JP5676941B2 - 配線基板の製造方法及び配線基板 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 17
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 137
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 77
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 77
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 25
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 21
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 19
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 9
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 8
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 claims description 8
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 4
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 65
- 235000020637 scallop Nutrition 0.000 description 49
- 241000237509 Patinopecten sp. Species 0.000 description 33
- 241000237503 Pectinidae Species 0.000 description 16
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 11
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 11
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 10
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 8
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 7
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 description 2
- -1 polyparaxylylene Polymers 0.000 description 2
- WRYLYDPHFGVWKC-SNVBAGLBSA-N 4-Terpineol Natural products CC(C)[C@]1(O)CCC(C)=CC1 WRYLYDPHFGVWKC-SNVBAGLBSA-N 0.000 description 1
- WRYLYDPHFGVWKC-UHFFFAOYSA-N 4-terpineol Chemical compound CC(C)C1(O)CCC(C)=CC1 WRYLYDPHFGVWKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 239000002082 metal nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- RSJKGSCJYJTIGS-UHFFFAOYSA-N undecane Chemical compound CCCCCCCCCCC RSJKGSCJYJTIGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76898—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics formed through a semiconductor substrate
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- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/28—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/268
- H01L21/283—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current
- H01L21/288—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current from a liquid, e.g. electrolytic deposition
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Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る製造方法により製造された配線基板の概略断面を示す図である。配線基板100は、平板状の基板1を備えている。この基板1は、例えばSi基板である。この基板1には、下部電極である第1電極3及び上部電極である第2電極7が形成されており、基板1の裏面に形成された第1電極3と基板1の表面に形成された第2電極7とを電気的に接続するコンタクトホール2が形成されている。ここで第2電極7は、化学的安定性の高いAuなどを用いることが好ましい。この第2電極7は、スパッタ法などのドライプロセスにより形成され、基板1の表面から微細穴2Bの開口端側まで延びて形成される。基板1に形成した第1電極3を底部とする微細穴2Bには、第2電極7の一部であり微細穴2Bの開口端側に延びる第1の導電層7aと、第2電極7を形成する際に第1電極3上に堆積する第2の導電層10と、微細穴内部を覆う導電膜9とが形成されている。この微細穴2Bに導電層7a,導電層10及び導電膜9が形成されてコンタクトホール2が構成されている。なお、基板1の表面とは、微細穴2Bが開口する側の面であり、基板1の裏面とは、微細穴2Bが開口する側の面とは反対側の面である。また、基板1は、Si基板であるので、基板1の表面及び微細穴2Bの側壁部は、絶縁層6が形成されている。したがって、第2電極7及び導電膜9と基板1とは電気的に絶縁されている。つまり、第2電極7及び導電膜9は、絶縁層6を介して基板1の表面又は微細穴2Bに形成されている。なお、基板1が絶縁体で構成されている場合は、この絶縁層6は省略可能である。基板1に形成した微細穴2Bの側壁部には、微細穴2Bの円周方向に沿う溝が複数形成されており、相対的に浅い溝からなる第1溝領域4と、相対的に深い溝からなる第2溝領域5とが設けられている。
次に、本発明に係る第2実施形態の配線基板の製造方法について説明する。図7は、本発明の第2実施形態に係る製造方法により製造された配線基板の概略断面を示す図である。なお、上記第1実施形態と同様の構成については、同一符号を付して説明を省略する。本第2実施形態では、上記第1実施形態に示す微細穴の側壁部に第2溝領域5を形成する代わりに、図7に示すように、微細穴の側壁部の中間に第2溝領域5Aを形成し、微細穴の側壁部の底部側に第3溝領域18を形成したものである。以下、具体的に説明すると、基板1をエッチングして凹部を形成するエッチング工程と凹部の側壁を保護する保護層を形成するデポジション工程とを交互に繰り返して、基板1に第1電極3を底部とする微細穴2Bを形成する(微細穴形成工程)。
