順に実行する必要が無く、適宜順序を入れ替えた実施形態や複数の工程を同時に実施する実施形態も本発明の範囲に含まれる。
第1支持体は、基板に取り付けられて基板を支持できる程度の剛性を有するものであればよく、半導体(シリコンなど)、樹脂、ガラスなど種々の材料で形成することができる。第1支持体の外形は特に限定されないが、基板を確実に支持するために基板と同程度又は基板よりも大きな外形(面積)を有するものが好ましい。基板は、シリコン基板などの半導体基板などからなり、厚さが、好ましくは、300〜700μm程度である。
基板薄化は、機械研削、化学研磨、プラズマエッチング、またはガスエッチングなど種々の方法で行うことができる。また、薄型半導体装置を作製するために、基板の薄化は、基板の厚さが30〜100μmとなるように行われることが好ましい。このような厚さに薄化されても、基板は、薄化の際に第1支持体によって支持されているので、破損しにくい。
基板薄化の後に、第1支持体を基板から取り外す。また、第1支持体を基板に取り付ける際に接着層を用いている場合には、この工程で接着層も一緒に除去する。
第2支持体は、基板裏面(第1支持体が取り付けられた面の反対側の面)に取り付ける。第2支持体として、第1支持体と同様の材料・外形のものを用いることができ、また、第2支持体は、第1支持体と同様の方法で基板に取り付けることができる。第2支持体は、開口部を有している。開口部は、針などを用いて機械的に形成してもよく、フォトリソグラフィー及びエッチング技術などにより形成してもよい。
第1絶縁膜は、酸化シリコン膜や窒化シリコン膜などからなり、CVD法などで形成することができる。また、ポリイミドやエポキシなどの樹脂を回転塗布して形成してもよく、ポリイミドなどを電着することによって形成してもよい。基板貫通孔形成工程の前に基板表面に絶縁膜を形成することにより、基板表面の汚染を防止することができる。第1絶縁膜形成工程は、基板貫通孔形成工程の後に行ってもよく、この場合、第2絶縁膜形成工程と同時に行ってもよい。この場合、一度の工程で、基板表面と基板貫通孔内部の両方に絶縁膜を形成することができ、工程数を減らすことができる。
基板の貫通孔は、第2支持体の開口部よりも小さいことが好ましい。この場合、導電体充填工程でめっき液が貫通孔内部をスムーズに移動するからである。貫通孔の横断面(基板表面に平行な面)形状は、正方形、長方形又は円などにすることができる。貫通孔は、基板表面側又は裏面側に(すなわち、第2支持体上に)レジストパターンを形成し、このレジストパターンをエッチングマスクとして基板をエッチングすることにより形成することができる。また、貫通孔は、開口部を有する第2支持体をマスクとして基板をエッチングすることにより形成してもよい。第2支持体をマスクにすると、レジストパターンを形成するためのフォトマスクが不要になり、また、レジストパターンと第2支持体開口部との位置合わせが不要になるという利点がある。
第2絶縁膜は、第1絶縁膜と同様の方法で形成することができる。但し、膜厚などは、適宜変更する。第2絶縁膜は、第1絶縁膜と同じ材料で形成してもよく、異なっていてもよい。
基板貫通孔への導電体の充填は、CVD法やスパッタ法などで行うこともできるが、貫通孔内部に導電体シード層を形成し、このシード層を利用して、電解めっき法により導電体を充填することによって行うことが好ましい。本発明では、めっき液が貫通孔内をスムーズに移動するので、貫通孔の充填が容易になされ、かつ、電解めっきの際に発生する水素等が容易に除去されるからである。この場合、導電体は、銅又は銅を含む合金からなることが好ましいが、電解めっき法で充填可能であれば、他の金属などであってもよい。また、通常は、導電体を充填した後に、貫通孔以外の部分にある導電体(例えば、基板表面上の導電体)をCMP法などにより除去する。導電体シード層は、CVD法やスパッタ法などで形成することができ、厚さが単原子層の厚さ〜200nmであることが好ましい。この程度の厚さがあれば、十分に電解めっきのためのシード層として機能するからである。また、導電体シード層は、好ましくは、バリア層を介して貫通孔内部に形成される。バリア層とは、導電体原子が基板などに拡散することを防止する機能を有する層である。バリア層を形成することにより、導電体原子による基板などの汚染を防止することができる。バリア層は、TiN又はTaNなどからなり、CVD法やスパッタ法などで形成することができる。
本発明の方法は、基板から第2支持体を取り外す工程をさらに備えてもよい。接着層を介して第2支持体を基板に取り付けている場合には、この工程で接着層も一緒に除去する。なお、第2支持体が邪魔にならない場合には、取り外さなくてもよい。
本発明の第2実施形態の半導体装置の製造方法は、(1)第1支持体を基板表面側に取り付ける工程と、(2)基板をその裏面側から薄化する工程と、(3)第1支持体を基板から取り外す工程と、(4)基板に形成する貫通孔よりも大きな開口部を有する第2支持体を基板裏面側に取り付ける工程と、(5)基板表面に第1絶縁膜を形成する工程と、(6)第2支持体の開口部に繋がる貫通孔を基板に形成する工程と、(7)基板裏面に溝を形成する工程と、(8)第2絶縁膜を基板の溝及び貫通孔内部に形成する工程と、(9)基板の溝及び貫通孔内部に導電体を充填する工程を備えることを特徴とする。
第1実施形態についての説明は、その趣旨に反しない限り、本実施形態についても当てはまる。
本実施形態では、第2支持体は、基板に形成する貫通孔よりも大きな開口部を有しており、基板裏面に溝を形成する工程を備える点において、第1実施形態と異なっている。基板裏面の溝は、好ましくは、第2支持体をマスクとして用いて形成するが、基板裏面にレジストパターンを形成して、このレジストパターンをマスクとして用いて形成してもよい。さらに、基板に形成した溝及び貫通孔内部に導電体を充填することにより、溝配線と貫通電極を有する半導体装置を製造することができる。
本発明の第3実施形態の半導体装置は、基板の表面に回路素子部が形成され、基板と回路素子部を貫通する貫通孔が形成され、貫通孔の基板と回路素子部の側部、回路素子部の表面には絶縁膜が形成され、貫通孔の内部に導電体が充填され、基板の裏面から回路素子部の表面に至る導体層を有することを特徴とする。
上記実施形態についての説明は、その趣旨に反しない限り、本実施形態についても当てはまる。このような半導体装置は、上記半導体装置の製造方法を用いて製造することができる。本発明の半導体装置は、基板表面に絶縁膜を有するので、回路素子部を保護することができる。
以下、本発明の実施例を具体的に説明する。
まず、基板10上に、所定機能を有する回路素子部11を形成する。次に、接着剤からなる接着層17aを介して、第1支持体18を得られた基板の表面(回路素子部11が形成された面)側に取り付け、図1(a)に示す構造を得る。第1支持体18は、直径8インチ、厚さ300〜700μm程度、好ましくは500μmのシリコン板であり、基板10と同サイズである。第1支持体18の基板10への取り付けは、例えばポリイミド樹脂の接着剤を100μmの厚さで基板10に塗布し、この接着剤を介して第1支持体18を基板に押し付け、その状態で310℃、30分の熱処理を行って接着剤を硬化させることによって行うことができる。また、接着剤としては、UV硬化型接着剤を用いてもよく、この場合、100〜200μmの厚さで基板10に塗布し、この接着剤を介して第1支持体18を基板に押し付け、100〜150℃に加熱し、その状態でUV照射して接着剤を硬化させる。また、接着剤の代わりに両面テープを用いてもよい。
次に、第1支持体18を取り付けた状態で、基板10の裏面側を後退させ、図1(b)に示す構造を得る。ここで基板10の後退は、例えば機械研削、化学研磨、プラズマエッチング、またはガスエッチングなどの加工技術を用いて行う。処理条件は、例えば機械研削の場合、粗研削として#300〜200程度の砥石を使用し、研削後、仕上げ研削として#2000程度の砥石で研削を行う。砥石の回転数は、2000〜3000rpm/minとする。後退後の基板10の厚さは30〜100μmであることが望ましい。
次に、回路素子部11表面の第1支持体18を取り外す。支持体18の取り外しは、モノエタノールアミンやジメチルフォルムアミドの剥離液に温度約120℃基板を浸液させ、接着層17aを取り除くことによって行う。
次に、得られた基板の裏面側に、接着剤からなる接着層17bを介して、開口部20aを有する第2支持体20を取り付ける。第2支持体20の直径・厚さ・材料、及び基板への取り付け方法は、第1支持体18と同様である。第2支持体20は、開口部20aを有しており、開口部20aの直径は、後工程で基板10に形成する貫通孔よりも大きく、10〜100μm程度である。第2支持体の外観は、図5(c)に示す通りであり、多数の開口部を有している。
次に、基板10の表面側に厚さ100〜5000nmの第1絶縁膜19を形成し、図1(c)に示す構造を得る。第1絶縁膜19は、シリコン酸化膜又は窒化シリコン膜などからなり、例えばプラズマCVD法で形成する。シリコン酸化膜の場合、ガス:TEOS 680mg/O2 650cc、圧力:8.5Torr、Power:800w、温度:50〜100℃という条件で形成する。また、第1絶縁膜19は、ポリイミドやエポキシ等の樹脂を1000〜5000rpm/minの速度で回転塗布することにより、100〜5000nmの厚さで形成してもよい。また、第1絶縁膜19は、シリコン酸化膜と窒化シリコン膜をこの順に積層した積層型の絶縁膜にしてもよい。積層型の絶縁膜の膜厚は、100〜5000nmであり、このうち窒化シリコン膜の膜厚20〜500nm程度である。
また、本実施例では、従来技術と異なり、銅充填工程の前に、絶縁膜の形成を行っている。このため、絶縁膜形成装置が銅に汚染されることを考慮する必要がなく、装置の専用化が不要になるという利点がある。