2A 凹部
2B 微細穴
3 第1電極
4 第1溝領域
5 第2溝領域
7 第2電極
13 液体吐出ヘッド
14 液体
18 第3溝領域
100 配線基板
Claims (6)
- 基板をエッチングして凹部を形成するエッチング工程と前記凹部の側壁を保護する保護層を形成するデポジション工程とを交互に繰り返して、前記基板に第1電極を底部とする微細穴を形成する微細穴形成工程と、
第2電極をドライプロセスにより形成する電極形成工程と、
導電性材料を含有した液体を液体吐出ヘッドにより吐出させ、前記液体を固化させて前記第1電極と前記第2電極とを導通させる導電膜を形成する導電膜形成工程と、を備え、
前記微細穴の側壁部の開口端側の部分であって、周方向に沿う複数の溝からなる第1溝領域と、前記側壁部の前記第1溝領域より底部側の部分であって、前記第1溝領域の溝よりも深くかつ周方向に沿う複数の溝からなる第2溝領域とが前記エッチング工程により形成され、
前記第2電極は、前記基板の表面から前記第1溝領域に亘って形成され、
前記液体は前記第2溝領域に吐出させることを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記側壁部の前記第2溝領域より底部側の部分であって、前記第2溝領域の溝よりも浅くかつ周方向に沿う複数の溝からなる第3溝領域が前記エッチング工程によりさらに形成されることを特徴とする請求項1記載の配線基板の製造方法。
- 前記第3溝領域の溝は前記底部に近づくに連れて浅くなるように形成されることを特徴とする請求項2に記載の配線基板の製造方法。
- 微細穴があけられた基板と、
前記基板の裏面であって、前記微細穴の底部に形成された第1電極と、
前記基板の表面に形成された第2電極と、
前記微細穴に形成された導電膜と、を有し、
前記導電膜によって前記第1電極と前記第2電極とを電気的に接続する配線基板であって、
前記微細穴の側壁部は、
前記微細穴の開口端側に形成され、周方向に沿う複数の溝からなる第1溝領域と、
前記第1溝領域より底部側に形成され、前記第1溝領域の溝よりも深くかつ周方向に沿う複数の溝からなる第2溝領域と、を有し、
前記第1溝領域には前記第2電極が形成され、
前記第2溝領域には前記導電膜が形成され、
前記導電膜は金属微粒子の堆積膜であることを特徴とする配線基板。 - 前記第2溝領域より底部側に形成され、前記第2溝領域の溝よりも浅くかつ周方向に沿う複数の溝からなる第3溝領域をさらに有することを特徴とする請求項4記載の配線基板。
- 前記第3溝領域の溝は前記底部に近づくに連れて浅くなるように形成されていることを特徴とする請求項5に記載の配線基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010153681A JP5676941B2 (ja) | 2010-07-06 | 2010-07-06 | 配線基板の製造方法及び配線基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010153681A JP5676941B2 (ja) | 2010-07-06 | 2010-07-06 | 配線基板の製造方法及び配線基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012018956A JP2012018956A (ja) | 2012-01-26 |
JP5676941B2 true JP5676941B2 (ja) | 2015-02-25 |
Family
ID=45604026
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010153681A Expired - Fee Related JP5676941B2 (ja) | 2010-07-06 | 2010-07-06 | 配線基板の製造方法及び配線基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5676941B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5957926B2 (ja) * | 2012-02-09 | 2016-07-27 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP5888027B2 (ja) * | 2012-03-14 | 2016-03-16 | 富士通株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
WO2017150628A1 (ja) * | 2016-03-02 | 2017-09-08 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 微細立体構造形成方法、及び微細立体構造 |
JP2018110156A (ja) | 2016-12-28 | 2018-07-12 | キヤノン株式会社 | 半導体装置、その製造方法およびカメラ |
GB201708927D0 (en) * | 2017-06-05 | 2017-07-19 | Spts Technologies Ltd | Methods of plasma etching and plasma dicing |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63278368A (ja) * | 1987-05-11 | 1988-11-16 | Nec Corp | 半導体基板のバイアホ−ル形成方法 |
JP4451270B2 (ja) * | 2003-10-28 | 2010-04-14 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
JP4581915B2 (ja) * | 2005-08-26 | 2010-11-17 | パナソニック電工株式会社 | 貫通孔配線の製造方法 |
JP5143382B2 (ja) * | 2006-07-27 | 2013-02-13 | オンセミコンダクター・トレーディング・リミテッド | 半導体装置及びその製造方法 |
WO2008090794A1 (ja) * | 2007-01-23 | 2008-07-31 | Konica Minolta Holdings, Inc. | 液体吐出ヘッド用ノズルプレート及び液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法 |
KR101433899B1 (ko) * | 2008-04-03 | 2014-08-29 | 삼성전자주식회사 | 기판 식각부의 금속층 형성방법 및 이를 이용하여 형성된금속층을 갖는 기판 및 구조물 |
JP5219612B2 (ja) * | 2008-05-12 | 2013-06-26 | パナソニック株式会社 | 半導体貫通電極形成方法 |
JP5455538B2 (ja) * | 2008-10-21 | 2014-03-26 | キヤノン株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
-
2010
- 2010-07-06 JP JP2010153681A patent/JP5676941B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012018956A (ja) | 2012-01-26 |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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