次に、基板10の表面側の第1絶縁膜19上にフォトレジストを塗布してフォトレジスト層を形成し、この層をパターニングすることにより、基板10に形成する貫通孔に対応した開口部12aを有するマスク層12を形成する。次に、マスク層12を用いて、反応性イオンエッチング(RIE)等の方法により第1絶縁膜19、回路素子部11、基板10、及び接着層17bを順次エッチングし、基板10に貫通孔13を形成し、図1(d)に示す構造を得る。貫通孔13は、第2支持体20の開口部20aに繋がっているため(例えば、両者の中心が一致しているため)、貫通孔13は、支持体20によって塞がれない。RIEの条件は、第1絶縁膜19が窒化シリコン膜の場合CF4/O2系ガスで、基板10のシリコンはSF6/O2系ガスでエッチングする(使用するガス:SF6 150CC/O2 50〜100CC、圧力:100〜300mTorr、RF Power:100〜500W)。回路素子部11のシリコン酸化膜及び接着層17bはCF4/O2系ガスでエッチングする。
次に、マスク層12を除去した後、貫通孔13内部に(すなわち、貫通孔の側壁に)第2絶縁膜14を形成し、図1(e)に示す構造を得る。第2絶縁膜14は、例えば貫通孔13の1辺が10μmの場合、厚さが100〜200nm程度になるように形成する。第2絶縁膜14は、プラズマCVD法で形成し、その条件は、温度:400℃、ガス:TEOS 680mg/O2 650cc、圧力:8.5Torr、Power:800w、デポレート:100〜200nm/minである。プラズマCVD法を用いるのは、膜厚が薄くてもカバレッジが良く膜質も良いためである。貫通孔13の1辺100μmであれば、第2絶縁膜14は、2〜3μm程度の厚さで形成する。貫通孔13のサイズが大きいと、その表面積が増えるので、寄生容量も大きくなる。そのため、膜厚を厚くして寄生容量の低減を図る。また、第2絶縁膜14は、150℃程度のポリイミド溶液中でシリコン基板を電極として電圧をかけることによって基板表面にポリイミドを析出させることによって(すなわち、ポリイミドを電着することによって)、形成してもよい。
8−1.バリア層及び銅シード層形成工程
次に、基板11の表面側から、基板10表面及び貫通孔13内部に、バリア層を介して銅シード層15を形成し、図1(f)に示す構造を得る。バリア層は、TiN層又はTaN層などからなり、厚さが5〜150nm、望ましくは10nmとなるように形成する。銅シード層15は、厚さが単原子層の厚さから200nm、望ましくは100nmとなるように形成する。両者は、CVD又はスパッタ法などで形成する。CVD法を用いる場合、TiN層はTi(N(C2H5)2)4にNH3やN2と反応させて150℃の温度で成長させる。銅シード層15は、Cu(hfac)(tmvs)を原料として温度150℃で形成する。
次に、銅シード層15を利用して、電解めっき法により貫通孔13内に銅16を充填し、図1(g)に示す構造を得る。第2支持体20が貫通孔13の部分に開口部18を有するため、めっき液が貫通孔13内をスムーズに流れる。このため、電気分解により発生して貫通孔13内の表面に付着する水素の泡が取り除かれ、かつ、反応種の拡散が効率よく起こるので、ボイドの発生が抑制され、完全充填が可能となる。また、完全充填を行うために、バラツキを考慮して、銅めっきは、基板表面での厚さが5〜10μm程度となるまで行うことが好ましい。ここでの銅めっきの条件としては、CuSO4・5H2OとH2SO4とCl-をめっき液として用い、温度25℃で電解めっき法にて行う。
次に、CMP法により、第1絶縁膜19上の銅16を除去し、貫通孔13内のみに銅16を残し、図1(h)に示す構造を得る。本実施例では、銅16は第1絶縁膜19上に形成されており、第1絶縁膜19は、通常は、基板裏面よりも平坦であるので、CMP法による銅16の除去は比較的容易である。
次に、半導体基板10裏面の第2支持体20を取り外し、図1(i)に示す構造を得る。第2支持体20の取り外しは、モノエタノールアミンやジメチルフォルムアミドの剥離液に温度約120℃基板を浸液させ、接着層17bを取り除くことによって行う。
まず、実施例1と同様の方法により、基板10の表面側に第1支持体18を取り付け、図2(a)に示す構造を得る。
次に、実施例1と同様の方法により、基板10の薄化を行い、図2(b)に示す構造を得る。
次に、実施例1と同様の方法により、第1支持体18を基板から取り外す。
次に、実施例1と同様の方法により、基板10の裏面側に第2支持体21を取り付ける。
本実施例では、第2支持体21は、後工程で基板10に貫通孔13を形成するためのマスクとして用いるので、基板10に形成する貫通孔13と同じサイズの開口部21aを有している。
次に、実施例1と同様の方法により、基板10の表面側に第1絶縁膜19を形成し、図2(c)に示す構造を得る。
次に、第2支持体21をマスクに、反応性イオンエッチング(RIE)等の方法により接着層17b、基板10、回路素子部11、及び第1絶縁膜19を順次エッチングし、基板10に貫通孔13を形成し、図2(d)に示す構造を得る。エッチングの条件は、実施例1と同様である。なお、この工程で第2支持体21も、基板10の厚さ(30〜100μm程度)+オーバーエッチ分、エッチングされて厚さが減少するが、その後の工程が処理できる程度の厚さが残っていれば、この減少は問題とならない(必要な場合には、減少分を考慮した厚さの支持体を用いる。)。
次に、実施例1と同様の方法により、貫通孔13内部に第2絶縁膜14を形成し、図2(e)に示す構造を得る。
次に、実施例1と同様の方法により、バリア層を介して銅シード層15を形成し(図2(f))、電解めっき法により貫通孔13内部に銅16を充填し(図2(g))、CMP法により不要な銅を取り除く(図2(h))。
次に、実施例1と同様の方法により、第2支持体21を取り外し、図2(i)に示す構造を得る。
まず、実施例1と同様の方法により、基板10の表面側に第1支持体18を取り付け、図3(a)に示す構造を得る。
次に、実施例1と同様の方法により、基板10の薄化を行い、図3(b)に示す構造を得る。
次に、実施例1と同様の方法により、第1支持体18を基板から取り外す。
次に、実施例1と同様の方法により、基板10の裏面側に第2支持体22を取り付ける。
本実施例では、第2支持体22は、後工程で基板10に溝23を形成するためのマスクとして用いるので、形成する溝23と同じサイズの開口部22aを有している。
次に、実施例1と同様の方法により、基板10の表面側に第1絶縁膜19を形成し、図3(c)に示す構造を得る。
次に、実施例1と同様の方法により、基板10に貫通孔13を形成し、図3(d)に示す構造を得る。
次に、第2支持体22をマスクとして、裏面側から基板をエッチングすることにより、基板裏面に溝23を形成し、図3(e)に示す構造を得る。なお、形成する溝よりも大きな開口部を有する第2支持体を用い、フォトリソグラフィー技術を用いて基板裏面にレジストパターンを形成し、このレジストパターンをマスクとして用いて溝を形成してもよい。
次に、実施例1と同様の方法により、溝23及び貫通孔13内部に第2絶縁膜14を形成し、図3(f)に示す構造を得る。
次に、実施例1と同様の方法により、バリア層を介して銅シード層15を形成し(図3(g))、電解めっき法により貫通孔13内部に銅16を充填し(図3(h))、CMP法により不要な銅を取り除く(図3(i))。裏面側のCMPは、第2支持体22が剥れない程度の圧力(例えば、20kPa以下)を加えて行う。
次に、実施例1と同様の方法により、第2支持体22を取り外し、図3(j)に示す構造を得る。
本実施例は、実施例1に類似しているが、基板10上に形成される回路素子部11に配線層11aが含まれており、配線層11aが貫通孔13を形成する部位に隣接して設けられている点が異なっている。配線層11aは、通常、回路素子部11中の種々の回路素子に電気的に接続されている。
まず、実施例1と同様の方法により、第1支持体取り付け工程から第1絶縁膜形成工程までを行い、図4(a)に示す構造を得る。上述の通り、本実施例では、回路素子部11に配線層11aが含まれている。
次に、基板10の表面側の第1絶縁膜19上にフォトレジストを塗布してフォトレジスト層を形成し、この層をパターニングすることにより、開口部12aを有するマスク層12を形成する。本実施例では、開口部12aは、図4(b)に示すように、基板10に形成する貫通孔13よりも大きいサイズにする。
次に、マスク層12を用いて、反応性イオンエッチング(RIE)等の方法により第1絶縁膜19、回路素子部11、基板10、及び接着層17bを順次エッチングし、基板10に貫通孔13を形成し、図4(b)に示す構造を得る。上記エッチングは、、配線層11aがストッパ層となるような条件で行う。このため、貫通孔13の大きさが配線層11aの配置によって決定され、貫通孔13の大きさは、マスク層12の開口部12aよりも小さくなる。
次に、実施例1と同様の方法により、貫通孔13内部に第2絶縁膜14を形成し、図4(c)に示す構造を得る。
次に、実施例1と同様の方法により、バリア層を介して銅シード層15を形成し(図4(d))、電解めっき法により貫通孔13内部に銅16を充填し(図4(e))、CMP法により不要な銅を取り除く(図4(f))。
次に、実施例1と同様の方法により、第2支持体21を取り外し、図4(g)に示す構造を得る。
図5には、デバイスウェハ(貫通孔を形成した基板)24と第2支持体20,21の形状を示している。図5(a)はデバイスウェハ24を示しており、図5(b)はそのデバイスの個片を拡大したデバイスチップ24aであり、貫通孔25のパターンを有している。図5(c)には第2支持体20,21を示しており、図5(d)はデバイスチップ24aに対応した部分26を拡大したものであるが、貫通孔25のパターンに対応した開口部27を有する。開口部27は実施例2で用いる第2支持体の場合、基板に貫通孔25を形成するためのマスクも兼ねるため、寸法は貫通孔25と同じサイズにする。実施例1の第2支持体の開口部27は貫通孔25より数μm大きいサイズが望ましい。また、実施例1で使用される第2支持体の開口部27のパターンとしては図5(e)で示すように貫通孔25を一括で覆うような開口部28のようなパターンでも良い。また、第2支持体としてウェハサポート機能を保持しつつ、電解めっき時にめっき液の供給を妨げない形状であれば例示した以外のパターンでも構わない。
図6に、実施例1〜4で得られた貫通電極を有する半導体装置を用いた積層型半導体装置を示す。図6(b)は、この装置の底面図であり、(a)は、(b)中のI−I断面図である。この装置は、インターポーザー31上に、実施例3で得られた貫通電極32a及び溝配線(幅10〜200μm)32bを有する半導体装置32と、実施例1,2又は4で得られた貫通電極33aを有する半導体装置33を備える。半導体装置33は、4つが積層されている。インターポーザー31は、裏面にバンプボール(径30〜200μm)35を備え、内部にインターポーザー内貫通電極(径10〜100μm)31aを有している。
各半導体装置32,33の貫通電極32a,33aは、互いに電気的に接続されており、さらに、溝配線32b,インターポーザー内貫通電極31a及びバンプボール35も、互いに電気的に接続されている。従って、図6のような構成にすることにより、配線用のワイヤなどを用いることなく、全ての層の半導体装置がインターポーザー31裏面のバンプボールと電気的に接続した積層型半導体装置を得ることができる。
11,51 回路素子部
11a 金属配線層
12,52 フォトレジスト
13,53 貫通孔
14 第2絶縁膜
15,55 シード層
16,56 導電体
17a,17b,57 接着層
18 第1支持体
19 第1絶縁膜
20,21,22 第2支持体
20a,21a,22a 第2支持体の開口部
23 溝
24 デバイスウェハ
24a デバイスチップ
25 デバイスウェハの貫通孔
26 支持体での、デバイスチップに対応した部分
27,28 第2支持体の開口部
54,59 絶縁膜
58 支持体
Claims (25)
- (1)第1支持体を基板表面側に取り付ける工程と、(2)基板をその裏面側から薄化する工程と、(3)第1支持体を基板から取り外す工程と、(4)開口部を有する第2支持体を基板裏面側に取り付ける工程と、(5)基板表面に第1絶縁膜を形成する工程と、(6)第2支持体の開口部に繋がる貫通孔を基板に形成する工程と、(7)第2絶縁膜を基板の貫通孔内部に形成する工程と、(8)基板の貫通孔内部に導電体を充填する工程を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- (1)第1支持体を基板表面側に取り付ける工程と、(2)基板をその裏面側から薄化する工程と、(3)第1支持体を基板から取り外す工程と、(4)基板に形成する貫通孔よりも大きな開口部を有する第2支持体を基板裏面側に取り付ける工程と、(5)基板表面に第1絶縁膜を形成する工程と、(6)第2支持体の開口部に繋がる貫通孔を基板に形成する工程と、(7)基板裏面に溝を形成する工程と、(8)第2絶縁膜を基板の溝及び貫通孔内部に形成する工程と、(9)基板の溝及び貫通孔内部に導電体を充填する工程を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- (1)第1支持体を基板表面側に取り付ける工程と、(2)基板をその裏面側から薄化する工程と、(3)第1支持体を基板から取り外す工程と、(4)開口部を有する第2支持体を基板裏面側に取り付ける工程と、(5)第2支持体の開口部に繋がる貫通孔を基板に形成する工程と、(6)基板表面及び貫通孔内部に絶縁膜を形成する工程と、(7)基板の貫通孔内部に導電体を充填する工程を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 支持体を取り付ける前に、基板表面側に回路素子部を形成する工程をさらに備える請求項1〜3のいずれか1つに記載の方法。
- 第1及び第2支持体は、シリコンからなることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の方法。
- 基板の薄化は、基板の裏面研磨によって行われることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の方法。
- 基板の薄化は、基板の厚さが30〜100μmとなるように行われることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の方法。
- 基板の貫通孔は、第2支持体の開口部よりも小さいことを特徴とする請求項1又は3に記載の方法。
- 基板の貫通孔は、基板表面側にレジストパターンを形成し、このレジストパターンをエッチングマスクとして基板をエッチングすることにより形成することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の方法。
- 基板の貫通孔は、第2支持体をマスクとして基板をエッチングすることにより形成することを特徴とする請求項1又は3に記載の方法。
- 基板裏面の溝は、第2支持体をマスクとして基板をエッチングすることにより形成することを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 導電体の充填は、貫通孔内部に導電体シード層を形成し、このシード層を利用して、電解めっき法により導電体を充填することによって行うことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の方法。
- 導電体は、銅又は銅を含む合金からなることを特徴とする請求項12に記載の方法。
- 導電体シード層は、厚さが、単原子層の厚さ〜200nmであることを特徴とする請求項12に記載の方法。
- 導電体シード層は、バリア層を介して貫通孔内部に形成されることを特徴とする請求項12に記載の方法。
- バリア層は、TiN又はTaNからなることを特徴とする請求項15に記載の方法。
- 基板の表面に回路素子部が形成され、
基板と回路素子部を貫通する貫通孔が形成され、
貫通孔の基板と回路素子部の側部、回路素子部の表面には絶縁膜が形成され、
貫通孔の内部に導電体が充填され、
基板の裏面から回路素子部の表面に至る導体層を有し、基板の裏面側において、前記導体層と前記貫通孔側部の絶縁膜とが、基板の裏面から突出していることを特徴とする半導体装置。 - 前記回路素子部は,内部に配線層を含み,
前記貫通孔は,前記配線層を露出させるように形成され,
前記導電体は,前記配線層に電気的に接続されるように充填される請求項17に記載の装置。 - 基板の表面に回路素子部が形成され、
基板と回路素子部を貫通する貫通孔が形成され、
基板の裏面に前記貫通孔に繋がる溝が形成され,
貫通孔の基板と回路素子部の側部、回路素子部の表面,及び前記溝の内面を覆う絶縁膜が形成され、
貫通孔及び溝の内部に導電体が充填され、
基板の裏面から回路素子部の表面に至る導体層と,基板裏面側に溝配線を有することを特徴とする半導体装置。 - 基板は、厚さが30〜100μmであることを特徴とする請求項17〜19のいずれか1つに記載の装置。
- 導電体は、導電体シード層と、このシード層を利用した電解めっき法によって充填された導電体とからなることを特徴とする請求項17〜19のいずれか1つに記載の装置。
- 導電体シード層は、厚さが、単原子層の厚さ〜200nmであることを特徴とする請求項21に記載の装置。
- 導電体は、バリア層を介して充填されることを特徴とする請求項21に記載の装置。
- バリア層は、TiN又はTaNからなることを特徴とする請求項23に記載の装置。
- 裏面にバンプボールを有し内部に貫通電極を有するインターポーザー上に、請求項17〜24のいずれか1つに記載の半導体装置を複数を積層して形成される積層型半導体装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005040556A JP3880602B2 (ja) | 2005-02-17 | 2005-02-17 | 半導体装置の製造方法、半導体装置 |
US11/884,536 US8278738B2 (en) | 2005-02-17 | 2006-02-08 | Method of producing semiconductor device and semiconductor device |
PCT/JP2006/302177 WO2006087957A1 (ja) | 2005-02-17 | 2006-02-08 | 半導体装置の製造方法、半導体装置 |
CN200680005288.5A CN101120438B (zh) | 2005-02-17 | 2006-02-08 | 半导体器件的制造方法、半导体器件 |
TW095105417A TW200701428A (en) | 2005-02-17 | 2006-02-17 | Semiconductor device manufacturing method and semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005040556A JP3880602B2 (ja) | 2005-02-17 | 2005-02-17 | 半導体装置の製造方法、半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006228947A JP2006228947A (ja) | 2006-08-31 |
JP3880602B2 true JP3880602B2 (ja) | 2007-02-14 |
Family
ID=36916365
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005040556A Active JP3880602B2 (ja) | 2005-02-17 | 2005-02-17 | 半導体装置の製造方法、半導体装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3880602B2 (ja) |
CN (1) | CN101120438B (ja) |
TW (1) | TW200701428A (ja) |
WO (1) | WO2006087957A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5478009B2 (ja) | 2007-11-09 | 2014-04-23 | 株式会社フジクラ | 半導体パッケージの製造方法 |
JP5138395B2 (ja) | 2008-01-22 | 2013-02-06 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板及びその製造方法 |
JP5142862B2 (ja) * | 2008-07-10 | 2013-02-13 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板の製造方法 |
US8859424B2 (en) | 2009-08-14 | 2014-10-14 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor wafer carrier and method of manufacturing |
US20110042803A1 (en) * | 2009-08-24 | 2011-02-24 | Chen-Fu Chu | Method For Fabricating A Through Interconnect On A Semiconductor Substrate |
KR101604607B1 (ko) * | 2009-10-26 | 2016-03-18 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 |
CN102120561B (zh) * | 2010-01-08 | 2012-07-11 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 形成晶圆穿通孔的方法 |
KR101185690B1 (ko) | 2011-08-02 | 2012-09-24 | 성균관대학교산학협력단 | 기판 처리 방법 |
CN103258790A (zh) * | 2013-04-27 | 2013-08-21 | 江阴长电先进封装有限公司 | 一种露出硅通孔内金属的方法 |
JP5827277B2 (ja) * | 2013-08-02 | 2015-12-02 | 株式会社岡本工作機械製作所 | 半導体装置の製造方法 |
CN103441150B (zh) * | 2013-08-09 | 2016-03-02 | 如皋市晟太电子有限公司 | 一种适合简化封装的恒流管 |
JP6458429B2 (ja) * | 2014-09-30 | 2019-01-30 | 大日本印刷株式会社 | 導電材充填貫通電極基板及びその製造方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004319821A (ja) * | 2003-04-17 | 2004-11-11 | Sharp Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2004327910A (ja) * | 2003-04-28 | 2004-11-18 | Sharp Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2005026405A (ja) * | 2003-07-01 | 2005-01-27 | Sharp Corp | 貫通電極構造およびその製造方法、半導体チップならびにマルチチップ半導体装置 |
-
2005
- 2005-02-17 JP JP2005040556A patent/JP3880602B2/ja active Active
-
2006
- 2006-02-08 CN CN200680005288.5A patent/CN101120438B/zh active Active
- 2006-02-08 WO PCT/JP2006/302177 patent/WO2006087957A1/ja not_active Application Discontinuation
- 2006-02-17 TW TW095105417A patent/TW200701428A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2006087957A1 (ja) | 2006-08-24 |
CN101120438B (zh) | 2010-05-26 |
JP2006228947A (ja) | 2006-08-31 |
TWI325627B (ja) | 2010-06-01 |
TW200701428A (en) | 2007-01-01 |
CN101120438A (zh) | 2008-02-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3880602B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、半導体装置 | |
US20210134674A1 (en) | Semiconductor components having conductive vias with aligned back side conductors | |
US8278738B2 (en) | Method of producing semiconductor device and semiconductor device | |
US10170450B2 (en) | Method for bonding and interconnecting integrated circuit devices | |
TWI525720B (zh) | 半導體裝置及其形成方法 | |
TWI320198B (en) | Methods of forming through-wafer interconnects and structures resulting therefrom | |
TWI251314B (en) | Manufacturing method of semiconductor device, semiconductor device, circuit substrate and electronic equipment | |
JP4773307B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US8440565B2 (en) | Semiconductor apparatus manufacturing method and semiconductor apparatus | |
JP2004186187A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
KR20070112059A (ko) | 반도체 장치의 제조 방법 | |
JP2005064451A (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
JP5377657B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2006203139A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2005310816A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法、回路基板、並びに電子機器 | |
JP2011071175A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP5118614B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2015211100A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2010245571A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP6112857B2 (ja) | 配線基板及びその製造方法 | |
JP2006080399A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
CN114334876A (zh) | 垂直互连结构及其制造方法、封装芯片及芯片封装方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060523 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060721 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060822 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061006 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061031 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061107 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3880602 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091117 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101117 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111117 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111117 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121117 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121117 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131117 Year of fee payment: 7 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |